JPH01312876A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
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- JPH01312876A JPH01312876A JP14153788A JP14153788A JPH01312876A JP H01312876 A JPH01312876 A JP H01312876A JP 14153788 A JP14153788 A JP 14153788A JP 14153788 A JP14153788 A JP 14153788A JP H01312876 A JPH01312876 A JP H01312876A
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、ガスレーザ装置に係り、とくに起動時間を短
縮したガスレーザ装置に関する。
縮したガスレーザ装置に関する。
（従来の技術）
従来の横流形炭酸ガスレーザ装置（以下、レーザ装置と
いう。）の発振部の一例を示す第２図において、矢印で
示すレーザ光１は、放電部２で励起されたレーザガス３
が放出したレーザ光がリアミラー４と出力ミラー５間で
増幅されて外部へ出射される。すると、励起されたレー
ザガス３は、高温になって発振効率が下がるので、風洞
８内に設けられた一対の熱交換機で冷やし送風機６で循
環させている。
いう。）の発振部の一例を示す第２図において、矢印で
示すレーザ光１は、放電部２で励起されたレーザガス３
が放出したレーザ光がリアミラー４と出力ミラー５間で
増幅されて外部へ出射される。すると、励起されたレー
ザガス３は、高温になって発振効率が下がるので、風洞
８内に設けられた一対の熱交換機で冷やし送風機６で循
環させている。
又、リアミラー４と出力ミラー５は、図示しない保持機
構に取付けられ図示しない冷却源で冷やされているが、
レーザガスとともに風洞との間に熱伝達があり、その影
響を受ける。
構に取付けられ図示しない冷却源で冷やされているが、
レーザガスとともに風洞との間に熱伝達があり、その影
響を受ける。
（発明が解決しようとする課題）
とくに、レーザ発振器の起動時や、設置環境の影響で風
洞の温度が変ると、出力、モード、光軸が変動するので
、安定したレーザ加工をするには風洞の温度が一定にな
るまで待たなければならない。
洞の温度が変ると、出力、モード、光軸が変動するので
、安定したレーザ加工をするには風洞の温度が一定にな
るまで待たなければならない。
そこで本発明の目的は、起動俊速やかに出力。
モード、と光軸を安定させることのできるガスレーザ装
置を得ることである。
置を得ることである。
（課題を解決するための手段および作用）本発明は、風
洞内にレーザガスの温度を検出する複数の温度センサを
設け、風洞の外壁外面に複数のヒータを設け、温度セン
サからの値が制御装置に設けた平衡温度に達する迄加熱
して、起動時間を早め加工機の加工性能も上げたガスレ
ーザ装置である。
洞内にレーザガスの温度を検出する複数の温度センサを
設け、風洞の外壁外面に複数のヒータを設け、温度セン
サからの値が制御装置に設けた平衡温度に達する迄加熱
して、起動時間を早め加工機の加工性能も上げたガスレ
ーザ装置である。
（実施例）
以下、本発明のレーザ装置の一実施例を第１図で説明す
る。但し、第２図と重複する部分は省く。
る。但し、第２図と重複する部分は省く。
第１図は風洞８の縦断面図で、風洞８の金属外被の外側
には、この風洞８を加熱するヒータ９が左右に上下に２
個づつ取付られ、上部の放電部の下流側に１個取付けら
れている。
には、この風洞８を加熱するヒータ９が左右に上下に２
個づつ取付られ、上部の放電部の下流側に１個取付けら
れている。
又、風洞８の内部には、熱交換８！７の上下のし一ザガ
ス流路に左右対称に、このレーザガスの温度を検出する
温度センサｌＯが各２個、上部に１個取付けられている
。
ス流路に左右対称に、このレーザガスの温度を検出する
温度センサｌＯが各２個、上部に１個取付けられている
。
次に、このレーザ装置を制御する制御装置１１には１図
示しないヒータ電源を入・切する制御線が接続され、セ
ンサ１０からその検出信号を入力される信号線が接続さ
九でいる。
示しないヒータ電源を入・切する制御線が接続され、セ
ンサ１０からその検出信号を入力される信号線が接続さ
九でいる。
そして、制御装置１１には、事前の試験で出射されるレ
ーザ光が安定したパワー、モード、光軸となるレーザガ
スの温度範囲を設定しである。
ーザ光が安定したパワー、モード、光軸となるレーザガ
スの温度範囲を設定しである。
このように構成したレーザ装置によれば、起動後レーザ
ガスは放電部２とヒータ９で急速に加熱され、温度セン
サ１０からの信号が許容範囲になると、制御装置１１で
ヒータ１０の電源が切られて、平衡状態となり、図示し
ない加工機へ準備完了の指令が送られる。
ガスは放電部２とヒータ９で急速に加熱され、温度セン
サ１０からの信号が許容範囲になると、制御装置１１で
ヒータ１０の電源が切られて、平衡状態となり、図示し
ない加工機へ準備完了の指令が送られる。
又、もし、運転中にこの平衡状態が破れると、ヒータ１
０はＯＮされ急速に温度が回復する。
０はＯＮされ急速に温度が回復する。
なお、ヒータ１０の電源とともに熱交換機７のファンの
回転や温度を制御すれば、更に早く平衡状態に移ること
ができ、運転中の外乱などに強いレーザ装置を得ること
ができる。
回転や温度を制御すれば、更に早く平衡状態に移ること
ができ、運転中の外乱などに強いレーザ装置を得ること
ができる。
又、上記実施例では、横流形炭酸が入レーザ装置の例で
説明したが、レーザガスを循環させるものであればガス
の流れる方向に関係なく、ガスの種類が変っても適用で
きる。
説明したが、レーザガスを循環させるものであればガス
の流れる方向に関係なく、ガスの種類が変っても適用で
きる。
以上１本発明のレーザ装置によれば、風洞内にレーザガ
スの温度を検出する複数の温度センサを設け、風洞壁の
外面にはこの壁を介して内部のレーザガスを加熱するヒ
ータを設け、制御装置には温度センサからの値を設定温
度と比較してヒータの電源をＯＮ・ＯＦＦする制御部を
設けたので、起動時間が短く加工機の加工性能を上げる
ことのできるガスレーザ装置を得ることができる。
スの温度を検出する複数の温度センサを設け、風洞壁の
外面にはこの壁を介して内部のレーザガスを加熱するヒ
ータを設け、制御装置には温度センサからの値を設定温
度と比較してヒータの電源をＯＮ・ＯＦＦする制御部を
設けたので、起動時間が短く加工機の加工性能を上げる
ことのできるガスレーザ装置を得ることができる。
第１図は本発明のガスレーザ装置の一実施例を示す縦断
面図、第２図は従来の横流形炭酸ガスレーザ装置の発振
部の一例を示す図である。 ３・・・レーザガス ８・・・風洞 ９・・・ヒータ １０・・・温度センサ １１・・・制御装置
面図、第２図は従来の横流形炭酸ガスレーザ装置の発振
部の一例を示す図である。 ３・・・レーザガス ８・・・風洞 ９・・・ヒータ １０・・・温度センサ １１・・・制御装置
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 共振部で励起されるレーザガスを送風機で循環させるガ
スレーザ装置において、 前記レーザガスが循環する風洞の外壁側に複数のヒータ
を設け、 前記風洞の内部の前記共振部と前記送風機の前後に、前
記レーザガスの温度を検出する複数の温度センサを設け
、 前記ガスレーザ装置の制御装置に、前記温度センサから
の信号を受信し、予め設定された平衡温度と比較して、
前記ヒータの電源をＯＮ・ＯＦＦする制御部を設けたこ
と、 を特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14153788A JPH01312876A (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14153788A JPH01312876A (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01312876A true JPH01312876A (ja) | 1989-12-18 |
Family
ID=15294274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14153788A Pending JPH01312876A (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01312876A (ja) |
-
1988
- 1988-06-10 JP JP14153788A patent/JPH01312876A/ja active Pending
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