JPS58121692A - レ−ザ発生装置 - Google Patents
レ−ザ発生装置Info
- Publication number
- JPS58121692A JPS58121692A JP57002761A JP276182A JPS58121692A JP S58121692 A JPS58121692 A JP S58121692A JP 57002761 A JP57002761 A JP 57002761A JP 276182 A JP276182 A JP 276182A JP S58121692 A JPS58121692 A JP S58121692A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output mirror
- mirror
- laser beam
- output
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1464—Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
- B23K26/1476—Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は結露防止手段を改良したレーザ発生装置に関す
る。
る。
一般にガスレーザ発生装置に、炭醗ガス、窒素ガス、ヘ
リウムガス等の混合ガスを放電管内に充填し、放電管内
に設けた陰極と陽極とから成る電極間でグロー放電を行
うと、混合ガスが励起されて、レーザ光を発生する。レ
ーザ光は放電管両端に設けた債関で共振させて、一方の
債である出力鏡を介して、外部に取出される。出力＊ａ
セレン化亜鉛などの結＾体で形成される。レーザ光が出
力鏡を透過すると、出力＠Ｉは温度上昇するので、出力
鏡の外周に冷却路を設けて冷却して温度上昇を防止して
いる。レーザ光停止後にも出力鏡は、冷却されているの
で、出力鏡と室温との間に温度差を生じ、出力鏡の外表
面に結露を生じる。特に、結露は湿度の高い場合、梅雨
時ｆ、水蒸気の多い環境中で使用すると出来やすい。結
露は、空気中の塵埃を付着する。この状態で、再度、レ
ーザ光が出力＃Ｉｔを介して照射すると、結露粒内の付
着した塵埃が出力値表面に焼付き、この部分を中心に部
分発熱を生じることから、結晶体内の熱応力により割れ
を促進していた。
リウムガス等の混合ガスを放電管内に充填し、放電管内
に設けた陰極と陽極とから成る電極間でグロー放電を行
うと、混合ガスが励起されて、レーザ光を発生する。レ
ーザ光は放電管両端に設けた債関で共振させて、一方の
債である出力鏡を介して、外部に取出される。出力＊ａ
セレン化亜鉛などの結＾体で形成される。レーザ光が出
力鏡を透過すると、出力＠Ｉは温度上昇するので、出力
鏡の外周に冷却路を設けて冷却して温度上昇を防止して
いる。レーザ光停止後にも出力鏡は、冷却されているの
で、出力鏡と室温との間に温度差を生じ、出力鏡の外表
面に結露を生じる。特に、結露は湿度の高い場合、梅雨
時ｆ、水蒸気の多い環境中で使用すると出来やすい。結
露は、空気中の塵埃を付着する。この状態で、再度、レ
ーザ光が出力＃Ｉｔを介して照射すると、結露粒内の付
着した塵埃が出力値表面に焼付き、この部分を中心に部
分発熱を生じることから、結晶体内の熱応力により割れ
を促進していた。
このため、出力鏡外表面の結露を布で吹き取っていたの
で、出力鏡外表面が傷んだり、或いは吹き取るのを忘れ
て、上述と同様に出力鏡が割れる等の問題があった。
で、出力鏡外表面が傷んだり、或いは吹き取るのを忘れ
て、上述と同様に出力鏡が割れる等の問題があった。
本発明の目的は、出力鏡に乾燥気体を吹付けて、結露に
よる出力鏡の割れｔｉ止し九レーザ発生装置を提供する
ことＫある。
よる出力鏡の割れｔｉ止し九レーザ発生装置を提供する
ことＫある。
本発明の結露防止装置は、出力鏡と被加工物と対応する
送出口との間を包囲する包囲部を設け、包囲部の出力値
近傍に設けた排気口と供給口とを形成し、供給口には空
気乾燥装置を設ければ、外気が常に空気乾燥装置および
供給口より、排気口に向って流通するので、常に出力＃
ｌは乾燥空気に触れている。したがって、出力鏡では結
露が出来にくいので、出力値が割れにくい。 −以
下、本発明の実施例を図面に示すレーザ発生装置１によ
り説明する。
送出口との間を包囲する包囲部を設け、包囲部の出力値
近傍に設けた排気口と供給口とを形成し、供給口には空
気乾燥装置を設ければ、外気が常に空気乾燥装置および
供給口より、排気口に向って流通するので、常に出力＃
ｌは乾燥空気に触れている。したがって、出力鏡では結
露が出来にくいので、出力値が割れにくい。 −以
下、本発明の実施例を図面に示すレーザ発生装置１によ
り説明する。
架台ＩＡに載置された支持部ＩＢ′ｔ−介して取付けら
れた放電管本体２は、内部にガス媒体３たと、ｔば炭酸
ガス、窒素ガス、ヘリウムガス等を充填し、陽極４Ａと
陰極４Ｂとの関Ｋ［流電圧５ｔ−印加すると、ガス媒体
３が励起されて、レーザ光６會発生する。レーザ光６は
放電管本体２の両端に設けた反射＠１１７と出力４１８
との間で共振して、外部に照射する。
れた放電管本体２は、内部にガス媒体３たと、ｔば炭酸
ガス、窒素ガス、ヘリウムガス等を充填し、陽極４Ａと
陰極４Ｂとの関Ｋ［流電圧５ｔ−印加すると、ガス媒体
３が励起されて、レーザ光６會発生する。レーザ光６は
放電管本体２の両端に設けた反射＠１１７と出力４１８
との間で共振して、外部に照射する。
出力鏡８は放電管２のｌ端に設けた一対の７ランク部９
Ａ、９Ｂに挾持されている。これらの７ランク部９ム、
９Ｂ間と出力鏡端との間に冷却路ｌＯを形成する。冷却
路１０は、流入口１１から流出口（図示せず］へ矢印方
向に沿って、冷却水を流し、出力鏡８を冷却する。冷却
路１０の周囲には、シール部材１０ムを施して、冷却水
が洩れるの１！、防止している。調整ネジ１２は７ラン
ク部９ム、９Ｂに設けて、調整ネジを回転して、出力鏡
８の傾きを正常位置に調整をする。
Ａ、９Ｂに挾持されている。これらの７ランク部９ム、
９Ｂ間と出力鏡端との間に冷却路ｌＯを形成する。冷却
路１０は、流入口１１から流出口（図示せず］へ矢印方
向に沿って、冷却水を流し、出力鏡８を冷却する。冷却
路１０の周囲には、シール部材１０ムを施して、冷却水
が洩れるの１！、防止している。調整ネジ１２は７ラン
ク部９ム、９Ｂに設けて、調整ネジを回転して、出力鏡
８の傾きを正常位置に調整をする。
出力鏡８と包囲部１ｉ５ｔ−介して接続している加工ヘ
ッド１６ｔｌ！、傾斜平面＠１１７と焦光レンズ１８と
から構成されている。傾斜平面＃１７ｆｌｆ水平方向の
レーザ光６を直角方向に折曲げて、つまり下側方向に反
射する。反射されたレーザ光は焦光レンズ１８で絞られ
、かつ透過して被加工物１９を照射する。なお、傾斜平
面債から直接被加物を照射する時には、無光レンズを必
要としない。
ッド１６ｔｌ！、傾斜平面＠１１７と焦光レンズ１８と
から構成されている。傾斜平面＃１７ｆｌｆ水平方向の
レーザ光６を直角方向に折曲げて、つまり下側方向に反
射する。反射されたレーザ光は焦光レンズ１８で絞られ
、かつ透過して被加工物１９を照射する。なお、傾斜平
面債から直接被加物を照射する時には、無光レンズを必
要としない。
また、水平方向のレーザ光ｔ−厘角方向に折曲げる必要
がない時には、傾斜平面鋺を省略すると共に、出力鏡か
らのレーザ光を送出口から直接禎加工物に照射してもよ
い。
がない時には、傾斜平面鋺を省略すると共に、出力鏡か
らのレーザ光を送出口から直接禎加工物に照射してもよ
い。
加工ヘッド１６の焦点レンズ側付近に供給口２０と排気
孔２１とを設け、供給口に空気乾燥装置２またとえばシ
リカゲルを収納した箱を取付ける。供給口２０からの乾
燥空気２３ｔ−排気する排気口２４は、出力値近傍の包
囲部１５に形成されている。包囲部１５は架台ＩＡに設
けた支持部２５に支持されている。
孔２１とを設け、供給口に空気乾燥装置２またとえばシ
リカゲルを収納した箱を取付ける。供給口２０からの乾
燥空気２３ｔ−排気する排気口２４は、出力値近傍の包
囲部１５に形成されている。包囲部１５は架台ＩＡに設
けた支持部２５に支持されている。
この構成によれば、外部空気２４Ａは供給口２０に流入
し、空気乾燥装置２２で水分を除去した乾燥空気２３は
、矢印方向に流れて、排気口２４より外部に排気される
。このため、乾燥空気２３は常時供給口２０より取入ら
れて、出力鏡外表面に触れているので、結露は蒸発する
。又、排気孔２１ｆ：設けておけば、焦点レンズ１８の
結露も除去する役目をする。排気孔２１の寸法は排気口
２４より小石い方が望ましい、そうでないと、乾燥空気
２３が排気口２４から排気する量が少なく、出力鏡外表
面の結露を除去できない恐れがあるからである。
し、空気乾燥装置２２で水分を除去した乾燥空気２３は
、矢印方向に流れて、排気口２４より外部に排気される
。このため、乾燥空気２３は常時供給口２０より取入ら
れて、出力鏡外表面に触れているので、結露は蒸発する
。又、排気孔２１ｆ：設けておけば、焦点レンズ１８の
結露も除去する役目をする。排気孔２１の寸法は排気口
２４より小石い方が望ましい、そうでないと、乾燥空気
２３が排気口２４から排気する量が少なく、出力鏡外表
面の結露を除去できない恐れがあるからである。
第２図は焦点レンズ外側の加工ヘッド１６に供給口２０
Ｙｔ設け、供給口２０に上述と同様な気体乾燥装置２２
ｔ−取付ける。供給口２０と対応する加工ヘッド１６に
は流入管３１ｆ、取付け、流入管ト焦点レンズ内側の加
工ヘッド１６にハ流出管３２を取付ける。流出管を焦点
レンズ１８に対して傾斜するように配設されている。流
入管３１と流出管３２との間には電磁弁３３を設け、電
磁弁３３はスイッチ３４と接続している。したがって、
スイッチ３４を開閉すれば、それに応じて電磁弁３３も
開開する。
Ｙｔ設け、供給口２０に上述と同様な気体乾燥装置２２
ｔ−取付ける。供給口２０と対応する加工ヘッド１６に
は流入管３１ｆ、取付け、流入管ト焦点レンズ内側の加
工ヘッド１６にハ流出管３２を取付ける。流出管を焦点
レンズ１８に対して傾斜するように配設されている。流
入管３１と流出管３２との間には電磁弁３３を設け、電
磁弁３３はスイッチ３４と接続している。したがって、
スイッチ３４を開閉すれば、それに応じて電磁弁３３も
開開する。
この実施例では、スイッチ３４１閉じて、電磁弁３３を
開放すると、乾燥空気２３が焦点レンズ１８の外側に触
れながら矢印方向に流れて、流出管３２からの乾燥空気
が焦点レンズ１８の内側に衝突し、その後、乾燥空気は
第１図と同方向に上昇する。したがって、焦点レンズ１
８の内外表面の納置を同時に蒸発できる。また、被加工
物１９をレーザ溶接、切断等をする時には、常に被加工
物に乾燥気体たとえば不活性ガスを吹付けるので、この
不活性を使用してもよい。この場合には、気体乾燥装置
２２金必要としないことは勿論である。
開放すると、乾燥空気２３が焦点レンズ１８の外側に触
れながら矢印方向に流れて、流出管３２からの乾燥空気
が焦点レンズ１８の内側に衝突し、その後、乾燥空気は
第１図と同方向に上昇する。したがって、焦点レンズ１
８の内外表面の納置を同時に蒸発できる。また、被加工
物１９をレーザ溶接、切断等をする時には、常に被加工
物に乾燥気体たとえば不活性ガスを吹付けるので、この
不活性を使用してもよい。この場合には、気体乾燥装置
２２金必要としないことは勿論である。
以上のように本発明によれば、常時乾燥気体全出力値に
吹き付けることができるので、出力鏡外表面に結露が出
来ることがない。このため、出力鏡が割れることが皆無
となつ光。
吹き付けることができるので、出力鏡外表面に結露が出
来ることがない。このため、出力鏡が割れることが皆無
となつ光。
第１図は本発明の実施例として示し念レーザ発生装置の
概略側断面図、第２図は加工ヘッドの側断面図である。
概略側断面図、第２図は加工ヘッドの側断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、混合ガスを充填した放電管本体と、放電管本体両端
と内部に設けた少なくとも一対の債と陰極および陽極と
、上記両電極間でグロー放電を行ない混合ガスをレーザ
に変換し、かつ両債間で共振してレーザ光として外部に
取出す１方の出力鏡と、上記出力鏡からのレーザ光を通
過させる被加工物と対応する焦点ンンズと送出口との少
なくとも１方と出力値との間管包囲する包囲部とから成
るものにおいて、上記包囲物に供給口と排気口とを設け
、上記供給口に除湿装置管設けることｔ−特徴とするレ
ーザ発生装置。 ２、焦点レンズを介して内側と外側との包囲部を連通す
る供給管を設け、この供給管に焦点レンズ外側包囲部に
設けた供給口より乾燥気体を供給することｔ％徴とする
特許請求の範囲第１項記載のレーザ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57002761A JPS58121692A (ja) | 1982-01-13 | 1982-01-13 | レ−ザ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57002761A JPS58121692A (ja) | 1982-01-13 | 1982-01-13 | レ−ザ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58121692A true JPS58121692A (ja) | 1983-07-20 |
Family
ID=11538315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57002761A Pending JPS58121692A (ja) | 1982-01-13 | 1982-01-13 | レ−ザ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58121692A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5811753A (en) * | 1995-06-19 | 1998-09-22 | Trumpf Gmbh & Co. | Laser machine tool with gas filled beam delivery conduit |
-
1982
- 1982-01-13 JP JP57002761A patent/JPS58121692A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5811753A (en) * | 1995-06-19 | 1998-09-22 | Trumpf Gmbh & Co. | Laser machine tool with gas filled beam delivery conduit |
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