JPS58105585A - レ−ザ発生装置 - Google Patents
レ−ザ発生装置Info
- Publication number
- JPS58105585A JPS58105585A JP20355381A JP20355381A JPS58105585A JP S58105585 A JPS58105585 A JP S58105585A JP 20355381 A JP20355381 A JP 20355381A JP 20355381 A JP20355381 A JP 20355381A JP S58105585 A JPS58105585 A JP S58105585A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output mirror
- laser beam
- output
- mirror
- discharge tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は結露防止手段を備えたレーザ発生装置に関する
。
。
一般にガスレーザ発生装置は、炭酸ガス、窒素ガス、ヘ
リウムガス等の混合ガスを放電管内に充填し、放電管内
に設は九陰極と陽極とから成る電極間でグロー放電を行
うと、混合ガスが励起されて２レーザ光を発生する。レ
ーザ光は放電管両端に設けた鏡開で共振させて、一方の
鏡である出力鏡を介して、外部に坂出される。出力鏡は
セレン化亜鉛などの結晶体で形成されている。レーザ光
が出力鏡を透過すると、出力鏡は温度上昇するので、出
力鏡の外周に冷却路を設けて、冷却して温度上昇を防止
している。レーザ光停止後も出力鏡は、冷却されている
ので、出力鏡と室温との間に温度差を生じ、出力鏡の外
表面に結露を生じる。
リウムガス等の混合ガスを放電管内に充填し、放電管内
に設は九陰極と陽極とから成る電極間でグロー放電を行
うと、混合ガスが励起されて２レーザ光を発生する。レ
ーザ光は放電管両端に設けた鏡開で共振させて、一方の
鏡である出力鏡を介して、外部に坂出される。出力鏡は
セレン化亜鉛などの結晶体で形成されている。レーザ光
が出力鏡を透過すると、出力鏡は温度上昇するので、出
力鏡の外周に冷却路を設けて、冷却して温度上昇を防止
している。レーザ光停止後も出力鏡は、冷却されている
ので、出力鏡と室温との間に温度差を生じ、出力鏡の外
表面に結露を生じる。
特に、結露は湿度の高い場合、梅雨時や、水蒸気の多い
環境中で使用すると出来やすい。結露は、空気中の轟埃
を付着する。この状態で、再度、レーザ光が出力鏡を介
して照射すると、結露粒内の付着し喪謳埃が出力鏡表面
に焼付き、この部分を中心に部分発熱を生じることから
、結晶体内の熱応力によシ割れを促進していた。
環境中で使用すると出来やすい。結露は、空気中の轟埃
を付着する。この状態で、再度、レーザ光が出力鏡を介
して照射すると、結露粒内の付着し喪謳埃が出力鏡表面
に焼付き、この部分を中心に部分発熱を生じることから
、結晶体内の熱応力によシ割れを促進していた。
本発明の目的は、結露による出力鏡の割れを防止したレ
ーザ発生装置を提供することにある。
ーザ発生装置を提供することにある。
本発明の結露防止装置は、出力鏡と被加工物と対応する
送出口との間を包囲する包囲部を設け、包囲部に乾燥気
体供給手段と排気口とを設ける。
送出口との間を包囲する包囲部を設け、包囲部に乾燥気
体供給手段と排気口とを設ける。
そして、乾燥気体供給手段によシ乾燥気体を包囲部に供
給すれば、乾燥空気は出力鏡外表面に触れて、水蒸気を
蒸発させるので結露ができない。したがって、出力鏡が
結露によシ割れることがない。
給すれば、乾燥空気は出力鏡外表面に触れて、水蒸気を
蒸発させるので結露ができない。したがって、出力鏡が
結露によシ割れることがない。
以下、本発明の実施例を図面に示すレーザ発生装置ｌに
よシ説明する。
よシ説明する。
架台１人に載置され九支持部ＩＢを介して堆付けられた
放電管本体２は、内部にガス媒体３たとえば炭酸ガス、
窒素ガス、ヘリウムガス等を充填し、陽極４人と陰極４
Ｂとの間に直流電圧５を印加すると、ガス媒体３が励起
されて、レーザ光６を発生する。レーザ光６は放電管本
体２の両端に設けた反射鏡７と出力鏡８との間で共振し
て、外部に照射する。
放電管本体２は、内部にガス媒体３たとえば炭酸ガス、
窒素ガス、ヘリウムガス等を充填し、陽極４人と陰極４
Ｂとの間に直流電圧５を印加すると、ガス媒体３が励起
されて、レーザ光６を発生する。レーザ光６は放電管本
体２の両端に設けた反射鏡７と出力鏡８との間で共振し
て、外部に照射する。
出力鏡８は第２人、２Ｂ図に示す如く放電管２の１端に
設けた一対の７レンジ部９Ａ、９Ｂに挾持されている。
設けた一対の７レンジ部９Ａ、９Ｂに挾持されている。
これらの７ランク部９Ａ、９Ｂ間との出力鏡端との間に
冷却路１Ｇを形成する。冷却路１０は、流入口１１Ａか
ら流出口１１Ｂへ矢印方向に沿って、冷却水を流し、出
力鏡８を冷却する。冷却路１０の周囲にはシール部材１
０人を施して、冷却水が洩れるのを防止している。調整
ネジ１２は７ランク部９Ａ、９Ｂに設けて、調整ネジを
回転して、出力鏡８の傾きを正常位置に調整をする。
冷却路１Ｇを形成する。冷却路１０は、流入口１１Ａか
ら流出口１１Ｂへ矢印方向に沿って、冷却水を流し、出
力鏡８を冷却する。冷却路１０の周囲にはシール部材１
０人を施して、冷却水が洩れるのを防止している。調整
ネジ１２は７ランク部９Ａ、９Ｂに設けて、調整ネジを
回転して、出力鏡８の傾きを正常位置に調整をする。
出力鏡８と包囲部１５を介して接続している加工ヘッド
１６は、傾斜平面鏡１７と焦光レンズ１８とから構成さ
れている。傾斜平面鏡１７は水平方向のレーザ光６を直
角方向に折シ曲げて、つｔｂ下側方向に反射する。反射
されたレーザ光は焦光レンズ１８で絞られ、かつ透過し
て被加工物１９を照射する。尚、傾斜平面鏡から直接被
加工物を照射する時には、焦光レンズを必要としない。
１６は、傾斜平面鏡１７と焦光レンズ１８とから構成さ
れている。傾斜平面鏡１７は水平方向のレーザ光６を直
角方向に折シ曲げて、つｔｂ下側方向に反射する。反射
されたレーザ光は焦光レンズ１８で絞られ、かつ透過し
て被加工物１９を照射する。尚、傾斜平面鏡から直接被
加工物を照射する時には、焦光レンズを必要としない。
また、水平方向のレーザ光を直角方向に折シ曲げる必要
がない時には、傾斜平面鏡を省略すると共に、出力鏡か
らのレーザ光を送出口から直接被加工物に照射してもよ
い。
がない時には、傾斜平面鏡を省略すると共に、出力鏡か
らのレーザ光を送出口から直接被加工物に照射してもよ
い。
包囲部１５は架台１人に設けた支持部ＩＣに支持されて
いる。包囲部１５に設けた結露防止装置２０は、空気乾
燥手段２１と供給口２２および排気口２３とから構成さ
れている。空気乾燥手段２１は除湿器、乾燥器或いは乾
燥空気・気体を充填したボンペイ等を使用する。乾燥空
気２４は供給口２ｚよシ包囲部内に供給されるが、供給
口２２は出射鏡８に対して傾斜するように配置されてい
る。供給口２２からの乾燥空気２４は、−出力鏡８に衝
突すると、出力鏡８と包囲部端１３Ａとの間に形成した
排気口２３によシ、矢印に示す外部方向に排気される。
いる。包囲部１５に設けた結露防止装置２０は、空気乾
燥手段２１と供給口２２および排気口２３とから構成さ
れている。空気乾燥手段２１は除湿器、乾燥器或いは乾
燥空気・気体を充填したボンペイ等を使用する。乾燥空
気２４は供給口２ｚよシ包囲部内に供給されるが、供給
口２２は出射鏡８に対して傾斜するように配置されてい
る。供給口２２からの乾燥空気２４は、−出力鏡８に衝
突すると、出力鏡８と包囲部端１３Ａとの間に形成した
排気口２３によシ、矢印に示す外部方向に排気される。
次に、結露防止装置２０の働きについて説明をする。
出力鏡８の外側面に結露を生じている時には。
空気乾燥手段２１からの乾燥空気２４は、矢印で示す如
く供給口２２を介して包囲部１５に供給され、排気口２
３よシ外部に排気される丸め、結露は乾□燥空気２４に
よシ蒸硲してしまう。反射鏡８と対□応する包囲部近傍
は、透明部材を使用すれば、結露讐発生している否かを
容品に発見できる。この実施例では、供給口２２は出力
鏡亭に対して傾斜して配置しているので、供給口２２か
らの乾燥空気２４は、出力鏡８に強く衝突する。この結
果、乾燥空気２４は矢印方向に反射し、°結露を飛散す
るので、結露の除去を早くできる。陶、加工ヘッドにも
排気口（図示せず）を設けておけば、乾燥空気によって
、傾斜平面鏡および焦点レンズの内側面も同時に乾燥す
ることができる。
く供給口２２を介して包囲部１５に供給され、排気口２
３よシ外部に排気される丸め、結露は乾□燥空気２４に
よシ蒸硲してしまう。反射鏡８と対□応する包囲部近傍
は、透明部材を使用すれば、結露讐発生している否かを
容品に発見できる。この実施例では、供給口２２は出力
鏡亭に対して傾斜して配置しているので、供給口２２か
らの乾燥空気２４は、出力鏡８に強く衝突する。この結
果、乾燥空気２４は矢印方向に反射し、°結露を飛散す
るので、結露の除去を早くできる。陶、加工ヘッドにも
排気口（図示せず）を設けておけば、乾燥空気によって
、傾斜平面鏡および焦点レンズの内側面も同時に乾燥す
ることができる。
１方１．排気口２３を反射鏡８と包囲部端１５人との間
に形成すれば、乾燥空気２４は出力鏡８の外ａｍに沿っ
て舐めるように排気口２３より外部に排気されるので、
よシ一層早く結露を蒸発させることができる。また、こ
の実施例で排気口２３は包囲部１５を反射鏡８よプ離し
て間隙を形成し。
に形成すれば、乾燥空気２４は出力鏡８の外ａｍに沿っ
て舐めるように排気口２３より外部に排気されるので、
よシ一層早く結露を蒸発させることができる。また、こ
の実施例で排気口２３は包囲部１５を反射鏡８よプ離し
て間隙を形成し。
この間隙を排気口とし九ので、容易に形成することがで
きる。排気口２３は上述の個所に設ければ。
きる。排気口２３は上述の個所に設ければ。
次の利点がある。すなわち１反射鏡に衝突した乾燥空気
２４は、上側と下側に反射するが１反射された乾燥空気
２４Ａは、乾燥空気２４に邪魔されて、上側および下側
と包囲部内に侵入しずらく。
２４は、上側と下側に反射するが１反射された乾燥空気
２４Ａは、乾燥空気２４に邪魔されて、上側および下側
と包囲部内に侵入しずらく。
乾燥空気の上側および下側に滞流するが、排気口２３を
設ければ、滞流しているやや水分を含んだ乾燥空気２４
Ａは、ただちに排気口２３よシ外部に排気される。
設ければ、滞流しているやや水分を含んだ乾燥空気２４
Ａは、ただちに排気口２３よシ外部に排気される。
以上の°よう本発明では、出力鏡外側面に乾燥空気を吹
き付けて、結露を蒸発させるので、結露によって出力鏡
を割れることがなくなった。
き付けて、結露を蒸発させるので、結露によって出力鏡
を割れることがなくなった。
第１図は本発明の実施例として示したレーザ発生装置の
概略縦側面図、第２人図は第１図の出力鏡附近の拡大側
面図、第２Ｂ図は第１図のＩ［Ｂ−■Ｂｍ断面図である
。 ２・・・放電管本体、２．３・・・電極、６・・・レー
ザ光。
概略縦側面図、第２人図は第１図の出力鏡附近の拡大側
面図、第２Ｂ図は第１図のＩ［Ｂ−■Ｂｍ断面図である
。 ２・・・放電管本体、２．３・・・電極、６・・・レー
ザ光。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｌ 混合ガスを充填した放電管本体と：放電管本体両端
と内部一般は九少なくとも一対の鏡と陰極および陽極と
、上記両電極間でグロー放電を行ない混合ガスをレーザ
光に変換し、かつ両鏡間で共振してレーザ光として外部
に取出す１方の出力鏡と、上記出力鏡からのレーザ光を
通過させる被加工物と対応する送出口と、出力鏡と送出
口との間を包囲する包囲部とから成るものにおいて、上
記包囲物に乾燥気体を送る供給口と排気口とを設けるこ
とを特徴とするレーザ発生装置。 ２ 混合ガスを充填した放電管本体と、放電管本体両端
と内部とに設けた少なくとも一対の鏡と陰極および陽極
と、上記両電極間でグロー放電を行ない混合ガスをレー
ザ光に変換し、かつ両鏡間で共振してレーザ光として外
部に取出す１方の出力鏡と、上記出力鏡からのレーザ光
を通過させる被加工物と対応する送出口と、出力鏡と送
出口との間を包囲する包囲部とから成るものにおいて、
上記包囲部に乾燥手段からの乾燥空気を包囲部に供給し
、かつ出力鏡に対して傾斜して配置され丸供給口と排気
口とを設けることを特徴とするレーザ発生装置。 ＆ 上記排気口を出鏡力と包囲部との間に形成すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載のレ
ーザ発生装置。 ４、反射鏡と対応する包囲部近傍を透明部材で形成する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載
のレーザ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20355381A JPS58105585A (ja) | 1981-12-18 | 1981-12-18 | レ−ザ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20355381A JPS58105585A (ja) | 1981-12-18 | 1981-12-18 | レ−ザ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58105585A true JPS58105585A (ja) | 1983-06-23 |
Family
ID=16476038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20355381A Pending JPS58105585A (ja) | 1981-12-18 | 1981-12-18 | レ−ザ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58105585A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4718658A (en) * | 1986-02-27 | 1988-01-12 | Nippon Seimitsu Kogyo Kabushiki Kaisha | Sheet feeding system using detachable sheet storage unit in image processing device |
| JPH04356981A (ja) * | 1991-05-15 | 1992-12-10 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
| US7506960B2 (en) | 2003-04-28 | 2009-03-24 | Panasonic Corporation | Nozzle head, line head using the same, and ink jet recording apparatus mounted with its line head |
| US8556387B2 (en) | 2003-04-28 | 2013-10-15 | Panasonic Corporation | Ink jet head unit and ink jet recording apparatus mounted with the same |
| JPWO2020054593A1 (ja) * | 2018-09-13 | 2021-08-30 | パナソニック株式会社 | 光学装置 |
-
1981
- 1981-12-18 JP JP20355381A patent/JPS58105585A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4718658A (en) * | 1986-02-27 | 1988-01-12 | Nippon Seimitsu Kogyo Kabushiki Kaisha | Sheet feeding system using detachable sheet storage unit in image processing device |
| JPH04356981A (ja) * | 1991-05-15 | 1992-12-10 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
| US7506960B2 (en) | 2003-04-28 | 2009-03-24 | Panasonic Corporation | Nozzle head, line head using the same, and ink jet recording apparatus mounted with its line head |
| US8556387B2 (en) | 2003-04-28 | 2013-10-15 | Panasonic Corporation | Ink jet head unit and ink jet recording apparatus mounted with the same |
| JPWO2020054593A1 (ja) * | 2018-09-13 | 2021-08-30 | パナソニック株式会社 | 光学装置 |
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