JP2001057452A - レーザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ発振可能となった直後より、不良の発
生しない安定した加工を行う。 【解決手段】 部分反射鏡および全反射鏡を光学ベンチ
にて保持し、光増幅することにより部分反射鏡よりレー
ザビームを取り出すレーザ発振装置であって、光学ベン
チの冷却を行う冷却媒体の温度を検出する温度センサ、
もしくは光学ベンチを収納した筐体の内部に設置された
温度センサの少なくとも一方を備え、レーザ発振装置運
転開始後、冷却媒体または筐体内雰囲気が一定の制御温
度になるように制御されるとともに、温度センサの少な
くとも一方の検出温度が一定の温度より高いとき、所定
の発振遅延時間経過後にレーザ発振可能とした。これに
より、光学ベンチが熱的バランスをとるために必要な時
間を確保することができ、レーザ発振直後より安定した
レーザ加工を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、特に常に安定し
た品質のレーザビームが得られるようにしたレーザ発振
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のガスレーザ発振装置を図６に沿っ
て説明する。誘電体よりなる放電管１内には圧力約５０
〜１００Ｔｏｒｒのレーザガス２が循環している。放電
管１周辺に設けられた電極３，４に接続された高電圧電
源装置５は、放電管１内に放電６を発生させる。放電６
によりレーザガス２は励起され、全反射鏡７および部分
反射鏡（部分透過鏡）８を通って外にレーザビーム９と
して出力される。放電管１とともにレーザガスの循環路
を形成する循環管体２５の内部は、送風機２６によりレ
ーザガスが送られており、放電６および送風機２６によ
り上昇したレーザガスの温度を下げるため、熱交換機２
７，２８が配置されている。また放電６によりレーザガ
ス２の一部が解離する事で経時的にレーザガス２の純度
が低下してくる。これを抑制しレーザガス２の純度を常
に一定以上のレべルに保つため、レーザガス２の一部を
常時、排気管２９を通し排気ポンプ３０により排出し、
且つ等量の新しいレーザガスを給気管３１より供給して
いる。

【０００３】以上が従来のガスレーザ発振装置の構成で
あり、次にその動作について説明する。まず高電圧電源
５に接続された電極３，４ら放電空間６に放電を発生さ
せる。放電空間６内のレーザガスは、この放電エネルギ
ーを得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射
鏡７および部分透過鏡８により形成された光共振器で共
振状態となり、部分反射鏡８からレーザビーム９が出力
される。前述したレーザ発振装置の各構成要素は、筐体
１０内に収納されており、部分反射鏡８から出力された
レーザビーム９は、筐体１０に設けられたビーム取りだ
し口１１より取り出され、レーザ加工等の用途に用いら
れる。

【０００４】レーザ発振装置は上記の動作によりレーザ
発振を行うが、実際には運転開始後、即座にレーザ発振
を行える訳ではなく、通常運転開始より実際に発振可能
となるまで、２〜３分の時間が必要である。これについ
て図４のフローチャートを用い、運転開始時より順を追
って説明する。運転開始（ステップＳ１）すると、まず
レーザガス入れ替え（ステップＳ２）を行う。これは前
回運転時に解離した純度の低下したレーザガスと合わせ
て、運転停止中に外部よりレーザガス中にわずかに侵入
した水分や不純ガスなどを一旦排出し、新鮮なレーザガ
スを再充填するという動作であり、安定したレーザ出力
を得るために必須の動作である。具体的には、給気管３
１よりのレーザガスの供給を停止した状態で、排気管２
９を通じ排気ポンプ３０より一旦レーザガスを排出して
しまい、その後改めて給気管３１よりレーザガスを供給
する。レーザガス入れ替え（ステップＳ２）が完了後、
送風機を起動（ステップＳ３）させ、循環管体２５およ
び放電管１内をレーザガス２が循環し始める。ステップ
Ｓ３まで完了すると、ここで始めてレーザ発振可能（ス
テップＳ４）となる。レーザ発振可能（ステップＳ４）
となれば、即座にレーザ加工開始（ステップＳ５）が可
能となる。ステップＳ１からステップＳ４までは自動的
に行われ、レーザ発振装置を使用するオペレータは、ス
テップＳ４のレーザ発振可能となった事を確認し、レー
ザ加工を開始する。

【０００５】次に、光共振器部分の詳細およびその動作
について説明する。図５は、光共振器の詳細図である。
全反射鏡７、部分透過鏡８および放電管１は、光学ベン
チ１２にて保持されている。全反射鏡７と部分透過鏡８
との間で光共振を行うためには、両者はミクロンオーダ
ーでの平行度を保たれている必要がある。そのため光学
ベンチ１２には、以下の二つの性能が要求される。

【０００６】第一に必要とされるのは、機械的強度であ
る。放電管１内部は５０〜１００Ｔｏｒｒ程度の真空状
態であるため、放電管１を保持している光学ベンチ１２
には大きな真空力が掛かる。この真空力により曲がって
しまうようでは全反射鏡７と部分透過鏡８との平行度を
保つ事は出来ないため、真空力に耐えられる機械的強度
が必要である。よって通常、鉄やアルミなどの金属材料
で構成されている。

【０００７】第二に必要とされる事は、光学ベンチ全体
として、熱的なバランスがとれている事である。前述し
たように光学ベンチ１２は通常金属材料で構成されてい
るため、各部で温度差があると、熱膨張率の違いからミ
クロンオーダーでの歪みが発生し、全反射鏡７と部分透
過鏡８との間の平行度が崩れてしまう。しかも光学ベン
チ１２は構造上、放電管１よりの放射熱などにさらされ
ているため、熱的なバランスが崩れやすい。よって常に
熱的バランスを保つために、温度制御を行う必要があ
る。前記温度制御は、実際には二つの手法を併用する事
により行われている。一つ目は光学ベンチ１２内部に一
定温度の冷却媒体を流す事による温度制御、もう一つは
光学ベンチ１２が周辺雰囲気温度の影響を受けない様
に、光学ベンチ周辺の筐体内雰囲気の温度を制御する事
である。

【０００８】これらについて、図５および図４のフロー
チャートに沿って、順番に説明する。まず初めに、光学
ベンチ１２内部に一定温度の冷却媒体を流す事による温
度制御について説明する。光学ベンチ１２内部には、熱
的バランスを保つため、ポンプ１４によって冷却媒体１
３が流され、温度調整を行っている。光学ベンチ１２内
を流れ、光学ベンチ１２との間で熱交換を行った冷却媒
体１３は、冷却媒体用熱交換器１５によって、チラー１
６より送られる冷却水１７との間で熱交換を行う。この
ようにして最終的に光学ベンチ１２の熱は、チラー１６
によって大気中に排出される。冷却媒体１３の配管には
冷却媒体用温度センサ１８が備えられており、常に冷却
媒体１３の温度を計測している。冷却媒体用温度センサ
１８にて得られた冷却媒体の温度情報は、発振器制御装
置１９へ送られる。一方、冷却媒体用熱交換器１５へ送
られるチラー１６の冷却水１７の配管には電磁弁２０が
挿入されており、電磁弁２０の開閉、すなわち冷却媒体
用熱交換器１５に冷却水１７が流れるか否かは、発振器
制御装置１９よりの制御により決まる。発振器制御装置
１９は、冷却媒体用温度センサ１８よりの温度情報に応
じ、冷却媒体１３の温度を設定温度範囲内に保つため
に、適宜電磁弁２０の開閉制御を行っている。通常、冷
却媒体１３は約２８℃に制御されている。チラー１６の
冷却水１７は約２０℃で使用されている。

【０００９】以下、動作のプロセスを図４のフローチャ
ートに沿って説明する。運転開始（ステップＳ１）後、
冷却媒体温度確認（ステップＳ６）へと進む。ここでは
冷却媒体用温度センサ１８よりの信号が発振器制御装置
１９へ送られる。次に冷却媒体１３温度が２８℃より高
いか低いかの判定を行う（ステップＳ７）。もし冷却媒
体１３温度が２８℃以上であると、冷却媒体用電磁弁２
０開の指令を出す（ステップＳ８）。これにより電磁弁
２０が開き、冷却媒体用熱交換器１５に冷却水１７が流
れ、冷却媒体１３が冷やされる。一方冷却媒体１３温度
が２８℃未満であると、冷却媒体用電磁弁２０閉の指令
を出す（ステップＳ９）。これにより電磁弁２０が閉
じ、冷却媒体用熱交換器１５へ冷却水１７が流れなくな
るため、冷却媒体１３はそれ以上冷やされなくなる。ス
テップＳ８、ステップＳ９の処理を終えると、再度ステ
ップＳ６に戻り、冷却媒体温度確認を行う。この繰り返
しを行う事で、冷却媒体１３の温度はほぼ一定に保たれ
る。このほぼ一定温度に保たれた冷却媒体１３を内部に
流す事で、光学ベンチ１２内部温度も、ほぼ一定かつ均
一に保たれる事になる。

【００１０】次にもう一方の、光学ベンチ１２周辺の筐
体内雰囲気の温度制御について説明する。筐体１０内部
においては、放電管１を初めとする放電部周辺よりかな
りの量の発熱があり、そのまま放置しておくと、筐体１
０内の温度は上昇を続け、その温度上昇の影響により光
学ベンチ１２の熱的バランスが崩れてしまう。よって光
学ベンチ１２の熱的バランスを保つため、筐体１０内部
の温度を光学ベンチ１２とほぼ同一の温度になるよう保
つ必要がある。筐体１０内には、筐体内雰囲気とチラー
よりの冷却水１７との間で熱交換を行うためのラジエー
タ２１、ラジエータ２１内に筐体内雰囲気を強制的に通
過させるためのファン２２、および筐体内雰囲気温度を
検出するための筐体内温度センサ２３が備えられてい
る。筐体内温度センサ２３にて得られた筐体内雰囲気温
度情報は、発振器制御装置１９へ送られる。一方、ラジ
エータ２１へ送られるチラー１６の冷却水１７の配管に
は電磁弁２４が挿入されており、電磁弁２４の開閉、す
なわちラジエータ２１に冷却水１７が流れるか否かは、
発振器制御装置１９よりの制御により決まる。発振器制
御装置１９は、筐体内温度センサ２３よりの温度情報に
応じ、筐体内雰囲気温度を設定温度範囲内に保つため
に、適宜電磁弁２４の開閉制御を行っている。筐体内雰
囲気温度は、光学ベンチ１２と同じ温度、すなわち約２
８℃に制御されている。

【００１１】以下、動作のプロセスをフローチャート図
４に沿って説明する。本動作のプロセスは、前出した冷
却媒体温度制御と基本的には同じ制御を行っている。運
転開始（ステップＳ１）後、筐体内雰囲気温度確認（ス
テップＳ１０）へと進む。ここでは筐体内温度センサ２
３よりの信号が発振器制御装置１９へ送られる。次に筐
体内雰囲気温度が２８℃より高いか低いかの判定を行う
（ステップＳ１１）。もし筐体内雰囲気温度が２８℃以
上であると、冷却媒体用電磁弁２４開の指令を出す（ス
テップＳ１２）。これにより電磁弁２４が開き、ラジエ
ータ２１に冷却水１７が流れ、筐体内雰囲気が冷やされ
る。一方筐体内雰囲気温度が２８℃未満であると、冷却
媒体用電磁弁２４閉の指令を出す（ステップＳ１３）。
これにより電磁弁２４が閉じ、ラジエータ２１へ冷却水
１７が流れなくなるため、筐体内雰囲気はそれ以上冷や
されなくなる。ステップＳ１２、ステップＳ１３の処理
を終えると、再度ステップＳ１０に戻り、筐体内雰囲気
温度確認を行う。この繰り返しを行う事で、筐体内雰因
気温度はほぼ一定に保たれる。このほぼ一定温度に保た
れた冷却媒体１３を筐体１０内部に流す事で、光学ベン
チ１２温度も、ほぼ一定かつ均一に保たれる事になる。

【００１２】以上がレーザ発振器の温度制御動作であ
る。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】図４のフローチャート
に示すように、レーザ発振装置は、運転スタート時より
前記の温度制御をスタートし、運転中は常にこの温度制
御を行っている。ところが現行のこの方式では、ある条
件下にて問題が発生する事がある。

【００１４】レーザ発振装置は、運転停止時には温度制
御は全くなされていないため、運転停止時のレーザ発振
装置全体の温度は、外気温度と同じになる。例えば外気
温度が４０℃であれば、レーザ発振装置の光学ベンチ１
２、冷却媒体１３、筐体内雰囲気などの温度は、全て４
０℃になる。運転スタート時より温度制御を始める事に
なるが、制御温度である２８℃に下がって初めて温度制
御が可能となり、それまでに１２〜１３分の時間を要す
る。これは光学ベンチ１２自体が、ある程度の熱容量を
持っているためである。制御温度２８℃と運転スタート
時の温度との差が大きいほど、温度制御が可能となるま
での時間が必要となる。これは言い換えると、運転スタ
ート時の外気温度次第で、光学ベンチ１２が熱的に安定
するまでの時間が変化するということである。

【００１５】前述したように全反射鏡７および部分透過
鏡８のミクロンオーダでの平行度を保つ為には、これら
を保持している光学ベンチ１２が熱的に安定している必
要がある。光学ベンチの熱的安定性が損なわれると、全
反射鏡７と部分透過鏡８の平行度が崩れた状態で光共振
を行うことになるため、レーザビーム９のエネルギ分布
の均一性が崩れ、レーザビーム９の品質が悪化する。こ
の状態でレーザ加工を行うと、加工不良となってしま
う。

【００１６】現行のレーザ発振装置は、図４に示すよう
に、運転開始後より２〜３分間の「レーザガス入れ替
え」（ステップＳ２）「送風機起動」（ステップＳ３）
の後、「レーザ発振可能」（ステップＳ４）となり、
「レーザ加工開始」（ステップＳ５）が可能となる。し
かしその時点で、温度制御がまだ出来ておらず、光学ベ
ンチの熱的バランスが崩れたままであると、当然取り出
されるレーザビーム９の品質は悪く、加工不良が発生す
る。

【００１７】また、上記従来の問題点の解決方法とし
て、光学ベンチ１２自体に温度センサを設け、常に光学
ベンチ１２の温度を監視するという手法が試みられた。
光学ベンチ１２が熱的に安定か不安定状態かを見極め、
光学ベンチ１２が熱的に不安定であると判断したときに
は、自動的に発振不可状態とする、もしくはアラームを
出し、レーザ発振装置のオペレータに注意を喚起すると
いう狙いであった。しかしこの手法では満足のいく結果
が得られなかった。すなわち、光学ベンチ１２は熱容量
が大きいため、仮にある部分に温度センサを付け、温度
センサの部分が制御温度に達した事を確認出来たとして
も、光学ベンチ１２の他の部分の温度がまだ制御温度に
達していないという場合があるからである。よって現実
的に光学ベンチ１２そのものの温度を監視しても大きな
効果は得られない。

【００１８】したがって、この発明の目的は、かかる問
題点を解決するためになされたもので、レーザ発振可能
となった直後より、不良の発生しない安定した加工を行
う事の出来るレーザ発振装置を提供することである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めにこの発明の請求項１記載のレーザ発振装置は、光軸
方向に配置された放電管の一端に部分反射鏡、他端に全
反射鏡をそれぞれ配置するとともに、部分反射鏡および
全反射鏡を光学ベンチにて保持し、光増幅することによ
り部分反射鏡よりレーザビームを取り出すレーザ発振装
置であって、光学ベンチの冷却を行う冷却媒体の温度を
検出する温度センサ、もしくは光学ベンチを収納した筐
体の内部に設置された温度センサの少なくとも一方を備
え、レーザ発振装置運転開始後、冷却媒体または筐体内
雰囲気が一定温度になるように制御されるとともに、温
度センサの少なくとも一方の検出温度が一定温度より高
いとき、所定の発振遅延時間経過後にレーザ発振可能と
したことを特徴とする。

【００２０】このように、光学ベンチの冷却を行う冷却
媒体の温度を検出する温度センサ、もしくは光学ベンチ
を収納した筐体の内部に設置された温度センサの少なく
とも一方を備え、レーザ発振装置運転開始後、冷却媒体
または筐体内雰囲気が一定温度になるように制御される
とともに、温度センサの少なくとも一方の検出温度が一
定温度より高いとき、所定の発振遅延時間経過後にレー
ザ発振可能としたので、光学ベンチが熱的バランスをと
るために必要な時間を確保することができる。これによ
りレーザ発振直後より安定したレーザ加工を行うことが
できる。

【００２１】

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図１およ
び図２に基づいて説明する。図１はこの発明の実施の形
態のレーザ発振装置のフローチャートである。

【００２２】このレーザ発振装置は、図５および図６に
示したものと同様に、光軸方向に配置された放電管の一
端に部分反射鏡８、他端に全反射鏡７をそれぞれ配置す
るとともに、部分反射鏡８および全反射鏡７を光学ベン
チ１２にて保持し、光増幅することにより部分反射鏡８
よりレーザビームを取り出す。また、光学ベンチ１２の
冷却を行う冷却媒体１３の温度を検出する温度センサ１
８、もしくは光学ベンチ１２を収納した筐体１０の内部
に設置された温度センサ２３の少なくとも一方を備えて
おり、この実施の形態ではレーザ発振装置運転開始時に
おける筐体内雰囲気温度を示す温度センサ２３の検出温
度が一定の温度より高いとき、自動的にレーザ発振遅延
時間を設ける制御を行うように構成されている。

【００２３】以下、図１のフローチャートに沿って説明
する。運転開始（ステップＳ１）後、冷却媒体温度確認
（ステップＳ６）および筐体内雰囲気温度確認（ステッ
プＳ１０）へと進む点は、従来例と同じである。筐体内
雰囲気温度確認（ステップＳ１０）の次のステップとし
て、従来と同様の制御温度２８℃に対する判定（ステッ
プ１１）と並行し、制御温度より上の温度、この実施の
形態では４０℃という温度に対して、それ以上か、それ
末満か、の判定を行う（ステップＳ１ａ）。４０℃未満
であれば、従来例と同様のステップ、すなわちレーザガ
ス入れ替え（ステップＳ２ａ）、送風機起動（ステップ
Ｓ３ａ）、レーザ発振可能（ステップＳ４）と進む。こ
の場合、運転開始（ステップＳ１）からレーザ発振可能
（ステップＳ４）までの所要時間は約２〜３分である。

【００２４】一方、４０℃以上であった場合には、以下
の２つの処理を並行して進める。一つはレーザガス入れ
替え（ステップＳ２ｂ）、送風機起動（ステップＳ３
ｂ）と進むステップ。もう一つは、タイマリセット（ス
テップＳ２ｃ）、タイマカウント（ステップＳ３ｃ）と
進み、タイマのカウントを始める。タイマカウント１５
分（ステップＳ３ｄ）にて、経過時間を見張り、タイマ
カウントが１５分経過すると、次のステップへ進む。送
風機起動（ステップＳ３ｂ）およびタイマカウント１５
分（ステップＳ３ｄ）が共に完了すると、両者のＡＮＤ
判定（ステップＳ３ｅ）を経て、レーザ発振可能（ステ
ップＳ４）へと進む。

【００２５】以上のフローから明らかなように、この実
施の形態においては、運転開始時に筐体内雰囲気温度が
４０℃以上であれば、タイマーカウント１５分の処理を
行い、いわば自動的に発振遅延時間を設けるようにして
いる。これにより本来運転開始より２〜３分でレーザ発
振可能となっていた所が、運転開始より１５分でレーザ
発振可能となる。

【００２６】この時の運転開始後の経過時間と、光学ベ
ンチ温度および加工状態について、従来例との比較を行
いながら説明する。図２はこの発明の実施の形態におけ
る運転開始からの時間と加工状態についての説明図、図
３は従来例における運転開始からの時間と加工状態につ
いての説明図である。

【００２７】まず従来例について、図３によって説明す
る。運転開始時に外気温が４０℃以上である場合、当然
光学ベンチ温度も４０℃以上となっている。運転開始と
同時に温度制御シーケンスが開始するため、冷却媒体１
３、および筐体内雰囲気により、光学ベンチ温度は制御
温度２８℃を目指し、冷却されていく。しかし光学ベン
チ１２そのものの熱容量が大きいため、制御温度２８℃
にまで下がるには、約１２〜１３分の時間を要する。一
方レーザガス入れ替え、送風機起動のステップは、約２
〜３分で完了するため、運転開始の約２〜３分後にはレ
ーザ発振可能となる。しかしレーザ発振そのものは可能
となっていても、その時点では、光学ベンチ１２はまだ
熱的バランスがとれておらず、光学的には不安定な状態
であるため、レーザ発振により取り出されるレーザビー
ムの品質は低い状態である。この状態でレーザ加工を開
始するとすると、当然加工不良が発生してしまう。

【００２８】一方この実施の形態に関して、図２によっ
て説明する。運転開始時に筐体内雰囲気温度センサが、
外気温が４０℃以上であることを検出すると、通常行わ
れるレーザガス入れ替え、送風機起動と並行して、自動
的に１５分の発振遅延時間が設けられ、タイマが１５分
のカウントを開始する。送風機の起動までは約２〜３分
で完了し、その後タイマカウントが完了するまで、さら
に約１２〜１３分の時間が設けられる事になる。その間
に光学ベンチ温度は制御温度である２８℃にまで下が
り、冷却媒体および筐体内雰囲気による温度制御が始ま
り、光学ベンチ１２は熱的に安定する。タイマが１５分
カウント後、レーザ発振可能となった時には、最初から
高品質なレーザビームを取り出す事が出来、良好なレー
ザ加工を行う事が出来る。

【００２９】以上のようにこの実施の形態によれば、光
学ベンチ１２を収納した筐体１０の内部に設置された温
度センサ２３を備え、レーザ発振装置運転開始時におけ
る温度センサ２３の検出温度が４０℃以上であれば、レ
ーザ発振遅延時間を設ける制御シーケンスによりレーザ
発振遅延時間を自動的に延長することで、光学ベンチ１
２が熱的バランスをとるために必要な時間を確保するこ
とができる。

【００３０】また、光学ベンチ１２自体に温度センサを
設け、常に光学ベンチ１２の温度を監視するという手法
が試みられたが、従来例に記載したように大きな効果を
得ることができず、むしろこの発明の実施の形態に示す
ように、運転開始時の温度を計測し、それから制御温度
まで冷却できる時間を発振遅延時間として設けるほう
が、より確実に効果を出す事が出来る。

【００３１】なお、温度センサ１８，２３の少なくとも
一方の検出温度が一定の温度（２８℃）より高いときで
あれば、４０℃以外の温度のときにレーザ発振遅延時間
を設ける制御を行う構成にしてもよい。

【００３２】

【発明の効果】この発明のレーザ発振装置によれば、光
学ベンチの冷却を行う冷却媒体の温度を検出する温度セ
ンサ、もしくは光学ベンチを収納した筐体の内部に設置
された温度センサの少なくとも一方を備え、レーザ発振
装置運転開始後、冷却媒体または筐体内雰囲気が一定温
度になるように制御されるとともに、温度センサの少な
くとも一方の検出温度が一定温度より高いとき、所定の
発振遅延時間経過後にレーザ発振可能としたので、光学
ベンチが熱的バランスをとるために必要な時間を確保す
ることができる。これによりレーザ発振直後より安定し
たレーザ加工を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態におけるレーザ発振装置
のフローチャートである。

【図２】この発明の実施の形態における運転開始からの
時間と加工状態についての説明図である。

【図３】従来例における運転開始からの時間と加工状態
についての説明図である。

【図４】従来例のフローチャートである。

【図５】レーザ発振装置における光共振器部を示す概念
図である。

【図６】レーザ発振装置の模式図である。

【符号の説明】

１ 放電管 ２ レーザガス ３ 電極 ４ 電極 ５ 高電圧電源装置 ６ 放電 ７ 全反射鏡 ８ 部分透過鏡 ９ レーザビーム １０ 筐体 １１ ビーム取りだし口 １２ 光学ベンチ １３ 冷却媒体 １４ ポンプ １５ 冷却媒体用熱交換器 １６ チラー １７ 冷却水 １８ 冷却媒体用温度センサ １９ 発振器制御装置 ２０ 電磁弁 ２１ ラジエータ ２２ ファン ２３ 筐体内温度センサ ２４ 電磁弁 ２５ 循環管体 ２６ 送風機 ２７ 熱交換器 ２８ 熱交換器 ２９ 排気管 ３０ 排気ポンプ ３１ 給気管

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光軸方向に配置された放電管の一端に部
   分反射鏡、他端に全反射鏡をそれぞれ配置するととも
   に、前記部分反射鏡および全反射鏡を光学ベンチにて保
   持し、光増幅することにより前記部分反射鏡よりレーザ
   ビームを取り出すレーザ発振装置であって、前記光学ベ
   ンチの冷却を行う冷却媒体の温度を検出する温度セン
   サ、もしくは前記光学ベンチを収納した筐体の内部に設
   置された温度センサの少なくとも一方を備え、レーザ発
   振装置運転開始後、冷却媒体または筐体内雰囲気が一定
   温度になるように制御されるとともに、前記温度センサ
   の少なくとも一方の検出温度が前記一定温度より高いと
   き、所定の発振遅延時間経過後にレーザ発振可能とした
   ことを特徴とするレーザ発振装置。