JPH0221678A

JPH0221678A - 軸流形ガスレーザ装置

Info

Publication number: JPH0221678A
Application number: JP17101488A
Authority: JP
Inventors: Koichi Masuda; 浩一増田
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1988-07-11
Filing date: 1988-07-11
Publication date: 1990-01-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、軸流形ガスレーザ装置に係り、特にその放電
部の支持構造に関する。

（従来の技術）以下、従来の軸流形ガスレーザ装置を図面を用いて説明
する。

第２図に従来から用いられている軸流形ガスレーザ装置
の構成を示す。放電管１の両端には出力ミラー２及び全
反射ミラー３が設けられており、共振器を構成している
。この放電管１には熱交換器４によって冷却されたレー
ザガスが、ガス循環用送風機５によって供給されており
、放電管１に設けられたアノード電極６及びカソード電
極７にバラスト抵抗８を通して、高電圧電源９から電力
が供給される。

第３図は、その共振部と放電部の構造例を示している。

共振部については、簡単に図示しであるが、それぞれ出
力ミラー（図示せず）、全反射ミラー（図示せず）と共
振器板１０ａ、　ＬＯｂから構成されている。そして、
これら一対の共振器板ＬＯａ、１０ｂは例えば熱膨張係
数の小さな材料でできた支持棒１１によって、その平行
度と間隔が一定に保たれるように、固定されている。ま
た、この中でレーザガスを励起する放電管１は、放電管
保持板１２によって固定されているが、その放電管保持
板１２は、放電管１の中心軸が出力ミラーと全反射ミラ
ーの曲率中心を結ぶ光軸上と重なる必要があるため４本
の支持棒１１に共振器板１０ａ、１０ｂと同様に放電管
保持板１２を固定し、その中心軸を合わせていた。

また、これらほとんど一体となった放電部と共振器部は
共振器板１０ａ、　１０ｂでベース１３に防振ゴム１４
を介して、固定されており、ガス循環用送風機（図示せ
ず）から伝わる振動が共振器部に直接伝わらないよう考
慮されている。

（発明が解決しようとする課題）しかし、このような構造の従来の軸流形ガスレーザ装置
ではレーザ出力の安定性やレーザビームモードの安定性
に問題が生じることがあり、レーザ発振器の信頼性を損
なっていた。

レーザ出力及びモードの安定性を向上させることは、レ
ーザ発振器では重要であるが、この問題は、共振器の出
力ミラーや全反射ミラーの位置関係の長期的変化及び短
期的変化に原因があり、次の２点が主原因となっていた
。つまり、■共振器に伝わる振動 ■共振器とその位置関係をきめる部材の熱膨張による変
化である。

前述したような第３図に示した従来の構造のレーザ発振
器では、放電部の重量が全て支持棒１１に加わるため、
支持棒１１がたわみ、共振器１０ａ、　１０ｂの位置関
係や傾きが変化しやすく、また、放電管１及びガス排出
管■５にはレーザガスを循環させるガス配管が接続され
ているため、ガス循環用送風機からの振動が放電管１、
放電管保持板１２へ伝わり、支持棒１１から共振器１０
ａ、　ｆｏｂに伝わるため、共振器の傾きが振動によっ
て微妙に変化し、レーザ出力及びモードの安定性を損ね
ていた。さらに、放電部の自重によって、その振動が共
振し、大きくなり、レーザ発振器の安定性を低下させて
いた。

また、このような機械的振動の影響の他には、放電部で
発生する熱によって、放電管保持板１２が熱膨張をする
ため、それを固定している支持棒１１に力を加え、共振
器の安定を損ねていた。

そこで、本発明は、この問題を簡易な方法で解決し、レ
ーザ発振器の安定性を向上させる軸流形ガスレーザ装置
を提供することを目的とする。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）上記目的を達成するために、本発明では、少なくとも一
対の電極を設けた放電管と、この放電管にレーザ媒質を
供給するレーザ媒質循環手段と放電管の両端に設けられ
た一対のレーザ発振用ミラーを備えた共振手段から成る
軸流形ガスレーザ装置において、放電管の両端に各々設
けられたレーザ発振ミラーの間隔及び平行度を一定に保
持するミラー支持手段と、放電管を支持する放電管支持
手段とを備え、この放電管支持手段が、共振手段及びミ
ラー支持手段とは別取付された軸流形ガスレーザ装置を
提供する。

（作用）以上のように構成された軸流形ガスレーザ装置に、おい
ては、放電管支持手段が、共振手段及びミラー支持手段
とは独立して設けられているので、レーザ媒質循環手段
から生じる機械的振動を共振手段へ伝達させず、放電管
で発生する熱による影響を他の構成部分に与えることを
防止できる。

（実施例）以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。

第１図において、共振器構成は従来例と同様で、レーザ
発振用ミラーを持つ１対共振器板１０ａ、１０ｂが、熱
膨張係数の小さな材料でできた支持棒１１でその間隔と
平行度が保たれるように固定されている。そして、この
共振器部は、共振器板１０ａ、１０ｂで防振ゴム１４に
よってベース■３に固定されている。

放電管１は、図示していないが、０リングを介して放電
管保持板１２及び共振器板１０ａ、１０ｂに取り付けて
あり、放電管保持板１２は放電管１の中心軸が光軸と重
なるように、精度よくベース１３に直接固定されている
。

次に、実施例の作用について説明する。

レーザ発振器の安定性に関しては、前述したように共振
器部の振動による位置関係のずれが大きく影響するが、
実施例の放電部の支持によると、レーザ発振器内の送風
機から伝わる振動が、放電管１及びガス排出管１５に伝
わっても、放電管１と共振器板１０ａ、ｌＯｂは、Ｏリ
ングを介して取り付けてあり、又、放電管保持板１２が
直接ベース１３に取りつけであるため、振動は直接共振
器へ伝わらない。そして、フレームに伝わった振動も共
振器板１０ａ、１０ｂを支持する防振ゴム１４によって
減衰される。

この結果、共振器の振動は減少し、レーザ発振器の安定
性は向上する。また、従来のように、放電部が支持棒１
１に固定された構造であると、その自重のため振動が共
振によって増幅することもあり、支持棒１１及び共振器
の振動を大きくしてしまうが、本実施例の場合、放電部
の固定が共振器とは別であるため、この悪影響はない。

さらに、放電部に発生する熱によって放電管保持板１２
が熱膨張するが、従来のように、熱膨張によって支持棒
１１に力が加わることもないため、共振器に及ぼす影響
もなく、レーザ出力やモードの安定性が向上する。

また、本実施例では、放電管１の中心軸と光軸が重なる
ように精度よく組み立てているが、池の実施例として、
放電管保持板１２に高さ調整機構及び前後左右位置調整
機構を設けてもよい。これらの機構を設けることにより
、光軸と中心軸の位置調整がより簡単になる。

［発明の効果コ以上述べたように、本発明によれば、一対の共振手段が
熱膨張係数の小さな材料でできたミラー支持手段によっ
て、その平行度と間隔が一定に保たれるように支持され
、放電管を支える放電管支持手段を共振手段やミラー支
持手段には直接固定しない構造としたので、共振手段に
伝わる振動を減少させ、又、放電部の温度上昇による熱
膨張が共振手段に及ぼす影響を無視できる。そのため、
レーザ出力やモードの安定性を向上させることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を示す部分構成図、第２図
は従来の軸流形ガスレーザ装置の全体概要図、第３図は
、第２図に示した放電管及び出力ミラー、全反射ミラー
の構成を示す部分構成図である。１・・・放電管、　　２・・・出力ミラー３・・・全反
射ミラー、　　５・・・ガス循環用送風機。１０ａ、１０ｂ・・・共振器板、　　１１・・・支持棒
。１２・・・放電管保持板代理人　弁理士　則　近　憲　佑同第　　子　　丸健 ÷ 第２図

Claims

【特許請求の範囲】

少なくとも一対の電極を設けた放電管と、この放電管に
レーザ媒質を供給するレーザ媒質循環手段と、前記放電
管の両端に各々設けられたレーザ発振ミラーを備えた共
振手段とから成る軸流形ガスレーザ装置において、前記
放電管の両端に各々設けられたレーザ発振ミラーの間隔
及び平行度を一定に保持するミラー支持手段と、前記放
電管を支持する放電管支持手段とを具備し、前記放電管
支持手段が前記共振手段及び前記ミラー支持手段とは別
取付されたことを特徴とする軸流形ガスレーザ装置。