JPS6095983A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6095983A JPS6095983A JP20255983A JP20255983A JPS6095983A JP S6095983 A JPS6095983 A JP S6095983A JP 20255983 A JP20255983 A JP 20255983A JP 20255983 A JP20255983 A JP 20255983A JP S6095983 A JPS6095983 A JP S6095983A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- laser
- laser oscillator
- discharge tube
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はレーザ発振器に関する。
従来技術として第１図に示す一般的な内部ミラー形式の
ガスレーザ発振器（１）の−例を挙り゛て説明する。上
記発振器（１）は陰極および陽極とからなる主電極（図
示せず）を有するレーザ放電管（２）とこのレーザ放電
管の両端部にそれぞれ設けられるベローズ（３ａ）、
（３ｂ）と、これらベローズと結合する支持板（４ｇ）
、 （４ｂ）と、これら★、Ｊ４板に互いの反射面を対
向して支持される共振器Ｗを構成−Ｉる反射鏡（５）
、 （６１および支持板（４ａ）、 （４ｂ）をレーザ
放Ｅ ’ｊ−７（２）の外側の位置で支持する複数の支
持棒（７）とで４１４成されている。支持棒（力は低熱
膨張金属あるいは低熱膨張ガラス等の利料からなる。と
ころでレ−ザ放電管（２）で発生した熱はとのレーザ放
電管（２）用の冷却機構（図示せず）によって吸収され
るが、熱の何割かは熱放射で支持棒（７）や支持板（４
ａ）、（４ｂ）に伝わるた、め、これらはレーザ放電管
（２）と独立して動き得るように構成されている。しか
し、ＴＥレーザ、 ’１’ＥＡレーザあるいはエキシマ
レーザのようにレーザ放電管の口径が大きくなる発振器
の場合では、上記の構成ではその口径に比例して支持板
（４ａ）、 （４ｂ）の重量９寸法が大きくなり、また
、支持棒（７）も具直度を保つだめ自重の増加した支持
板に合わせて太くする必要があり、発振器自体が大型化
すると同時に支持棒（力の材料も高価であり。
ガスレーザ発振器（１）の−例を挙り゛て説明する。上
記発振器（１）は陰極および陽極とからなる主電極（図
示せず）を有するレーザ放電管（２）とこのレーザ放電
管の両端部にそれぞれ設けられるベローズ（３ａ）、
（３ｂ）と、これらベローズと結合する支持板（４ｇ）
、 （４ｂ）と、これら★、Ｊ４板に互いの反射面を対
向して支持される共振器Ｗを構成−Ｉる反射鏡（５）
、 （６１および支持板（４ａ）、 （４ｂ）をレーザ
放Ｅ ’ｊ−７（２）の外側の位置で支持する複数の支
持棒（７）とで４１４成されている。支持棒（力は低熱
膨張金属あるいは低熱膨張ガラス等の利料からなる。と
ころでレ−ザ放電管（２）で発生した熱はとのレーザ放
電管（２）用の冷却機構（図示せず）によって吸収され
るが、熱の何割かは熱放射で支持棒（７）や支持板（４
ａ）、（４ｂ）に伝わるた、め、これらはレーザ放電管
（２）と独立して動き得るように構成されている。しか
し、ＴＥレーザ、 ’１’ＥＡレーザあるいはエキシマ
レーザのようにレーザ放電管の口径が大きくなる発振器
の場合では、上記の構成ではその口径に比例して支持板
（４ａ）、 （４ｂ）の重量９寸法が大きくなり、また
、支持棒（７）も具直度を保つだめ自重の増加した支持
板に合わせて太くする必要があり、発振器自体が大型化
すると同時に支持棒（力の材料も高価であり。
その経費増加も見逃せない問題があった。
〔発明の目的〕
本発明は大口径のレーザ放電管を有するレーザ発振器の
小形化を目的とするものである。
小形化を目的とするものである。
光共振器の支持板を支持している支持棒をレーザ放電管
に貫通させる構成により、支持板を小さくシ、また、支
持棒を細くシてレーザ発振器の小形化を達成するように
したものである、。
に貫通させる構成により、支持板を小さくシ、また、支
持棒を細くシてレーザ発振器の小形化を達成するように
したものである、。
以下１本発明を実施例を示す図面に基いて説明する。
本発明を内部ミラー形式のガスレーザ発揚器に適用した
一実施例を示す第２図において、０（Ｄはこの実施例の
発振器（１０ａ）の主構成要素であるレーザ放電管で、
ＳＵＳ製もしくはテフロン（商品名）内面コートした樹
脂製等耐食性を考慮した材料からなる管本体０υとこの
管本体の両端に０リング（１２ａ）、 （１２ｂ）を介
して気密に取り付けられる上記管本体と同様の材質から
なる端部材（１３ａ）、 （１３ｂ）とで構成されてい
る。レーザ放電管（則にけレーザ媒質が封じ込まれ、ま
た陰極、陽極からなる主電極（図示せず）が内設されて
いる。レーザ放電管回内で発生した光をレーザ発揚に至
らしめるためにレーザ放電管（１０）の軸線上に一対の
反射鏡０４）と１１５１とで構成される光共振器がそれ
ぞれベローズ１１ｂ）を介して設けられている。全反射
鏡圓と部分反射睨０９は光軸調整のために調整機構（図
示せず）をもつ支持板（１７ａ）、 （１７ｂ）に支持
されている。一方。
一実施例を示す第２図において、０（Ｄはこの実施例の
発振器（１０ａ）の主構成要素であるレーザ放電管で、
ＳＵＳ製もしくはテフロン（商品名）内面コートした樹
脂製等耐食性を考慮した材料からなる管本体０υとこの
管本体の両端に０リング（１２ａ）、 （１２ｂ）を介
して気密に取り付けられる上記管本体と同様の材質から
なる端部材（１３ａ）、 （１３ｂ）とで構成されてい
る。レーザ放電管（則にけレーザ媒質が封じ込まれ、ま
た陰極、陽極からなる主電極（図示せず）が内設されて
いる。レーザ放電管回内で発生した光をレーザ発揚に至
らしめるためにレーザ放電管（１０）の軸線上に一対の
反射鏡０４）と１１５１とで構成される光共振器がそれ
ぞれベローズ１１ｂ）を介して設けられている。全反射
鏡圓と部分反射睨０９は光軸調整のために調整機構（図
示せず）をもつ支持板（１７ａ）、 （１７ｂ）に支持
されている。一方。
レーザ放電管（ｌ■には好ましくはＳＵＳ、、合成樹脂
等耐食材料からなる４本の管体（１８が上記光共］辰器
の光軸方向に沿いかつ等配位置になって端部材（１３ａ
）。
等耐食材料からなる４本の管体（１８が上記光共］辰器
の光軸方向に沿いかつ等配位置になって端部材（１３ａ
）。
（１３ｂ）を貫通して設けられている。管体（ｌはそれ
ぞれ端部材（１３ａ）、 （１３ｂ）に溶接もしくはＱ
ＩＪソングにより気否に固着もしくは脱着自任に取り
付けられている。これら管体０８にはそれぞれ低熱膨張
係数を有す金属あるいはガラス、セラミツ、り等の無機
質材からなる支持棒Ｑ！Ｊが管体Ｑ咎の両端から突出し
て挿入されている。これら支持棒０Ｉは管体ｕ樽と共に
上記支持板（１７８）、 （１７ｂ）を支持する状態に
係合している。
ぞれ端部材（１３ａ）、 （１３ｂ）に溶接もしくはＱ
ＩＪソングにより気否に固着もしくは脱着自任に取り
付けられている。これら管体０８にはそれぞれ低熱膨張
係数を有す金属あるいはガラス、セラミツ、り等の無機
質材からなる支持棒Ｑ！Ｊが管体Ｑ咎の両端から突出し
て挿入されている。これら支持棒０Ｉは管体ｕ樽と共に
上記支持板（１７８）、 （１７ｂ）を支持する状態に
係合している。
以上の構成により、支持板（１７ａ）、 （１７ｂ）の
寸法は原理的には光共振器を構成する鏡の大きさによっ
て一義的に決定され、レーザ放電管（１１の断面積には
あまり依存しないものとなる。まだ、光共振器を支持す
る支持棒ｕｉ、支持板（１７ａ）、 （１７ｂ）等の構
成は端部材（ｘ３ａ）、 （１３ｂ）とともに管本体（
１υから取り外せることが可能になり、光共振器の光軸
位置を保ったまま管本体ａυの内部の調整１点検をする
ことができる。
寸法は原理的には光共振器を構成する鏡の大きさによっ
て一義的に決定され、レーザ放電管（１１の断面積には
あまり依存しないものとなる。まだ、光共振器を支持す
る支持棒ｕｉ、支持板（１７ａ）、 （１７ｂ）等の構
成は端部材（ｘ３ａ）、 （１３ｂ）とともに管本体（
１υから取り外せることが可能になり、光共振器の光軸
位置を保ったまま管本体ａυの内部の調整１点検をする
ことができる。
なお、支持棒ｕｌは中実体に限らず中空体でもよい。ま
た、特に支持棒が長くなった場合、その自重のため支持
板（１７ａ）、 （１７ｂ）の端面および光共振器の調
整機構に含まれる板ばね（図示せず）だけでは支持板（
１７ａ）、 （１７ｂ）を持ちこたえられないことを考
慮し、＠３図に示すように、１本の支持棒とせず、複数
の支持棒（２１にしそれらの間に駒ｅυを配置するよう
に構成してもよい。なお、この構成において、支持棒（
割は駒（２１）を１点で支えるようにし、変形に対する
多次元の自ＩＪｊ Ｉｆを持たせることが好ましい。
た、特に支持棒が長くなった場合、その自重のため支持
板（１７ａ）、 （１７ｂ）の端面および光共振器の調
整機構に含まれる板ばね（図示せず）だけでは支持板（
１７ａ）、 （１７ｂ）を持ちこたえられないことを考
慮し、＠３図に示すように、１本の支持棒とせず、複数
の支持棒（２１にしそれらの間に駒ｅυを配置するよう
に構成してもよい。なお、この構成において、支持棒（
割は駒（２１）を１点で支えるようにし、変形に対する
多次元の自ＩＪｊ Ｉｆを持たせることが好ましい。
また、上記実施例では内部ミラータイプの場合を示した
が、外部ミラー形や不安定共振器の場合のレーザ発振装
置に適合しても支障ないことは明らかである。
が、外部ミラー形や不安定共振器の場合のレーザ発振装
置に適合しても支障ないことは明らかである。
光共振器を支持する支持機構の一要素である支持棒をレ
ーザ放ｉＩｔ管の外側を囲う位置でなく、し−ザ放電管
を貫通する位置に設けた構成により支持機構の占める面
積が小さくな抄、レーザ発振器全体が大口径のレーザ放
電管にも拘らず著しく小型にすることが可能となった。
ーザ放ｉＩｔ管の外側を囲う位置でなく、し−ザ放電管
を貫通する位置に設けた構成により支持機構の占める面
積が小さくな抄、レーザ発振器全体が大口径のレーザ放
電管にも拘らず著しく小型にすることが可能となった。
、、まだ、上述したように光共振器の光軸合せを分解す
る都度行っていた弊害も本発明により解消することがで
きた。
る都度行っていた弊害も本発明により解消することがで
きた。
第１図は従来の構成を示す概略断面図％第２図は本発明
の一実施例を示す断面図、第３図は本発明の他の実施例
を示す要部断面図である。 ＯＣｊ・・・レーザ放電管 （１３ａ）、 （１３ｂ）
−・・端部材０ａ、αす・・・反射鏡 （１７ａ）、
（１７ｂ）・・・支持板Ｕ・・・管 体 （１９）・
・・支持搾成１ｊ人ノｉｌ１士 側近帖て佑（（、がＬ
６〕第１ｉ！ｌ！Ｉ ｌ 第２図 ／／）／１
の一実施例を示す断面図、第３図は本発明の他の実施例
を示す要部断面図である。 ＯＣｊ・・・レーザ放電管 （１３ａ）、 （１３ｂ）
−・・端部材０ａ、αす・・・反射鏡 （１７ａ）、
（１７ｂ）・・・支持板Ｕ・・・管 体 （１９）・
・・支持搾成１ｊ人ノｉｌ１士 側近帖て佑（（、がＬ
６〕第１ｉ！ｌ！Ｉ ｌ 第２図 ／／）／１
Claims (3)
- （１）レーザ媒質が封入され少くとも一対以上の陰極と
陽極とからなる王＋［極を有するレーザ放電管と、上記
主極を介して放ｉ１ｊさせる電源と、上６Ｌ：レーザ放
電管内で褪生じた光をレーザ発振に至らしめる一対以上
の鏡からなる光共振器と上記光共振器を支持する支持機
構とを備えるレーザ発振器において、上記支持機構は上
記レーザ放電管を上記光共振器の光軸方向に沿って貫通
しかつこのレーザ放電管の両端部材に気密に結合する複
数の管体とこれら管体内を挿通しかつ両側外部に突出し
て設けられる複数の棒状もしくは管状の支持部材とこれ
ら管体および支持部利に支持され上ｔｅ光共振器を構成
する絣をそれぞれの反射面が対向する向きに支持する支
持板とで構成されることを特徴とするレーザ発振器。 - （２）管体は両端部利と一体になって管本体に脱着自在
になることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレ
ーザ発振器。 - （３）支持部材は低熱膨張係数を有する金属もしくは無
機物からなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20255983A JPS6095983A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20255983A JPS6095983A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6095983A true JPS6095983A (ja) | 1985-05-29 |
| JPS64829B2 JPS64829B2 (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=16459499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20255983A Granted JPS6095983A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6095983A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5278859A (en) * | 1991-09-13 | 1994-01-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Stripline laser |
-
1983
- 1983-10-31 JP JP20255983A patent/JPS6095983A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5278859A (en) * | 1991-09-13 | 1994-01-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Stripline laser |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS64829B2 (ja) | 1989-01-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3851272A (en) | Gaseous laser with cathode forming optical resonator support and plasma tube envelope | |
| JPH01119080A (ja) | レーザー空胴の光路を延長する方法及びレーザー共振器 | |
| US5432811A (en) | Laser rod with polyhedron shaped ends | |
| US3883820A (en) | Gas laser having improved multiple-part resonator adjustment | |
| US4464763A (en) | Laser optical mount | |
| US7274722B2 (en) | CO2 slab laser | |
| US4887270A (en) | Continuous wave, frequency doubled solid state laser systems with stabilized output | |
| JPS6095983A (ja) | レ−ザ発振器 | |
| US3588737A (en) | Thermally stabilized laser | |
| CA1277757C (en) | Optical resonator and laser | |
| AU595277B2 (en) | Laser apparatus | |
| EP1130699B1 (en) | Adjustable mounting unit for an optical element of a gas laser | |
| US5177751A (en) | Laser apparatus | |
| US4190812A (en) | Laser head | |
| US4143339A (en) | Laser plasma tube having internal gas path | |
| JPH10284775A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JP2937441B2 (ja) | Ｈｅ―Ｎｅガスレーザ装置 | |
| JP3048396B2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS62159484A (ja) | ガスレ−ザ管 | |
| JPS633481A (ja) | ガスレ−ザ管 | |
| JPH02122586A (ja) | 固体レーザ発振器 | |
| JPS61245587A (ja) | 固体レ−ザ発振装置 | |
| JPS6218780A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS61212078A (ja) | スラブ形レ−ザ装置 | |
| JPS5855663Y2 (ja) | レ−ザ−発振装置 |