JP2989284B2 - 三軸直交形炭酸ガスレーザの高周波放電電極 - Google Patents
三軸直交形炭酸ガスレーザの高周波放電電極Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は三軸直交形炭酸ガスレ
ーザの高周波放電電極に関するものである。
ーザの高周波放電電極に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】炭酸ガスレーザの励起は、従来は直流放
電によっていたが、近年高周波放電によるものが増えて
きた。その理由は高周波放電には次のような特徴がある
からである。すなわち、金属電極がレーザガスから誘電
体電極によって隔てられているので、スパッタがなく、
電極の消耗やレーザガスの劣化が少ない。放電電力密度
を高くできるので装置が小形になる。変調が容易なため
放電電流の高速制御がしやすい等である。
電によっていたが、近年高周波放電によるものが増えて
きた。その理由は高周波放電には次のような特徴がある
からである。すなわち、金属電極がレーザガスから誘電
体電極によって隔てられているので、スパッタがなく、
電極の消耗やレーザガスの劣化が少ない。放電電力密度
を高くできるので装置が小形になる。変調が容易なため
放電電流の高速制御がしやすい等である。
【０００３】図３は従来の高周波放電による三軸直交形
炭酸ガスレーザの概略図である。図示のように、放電部
１において加熱されたレサーガスＧは矢印のように流
れ、熱交換器３によって冷却され、送風機５により装置
内を循環する。放電部１のレーザガスの流れは右方向
で、光軸は紙面に直角方向、放電は上下方向になってお
り、いわゆる三軸直交形である。金属電極７，９は対向
して設けられた誘電体電極１１，１３のそれぞれ外側に
設けられており、高周波電源１５に接続され、前記誘電
体電極１１，１３の間に無声放電を発生させ、レーザガ
スを励起する。励起により発生したレーザ光は、複数の
反射鏡１７からなる光共振器により増幅され、その一部
が反射鏡を通過して放出される。
炭酸ガスレーザの概略図である。図示のように、放電部
１において加熱されたレサーガスＧは矢印のように流
れ、熱交換器３によって冷却され、送風機５により装置
内を循環する。放電部１のレーザガスの流れは右方向
で、光軸は紙面に直角方向、放電は上下方向になってお
り、いわゆる三軸直交形である。金属電極７，９は対向
して設けられた誘電体電極１１，１３のそれぞれ外側に
設けられており、高周波電源１５に接続され、前記誘電
体電極１１，１３の間に無声放電を発生させ、レーザガ
スを励起する。励起により発生したレーザ光は、複数の
反射鏡１７からなる光共振器により増幅され、その一部
が反射鏡を通過して放出される。
【０００４】図４は前記の放電電極の詳細図である。図
示のように、上部の金属電極７は平板状の誘電体電極１
１の上面（外側）に取り付けられ、誘電体電極１１は、
絶縁体からなるつり部材１９を介してふた２１へ取り付
けられている。このふた２１はパッキング２３等を介し
てレーザ装置の外箱２５へ着脱自在に取り付けられてい
る。下部の金属電極９は誘電体電極１３の下面（外側）
に取り付けられ、誘電体電極１３は、絶縁体からなる支
持部材２７を介してレーザ装置の内箱２９へ取り付けら
れている。誘電体電極１１及び１３は誘電体損失等によ
り加熱されるが、この例では両者間を通過するレーザガ
スによって冷却される。他の例では電極構造が異なる
が、中空の金属電極を誘電体で覆い、中空部に絶縁油を
流して冷却するものもある。
示のように、上部の金属電極７は平板状の誘電体電極１
１の上面（外側）に取り付けられ、誘電体電極１１は、
絶縁体からなるつり部材１９を介してふた２１へ取り付
けられている。このふた２１はパッキング２３等を介し
てレーザ装置の外箱２５へ着脱自在に取り付けられてい
る。下部の金属電極９は誘電体電極１３の下面（外側）
に取り付けられ、誘電体電極１３は、絶縁体からなる支
持部材２７を介してレーザ装置の内箱２９へ取り付けら
れている。誘電体電極１１及び１３は誘電体損失等によ
り加熱されるが、この例では両者間を通過するレーザガ
スによって冷却される。他の例では電極構造が異なる
が、中空の金属電極を誘電体で覆い、中空部に絶縁油を
流して冷却するものもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記のように従来の高
周波放電電極は対向する上下の電極が別々に放電部に取
り付けられており、これらの電極を所定の位置に合わせ
ることが困難なため正確に合わせるためには、電極構造
が複雑になり、また調整に手間がかかるという問題があ
った。また、上方の電極を引き出してからでないと下方
の電極の補修等ができないという問題もあった。この発
明はこのような問題に着目して創案されたもので、上下
の誘電体電極を同一の誘電体によって連結し、一体化す
ることによって、構造が簡単で、着脱調整に手間がかか
らない三軸直交形炭酸ガスレーザの放電電極を提供する
ことを目的とするものである。
周波放電電極は対向する上下の電極が別々に放電部に取
り付けられており、これらの電極を所定の位置に合わせ
ることが困難なため正確に合わせるためには、電極構造
が複雑になり、また調整に手間がかかるという問題があ
った。また、上方の電極を引き出してからでないと下方
の電極の補修等ができないという問題もあった。この発
明はこのような問題に着目して創案されたもので、上下
の誘電体電極を同一の誘電体によって連結し、一体化す
ることによって、構造が簡単で、着脱調整に手間がかか
らない三軸直交形炭酸ガスレーザの放電電極を提供する
ことを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述のごとき問題に鑑み
て、本発明は、平行した上部平板と下部平板の四隅を支
柱を介して一体的に構成した誘電体セラミックスからな
る誘電体電極の、前記上部平板の上面及び下部平板の下
面にそれぞれ金属電極を設け、レーザ装置の外箱にパッ
キングを介して着脱自在に取付けたふたの下面に、絶縁
体からなるつり部材を介して前記誘電体電極を取付け、
前記外箱に対して前記ふたを着脱するとき上記ふたと一
体となって前記誘電体電極が着脱される構成としてなる
ものである。
て、本発明は、平行した上部平板と下部平板の四隅を支
柱を介して一体的に構成した誘電体セラミックスからな
る誘電体電極の、前記上部平板の上面及び下部平板の下
面にそれぞれ金属電極を設け、レーザ装置の外箱にパッ
キングを介して着脱自在に取付けたふたの下面に、絶縁
体からなるつり部材を介して前記誘電体電極を取付け、
前記外箱に対して前記ふたを着脱するとき上記ふたと一
体となって前記誘電体電極が着脱される構成としてなる
ものである。
【０００７】
【実施例】次に、この発明の実施例について図面に基づ
いて説明する。図１及び図２に示したように、この発明
の誘電体電極３１は、誘電体セラミックスからなり、上
部平板３３，下部平板３５，四隅の支柱３７は一体的に
構成されている。上部及び下部平板３３，３５の外側に
は、それぞれ上部金属電極３９，下部金属電極４１が取
付けられており、これらの電極は図示しない高周波電源
に接続されている。誘電体電極３１は、従来例のよう
に、絶縁体からなるつり部材１９を介してふた２１へ取
り付けられている。このふた２１はパッキング２３等を
介して外箱２５へ着脱自在に取り付けられている。
いて説明する。図１及び図２に示したように、この発明
の誘電体電極３１は、誘電体セラミックスからなり、上
部平板３３，下部平板３５，四隅の支柱３７は一体的に
構成されている。上部及び下部平板３３，３５の外側に
は、それぞれ上部金属電極３９，下部金属電極４１が取
付けられており、これらの電極は図示しない高周波電源
に接続されている。誘電体電極３１は、従来例のよう
に、絶縁体からなるつり部材１９を介してふた２１へ取
り付けられている。このふた２１はパッキング２３等を
介して外箱２５へ着脱自在に取り付けられている。
【０００８】レーザガスＧは、図１の矢印の方向へ流
れ、誘電体電極３１の上部及び下部平板３３，３５の間
を通り、両板間の高周波放電により励起され、発生した
レーザ光は反射鏡１７によって増幅され、その一部が紙
面に直角方向へ放出される。
れ、誘電体電極３１の上部及び下部平板３３，３５の間
を通り、両板間の高周波放電により励起され、発生した
レーザ光は反射鏡１７によって増幅され、その一部が紙
面に直角方向へ放出される。
【０００９】なお上部及び下部平板３３，３５及び支柱
３７の一体構造は、この例のほか支柱として四隅に絶縁
体のスペーサを用いてもよく、また、光軸方向に孔のあ
いた絶縁体からなる平板を用いてもよい。
３７の一体構造は、この例のほか支柱として四隅に絶縁
体のスペーサを用いてもよく、また、光軸方向に孔のあ
いた絶縁体からなる平板を用いてもよい。
【００１０】
【発明の効果】以上のごとき実施例の説明より理解され
るように、要するに本発明は、平行した上部平板（３
３）と下部平板（３５）の四隅を支柱（３７）を介して
一体的に構成した誘電体セラミックスからなる誘電体電
極（３１）の、前記上部平板（３３）の上面及び下部平
板（３５）の下面にそれぞれ金属電極（３９，４１）を
設け、レーザ装置の外箱（２５）にパッキング（２３）
を介して着脱自在に取付けたふた（２１）の下面に、絶
縁体からなるつり部材（１９）を介して前記誘電体電極
（３１）を取付け、前記外箱（２５）に対して前記ふた
（２１）を着脱するとき上記ふた（２１）と一体となっ
て前記誘電体電極（３１）が着脱される構成としてなる
ものである。
るように、要するに本発明は、平行した上部平板（３
３）と下部平板（３５）の四隅を支柱（３７）を介して
一体的に構成した誘電体セラミックスからなる誘電体電
極（３１）の、前記上部平板（３３）の上面及び下部平
板（３５）の下面にそれぞれ金属電極（３９，４１）を
設け、レーザ装置の外箱（２５）にパッキング（２３）
を介して着脱自在に取付けたふた（２１）の下面に、絶
縁体からなるつり部材（１９）を介して前記誘電体電極
（３１）を取付け、前記外箱（２５）に対して前記ふた
（２１）を着脱するとき上記ふた（２１）と一体となっ
て前記誘電体電極（３１）が着脱される構成としてなる
ものである。
【００１１】したがって、本発明によれば、放電間隔が
常に一定であることは勿論のこと、ふた２１と誘電体電
極３１とを１つのユニットとして取り扱うことができ、
レーザ装置の外箱２５に対する取付けや、取り外しを容
易に行うことができるものである。すなわちふた２１の
着脱によって誘電体電極２１の着脱を行うことができ、
着脱のための構成が簡単になるものである。
常に一定であることは勿論のこと、ふた２１と誘電体電
極３１とを１つのユニットとして取り扱うことができ、
レーザ装置の外箱２５に対する取付けや、取り外しを容
易に行うことができるものである。すなわちふた２１の
着脱によって誘電体電極２１の着脱を行うことができ、
着脱のための構成が簡単になるものである。
【図１】この発明の高周波放電電極のレーザガスの流れ
方向に平行な断面図である。
方向に平行な断面図である。
【図２】この発明の高周波放電電極のレーザガスの流れ
方向に直角な断面図である。
方向に直角な断面図である。
【図３】従来の高周波放電による三軸直交形炭酸ガスレ
ーザの概略図である。
ーザの概略図である。
【図４】図３の放電電極の詳細図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01S 3/03 H01S 3/02
Claims (1)
- 【請求項１】 平行した上部平板（３３）と下部平板
（３５）の四隅を支柱（３７）を介して一体的に構成し
た誘電体セラミックスからなる誘電体電極（３１）の、
前記上部平板（３３）の上面及び下部平板（３５）の下
面にそれぞれ金属電極（３９，４１）を設け、レーザ装
置の外箱（２５）にパッキング（２３）を介して着脱自
在に取付けたふた（２１）の下面に、絶縁体からなるつ
り部材（１９）を介して前記誘電体電極（３１）を取付
け、前記外箱（２５）に対して前記ふた（２１）を着脱
するとき上記ふた（２１）と一体となって前記誘電体電
極（３１）が着脱される構成としてなることを特徴とす
る三軸直交形炭酸ガスレーザの高周波放電電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2073791A JP2989284B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 三軸直交形炭酸ガスレーザの高周波放電電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2073791A JP2989284B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 三軸直交形炭酸ガスレーザの高周波放電電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04259273A JPH04259273A (ja) | 1992-09-14 |
| JP2989284B2 true JP2989284B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=12035511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2073791A Expired - Fee Related JP2989284B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 三軸直交形炭酸ガスレーザの高周波放電電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2989284B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6882674B2 (en) * | 1999-12-27 | 2005-04-19 | Cymer, Inc. | Four KHz gas discharge laser system |
| JP2002261356A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
-
1991
- 1991-02-14 JP JP2073791A patent/JP2989284B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04259273A (ja) | 1992-09-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |