JPH07111351A - レーザー発振器 - Google Patents
レーザー発振器Info
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- JPH07111351A JPH07111351A JP25422993A JP25422993A JPH07111351A JP H07111351 A JPH07111351 A JP H07111351A JP 25422993 A JP25422993 A JP 25422993A JP 25422993 A JP25422993 A JP 25422993A JP H07111351 A JPH07111351 A JP H07111351A
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- JP
- Japan
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- resonator
- laser oscillator
- radius
- laser
- spherical
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザー発振器筐体に如何なるひずみを生じ
ても、レーザー共振器のアライメントを崩すことのな
い、精度の高いレーザー発振器を提供する。 【構成】 レーザー発振器筐体１の両側部に配設された
共振器板３と、前記レーザー発振器筐体１のベース１０
の間には、所定の位置に複数個の共振器支持部２０が配
設されている。また、この共振器支持部２０において
は、曲率半径Ｒの球内面形状を有する球面受け２０ａ
が、前記レーザー発振器筐体１のベース１０の所定位置
に固定配置されている。一方、前記球面受け２０ａの球
面上を回転しながら摺動する半径ｒの回転球２０ｂが、
ボールベア２０ｃの下面側に回転可能に配設されてい
る。さらに、この共振器支持部２０は、取付金具２０ｄ
によって、前記共振器板３に支持固定されている。な
お、前記球面受け２０ａの曲率半径Ｒと回転球２０ｂの
半径ｒとは、Ｒ＞ｒとなるように構成されている。
ても、レーザー共振器のアライメントを崩すことのな
い、精度の高いレーザー発振器を提供する。 【構成】 レーザー発振器筐体１の両側部に配設された
共振器板３と、前記レーザー発振器筐体１のベース１０
の間には、所定の位置に複数個の共振器支持部２０が配
設されている。また、この共振器支持部２０において
は、曲率半径Ｒの球内面形状を有する球面受け２０ａ
が、前記レーザー発振器筐体１のベース１０の所定位置
に固定配置されている。一方、前記球面受け２０ａの球
面上を回転しながら摺動する半径ｒの回転球２０ｂが、
ボールベア２０ｃの下面側に回転可能に配設されてい
る。さらに、この共振器支持部２０は、取付金具２０ｄ
によって、前記共振器板３に支持固定されている。な
お、前記球面受け２０ａの曲率半径Ｒと回転球２０ｂの
半径ｒとは、Ｒ＞ｒとなるように構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザー発振器に係り、
特に、レーザー共振器の支持構造に改良を施したレーザ
ー発振器に関する。
特に、レーザー共振器の支持構造に改良を施したレーザ
ー発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から用いられているレーザー共振器
の支持構造を、図３及び図４に基づいて説明する。即
ち、図３に示した様に、レーザー発振器筐体１の両側部
には共振器板３が配設され、この共振器板３は、ベロー
ズ４を介して、前記レーザー発振器筐体１と接続されて
いる。また、前記共振器板３には、一対の共振器ミラー
の一方とそのアライメント機構を備えたミラーホルダー
２が取り付けられている。さらに、レーザー発振器筐体
１の両側部に配設された前記２枚の共振器板３は、それ
らの間に配設されたインバー５によって連結されてい
る。そして、前記インバー５の所定位置に取り付けられ
たころがり軸受け６によって、インバー５及び共振器板
３がレーザー発振器筐体１に支持されている。
の支持構造を、図３及び図４に基づいて説明する。即
ち、図３に示した様に、レーザー発振器筐体１の両側部
には共振器板３が配設され、この共振器板３は、ベロー
ズ４を介して、前記レーザー発振器筐体１と接続されて
いる。また、前記共振器板３には、一対の共振器ミラー
の一方とそのアライメント機構を備えたミラーホルダー
２が取り付けられている。さらに、レーザー発振器筐体
１の両側部に配設された前記２枚の共振器板３は、それ
らの間に配設されたインバー５によって連結されてい
る。そして、前記インバー５の所定位置に取り付けられ
たころがり軸受け６によって、インバー５及び共振器板
３がレーザー発振器筐体１に支持されている。
【０００３】また、図４に示した従来型においては、イ
ンバー５の所定位置に取り付けられる支持部材が、球面
軸受け７により構成されている。なお、その他の構成は
図３に示した従来型と同様である。
ンバー５の所定位置に取り付けられる支持部材が、球面
軸受け７により構成されている。なお、その他の構成は
図３に示した従来型と同様である。
【０００４】この様な構成を有する従来のレーザー発振
器は、以下に述べる様に作用する。即ち、レーザー発振
器においてレーザー光を発振させると、レーザー発振器
筐体１では、その中を循環するレーザーガスに高温部と
低温部とが発生するため、レーザーガスにより熱歪を生
ずることがあった。また、レーザー発振器の近くに、レ
ーザー発振器の電源や空調設備等の熱発生源がある場合
には、それらの影響も受けて、ひずみがさらに増すこと
があった。
器は、以下に述べる様に作用する。即ち、レーザー発振
器においてレーザー光を発振させると、レーザー発振器
筐体１では、その中を循環するレーザーガスに高温部と
低温部とが発生するため、レーザーガスにより熱歪を生
ずることがあった。また、レーザー発振器の近くに、レ
ーザー発振器の電源や空調設備等の熱発生源がある場合
には、それらの影響も受けて、ひずみがさらに増すこと
があった。
【０００５】そのため、レーザー共振器の共振器板３
は、最初に施したレーザー共振器のアライメントが、上
記熱歪により崩されることがないように、２枚の共振器
板３を数本のインバー５で連結し、互いの位置関係が保
持されるように構成されている。また、レーザー共振器
をレーザー発振器筐体１に支持するための支持部材とし
ては、レーザー発振器筐体１の熱歪が、インバー５また
は共振器板３に伝搬されてアライメントが崩されること
のないように、ころがり軸受け６または球面軸受け７が
用いられている。
は、最初に施したレーザー共振器のアライメントが、上
記熱歪により崩されることがないように、２枚の共振器
板３を数本のインバー５で連結し、互いの位置関係が保
持されるように構成されている。また、レーザー共振器
をレーザー発振器筐体１に支持するための支持部材とし
ては、レーザー発振器筐体１の熱歪が、インバー５また
は共振器板３に伝搬されてアライメントが崩されること
のないように、ころがり軸受け６または球面軸受け７が
用いられている。
【０００６】なお、前記ころがり軸受け６は、図３に示
した様に、インバーに取り付けられた内輪６ａ、発振器
筐体に取り付けられた外輪６ｂ及び両者の対向面に形成
された断面半円形の溝内に配設された複数の球６ｃとか
ら構成されている。この様なころがり軸受け６において
は、内輪６ａと外輪６ｂとの間に形成される断面円形の
空洞内を、球６ｃが転がることによって、インバー５は
その長手方向と直角の方向に若干移動することができる
ので、レーザー発振器筐体１に捻れが発生したり、イン
バー５の長手方向と直角の方向に伸縮した場合などに
は、ある程度、インバー５がたわまないように対処する
ことができる。
した様に、インバーに取り付けられた内輪６ａ、発振器
筐体に取り付けられた外輪６ｂ及び両者の対向面に形成
された断面半円形の溝内に配設された複数の球６ｃとか
ら構成されている。この様なころがり軸受け６において
は、内輪６ａと外輪６ｂとの間に形成される断面円形の
空洞内を、球６ｃが転がることによって、インバー５は
その長手方向と直角の方向に若干移動することができる
ので、レーザー発振器筐体１に捻れが発生したり、イン
バー５の長手方向と直角の方向に伸縮した場合などに
は、ある程度、インバー５がたわまないように対処する
ことができる。
【０００７】また、前記球面軸受け７は、図４に示した
様に、インバーに取り付けられた内輪７ａと発振器筐体
に取り付けられた外輪７ｂとから構成され、前記内輪７
ａの外周面がその断面形状が球面とされ、また、外輪７
ｂの内周面には、前記内輪７ａの外周面とその全面で接
触する球面受けが形成されている。この様な球面軸受け
７においても、インバー５はその長手方向と直角の方向
に若干移動することができるので、レーザー発振器筐体
１に捻れが発生したり、インバー５の長手方向と直角の
方向に伸縮した場合などには、ある程度、インバー５が
たわまないように対処することができる。
様に、インバーに取り付けられた内輪７ａと発振器筐体
に取り付けられた外輪７ｂとから構成され、前記内輪７
ａの外周面がその断面形状が球面とされ、また、外輪７
ｂの内周面には、前記内輪７ａの外周面とその全面で接
触する球面受けが形成されている。この様な球面軸受け
７においても、インバー５はその長手方向と直角の方向
に若干移動することができるので、レーザー発振器筐体
１に捻れが発生したり、インバー５の長手方向と直角の
方向に伸縮した場合などには、ある程度、インバー５が
たわまないように対処することができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た様な従来のレーザー発振器には、以下に述べる様な解
決すべき課題があった。即ち、従来のレーザー発振器に
おいては、レーザー共振器をレーザー発振器筐体１に支
持するための支持部材として、ころがり軸受け６または
球面軸受け７を用いているが、これらは上述した様に、
レーザー発振器筐体１に捻れが発生したり、インバー５
の長手方向と直角の方向に伸縮した場合などは、ある程
度、インバー５がたわまないように対処することができ
るが、必ずしも十分な対応ではなかった。
た様な従来のレーザー発振器には、以下に述べる様な解
決すべき課題があった。即ち、従来のレーザー発振器に
おいては、レーザー共振器をレーザー発振器筐体１に支
持するための支持部材として、ころがり軸受け６または
球面軸受け７を用いているが、これらは上述した様に、
レーザー発振器筐体１に捻れが発生したり、インバー５
の長手方向と直角の方向に伸縮した場合などは、ある程
度、インバー５がたわまないように対処することができ
るが、必ずしも十分な対応ではなかった。
【０００９】さらに、インバー５の長手方向へのねじれ
や伸縮によるひずみに対しては、ころがり軸受け６にあ
っては、前記空洞内に配設された球６ｃによって長手方
向への移動が規制されるため、また、球面軸受け７にあ
っては、外輪７ｂの内周面と内輪７ａの外周面とがその
全面で接触し、長手方向への移動が規制されるため、こ
れを吸収することはできなかった。そのため、インバー
５の長手方向へのねじれや伸縮によるひずみが生じた場
合には、インバー５のたわみに大きく影響し、結局、共
振器ミラーのアライメントを崩すこととなっていた。ま
た、その結果、レーザービームのモードが変化し、出力
低下、レーザービームの位置ズレ等の問題が生じてい
た。
や伸縮によるひずみに対しては、ころがり軸受け６にあ
っては、前記空洞内に配設された球６ｃによって長手方
向への移動が規制されるため、また、球面軸受け７にあ
っては、外輪７ｂの内周面と内輪７ａの外周面とがその
全面で接触し、長手方向への移動が規制されるため、こ
れを吸収することはできなかった。そのため、インバー
５の長手方向へのねじれや伸縮によるひずみが生じた場
合には、インバー５のたわみに大きく影響し、結局、共
振器ミラーのアライメントを崩すこととなっていた。ま
た、その結果、レーザービームのモードが変化し、出力
低下、レーザービームの位置ズレ等の問題が生じてい
た。
【００１０】本発明は、上述した様な従来技術の問題点
を解決するために提案されたもので、その目的は、レー
ザー発振器筐体に如何なるひずみを生じても、レーザー
共振器のアライメントを崩すことのない、精度の高いレ
ーザー発振器を提供することにある。
を解決するために提案されたもので、その目的は、レー
ザー発振器筐体に如何なるひずみを生じても、レーザー
共振器のアライメントを崩すことのない、精度の高いレ
ーザー発振器を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、レーザー共振器ミラーと、その共振器ミラーを保持
するアライメント機構を備えたミラーホルダーと、その
ミラーホルダーを支持し、レーザー発振器筐体の軸方向
両端に位置する共振器板と、これら両共振器板を連結支
持するインバーを備えて成るレーザー共振器と、このレ
ーザー共振器をレーザー発振器筐体と連接支持する支持
部材とを備えたレーザー発振器において、前記支持部材
が、曲率半径Ｒの球内面形状を有する球面受けと、この
球面受けの球面上を回転しながら摺動する半径ｒの回転
球とを備えて成り、そのいずれか一方がレーザー発振器
筐体側に、他方がレーザー共振器側に配設され、また、
前記球面受けの曲率半径Ｒと回転球の半径ｒとが、Ｒ＞
ｒとなるように構成されていることを特徴とするもので
ある。
は、レーザー共振器ミラーと、その共振器ミラーを保持
するアライメント機構を備えたミラーホルダーと、その
ミラーホルダーを支持し、レーザー発振器筐体の軸方向
両端に位置する共振器板と、これら両共振器板を連結支
持するインバーを備えて成るレーザー共振器と、このレ
ーザー共振器をレーザー発振器筐体と連接支持する支持
部材とを備えたレーザー発振器において、前記支持部材
が、曲率半径Ｒの球内面形状を有する球面受けと、この
球面受けの球面上を回転しながら摺動する半径ｒの回転
球とを備えて成り、そのいずれか一方がレーザー発振器
筐体側に、他方がレーザー共振器側に配設され、また、
前記球面受けの曲率半径Ｒと回転球の半径ｒとが、Ｒ＞
ｒとなるように構成されていることを特徴とするもので
ある。
【００１２】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
記載のレーザー発振器において、前記球面受けの曲率半
径Ｒと回転球の半径ｒとの組み合わせによって決まる固
有振動数を、複数個配設される支持部材ごとに異なる値
としたことを特徴とするものである。
記載のレーザー発振器において、前記球面受けの曲率半
径Ｒと回転球の半径ｒとの組み合わせによって決まる固
有振動数を、複数個配設される支持部材ごとに異なる値
としたことを特徴とするものである。
【００１３】
【作用】請求項１に記載の発明によれば、曲率半径Ｒの
球内面形状を有する球面受けと、この球面受けの球面上
を回転しながら摺動する半径ｒの回転球との接触を点接
触とすることにより、レーザー発振器本体にどのような
ひずみを生じても、回転球が球面受けの上を移動するこ
とによってそのひずみを吸収でき、インバーや共振器板
になんら影響を与えないものである。
球内面形状を有する球面受けと、この球面受けの球面上
を回転しながら摺動する半径ｒの回転球との接触を点接
触とすることにより、レーザー発振器本体にどのような
ひずみを生じても、回転球が球面受けの上を移動するこ
とによってそのひずみを吸収でき、インバーや共振器板
になんら影響を与えないものである。
【００１４】また、請求項２に記載の発明によれば、複
数配設された支持部材の内の１つが、何らかの振動源と
共振しようとしても、他の支持部材の固有振動数とずれ
ているため、全体として共振を抑制することができる。
数配設された支持部材の内の１つが、何らかの振動源と
共振しようとしても、他の支持部材の固有振動数とずれ
ているため、全体として共振を抑制することができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１及び図２に基
づいて具体的に説明する。なお、図３及び図４に示した
従来型と同一の部材には同一の符号を付して、説明は省
略する。
づいて具体的に説明する。なお、図３及び図４に示した
従来型と同一の部材には同一の符号を付して、説明は省
略する。
【００１６】本実施例においては、図１（Ａ）（Ｂ）に
示した様に、レーザー発振器筐体１の両側部に配設され
た共振器板３と、前記レーザー発振器筐体１のベース１
０の間には、所定の位置に複数個の共振器支持部２０が
配設されている。
示した様に、レーザー発振器筐体１の両側部に配設され
た共振器板３と、前記レーザー発振器筐体１のベース１
０の間には、所定の位置に複数個の共振器支持部２０が
配設されている。
【００１７】また、この共振器支持部２０は、図２に示
した様に構成されている。即ち、曲率半径Ｒの球内面形
状を有する球面受け２０ａが、前記レーザー発振器筐体
１のベース１０の所定位置に固定配置されている。一
方、前記球面受け２０ａの球面上を回転しながら摺動す
る半径ｒの回転球２０ｂが、ボールベア２０ｃの下面側
に回転可能に配設され、さらに、前記ボールベア２０ｃ
の上部には、共振器支持部２０の高さを調節することが
できる高さ調節手段２０ｆが設けられ、共振器支持部２
０の上端部に設けられたつまみ２０ｅを回転させること
により高さ調整ができるように構成されている。また、
この共振器支持部２０は、取付金具２０ｄによって、前
記共振器板３に支持固定されている。
した様に構成されている。即ち、曲率半径Ｒの球内面形
状を有する球面受け２０ａが、前記レーザー発振器筐体
１のベース１０の所定位置に固定配置されている。一
方、前記球面受け２０ａの球面上を回転しながら摺動す
る半径ｒの回転球２０ｂが、ボールベア２０ｃの下面側
に回転可能に配設され、さらに、前記ボールベア２０ｃ
の上部には、共振器支持部２０の高さを調節することが
できる高さ調節手段２０ｆが設けられ、共振器支持部２
０の上端部に設けられたつまみ２０ｅを回転させること
により高さ調整ができるように構成されている。また、
この共振器支持部２０は、取付金具２０ｄによって、前
記共振器板３に支持固定されている。
【００１８】なお、前記球面受け２０ａの曲率半径Ｒと
回転球２０ｂの半径ｒとは、Ｒ＞ｒとなるように構成さ
れている。
回転球２０ｂの半径ｒとは、Ｒ＞ｒとなるように構成さ
れている。
【００１９】この様な構成を有する本実施例のレーザー
発振器は、以下に述べる様に作用する。即ち、主な熱源
であるレーザー発振器筐体１に熱歪が生じ、そのベース
１０に固定された球面受け２０ａが変位しても、共振器
支持部２０においては、レーザー発振器筐体１とレーザ
ー共振器との接触部分が、前記回転球２０ｂと球面受け
２０ａとの点接触であり、また、球面受け２０ａの曲率
半径Ｒと回転球２０ｂの半径ｒとは、Ｒ＞ｒとなるよう
に構成されているため、回転球２０ｂは、球面受け２０
ａ上の球面内を自在に回転しながら移動することができ
る。その結果、レーザー発振器筐体１に生じた熱歪がい
ずれの方向のひずみであっても、そのひずみは共振器支
持部２０によって吸収され、そのひずみがそのまま各イ
ンバー５や２枚の共振器板３に伝搬されることはない。
発振器は、以下に述べる様に作用する。即ち、主な熱源
であるレーザー発振器筐体１に熱歪が生じ、そのベース
１０に固定された球面受け２０ａが変位しても、共振器
支持部２０においては、レーザー発振器筐体１とレーザ
ー共振器との接触部分が、前記回転球２０ｂと球面受け
２０ａとの点接触であり、また、球面受け２０ａの曲率
半径Ｒと回転球２０ｂの半径ｒとは、Ｒ＞ｒとなるよう
に構成されているため、回転球２０ｂは、球面受け２０
ａ上の球面内を自在に回転しながら移動することができ
る。その結果、レーザー発振器筐体１に生じた熱歪がい
ずれの方向のひずみであっても、そのひずみは共振器支
持部２０によって吸収され、そのひずみがそのまま各イ
ンバー５や２枚の共振器板３に伝搬されることはない。
【００２０】また、レーザー発振器筐体１の熱歪に影響
されて、各インバー５と２枚の共振器板３の相対的平行
度が崩れることも防止でき、さらに、上記熱歪のみなら
ず、インバー５と共振器板３より構成されるレーザー共
振器構成にねじれ等が生じた場合でも、そのひずみは共
振器支持部２０によって吸収されるため、そのひずみが
そのまま各インバー５や２枚の共振器板３に伝搬される
こともない。
されて、各インバー５と２枚の共振器板３の相対的平行
度が崩れることも防止でき、さらに、上記熱歪のみなら
ず、インバー５と共振器板３より構成されるレーザー共
振器構成にねじれ等が生じた場合でも、そのひずみは共
振器支持部２０によって吸収されるため、そのひずみが
そのまま各インバー５や２枚の共振器板３に伝搬される
こともない。
【００２１】さらに、レーザー発振器内に何らかの振動
源が存在するばあいでも、その振動周波数でレーザー共
振器が共振しないように、球面受け２０ａと回転球２０
ｂの各々の半径の組み合わせによって決まる固有振動数
を、前記半径の組み合わせを適宜調整することにより、
上記振動周波数と一致しないように構成することができ
る。また、図１に示した様に、共振器支持部２０が４箇
所に配設される場合には、球面受け２０ａと回転球２０
ｂの各接触点におけるそれぞれの固有振動数をずらせて
おけば、仮に、これらの接触点の内の１点が、何らかの
振動源と共振しようとしても、他の３点の固有振動数と
ずれているため、全体として共振を抑制することができ
る。
源が存在するばあいでも、その振動周波数でレーザー共
振器が共振しないように、球面受け２０ａと回転球２０
ｂの各々の半径の組み合わせによって決まる固有振動数
を、前記半径の組み合わせを適宜調整することにより、
上記振動周波数と一致しないように構成することができ
る。また、図１に示した様に、共振器支持部２０が４箇
所に配設される場合には、球面受け２０ａと回転球２０
ｂの各接触点におけるそれぞれの固有振動数をずらせて
おけば、仮に、これらの接触点の内の１点が、何らかの
振動源と共振しようとしても、他の３点の固有振動数と
ずれているため、全体として共振を抑制することができ
る。
【００２２】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく、レーザー発振器筐体に回転球を取付
け、共振器板に球面受けを取付けても、上記の実施例と
同様の効果が得られる。
るものではなく、レーザー発振器筐体に回転球を取付
け、共振器板に球面受けを取付けても、上記の実施例と
同様の効果が得られる。
【００２３】
【発明の効果】以上述べた様に、本発明によれば、レー
ザー共振器をレーザー発振器筐体より支持する支持部材
が、曲率半径Ｒの球内面形状を有する球面受けと、この
球面受けの球面上を回転しながら摺動する半径ｒの回転
球とを備えて成り、そのいずれか一方がレーザー発振器
筐体側に、他方がレーザー共振器側に配設され、また、
前記球面受けの曲率半径Ｒと回転球の半径ｒとが、Ｒ＞
ｒとなるように構成することにより、レーザー発振器筐
体に如何なるひずみを生じても、レーザー共振器のアラ
イメントを崩すことのない、精度の高いレーザー発振器
を提供することができる。
ザー共振器をレーザー発振器筐体より支持する支持部材
が、曲率半径Ｒの球内面形状を有する球面受けと、この
球面受けの球面上を回転しながら摺動する半径ｒの回転
球とを備えて成り、そのいずれか一方がレーザー発振器
筐体側に、他方がレーザー共振器側に配設され、また、
前記球面受けの曲率半径Ｒと回転球の半径ｒとが、Ｒ＞
ｒとなるように構成することにより、レーザー発振器筐
体に如何なるひずみを生じても、レーザー共振器のアラ
イメントを崩すことのない、精度の高いレーザー発振器
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のレーザー発振器の一実施例の構成を示
すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図
すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図
【図２】図１に示した実施例に用いられる共振器支持部
の構成を示す断面図
の構成を示す断面図
【図３】共振器支持部としてころがり軸受けを用いた従
来のレーザー発振器の一例を示す側面図
来のレーザー発振器の一例を示す側面図
【図４】共振器支持部として球面軸受けを用いた従来の
レーザー発振器の一例を示す側面図
レーザー発振器の一例を示す側面図
１…レーザー発振器筐体 ２…ミラーホルダー ３…共振器板 ４…べローズ ５…インバー ６…ころがり軸受け ７…球面軸受け １０…レーザー発振器筐体のベース ２０…共振器支持部 ２０ａ…球面受け ２０ｂ…回転球 ２０ｃ…ボールベア ２０ｄ…取付金具 ２０ｅ…つまみ ２０ｆ…高さ調節手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ１２Ｂ 9/00 6947−2Ｆ Ｈ０１Ｓ 3/02 Ｈ０１Ｓ 3/02 Ｚ
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザー共振器ミラーと、その共振器ミ
ラーを保持するアライメント機構を備えたミラーホルダ
ーと、そのミラーホルダーを支持し、レーザー発振器筐
体の軸方向両端に位置する共振器板と、これら両共振器
板を連結支持するインバーを備えて成るレーザー共振器
と、このレーザー共振器をレーザー発振器筐体と連接支
持する支持部材とを備えたレーザー発振器において、 前記支持部材が、曲率半径Ｒの球内面形状を有する球面
受けと、この球面受けの球面上を回転しながら摺動する
半径ｒの回転球とを備えて成り、そのいずれか一方がレ
ーザー発振器筐体側に、他方がレーザー共振器側に配設
され、また、前記球面受けの曲率半径Ｒと回転球の半径
ｒとが、Ｒ＞ｒとなるように構成されていることを特徴
とするレーザー発振器。 - 【請求項２】 前記球面受けの曲率半径Ｒと回転球の半
径ｒとの組み合わせによって決まる固有振動数を、複数
個配設される支持部材ごとに異なる値としたことを特徴
とする請求項１記載のレーザー発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25422993A JPH07111351A (ja) | 1993-10-12 | 1993-10-12 | レーザー発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25422993A JPH07111351A (ja) | 1993-10-12 | 1993-10-12 | レーザー発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07111351A true JPH07111351A (ja) | 1995-04-25 |
Family
ID=17262062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25422993A Pending JPH07111351A (ja) | 1993-10-12 | 1993-10-12 | レーザー発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07111351A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6736252B2 (en) | 2000-10-27 | 2004-05-18 | Seiko Epson Corporation | Work holder for through hole examination apparatus |
| JP2008096277A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Ono Sokki Co Ltd | レーザ測定装置 |
| CN107845942A (zh) * | 2016-09-19 | 2018-03-27 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种二氧化碳激光器 |
| CN107991747A (zh) * | 2017-09-15 | 2018-05-04 | 北京仿真中心 | 一种光学系统无热化机械装置 |
| CN113904204A (zh) * | 2020-07-06 | 2022-01-07 | 住友重机械工业株式会社 | 激光装置 |
-
1993
- 1993-10-12 JP JP25422993A patent/JPH07111351A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6736252B2 (en) | 2000-10-27 | 2004-05-18 | Seiko Epson Corporation | Work holder for through hole examination apparatus |
| JP2008096277A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Ono Sokki Co Ltd | レーザ測定装置 |
| CN107845942A (zh) * | 2016-09-19 | 2018-03-27 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种二氧化碳激光器 |
| CN107845942B (zh) * | 2016-09-19 | 2020-11-03 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种二氧化碳激光器 |
| CN107991747A (zh) * | 2017-09-15 | 2018-05-04 | 北京仿真中心 | 一种光学系统无热化机械装置 |
| CN107991747B (zh) * | 2017-09-15 | 2024-03-19 | 北京仿真中心 | 一种光学系统无热化机械装置 |
| CN113904204A (zh) * | 2020-07-06 | 2022-01-07 | 住友重机械工业株式会社 | 激光装置 |
| CN113904204B (zh) * | 2020-07-06 | 2024-05-28 | 住友重机械工业株式会社 | 激光装置 |
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