JPH0391275A - レーザ発振器の筺体 - Google Patents
レーザ発振器の筺体Info
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- JPH0391275A JPH0391275A JP1226737A JP22673789A JPH0391275A JP H0391275 A JPH0391275 A JP H0391275A JP 1226737 A JP1226737 A JP 1226737A JP 22673789 A JP22673789 A JP 22673789A JP H0391275 A JPH0391275 A JP H0391275A
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- enclosure
- protruding part
- electrodes
- housing
- electrode
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- Pending
Links
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 17
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、レーザ発振器の筐体の構造に関するもので
ある。
ある。
〔従来の技術］
第２図は９例えば特開昭６２−２２４９９０号公報に示
されたレーザ発振器の筐体を示す図であり、第２図（ａ
）は側面断面図、第２図（ｂ）は正面断面図である。
されたレーザ発振器の筐体を示す図であり、第２図（ａ
）は側面断面図、第２図（ｂ）は正面断面図である。
図において、（１）はレーザ媒質ガスを封入する真空容
器を形成する金属製の筐体、（２）は筺体（１）の底部
に設けられた支持枠、（３）はし・−ザ媒質ガスを冷却
する熱交換器、（４）はレーザ媒質ガスをガスダクト（
６）を流路として循環する送風機、（５）は対向配置さ
れた一対の電極、 （７ａ） 、 （７ｂｌは筐体（１
）上面に固着されたブラケット、 （８ａ） 、 （８
ｂ） 、 （８ｃ）はガイドバーであり１図に示すよう
に筐体（１）上面側のガイドバー（８ａ） 、 （８ｂ
）はブラケット（７ａ） 、 （７ｂ）に各々装着され
ている。
器を形成する金属製の筐体、（２）は筺体（１）の底部
に設けられた支持枠、（３）はし・−ザ媒質ガスを冷却
する熱交換器、（４）はレーザ媒質ガスをガスダクト（
６）を流路として循環する送風機、（５）は対向配置さ
れた一対の電極、 （７ａ） 、 （７ｂｌは筐体（１
）上面に固着されたブラケット、 （８ａ） 、 （８
ｂ） 、 （８ｃ）はガイドバーであり１図に示すよう
に筐体（１）上面側のガイドバー（８ａ） 、 （８ｂ
）はブラケット（７ａ） 、 （７ｂ）に各々装着され
ている。
ｆ９ａ） 、 （９ｂｌは部分反射鏡（１０）及び全反
射鏡（１１）を固着するアルミ又は銅から成る保持板で
あり。
射鏡（１１）を固着するアルミ又は銅から成る保持板で
あり。
各ガイドバー（８ａ） 、 （８ｂ） 、 （８ｃ）に
より支持されている。（１２）は筐体（１）と保持板（
９ａ） 、 （９ｂ）間を接続する金属製のベローズ、
（１３）はレーザ光である。
より支持されている。（１２）は筐体（１）と保持板（
９ａ） 、 （９ｂ）間を接続する金属製のベローズ、
（１３）はレーザ光である。
以上のように構成されたレーザ発振器によるレーザ発振
においては、まず、送風機（４）を作動させ、電極（５
）間、ガスダクト（６）、および熱交換器（３）の順で
（ａ）図矢印の方向に循環するレーザ媒質ガスの流れを
作る。
においては、まず、送風機（４）を作動させ、電極（５
）間、ガスダクト（６）、および熱交換器（３）の順で
（ａ）図矢印の方向に循環するレーザ媒質ガスの流れを
作る。
次いで、電極（５）間に高電圧を印加して放電を発生さ
せることにより電極（５）間においてレーザ媒質ガスが
励起され９例えばＣＯ□ル−ザの場合。
せることにより電極（５）間においてレーザ媒質ガスが
励起され９例えばＣＯ□ル−ザの場合。
波長１Ｏ１６μｍの光を放出する。この光を全反射鏡（
１１）と部分反射鏡（ｌＯ）とから成る光共振器で増幅
し９部分反射鏡ｊ ｔｏ Ｉからレーザ光（１３）とし
て取り出すのである。
１１）と部分反射鏡（ｌＯ）とから成る光共振器で増幅
し９部分反射鏡ｊ ｔｏ Ｉからレーザ光（１３）とし
て取り出すのである。
なお、安定したレーザ出力を得るには、共振器を構成す
る各反射鏡（１０）、 （１１）の角度変化や位置変化
が小さいことが必要となるため、各反射鏡（１０）、（
１１）を固着した保持板（９ａ） 、 （９ｂ）を支持
するガイドバー（８ａ） 、 （８ｂ） 、 （８ｃ）
には２通常、線膨張率の小さいアンバー等の材料が用い
られている。
る各反射鏡（１０）、 （１１）の角度変化や位置変化
が小さいことが必要となるため、各反射鏡（１０）、（
１１）を固着した保持板（９ａ） 、 （９ｂ）を支持
するガイドバー（８ａ） 、 （８ｂ） 、 （８ｃ）
には２通常、線膨張率の小さいアンバー等の材料が用い
られている。
ところで、レーザ発振時には電極（５）に高電圧が供給
されるため、（ａ）図に示すように電極（５）と筐体（
１１間には所定の絶縁距離Ａを設けることが必要となる
。
されるため、（ａ）図に示すように電極（５）と筐体（
１１間には所定の絶縁距離Ａを設けることが必要となる
。
この絶縁距離Ａは、レーザ発振時におけるレーザ媒質ガ
スの圧力が大気圧の約１／１０と低いために大きく設定
する必要がある。もし、所定の絶縁距離Ａが確保できな
いと、電極（５）と筐体（１）間に放電が発生し、この
放電によって放電部が高温となって焼損することになる
。また、“高温になった部分からは１例えば炭化水素Ｈ
Ｃ等の揮発性ガスが発生するために、レーザ媒質ガスの
劣化を招くことにもなる。倒木ば、レーザ媒質ガスが炭
酸ガスＣｏｗである場合に、 ＣＯ２と上記ＨＣとの化
学反応によってＣｏｎが減少することになり、このＣＯ
□の減少によってレーザ発振効率が低下するという不具
合が生じる。そこでこの対策として、筐体（１）の高さ
方向を伸ばすことによって絶縁距離Ａを確保している。
スの圧力が大気圧の約１／１０と低いために大きく設定
する必要がある。もし、所定の絶縁距離Ａが確保できな
いと、電極（５）と筐体（１）間に放電が発生し、この
放電によって放電部が高温となって焼損することになる
。また、“高温になった部分からは１例えば炭化水素Ｈ
Ｃ等の揮発性ガスが発生するために、レーザ媒質ガスの
劣化を招くことにもなる。倒木ば、レーザ媒質ガスが炭
酸ガスＣｏｗである場合に、 ＣＯ２と上記ＨＣとの化
学反応によってＣｏｎが減少することになり、このＣＯ
□の減少によってレーザ発振効率が低下するという不具
合が生じる。そこでこの対策として、筐体（１）の高さ
方向を伸ばすことによって絶縁距離Ａを確保している。
なお、絶縁距離Ａは、レーザ媒質ガスの圧力。
組成、電極の形状、材質および印加電圧によっても異な
るが１通常５０ｍｍ以上必要になる。
るが１通常５０ｍｍ以上必要になる。
従来のレーザ発振器の筐体は以上のように、レーザ媒質
ガスの劣化やレーザ発振効率の低下を防止するために、
電極（５）と筐体（１）間に所定の絶縁距離Ａを確保す
ることが必要であり、この絶縁距離Ａによって筐体（１
）の大きさが決定されることになる。したがって、筺体
［１）の小形化を図るには自ずから限界があるという課
・題があった。
ガスの劣化やレーザ発振効率の低下を防止するために、
電極（５）と筐体（１）間に所定の絶縁距離Ａを確保す
ることが必要であり、この絶縁距離Ａによって筐体（１
）の大きさが決定されることになる。したがって、筺体
［１）の小形化を図るには自ずから限界があるという課
・題があった。
この発明は上記のような課題を解決するためになされた
もので、所定の絶縁距離を確保しつつ小形化が可能なレ
ーザ発振器の筐体を得ることを目的とする。
もので、所定の絶縁距離を確保しつつ小形化が可能なレ
ーザ発振器の筐体を得ることを目的とする。
この発明に係るレーザ発振器の筐体は、対向配置された
一対の電極とレーザ媒質ガスの循環装置を収納した真空
容器の電極上部側に突出部を形成するとともに、この突
出部以外の面にブラケットを設けたものである。
一対の電極とレーザ媒質ガスの循環装置を収納した真空
容器の電極上部側に突出部を形成するとともに、この突
出部以外の面にブラケットを設けたものである。
この発明においては、電極上部側に形成された突出部に
より、電極と筐体間の絶縁距離が確保される。
より、電極と筐体間の絶縁距離が確保される。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明によるレーザ発振器の筐体を示す側面断面
図であり、従来と同一、又は相当部分は同一符号で示し
詳細な説明は省略する。
図はこの発明によるレーザ発振器の筐体を示す側面断面
図であり、従来と同一、又は相当部分は同一符号で示し
詳細な説明は省略する。
図に示すように、真空容器を形成する筺体（１）の上面
には突出部（ｌａ）が形成されている。この突出部（ｌ
ａ）は、レーザ発振に際して電極（５）間に高電圧を印
加したとき、電極（５）上面と筐体（１）の間、又は電
極（５）側面と筐体（１）の間で放電が発生しないよう
に所定の絶縁距離Ａが保たれて形成されている。
には突出部（ｌａ）が形成されている。この突出部（ｌ
ａ）は、レーザ発振に際して電極（５）間に高電圧を印
加したとき、電極（５）上面と筐体（１）の間、又は電
極（５）側面と筐体（１）の間で放電が発生しないよう
に所定の絶縁距離Ａが保たれて形成されている。
そして、筐体（１）上面の突出部（ｌａ）以外の部分に
は、突出部［１ａ）の頂部と同程度の高さを有するブラ
ケット（７ａ） 、 （７ｂｌが固着されている。
は、突出部［１ａ）の頂部と同程度の高さを有するブラ
ケット（７ａ） 、 （７ｂｌが固着されている。
また９部分反射鏡（１０）と全反射鏡（１１）を固着し
た保持板（９ａ） 、 （９ｂ）は、従来と同様にして
３本のガイドバー［８ａ） 、 （８ｂ） 、 （８ｃ
）によって保・持されている。
た保持板（９ａ） 、 （９ｂ）は、従来と同様にして
３本のガイドバー［８ａ） 、 （８ｂ） 、 （８ｃ
）によって保・持されている。
なお、筐体（１）内には、レーザ媒質ガス、熱交換器（
３）、送風機（４）、一対の電極（５）およびガスダク
ト（６）が収納されており、従来と全く同様にしてレー
ザ発振が行われる。
３）、送風機（４）、一対の電極（５）およびガスダク
ト（６）が収納されており、従来と全く同様にしてレー
ザ発振が行われる。
以上のように構成されたレーザ発振器の筐体においては
、電極（５）と筐体（１）間の絶縁距離Ａを確保するた
めに、電極（５）の上部側にのみ突出部（ｌａ）を形成
することにより、突出部（ｌａ）を除く筐体（１）上面
を筐体（１）の下方向に下げることができる。また、ブ
２ケット（７ａｌ 、 （７ｂ）を筺体（１１上面の突
出部（ｌａ）が形成されていない面に配設することで、
筺体（１）の高さを低くすることが可能になるのである
。したがって、従来のように、筐体の高さ方向の外形寸
法がブラケット（７ａ） 、 （７ｂ）によって決定さ
れることはなくなる。
、電極（５）と筐体（１）間の絶縁距離Ａを確保するた
めに、電極（５）の上部側にのみ突出部（ｌａ）を形成
することにより、突出部（ｌａ）を除く筐体（１）上面
を筐体（１）の下方向に下げることができる。また、ブ
２ケット（７ａｌ 、 （７ｂ）を筺体（１１上面の突
出部（ｌａ）が形成されていない面に配設することで、
筺体（１）の高さを低くすることが可能になるのである
。したがって、従来のように、筐体の高さ方向の外形寸
法がブラケット（７ａ） 、 （７ｂ）によって決定さ
れることはなくなる。
これによって、保持板（９ａ） 、 （９ｂ）も小さく
することができるため、アルミ又は銅から成る保持板（
９ａ） 、 （９ｂ）の重量が軽減することになる。
することができるため、アルミ又は銅から成る保持板（
９ａ） 、 （９ｂ）の重量が軽減することになる。
また、保持板！９ａ） 、 （９ｂ）が軽くなることで
、保持板（９ａ） 、 （９ｂ）を支持しているそれぞ
れのガイドバー（８ａ） 、 （８ｂ） 、 （８ｃ）
の太さを細くすることが可能となり、アンバーなどの高
価な材料で形成されているガイドバー（８ａ） 、 （
８ｂ） 、 （８ｃ）のコストダウンが図れるという利
点がある。
、保持板（９ａ） 、 （９ｂ）を支持しているそれぞ
れのガイドバー（８ａ） 、 （８ｂ） 、 （８ｃ）
の太さを細くすることが可能となり、アンバーなどの高
価な材料で形成されているガイドバー（８ａ） 、 （
８ｂ） 、 （８ｃ）のコストダウンが図れるという利
点がある。
以上のようにこの発明によれば、対向配置された一対の
電極とレーザ媒質ガスの循環装置を収納した真空容器の
上記電極上部側に突出部を形成するとともに、突出部以
外の面にブラケットを設けたので、電極と筐体間の絶縁
距離を確保しつつ。
電極とレーザ媒質ガスの循環装置を収納した真空容器の
上記電極上部側に突出部を形成するとともに、突出部以
外の面にブラケットを設けたので、電極と筐体間の絶縁
距離を確保しつつ。
筐体の小形化が図れるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ発振器の筐体
を示す側面断面図、第２図は従来のレーザ発振器の筐体
を示す図であり、（ａ）は側面断面図、（ｂ）は正面断
面図である。 図において、（１）は筐体、 （ｌａ）は突出部、（３
）は熱交換器、（４）は送風機、（５）は電極、 （７
ａ）。 （７ｂ）はブラケットである。 なお１図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
を示す側面断面図、第２図は従来のレーザ発振器の筐体
を示す図であり、（ａ）は側面断面図、（ｂ）は正面断
面図である。 図において、（１）は筐体、 （ｌａ）は突出部、（３
）は熱交換器、（４）は送風機、（５）は電極、 （７
ａ）。 （７ｂ）はブラケットである。 なお１図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 対向配置された一対の電極とレーザ媒質ガスの循環装置
を収納した真空容器の上記電極上部側に突出部を形成す
るとともに、この突出部以外の面にブラケットを設けた
ことを特徴とするレーザ発振器の筺体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1226737A JPH0391275A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | レーザ発振器の筺体 |
| US07/573,757 US5058125A (en) | 1989-09-01 | 1990-08-28 | Laser oscillator |
| DE4027651A DE4027651A1 (de) | 1989-09-01 | 1990-08-31 | Laseroszillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1226737A JPH0391275A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | レーザ発振器の筺体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0391275A true JPH0391275A (ja) | 1991-04-16 |
Family
ID=16849817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1226737A Pending JPH0391275A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | レーザ発振器の筺体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5058125A (ja) |
| JP (1) | JPH0391275A (ja) |
| DE (1) | DE4027651A1 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3242085A1 (de) * | 1982-11-13 | 1984-05-17 | Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt | Vorrichtung zur erzeugung von laserstrahlung |
| JPS6190484A (ja) * | 1984-10-09 | 1986-05-08 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレ−ザ発振器 |
| JPS62224990A (ja) * | 1986-03-27 | 1987-10-02 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレ−ザ発振器 |
| JPS63228775A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-22 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ装置 |
-
1989
- 1989-09-01 JP JP1226737A patent/JPH0391275A/ja active Pending
-
1990
- 1990-08-28 US US07/573,757 patent/US5058125A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-08-31 DE DE4027651A patent/DE4027651A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4027651A1 (de) | 1991-03-28 |
| US5058125A (en) | 1991-10-15 |
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