JP2003110174A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
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- JP2003110174A JP2003110174A JP2001300650A JP2001300650A JP2003110174A JP 2003110174 A JP2003110174 A JP 2003110174A JP 2001300650 A JP2001300650 A JP 2001300650A JP 2001300650 A JP2001300650 A JP 2001300650A JP 2003110174 A JP2003110174 A JP 2003110174A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡潔な構成でミラーへの結露を防止出来、コ
スト面および信頼性の面で優れた、常に安定したレーザ
出力を得られるレーザ発振装置を提供することを目的と
する。 【解決手段】 ミラーをそれぞれ保持する少なくとも一
対のミラー保持部と、前記ミラー保持部の発熱を除去す
る冷却板と、前記冷却板内部を流れる冷媒と、前記冷媒
の流量制御手段とを備え、放電管に放電がなされていな
い間、あるいはミラー保持部での発熱が発生しない時に
は、前記冷媒の流量制御手段によって冷媒の流量を抑え
る事を特徴としたレーザ発振装置。
スト面および信頼性の面で優れた、常に安定したレーザ
出力を得られるレーザ発振装置を提供することを目的と
する。 【解決手段】 ミラーをそれぞれ保持する少なくとも一
対のミラー保持部と、前記ミラー保持部の発熱を除去す
る冷却板と、前記冷却板内部を流れる冷媒と、前記冷媒
の流量制御手段とを備え、放電管に放電がなされていな
い間、あるいはミラー保持部での発熱が発生しない時に
は、前記冷媒の流量制御手段によって冷媒の流量を抑え
る事を特徴としたレーザ発振装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はミラーの冷却手段を
備えたレーザ発振装置に関する。
備えたレーザ発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に従来のガスレーザ発振装置の概略
構成の一例を示す。以下、図４を参照しながら従来のガ
スレーザ発振装置を説明する。
構成の一例を示す。以下、図４を参照しながら従来のガ
スレーザ発振装置を説明する。
【０００３】この図に於いて、１はガラスなどの誘電体
よりなる放電管であり、２、３は前記放電管周辺に設け
られた電極である。４は前記電極に接続された電源であ
る。５は前記電極２、３間に挟まれた放電管１内の放電
空間である。６はほぼ全反射である終段鏡、７は部分反
射である出力鏡であり、この終段鏡６、出力鏡７は前記
放電空間５の両端に固定配置され、光共振器を形成して
いる。８は前記出力鏡７より出力されるレーザビームで
ある。矢印９はレーザガスの流れる方向を示しており、
１００〜２００Ｔｏｒｒ程度の圧力で、軸流型ガスレー
ザ発振器の中を循環している。１０はレーザガス流路で
あり、１１および１２は放電空間５における放電と送風
機の運転により温度上昇したレーザガスの温度を下げる
ための熱交換機、１３はレーザガスを循環させるための
送風機であり、この送風機１３により放電空間５にて約
１００ｍ／ｓｅｃ程度のガス流を得ている。レーザガス
流路１０と放電管１は、レーザガス導入部１４で接続さ
れている。
よりなる放電管であり、２、３は前記放電管周辺に設け
られた電極である。４は前記電極に接続された電源であ
る。５は前記電極２、３間に挟まれた放電管１内の放電
空間である。６はほぼ全反射である終段鏡、７は部分反
射である出力鏡であり、この終段鏡６、出力鏡７は前記
放電空間５の両端に固定配置され、光共振器を形成して
いる。８は前記出力鏡７より出力されるレーザビームで
ある。矢印９はレーザガスの流れる方向を示しており、
１００〜２００Ｔｏｒｒ程度の圧力で、軸流型ガスレー
ザ発振器の中を循環している。１０はレーザガス流路で
あり、１１および１２は放電空間５における放電と送風
機の運転により温度上昇したレーザガスの温度を下げる
ための熱交換機、１３はレーザガスを循環させるための
送風機であり、この送風機１３により放電空間５にて約
１００ｍ／ｓｅｃ程度のガス流を得ている。レーザガス
流路１０と放電管１は、レーザガス導入部１４で接続さ
れている。
【０００４】以上が従来のガスレーザ発振装置の構成で
あり、次にその動作について説明する。
あり、次にその動作について説明する。
【０００５】送風機１３より送り出されたレーザガス
は、レーザガス流路１０を通り、レーザガス導入部１４
より放電管１内へ導入される。この状態で電源４に接続
された電極２、３から放電空間５に放電を発生させる。
放電空間５内のレーザガスは、この放電エネルギーを得
て励起され、その励起されたレーザガスは終段鏡６およ
び出力鏡７により形成された光共振器で共振状態とな
り、出力鏡７からレーザビーム８が出力される。このレ
ーザビーム８がレーザ加工等の用途に用いられる。
は、レーザガス流路１０を通り、レーザガス導入部１４
より放電管１内へ導入される。この状態で電源４に接続
された電極２、３から放電空間５に放電を発生させる。
放電空間５内のレーザガスは、この放電エネルギーを得
て励起され、その励起されたレーザガスは終段鏡６およ
び出力鏡７により形成された光共振器で共振状態とな
り、出力鏡７からレーザビーム８が出力される。このレ
ーザビーム８がレーザ加工等の用途に用いられる。
【０００６】図５に従来のレーザ発振装置における光学
ベンチ部分の概略構成を示す。
ベンチ部分の概略構成を示す。
【０００７】出力鏡７は出力鏡側ミラー保持部１５ａに
よって、終段鏡６は終段鏡側ミラー保持部１５ｂによっ
て、それぞれ保持されている。ミラーは、レーザビーム
の反射および透過の際の吸収によって、発熱する。この
熱を除去するため、ミラー保持部１５ａ、１５ｂ共に、
冷却板１６ａ、１６ｂが備えられ、冷却板には冷媒１７
が流れるようになっている。冷媒は一般的に水が用いら
れる。レーザ発振装置外部に用意された冷却装置１８か
らレーザ発振装置内へ温度１８℃程度、流量１００Ｌ／
分程度で導入され、レーザ発振装置内の各部の発熱、前
記ミラー保持部の冷却板は勿論の事であるが、特に熱交
換器１１、１２の発熱を中心として熱交換を行い、温度
２０℃程度に上昇した状態で、再度冷却装置１８へ戻さ
れる。水は冷却装置１８にて１８℃程度に冷却され、再
度レーザ発振装置へ導入される。
よって、終段鏡６は終段鏡側ミラー保持部１５ｂによっ
て、それぞれ保持されている。ミラーは、レーザビーム
の反射および透過の際の吸収によって、発熱する。この
熱を除去するため、ミラー保持部１５ａ、１５ｂ共に、
冷却板１６ａ、１６ｂが備えられ、冷却板には冷媒１７
が流れるようになっている。冷媒は一般的に水が用いら
れる。レーザ発振装置外部に用意された冷却装置１８か
らレーザ発振装置内へ温度１８℃程度、流量１００Ｌ／
分程度で導入され、レーザ発振装置内の各部の発熱、前
記ミラー保持部の冷却板は勿論の事であるが、特に熱交
換器１１、１２の発熱を中心として熱交換を行い、温度
２０℃程度に上昇した状態で、再度冷却装置１８へ戻さ
れる。水は冷却装置１８にて１８℃程度に冷却され、再
度レーザ発振装置へ導入される。
【０００８】正常なレーザ出力を得る為には、上述のよ
うに常にレーザ発振装置内の発熱を冷媒の循環によっ
て、奪う必要がある。
うに常にレーザ発振装置内の発熱を冷媒の循環によっ
て、奪う必要がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】この様な従来のレーザ
発振装置の持つ課題について、以下、説明する。
発振装置の持つ課題について、以下、説明する。
【００１０】レーザ発振装置の運転状態には大きく分け
て、２つの状態が存在する。
て、２つの状態が存在する。
【００１１】放電空間５に放電が発生している状態、お
よび放電が停止している状態である。レーザビームを取
り出す時には、放電を発生させる必要があるが、レーザ
ビームを取り出す必要が無い時には、省エネの為、放電
を停止させる使い方が一般的である。
よび放電が停止している状態である。レーザビームを取
り出す時には、放電を発生させる必要があるが、レーザ
ビームを取り出す必要が無い時には、省エネの為、放電
を停止させる使い方が一般的である。
【００１２】レーザ発振装置は放電有り／無しに関わら
ず、送風機によるレーザガスの循環が行われており、レ
ーザビームを取り出す時にはその都度、放電を発生させ
る。常時、送風機によってレーザガスの循環を行ってい
る理由は、一旦送風機を停止させてしまうと再起動に数
１０秒を要す為、いちいち送風機を停止させていたので
は、時間が無駄になるためである。一方、放電停止およ
び放電発生に要する時間は、それぞれ数１０ｍ秒程度で
あり、実用上問題無いレベルである。
ず、送風機によるレーザガスの循環が行われており、レ
ーザビームを取り出す時にはその都度、放電を発生させ
る。常時、送風機によってレーザガスの循環を行ってい
る理由は、一旦送風機を停止させてしまうと再起動に数
１０秒を要す為、いちいち送風機を停止させていたので
は、時間が無駄になるためである。一方、放電停止およ
び放電発生に要する時間は、それぞれ数１０ｍ秒程度で
あり、実用上問題無いレベルである。
【００１３】ここで放電有り無しの時での、それぞれ各
部の発熱状態について考えてみる。特に大きな違いはミ
ラーの発熱である。レーザビームはミラーに対してほと
んどが反射もしくは透過するが、若干吸収が行われるた
め、そのために発熱が発生する。放電無しの時は、レー
ザ発振が行われないので、ミラーの発熱は無いが、放電
有りの時は、ミラーは発熱する。
部の発熱状態について考えてみる。特に大きな違いはミ
ラーの発熱である。レーザビームはミラーに対してほと
んどが反射もしくは透過するが、若干吸収が行われるた
め、そのために発熱が発生する。放電無しの時は、レー
ザ発振が行われないので、ミラーの発熱は無いが、放電
有りの時は、ミラーは発熱する。
【００１４】当然発熱がある場合には、冷媒によって冷
却を行う必要がある。実際には発熱が無いときでも、冷
却する事自体に問題は無い為、放電有り／無しに関わら
ず、運転中は常時ミラー部の冷却を行っている。しかし
ある条件下においては放電無の状態で、ミラー部の冷却
を行う事で大きな問題が発生する。これを以下に説明す
る。
却を行う必要がある。実際には発熱が無いときでも、冷
却する事自体に問題は無い為、放電有り／無しに関わら
ず、運転中は常時ミラー部の冷却を行っている。しかし
ある条件下においては放電無の状態で、ミラー部の冷却
を行う事で大きな問題が発生する。これを以下に説明す
る。
【００１５】高温多湿の環境下でレーザ発振装置が使用
される場合、被冷却部分において「結露」の問題が発生
する。通常の部品においては多少の結露は問題にならな
い。問題となるのは、ミラー部での結露である。放電有
りの状態では、ミラー自体の発熱があるため、結露は発
生しないが、放電無しの状態では、ミラー自体の発熱が
無い為、結露が発生する。ミラーが結露すると結露した
部分でのレーザビーム吸収率が増大し、ミラーが損傷
し、レーザ出力が低下する。
される場合、被冷却部分において「結露」の問題が発生
する。通常の部品においては多少の結露は問題にならな
い。問題となるのは、ミラー部での結露である。放電有
りの状態では、ミラー自体の発熱があるため、結露は発
生しないが、放電無しの状態では、ミラー自体の発熱が
無い為、結露が発生する。ミラーが結露すると結露した
部分でのレーザビーム吸収率が増大し、ミラーが損傷
し、レーザ出力が低下する。
【００１６】本発明は上述のごとき問題を鑑みてなされ
たものである。
たものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するために、レーザ媒質を励起する放電管と、前記
放電管で励起されたレーザ媒質から放出されるレーザ光
の光軸上に配置した少なくとも一対のミラーと、前記ミ
ラーをそれぞれ保持する少なくとも一対のミラー保持部
と、前記ミラー保持部の発熱を除去する冷却板と、前記
冷却板内部を流れる冷媒と、前記冷媒の流量制御手段と
を備えた事を特徴とし、放電管に放電がなされていない
間は、前記冷媒の流量制御手段によって冷媒の流量を抑
える事を特徴とした、あるいは前記ミラー保持部での発
熱が発生しない時には、前記冷媒の流量制御手段によっ
て冷媒の流量を抑える事を特徴とした、あるいはミラー
保持部に温度検出手段を備えた事を特徴とした、あるい
はミラー保持部近傍に湿度検出手段を備え、湿度が一定
値以上の場合は前記冷媒の流量制御手段によって冷媒の
流量を抑える事を特徴としたレーザ発振装置である。
解決するために、レーザ媒質を励起する放電管と、前記
放電管で励起されたレーザ媒質から放出されるレーザ光
の光軸上に配置した少なくとも一対のミラーと、前記ミ
ラーをそれぞれ保持する少なくとも一対のミラー保持部
と、前記ミラー保持部の発熱を除去する冷却板と、前記
冷却板内部を流れる冷媒と、前記冷媒の流量制御手段と
を備えた事を特徴とし、放電管に放電がなされていない
間は、前記冷媒の流量制御手段によって冷媒の流量を抑
える事を特徴とした、あるいは前記ミラー保持部での発
熱が発生しない時には、前記冷媒の流量制御手段によっ
て冷媒の流量を抑える事を特徴とした、あるいはミラー
保持部に温度検出手段を備えた事を特徴とした、あるい
はミラー保持部近傍に湿度検出手段を備え、湿度が一定
値以上の場合は前記冷媒の流量制御手段によって冷媒の
流量を抑える事を特徴としたレーザ発振装置である。
【００１８】
【発明の実施の形態】（実施の形態１）以下に本発明の
実施の形態を図面によって説明する。
実施の形態を図面によって説明する。
【００１９】図１は本発明の実施の形態例に関するレー
ザ発振装置の構成を示す図である。
ザ発振装置の構成を示す図である。
【００２０】なお、従来の構造と同じものについては、
図４、図５に付した符号と同じものを用い、その説明を
省略する。
図４、図５に付した符号と同じものを用い、その説明を
省略する。
【００２１】本実施の形態例で特徴とする構成は、ミラ
ー保持部１５ａ、１５ｂ共に、冷却板１６ａ、１６ｂが
備えられ、冷却板には冷媒１７が流れるようになってい
ることである。冷媒１７はレーザ発振装置外部に用意さ
れた冷却装置１８からレーザ発振装置内へ温度１８℃程
度、流量１００Ｌ／分程度で導入され、レーザ発振装置
内の各部、すなわち冷却板１６ａ、１６ｂをはじめ、熱
交換器１１、１２および送風機１３などにて熱交換を行
い、温度２０℃程度に上昇した状態で、再度冷却装置１
８へ戻される。水は冷却装置１８にて１８℃程度に冷却
され、再度レーザ発振装置へ導入される。冷却板１６
ａ、１６ｂへの冷媒流路１９には電磁弁２０が設けられ
ており、電磁弁２０は制御装置２１によって動作を制御
されている。
ー保持部１５ａ、１５ｂ共に、冷却板１６ａ、１６ｂが
備えられ、冷却板には冷媒１７が流れるようになってい
ることである。冷媒１７はレーザ発振装置外部に用意さ
れた冷却装置１８からレーザ発振装置内へ温度１８℃程
度、流量１００Ｌ／分程度で導入され、レーザ発振装置
内の各部、すなわち冷却板１６ａ、１６ｂをはじめ、熱
交換器１１、１２および送風機１３などにて熱交換を行
い、温度２０℃程度に上昇した状態で、再度冷却装置１
８へ戻される。水は冷却装置１８にて１８℃程度に冷却
され、再度レーザ発振装置へ導入される。冷却板１６
ａ、１６ｂへの冷媒流路１９には電磁弁２０が設けられ
ており、電磁弁２０は制御装置２１によって動作を制御
されている。
【００２２】次に上記レーザ発振装置の動作を説明す
る。レーザ発振装置の運転を開始すると、送風機が動作
を初め、レーザガスの循環が始まる。この状態になると
放電を発生させることでレーザ発振を行う事が出来る。
この状態では冷却装置１８からレーザ発振装置内へ冷媒
が導入されているが、冷却板１６ａ、１６ｂへの冷媒流
路１９に設けられた電磁弁２０は閉じられており、ミラ
ーは冷却されていない。次にレーザビームを取り出すた
めに放電を発生させる。放電の発生は制御装置２１から
制御されているが、この制御装置により、放電発生と同
時に電磁弁２０が開き、冷却板１６ａ、１６ｂへ冷媒１
７が流れ始める。再度放電を停止させると、電磁弁２０
が閉じ、冷却板１６ａ、１６ｂへの冷媒１７の流れは止
まる。但し放電有り無しに関わらず、冷却板１６ａ、１
６ｂ以外の部分へは、冷媒１７は流れ続ける。
る。レーザ発振装置の運転を開始すると、送風機が動作
を初め、レーザガスの循環が始まる。この状態になると
放電を発生させることでレーザ発振を行う事が出来る。
この状態では冷却装置１８からレーザ発振装置内へ冷媒
が導入されているが、冷却板１６ａ、１６ｂへの冷媒流
路１９に設けられた電磁弁２０は閉じられており、ミラ
ーは冷却されていない。次にレーザビームを取り出すた
めに放電を発生させる。放電の発生は制御装置２１から
制御されているが、この制御装置により、放電発生と同
時に電磁弁２０が開き、冷却板１６ａ、１６ｂへ冷媒１
７が流れ始める。再度放電を停止させると、電磁弁２０
が閉じ、冷却板１６ａ、１６ｂへの冷媒１７の流れは止
まる。但し放電有り無しに関わらず、冷却板１６ａ、１
６ｂ以外の部分へは、冷媒１７は流れ続ける。
【００２３】上記の構成により、ミラーは放電発生時、
すなわちレーザ発振時にのみ冷却される事になり、必要
なときにのみ冷却される事になる。高温多湿環境下での
使用時に、放電無しの状態でミラーの冷却を行うと、ミ
ラーの結露が発生し、ミラー損傷によるレーザ出力低下
などの不具合が考えられるが、上記構成をとれば、ミラ
ーの結露は発生しない。
すなわちレーザ発振時にのみ冷却される事になり、必要
なときにのみ冷却される事になる。高温多湿環境下での
使用時に、放電無しの状態でミラーの冷却を行うと、ミ
ラーの結露が発生し、ミラー損傷によるレーザ出力低下
などの不具合が考えられるが、上記構成をとれば、ミラ
ーの結露は発生しない。
【００２４】結露発生防止の対策として、冷媒の温度を
上げる、例えば通常１８℃程度の冷媒温度を、２５℃程
度まで上げることが考えられるが、冷媒温度を上げる
と、熱交換器１１、１２の能力が低下し、レーザガスの
温度が上昇する。レーザ発振の原理上、レーザガスの温
度が上昇すると、レーザ発振効率が低下し、レーザ出力
が低下する。よって冷媒温度を上げることは出来ない。
上げる、例えば通常１８℃程度の冷媒温度を、２５℃程
度まで上げることが考えられるが、冷媒温度を上げる
と、熱交換器１１、１２の能力が低下し、レーザガスの
温度が上昇する。レーザ発振の原理上、レーザガスの温
度が上昇すると、レーザ発振効率が低下し、レーザ出力
が低下する。よって冷媒温度を上げることは出来ない。
【００２５】従来の試みとして、ミラー部へ流れる冷媒
のみ、周辺空気の露点より高い温度になるようにヒータ
などで温度制御するという方法も考えられるが、このよ
うな構成では温度や湿度を検出するセンサおよび温度調
節装置が必要であるため部品点数も増え、構造が複雑に
なる事より現実的な方法とは言えない。これに対して本
発明では、特にセンサなどは必要とせず、きわめてシン
プルな構成および動作原理であるため、コスト面および
信頼性の面で優れていると言える。
のみ、周辺空気の露点より高い温度になるようにヒータ
などで温度制御するという方法も考えられるが、このよ
うな構成では温度や湿度を検出するセンサおよび温度調
節装置が必要であるため部品点数も増え、構造が複雑に
なる事より現実的な方法とは言えない。これに対して本
発明では、特にセンサなどは必要とせず、きわめてシン
プルな構成および動作原理であるため、コスト面および
信頼性の面で優れていると言える。
【００２６】（実施の形態２）図２は他の実施の形態例
におけるレーザ発振装置の構成を示す図である。
におけるレーザ発振装置の構成を示す図である。
【００２７】本実施の形態で実施の形態１と異なる点
は、仮に放電が行われている場合でも、放電電気入力が
小さいとき、例えばレーザ出力を低出力に絞って使用す
る場合には、ミラーの発熱は小さく、周辺大気への自然
放熱でも充分に冷却が可能である点である。よってこの
ような場合には、あえて冷媒を流して冷却を行う必要は
無い。むしろ冷媒を流さない事によって、結露の可能性
を排除する事の方が重要であるる。よって本発明ではミ
ラー保持部１５ａに備えられたサーミスタなどの温度検
出手段２２によって温度を検出し、一定温度以上になっ
た時にのみ、冷媒の流量制御手段を用いて冷媒を流し、
ミラー保持部の冷却を行うようにしている。本例におい
ては、実施の形態１に比べると、温度検出手段が必要と
なるが、従来例にみられるような温度調節装置は必要で
無いため、やはりコスト面および信頼性の面で優れてい
るといえる。
は、仮に放電が行われている場合でも、放電電気入力が
小さいとき、例えばレーザ出力を低出力に絞って使用す
る場合には、ミラーの発熱は小さく、周辺大気への自然
放熱でも充分に冷却が可能である点である。よってこの
ような場合には、あえて冷媒を流して冷却を行う必要は
無い。むしろ冷媒を流さない事によって、結露の可能性
を排除する事の方が重要であるる。よって本発明ではミ
ラー保持部１５ａに備えられたサーミスタなどの温度検
出手段２２によって温度を検出し、一定温度以上になっ
た時にのみ、冷媒の流量制御手段を用いて冷媒を流し、
ミラー保持部の冷却を行うようにしている。本例におい
ては、実施の形態１に比べると、温度検出手段が必要と
なるが、従来例にみられるような温度調節装置は必要で
無いため、やはりコスト面および信頼性の面で優れてい
るといえる。
【００２８】（実施の形態３）図３は別の実施の形態例
に関するレーザ発振装置の構成を示す図である。
に関するレーザ発振装置の構成を示す図である。
【００２９】本実施の形態で他の実施の形態と異なるの
はミラー保持部周辺の大気の露点を湿度検出手段２３に
より検出し、結露の恐れがある場合には冷媒の流量を絞
るなどの制御を行っている。本例では、湿度センサが必
要となるが、従来例にみられるような温度調節装置は必
要で無いため、やはりコスト面および信頼性の面で優れ
ているといえる。
はミラー保持部周辺の大気の露点を湿度検出手段２３に
より検出し、結露の恐れがある場合には冷媒の流量を絞
るなどの制御を行っている。本例では、湿度センサが必
要となるが、従来例にみられるような温度調節装置は必
要で無いため、やはりコスト面および信頼性の面で優れ
ているといえる。
【００３０】
【発明の効果】本発明により、コスト面および信頼性の
面で優れた極めて簡潔な構成でミラーへの結露を防止出
来、常に安定したレーザ出力を得られるレーザ発振装置
を提供することが出来る。
面で優れた極めて簡潔な構成でミラーへの結露を防止出
来、常に安定したレーザ出力を得られるレーザ発振装置
を提供することが出来る。
【図１】本発明の実施の形態１に関するレーザ発振装置
の構成図
の構成図
【図２】本発明の実施の形態２に関するレーザ発振装置
の構成図
の構成図
【図３】本発明の実施の形態３に関するレーザ発振装置
の構成図
の構成図
【図４】従来のガスレーザ発振装置の概略構成図
【図５】従来のレーザ発振装置における光学ベンチ部分
の概略構成図
の概略構成図
１ 放電管
２ 電極
３ 電極
４ 電源
５ 放電空間
６ 終段鏡
７ 出力鏡
８ レーザビーム
９ レーザガスの流れる方向
１０ レーザガス流路
１１ 熱交換器
１２ 熱交換器
１３ 送風機
１４ レーザガス導入部
１５ａ 出力鏡側ミラー保持部
１５ｂ 終段鏡側ミラー保持部
１６ａ 冷却板
１６ｂ 冷却板
１７ 冷媒
１８ 冷却装置
１９ 冷媒流路
２０ 電磁弁
２１ 制御装置
２２ 温度検出手段
２３ 湿度検出手段
Claims (5)
- 【請求項１】 レーザ媒質を励起する放電管と、前記放
電管で励起されたレーザ媒質から放出されるレーザ光の
光軸上に配置した少なくとも一対のミラーと、前記ミラ
ーをそれぞれ保持する少なくとも一対のミラー保持部
と、前記ミラー保持部の発熱を除去する冷却板と、前記
冷却板内部を流れる冷媒と、前記冷媒の流量制御手段と
を備えたレーザ発振装置。 - 【請求項２】 レーザ媒質にエネルギーを与えていない
間、冷媒の流量制御手段によって冷媒の流量を抑える請
求項１記載のレーザ発振装置。 - 【請求項３】 ミラー保持部での発熱が発生しない時に
は、冷媒の流量制御手段によって冷媒の流量を抑える請
求項１または２記載のレーザ発振装置。 - 【請求項４】 ミラー保持部に温度検出手段を設けた請
求項３記載のレーザ発振装置。 - 【請求項５】 ミラー保持部近傍に湿度検出手段を設
け、湿度が一定値以上の場合は冷媒の流量制御手段によ
って冷媒の流量を抑える請求項１から４のいずれかに記
載のレーザ発振装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001300650A JP2003110174A (ja) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | レーザ発振装置 |
| PCT/JP2002/009930 WO2003030313A1 (fr) | 2001-09-28 | 2002-09-26 | Émetteur de laser à gaz |
| US10/471,441 US7046705B2 (en) | 2001-09-28 | 2002-09-26 | Gas laser transmitter |
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2001
- 2001-09-28 JP JP2001300650A patent/JP2003110174A/ja not_active Withdrawn
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|---|---|---|---|---|
| JP2010212565A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Panasonic Corp | レーザ発振装置とレーザ加工機 |
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