JPS64829B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS64829B2 JPS64829B2 JP20255983A JP20255983A JPS64829B2 JP S64829 B2 JPS64829 B2 JP S64829B2 JP 20255983 A JP20255983 A JP 20255983A JP 20255983 A JP20255983 A JP 20255983A JP S64829 B2 JPS64829 B2 JP S64829B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- support
- tube
- optical resonator
- discharge tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はレーザ発振器に関する。
従来技術として第１図に示す一般的な内部ミラ
ー形式のガスレーザ発振器１の一例を挙げて説明
する。上記発振器１は陰極および陽極とからなる
主電極（図示せず）を有するレーザ放電管２とこ
のレーザ放電管の両端部にそれぞれ設けられるベ
ローズ３ａ，３ｂと、これらベローズと結合する
支持板４ａ，４ｂと、これら支持板に互いの反射
面を対向して支持される共振器鏡を構成する反射
鏡５，６および支持板４ａ，４ｂをレーザ放電管
２の外側の位置で支持する複数の支持棒７とで構
成されている。支持棒７は低熱膨張金属あるいは
低熱膨張ガラス等の材料からなる。ところでレー
ザ放電管２で発生した熱はのこのレーザ放電管２
用の冷却機構（図示せず）によつて吸収される
が、熱の何割かは熱放射で支持棒７や支持板４
ａ，４ｂに伝わるため、これらはレーザ放電管２
と独立して動き得るように構成されている。しか
し、TEレーザ、TEAレーザあるいはエキシマレ
ーザのようにレーザ放電管の口径が大きくなる発
振器の場合では、上記の構成ではその口径に比例
して支持板４ａ，４ｂの重量、寸法が大きくな
り、また、支持棒７も真直度を保つため自重の増
加した支持板に合わせて太くする必要があり、発
振器自体が大型化すると同時に支持棒７の材料も
高価であり、その経費増加も見逃せない問題があ
つた。
ー形式のガスレーザ発振器１の一例を挙げて説明
する。上記発振器１は陰極および陽極とからなる
主電極（図示せず）を有するレーザ放電管２とこ
のレーザ放電管の両端部にそれぞれ設けられるベ
ローズ３ａ，３ｂと、これらベローズと結合する
支持板４ａ，４ｂと、これら支持板に互いの反射
面を対向して支持される共振器鏡を構成する反射
鏡５，６および支持板４ａ，４ｂをレーザ放電管
２の外側の位置で支持する複数の支持棒７とで構
成されている。支持棒７は低熱膨張金属あるいは
低熱膨張ガラス等の材料からなる。ところでレー
ザ放電管２で発生した熱はのこのレーザ放電管２
用の冷却機構（図示せず）によつて吸収される
が、熱の何割かは熱放射で支持棒７や支持板４
ａ，４ｂに伝わるため、これらはレーザ放電管２
と独立して動き得るように構成されている。しか
し、TEレーザ、TEAレーザあるいはエキシマレ
ーザのようにレーザ放電管の口径が大きくなる発
振器の場合では、上記の構成ではその口径に比例
して支持板４ａ，４ｂの重量、寸法が大きくな
り、また、支持棒７も真直度を保つため自重の増
加した支持板に合わせて太くする必要があり、発
振器自体が大型化すると同時に支持棒７の材料も
高価であり、その経費増加も見逃せない問題があ
つた。
本発明は大口径のレーザ放電管を有するレーザ
発振器の小形化を目的とするものである。
発振器の小形化を目的とするものである。
光共振器の支持板を支持している支持棒をレー
ザ放電管に貫通させる構成により、支持板を小さ
くし、また、支持棒を細くしてレーザ発振器の小
形化を達成するようにしたものである。
ザ放電管に貫通させる構成により、支持板を小さ
くし、また、支持棒を細くしてレーザ発振器の小
形化を達成するようにしたものである。
以下、本発明を実施例を示す図面に基いて説明
する。
する。
本発明を内部ミラー形式のガスレーザ発振器に
適用した一実施例を示す第２図において、１０は
この実施例の発振器１０ａの主構成要素であるレ
ーザ放電管で、SUS製もしくはテフロン（商品
名）内面コートした樹脂製等耐食性を考慮した材
料からなる管本体１１とこの管本体の両端にＯリ
ング１２ａ，１２ｂを介して気密に取り付けられ
る上記管本体と同様の材質からなる端部材１３
ａ，１３ｂとで構成されている。レーザ放電管１
０にレーザ媒質が封じ込まれ、また陰極、陽極か
らなる主電極（図示せず）が内設されている。レ
ーザ放電管１０内で発生した光をレーザ発振に至
らしめるためにレーザ放電管１０の軸線上に一対
の反射鏡１４と１５とで構成される光共振器がそ
れぞれベローズ１６を介して設けられている。全
反射鏡１４と部分反射鏡１５は光軸調整のために
調整機構（図示せず）をもつ支持板１７ａ，１７
ｂに支持されている。一方、レーザ放電管１０に
好ましくはSUS、合成樹脂等耐食材料からなる
４本の管体１８が上記光共振器の光軸方向に沿い
かつ等配位置になつて端部材１３ａ，１３ｂを貫
通して設けられている。管体１８はそれぞれ端部
材１３ａ，１３ｂに溶接もしくはＯリング等によ
り気密に固着もしくは脱着自在に取り付けられて
いる。これら管体１８にはそれぞれ低熱膨張係数
を有す金属あるいはガラス、セラミツク等の無機
質材からなる支持棒１９が管体１８の両端から突
出して挿入されている。これら支持棒１９は管体
１８と共に上記支持板１７ａ，１７ｂを支持する
状態に係合している。
適用した一実施例を示す第２図において、１０は
この実施例の発振器１０ａの主構成要素であるレ
ーザ放電管で、SUS製もしくはテフロン（商品
名）内面コートした樹脂製等耐食性を考慮した材
料からなる管本体１１とこの管本体の両端にＯリ
ング１２ａ，１２ｂを介して気密に取り付けられ
る上記管本体と同様の材質からなる端部材１３
ａ，１３ｂとで構成されている。レーザ放電管１
０にレーザ媒質が封じ込まれ、また陰極、陽極か
らなる主電極（図示せず）が内設されている。レ
ーザ放電管１０内で発生した光をレーザ発振に至
らしめるためにレーザ放電管１０の軸線上に一対
の反射鏡１４と１５とで構成される光共振器がそ
れぞれベローズ１６を介して設けられている。全
反射鏡１４と部分反射鏡１５は光軸調整のために
調整機構（図示せず）をもつ支持板１７ａ，１７
ｂに支持されている。一方、レーザ放電管１０に
好ましくはSUS、合成樹脂等耐食材料からなる
４本の管体１８が上記光共振器の光軸方向に沿い
かつ等配位置になつて端部材１３ａ，１３ｂを貫
通して設けられている。管体１８はそれぞれ端部
材１３ａ，１３ｂに溶接もしくはＯリング等によ
り気密に固着もしくは脱着自在に取り付けられて
いる。これら管体１８にはそれぞれ低熱膨張係数
を有す金属あるいはガラス、セラミツク等の無機
質材からなる支持棒１９が管体１８の両端から突
出して挿入されている。これら支持棒１９は管体
１８と共に上記支持板１７ａ，１７ｂを支持する
状態に係合している。
以上の構成により、支持板１７ａ，１７ｂの寸
法は原理的には光共振器を構成する鏡の大きさに
よつて一義的に決定され、レーザ放電管１０の断
面積にはあまり依存しないものとなる。また、光
共振器を支持する支持棒１９、支持板１７ａ，１
７ｂ等の構成は端部材１３ａ，１３ｂとともに管
本体１１から取り外せることが可能になり、光共
振器の光軸位置を保つたまま管本体１１の内部の
調整、点検をすることができる。
法は原理的には光共振器を構成する鏡の大きさに
よつて一義的に決定され、レーザ放電管１０の断
面積にはあまり依存しないものとなる。また、光
共振器を支持する支持棒１９、支持板１７ａ，１
７ｂ等の構成は端部材１３ａ，１３ｂとともに管
本体１１から取り外せることが可能になり、光共
振器の光軸位置を保つたまま管本体１１の内部の
調整、点検をすることができる。
なお、支持棒１９は中実体に限らず中空体でも
よい。また、特に支持棒が長くなつた場合、その
自重のため支持板１７ａ，１７ｂの端面および光
共振器の調整機構に含まれる板ばね（図示せず）
だけでは支持板１７ａ，１７ｂを持ちこたえられ
ないことを考慮し、第３図に示すように、１本の
支持棒とせず、複数の支持棒２０にしそれらの間
に駒２１を配置するように構成してもよい。な
お、この構成において、支持棒２０は駒２１を１
点で支えるようにし、変形に対する多次元の自由
度を持たせることが好ましい。
よい。また、特に支持棒が長くなつた場合、その
自重のため支持板１７ａ，１７ｂの端面および光
共振器の調整機構に含まれる板ばね（図示せず）
だけでは支持板１７ａ，１７ｂを持ちこたえられ
ないことを考慮し、第３図に示すように、１本の
支持棒とせず、複数の支持棒２０にしそれらの間
に駒２１を配置するように構成してもよい。な
お、この構成において、支持棒２０は駒２１を１
点で支えるようにし、変形に対する多次元の自由
度を持たせることが好ましい。
また、上記実施例では内部ミラータイプの場合
を示したが、外部ミラー形や不安定共振器の場合
のレーザ発振装置に適合しても支障ないことは明
らかである。
を示したが、外部ミラー形や不安定共振器の場合
のレーザ発振装置に適合しても支障ないことは明
らかである。
光共振器を支持する支持機構の一要素である支
持棒をレーザ放電管の外側を囲う位置でなく、レ
ーザ放電管を貫通する位置に設けた構成により支
持機構の占める面積が小さくなり、レーザ発振器
全体が大口径のレーザ放電管にも抱らず著しく小
型にすることが可能となつた。また、上述したよ
うに光共振器の光軸合せを分解する都度行つてい
た蔽害も本発明により解消することができた。
持棒をレーザ放電管の外側を囲う位置でなく、レ
ーザ放電管を貫通する位置に設けた構成により支
持機構の占める面積が小さくなり、レーザ発振器
全体が大口径のレーザ放電管にも抱らず著しく小
型にすることが可能となつた。また、上述したよ
うに光共振器の光軸合せを分解する都度行つてい
た蔽害も本発明により解消することができた。
第１図は従来の構成を示す概略断面図、第２図
は本発明の一実施例を示す断面図、第３図は本発
明の他の実施例を示す要部断面図である。 １０……レーザ放電管、１３ａ，１３ｂ……端
部材、１４，１５……反射鏡、１７ａ，１７ｂ…
…支持板、１８……管体、１９……支持棒。
は本発明の一実施例を示す断面図、第３図は本発
明の他の実施例を示す要部断面図である。 １０……レーザ放電管、１３ａ，１３ｂ……端
部材、１４，１５……反射鏡、１７ａ，１７ｂ…
…支持板、１８……管体、１９……支持棒。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ レーザ媒質が封入され少くとも一対以上の陰
極と陽極とからなる主電極を有するレーザ放電管
と、上記主極を介して放電させる電源と、上記レ
ーザ放電管内で発生した光をレーザ発振に至らし
める一対以上の鏡からなる光共振器と上記光共振
器を支持する支持機構とを備えるレーザ発振器に
おいて、上記支持機構は上記レーザ放電管を上記
光共振器の光軸方向に沿つて貫通しかつこのレー
ザ放電管の両端部材に気密に結合する複数の管体
とこれら管体内を挿通しかつ両側外部に突出して
設けられる複数の棒状もしくは管状の支持部材と
これら管体および支持部材に支持され上記光共振
器を構成する鏡をそれぞれの反射面が対向する向
きに支持する支持板とで構成されることを特徴と
するレーザ発振器。 ２ 管体は両端部材と一体になつて管本体に脱着
自在になることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のレーザ発振器。 ３ 支持部材は低熱膨張係数を有する金属もしく
は無機物からなることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20255983A JPS6095983A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20255983A JPS6095983A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6095983A JPS6095983A (ja) | 1985-05-29 |
| JPS64829B2 true JPS64829B2 (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=16459499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20255983A Granted JPS6095983A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6095983A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0531781B1 (de) * | 1991-09-13 | 1996-01-10 | CARL ZEISS JENA GmbH | Bandleiterlaser |
| JP7773146B2 (ja) * | 2022-01-27 | 2025-11-19 | 株式会社島津製作所 | 測定装置 |
-
1983
- 1983-10-31 JP JP20255983A patent/JPS6095983A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6095983A (ja) | 1985-05-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4232276A (en) | Laser apparatus | |
| USRE31279E (en) | Laser optical resonator | |
| US3428915A (en) | Mirror supporting structure for lasers | |
| US3851272A (en) | Gaseous laser with cathode forming optical resonator support and plasma tube envelope | |
| US4464763A (en) | Laser optical mount | |
| US3396343A (en) | Optical maser with an adjusting mechanism for a mirror | |
| US3783407A (en) | Improved laser optical resonator | |
| US3883820A (en) | Gas laser having improved multiple-part resonator adjustment | |
| JPH0362579A (ja) | レーザシステム | |
| US3886474A (en) | Gas laser having an integral optical resonator with external stabilizing means | |
| JPH084161B2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
| US4887270A (en) | Continuous wave, frequency doubled solid state laser systems with stabilized output | |
| JPS64829B2 (ja) | ||
| US4342113A (en) | Laser apparatus | |
| US3775700A (en) | Gas laser | |
| US3404352A (en) | Mirror-supporting structure for lasers | |
| US3575671A (en) | High power monomode laser structure with multiple coupled cavities | |
| JPS633481A (ja) | ガスレ−ザ管 | |
| CA1053355A (en) | Gas-discharge laser | |
| US4159451A (en) | Coaxial glass gas laser tube | |
| US3860889A (en) | Stable platform structure for laser optics | |
| JPS6021584A (ja) | レ−ザ装置 | |
| JPS62152190A (ja) | レ−ザ発振装置 | |
| JPS6326559B2 (ja) | ||
| SU1570607A1 (ru) | Стабилизированный Н @ - N @ -лазер |