JP3835116B2 - レーザ発振器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、直交励起型レーザ発振器に関し、特に、直交励起型レーザ発振器の光共振器を構成する光学基部の支持構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図11乃至図13に、例えば特開昭60−81883号公報及び特開平7―307506号公報などに示される、従来の直交励起型レーザ発振器の一例を示す。
この直交励起型レーザ発振器はCO2ガス等のレーザ媒体ガスを封入された密閉構造の発振器筺体1を有しており、この発振器筺体1内に、レーザビーム発生用の放電電極2a,2bとレーザ媒体ガスを冷却する熱交換器3と、レーザ媒体ガスを循環させる送風器4と、放電電極2a,2b間を通過したレーザ媒体ガスを熱交換器3に戻すダクト5とが設けられている。
【0003】
発振器筺体1の光軸方向の両側には、全反射鏡6を保持した後部光学基台7と、全反射鏡6と同一光軸上に部分反射鏡8を保持した前部光学基台9とが互いに平行に配置されており、全反射鏡6と部分反射鏡8とが光共振器を構成している。
【0004】
発振器筺体1と後部光学基台7及び発振器筺体1と前部光学基台9は、それぞれ、レーザビーム通過部分をベローズ10,11によって接続されている。後部光学基台7と前部光学基台9とは、上側2本,下側1本の合計3本の支持棒12,13,14によって互いに強固に接続されている。支持棒12,13,14は、発振器筺体1の両側の端板15,16を貫通して光軸方向に延在している。
【0005】
この直交励起型レーザ発振器では、放電電極2a,2bによるレーザ発生部の放電により高温となったレーザ媒質ガスは、ダクト5を通って熱交換器3に至り、熱交換器3を通過することで冷却されたレーザ媒質ガスは送風器4に運ばれ、送風器4により再び放電電極2a,2bによるレーザ発生部へ送られる。レーザ媒質ガスの流れを図12及び図13に矢印Aで示す。
【0006】
下側の支持棒12は、端板15,16を貫通するだけで、発振器筺体1に固定されてはいないが、発振器筺体1上側におけるガス流上流(放電電極2a,2bを通過する手前)側の支持棒13は、端板16の部分、すなわち発振器筺体1のビーム出射側端面部において球面継手式の接続部材18により、全方向に傾斜可能に接続され、端板15の部分、すなわち発振器筺体1のビーム全反射側端面部において支持棒13の軸方向すなわち図中のX軸方向にスライド可能な接続部材19上に固定された球面継手式の接続部材18により、全方向に傾斜可能かつX軸方向に移動可能に接続されている。
また、発振器筺体1上側におけるガス流下流(放電電極2a,2bを通過した後)側の支持棒14は、端板16の部分において接続部材17によってX軸方向の移動を拘束された状態で、支持棒14の軸方向と直角方向すなわち図中のY軸方向にスライド可能に接続され、端板15の部分において接続部材17がX軸及びY軸方向にスライド可能な接続部材19の上に設置されており、X,Y軸方向に移動可能で且つXY平面上で回転可能な状態で接続されている。
【0007】
また、後部光学基台と前部光学基台とを連結する支持棒が、発振器筺体の両側端部分に加えて発振器筺体の光軸方向中央部でも発振器筺体に固定接続された光学基部支持構造のものが、特開昭53−125683号公報に示されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
この直交励起型レーザ発振器の発振器筺体1内部におけるレーザ媒質ガスの流れは上述のとおりであるが、このため、発振器筺体1内の上部において、レーザ媒質ガスは、レーザ発生部通過前後、すなわちガス流上流側とガス流下流側とで温度が異なり、ガス流上流側のレーザ媒質ガス温度は低く、ガス流下流側のレーザ媒質ガス温度は放電により高温となっている。この内部のレーザ媒質ガスの温度が発振器筺体1自体に伝導することにより、発振器筺体1に温度分布差が生じる。
この温度分布差によって発振器筺体1は、図14に示されているように、湾曲状に熱変形を起こし、また、支持棒13,14は熱変形量の絶対値が大きい発振器筺体1の長手方向側端部において発振器筺体1と連結されているため、支持棒13,14及び光学基台7,9は、図14に示すように変形する。図14において、点線で示されたものが初期すなわち熱変形する前の状態を、実線で示されたものが熱変形後の状態を示す。熱変形した後においても、後部光学基台7と前部光学基台9とは平行関係を維持しており、全反射鏡6(図示せず)と部分反射鏡8(図示せず)とによる光共振器の構成は維持されるが、その光軸、すなわちレーザビームの進行方向は初期設定の方向とずれている。
【0009】
すなわち、発振器筺体1が熱変形を起こすと、支持棒13,14と発振器筺体1との合計4箇所の接続位置が変位し、これに応じて後部光学基台7と前部光学基台9とが初期状態の設定から傾き、レーザビームの光軸がずれ、レーザビームの進行方向がずれることとなる。
【0010】
この発明は上述の課題を解決するためになされたもので、光学基台が、発振器筺体の熱などによる変形の影響を受け難く、レーザビームの出射方向の経時安定性を向上できる直交励起型レーザ発振器を得るものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るレーザ発振器は、発振器筺体と、この発振器筺体の外側に設けられ第一の反射鏡を有する第一の光学基台と、この第一の光学基台と前記発振器筺体を介して対向し前記第一の反射鏡と共振器を構成する第二の反射鏡を有する第二の光学基台と、前記発振器筺体の外表面上に架設され前記第一の光学基台と前記第二の光学基台とを接続する第一の接続部材及び第二の接続部材と、前記外表面の前記架設方向の中央部に設けられ前記第一の接続部材を保持固定する第一の支持部材と、前記外表面の前記架設方向の中央部に固定される取り付け部とこの取り付け部と係合し前記第二の接続部材を保持する移動保持部とを有し、前記架設方向と垂直方向の前記外表面の変位に対し前記取り付け部と前記移動保持部とが相対移動する第二の支持部材と、前記発振器筐体の側面に固定された支持台と、前記支持台上に設置され前記第一の接続部材または第二の接続部材を筐体上面の面内方向の自由度を有する形態で接続する接続手段とを備えたものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
この発明の第一の実施の形態による直交励起型レーザ発振器を、図1乃至図7を用いて説明する。
図1乃至図7において、上述の従来例の図に示すものと同一または相当のものは、上述の従来例の図に付した符号と同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
また、図1乃至図4において、発振器筺体1の上方を経由して光軸方向に延在する接続部材としての支持棒13,14は、それぞれ軸線方向(長手方向)の略中央部をブラケット20,21によって発振器筺体1上面の光軸方向略中央部に接続されている。
【0013】
2本の支持棒13,14のうち、発振器筺体1上面の熱変形の量が小さい側に位置する支持棒13の発振器筺体1に対する中央部接続は完全な固定接続とされる。他方、すなわち高温となったレーザ媒質ガスにより発振器筺体1上面の熱変形の量が大きい側の支持棒14の発振器筺体1に対する中央部接続は、その軸線方向の動きのみを拘束した可動接続とされている。
【0014】
具体的な構成としては、支持棒13のブラケット20は支持棒13と固定された状態で発振器筺体1上面に図示されていないボルト等により締結固定されている。支持棒14のブラケット21は、移動保持部としての保持ブラケット部21aと取り付け部としてのスライド台21bとからなり、保持ブラケット部21aが支持棒14と固定された状態で、発振器筺体1上面に固定されたスライド台21bに対してスライド可能に係合している。このブラケット21のスライド方向は、発振器筺体1上面に平行な面において光軸方向と直交する方向、すなわち図1の矢印Bの方向である。
【0015】
なお、ブラケット21のスライド構造は、リニアボールベアリング等により、スライドが低摩擦抵抗で行われるような構造が取られていることが好ましい。
【0016】
上述の構成によれば、支持棒13のブラケット20の位置が発振器筺体1の変形量の比較的少ない位置に設定されるから、支持棒13の変位量が、従来のものより減少する。図4において、点線で示されたものが初期すなわち熱変形する前の状態を、実線で示されたものが熱変形後の状態を示す。図4に示すとおり、支持棒13のブラケット20の位置は、熱変形の前後において、ほとんど位置が変わらない。
また、発振器筺体1上面の熱変形の量が大きい側に設けられた支持棒14のブラケット21は、その保持ブラケット部21aとスライド台21bとが発振器筺体1上面に平行な面において光軸方向と直交する方向にスライドすることにより相対移動可能である。このため、図4に示されているように、発振器筺体1の熱変形に支持棒14が追随することがなく、支持棒14の形状は、発振器筺体1の熱変形前の形状を維持し易いので、支持棒14の変形量は従来のものに比べ減少する。
【0017】
上述のように、支持棒13,14のいずれもが、従来のものと比較して、その変位量が減少するため、結果的に、これらの支持棒13,14と接続されている光学基台7,9の変位量も従来のものより減少し、レーザビームの光軸のずれ、すなわちレーザビーム位置の変動量が減少し、レーザビームの出射方向の経時安定性が向上する。
【0018】
また、上側2本の支持棒13,14はそれぞれ発振器筺体1の略中央部での接続支持に加えて、他の1箇所以上の位置、この実施の形態のものでは、発振器筺体1の側面に固定した支持台27の上に発振器筺体1上面の面内方向の自由度を有する状態で接続されている。
【0019】
図5は、支持棒13,14の発振器筺体1側面での支持部の断面図である。この支持棒13,14の両側端位置での支持は、球面継手23と二重のスライド台24,25による直交2方向に変位可能な直交可動台により行われている。この支持構造では、発振器筺体1と支持棒13,14との接続支持強度が強く、上下方向すなわち発振器筺体1の上面と離接する方向以外の直交2方向への変位及び回転が可能であり、発振器筺体1上面の面内方向すなわち面と平行な方向の変位を支持棒13,14に伝えることがない。
【0020】
また図6に示すように、この支持棒13,14の両側端位置での支持は、支持棒13,14に取り付けた転がり軸受26を軸線方向に移動可能なスライド台25の上に設置するといった構造でもよく、この支持構造では、少ないスペースでの支持が可能となり、またシンプルな構造であるため低コスト化を図れる。この支持構造においても転がり軸受26とスライド台25とにより、直交2方向に変位可能であり、また転がり軸受26はスライド台25上に乗っているだけで固定されていないため、自由に回転することができ、発振器筺体1上面の面内方向の変位を支持棒13,14に伝えることがない。
【0021】
また、この発振器筺体1の側面に固定された支持台を、図7に示すようなV字型支持台28としてもよく、この様な構造にすることにより、発振器筺体1の側面のうち、温度変化が少なく、発振器筺体1の熱変形の影響も受け難い、送風器4側に取り付けることも可能であり、この場合、V字型支持台28の発振器筺体1に対する上下方向の変位量は少なく、発振器筺体1の変形を支持棒13,14へ、より伝え難くする。
【0022】
支持棒13,14の端部近傍での発振器筺体1との接続は、発振器筺体1の熱変形による支持棒13,14の変形に影響を及すが、この接続は、発振器筺体1上面に面内方向の自由度を有する形態で、すなわち、球面継手23による球面継手運動により支持棒13,14が発振器筺体1上面に対して面内の全方向に傾斜変位可能で、2重のスライド台24,25による直交2方向に変位可能な直交可動台によるスライド運動によって発振器筺体1上面に対して直交2方向に変位可能に取り付けられているから、発振器筺体1の熱変形に支持棒13,14が追随する度合が極めて少なく、支持棒13,14は発振器筺体1の熱変形前の位置関係を維持し易いので、変形量は従来のものに比べ減少する。
【0023】
このため、支持棒13,14によって互いの位置関係が決められている全反射鏡6を保持した後部光学基台7と部分反射鏡8を保持した前部光学基台9との位置関係も初期設定時、すなわち発振器筺体1の熱変形前の位置関係を維持し易く、発振器筺体1の熱変形に伴なうレーザビームの光軸のズレが減少する。
さらに上述の構成により、レーザビームの光軸のズレの減少と、発振器筺体1と支持棒13,14との接続支持強度の向上とが、折衷的に両立する。
【0024】
また、支持台27或いはV字型支持台28を、温度変化の少ない発振器筺体1の側面に取り付けるため、支持棒13,14の変形量が少なくなり、レーザビームの経時安定性が向上する。
【0025】
実施の形態2.
この発明の第二の実施の形態による直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造を図8乃至図10を用いて説明する。なお、図8乃至図10において、図1乃至図7に示されているものと同一または相当のものは、図1乃至図7において付した符号と同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【0026】
この実施の形態では、発振器筺体1上側の2本の支持棒13,14はそれぞれ、発振器筺体1上面略中央部での接続支持において上下方向すなわち発振器筺体1の上面と離接する方向についても自由度を有する状態で接続されている。
【0027】
支持棒13のブラケット30は、支持棒13と固定された状態でリニアボールベアリングなどの軸受等の上下方向に移動可能な上下スライド機構32を介して発振器筺体1上面に固定され、このブラケット30は発振器筺体1上面に対して上下方向にスライドが可能である。
支持棒14のブラケット31は、保持ブラケット部31aが支持棒14と固定された状態で、発振器筺体1上面に固定されたスライド台31bにスライド可能に係合している。このとき、保持ブラケット部31aとスライド台31bとは上述の上下スライド機構32を介して係合されており、このブラケット31のスライド方向は、発振器筺体1上面に平行な面において光軸方向と直交する方向及び上下方向である。
【0028】
上述の構成によれば、支持棒13,14は、その発振器筺体1略中央部における固定点が上下方向に移動することができ、一方、その両端位置において上下方向に関して固定されているため、発振器筺体1中央部が熱変形により図10に示すように上下に変形した場合でも、支持棒13,14は発振器筺体1の熱変形に追随することがなく、支持棒13,14は発振器筺体1の熱変形前の位置関係を維持し易いので、変形量は従来のものに比べて減少する。
【0029】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、光共振器を構成する反射鏡を備えた光学基台が、発振器筺体の熱などによる変形の影響を受け難く、レーザビームの出射方向の経時安定性を向上でき、ひいては精度の高いレーザ照射を維持することができる、といった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の第一の実施の形態による直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造を示す斜視図。
【図2】 この発明の第一の実施の形態による直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造を示す平面図。
【図3】 この発明の第一の実施の形態による直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造を示す側面図。
【図4】 この発明の第一の実施の形態による直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造における熱変形状態を示す平面図。
【図5】 この発明の第一の実施の形態による直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造で使用される支持棒接続構造を示す断面図。
【図6】 この発明の第一の実施の形態による直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造で使用される支持棒接続構造を示す断面図。
【図7】 この発明の第一の実施の形態による直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造で使用される支持棒接続構造を示す側面図。
【図8】 この発明の第二の実施の形態による直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造を示す側面図。
【図9】 この発明の第二の実施の形態による光学基部支持構造で使用される支持棒接続構造を示す側面図。
【図10】 この発明の第二の実施の形態による光学基部支持構造における熱変形状態を示す側面図。
【図11】 従来の直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造を示す側面図。
【図12】 従来の直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造を示す平面図。
【図13】 一般的な直交励起型レーザ発振器の内部構造を示す斜視図。
【図14】 従来例の光学基部支持構造における熱変形状態を示す平面図。
【符号の説明】
1 発振器筺体
6 全反射鏡
7 後部光学基台
8 部分反射鏡
9 前部光学基台
13,14 支持棒
20,21 ブラケット
21a 保持ブラケット部
21b スライド台
Claims (4)
- 発振器筺体と、
この発振器筺体の外側に設けられ第一の反射鏡を有する第一の光学基台と、
この第一の光学基台と前記発振器筺体を介して対向し前記第一の反射鏡と共振器を構成する第二の反射鏡を有する第二の光学基台と、
前記発振器筺体の外表面上に架設され前記第一の光学基台と前記第二の光学基台とを接続する第一の接続部材及び第二の接続部材と、
前記外表面の前記架設方向の中央部に設けられ前記第一の接続部材を保持固定する第一の支持部材と、
前記外表面の前記架設方向の中央部に固定される取り付け部とこの取り付け部と係合し前記第二の接続部材を保持する移動保持部とを有し、前記架設方向と垂直方向の前記外表面の変位に対し前記取り付け部と前記移動保持部とが相対移動する第二の支持部材と、
前記発振器筐体の側面に固定された支持台と、
前記支持台上に設置され前記第一の接続部材または第二の接続部材を筐体上面の面内方向の自由度を有する形態で接続する接続手段とを備えたことを特徴とするレーザ発振器。 - 前記支持台は、V字形状を有し、V字形状の一端部に前記第一の接続部材を接続する接続手段を設置し、他端部に前記第二の接続部材を接続する接続手段を設置したものであることを特徴とする請求項1に記載のレーザ発振器。
- 前記接続手段は、前記支持台上に設けられたスライド台と、前記第一の接続部材または第二の接続部材に取り付けられ前記スライド台上に固定されずに設置された転がり軸受であることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載のレーザ発振器。
- 発振器筺体と、
この発振器筺体の外側に設けられ第一の反射鏡を有する第一の光学基台と、
この第一の光学基台と前記発振器筺体を介して対向し前記第一の反射鏡と共振器を構成する第二の反射鏡を有する第二の光学基台と、
前記発振器筺体の外表面上に架設され前記第一の光学基台と前記第二の光学基台とを接続する第一の接続部材及び第二の接続部材と、
前記外表面の前記架設方向の中央部に設けられ前記第一の接続部材を前記発振器筺体上面に対して上下方向にスライド可能に保持固定する第一の支持部材と、
前記外表面の前記架設方向の中央部に固定される取り付け部と前記発振器筐体の上面に対して上下方向にスライド可能にこの取り付け部と係合し前記第二の接続部材を保持する移動保持部とを有する第二の支持部材とを備えたことを特徴とするレーザ発振器。
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