JP2010212550A - レーザ発振装置およびレーザ加工機 - Google Patents

Abstract

【課題】送風手段より発生するオイルミストの影響を低減し、安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】送風手段１０を備えたレーザ発振装置において、運転開始時に第１ガス排気通路３１の電磁弁３２および第２ガス排気通路３３の電磁弁３４を閉めた状態でガス排気手段３６により送風手段１０の駆動部の大気を一定時間排出し、ガス排出量調整手段３５の詰まりを差圧検出手段４２の圧力変化で検出し、差圧検出手段４２の圧力が所定圧力以下の場合に警報を発生させる警報手段４３を設けた。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガス配管経路内に送風機を備えたレーザ発振装置およびレーザ加工機に関するものである。

従来のガスレーザ発振装置の構成を図５に沿って説明する。

誘電体よりなる放電管４内にはレーザガス２が循環している。放電管４の周辺に設けられた電極６、７に接続された高電圧電源８は、放電管４内に放電空間３を発生させる。放電空間３によりレーザガス２は励起され、全反射鏡１４および部分反射鏡１３を通って外にレーザ光１として出力される。放電管４と共にレーザガスの循環路を形成するガス循環経路１２の内部には送風手段１０によりレーザガス２が循環されていて、放電空間３および送風手段１０により上昇したレーザガスの温度を下げるため、熱交換器９、１１が配置されている。

次に送風手段１０の構造およびその動作について図６に沿って説明する。

送風手段１０は前記ガス循環経路１２の中に設けられたガス送風用の翼車部１０ａと、これに隣接する駆動部１０ｄからなり、翼車部１０ａと駆動部１０ｄは、互いに軸により接続された構造になっている。翼車部１０ａはガス循環経路１２に接続されていて、回転翼などのガス送風手段によりレーザガスを流すようになっている。

一方、駆動部１０ｄはモータなどの駆動手段が回転することにより、動力を翼車部１０ａに伝達するようになっている。駆動部１０ｄのケーシング１０ｃ部分には、オイル１０ｅが収納され、ベアリングの潤滑およびモータロータの冷却を行っている。このオイルより発生したオイルミストが、翼車が循環させているレーザガス中に侵入するとレーザガスの純度が低下し、レーザ発振に大きな不具合をもたらすことになる。よってオイルミストのガス循環経路への侵入を抑制するため、シール部１０ｂが設けられ、駆動部１０ｄと翼車部１０ａとを分離している。シール部とシャフトの間は数１０μｍの隙間が設けられており、シャフトの回転を阻害しないような構成となっている。

上述のように、シール部１０ｂには数１０μｍの隙間があるため、真空拡散によりオイルミストが隙間を通って、駆動部１０ｄから翼車部１０ａへ侵入してしまう。これを防ぐため、ガス排出量調整手段３５とガス排気手段３６によって、駆動部１０ｄから常時一定量のガスを排気し、翼車部１０ａより駆動部１０ｄの方が低圧になるように構成している。

そして、レーザ発振装置には、レーザガスを入れ替えるため、ガス供給源２１をガス供給量調整手段２２、電磁弁２３を介してガス循環経路１２と接続しており、また、第１ガス排気通路３１、電磁弁３２を介してガス循環経路１２とガス排気手段３６を接続している。

なお、長時間使用していると駆動部１０ｄに発生するオイルミストの影響でシール部１０ｂやガス排出量調整手段３５に詰まりが発生する場合がある。このため、翼車部１０ａと駆動部１０ｄとの圧力差を監視する差圧監視装置を設け、翼車部１０ａと駆動部１０ｄとの差圧が低下、または、差圧が上昇した場合に警報を発生、もしくは運転を停止するようにした発明が知られている（特許文献１参照）。

この特許文献１に記載された発明では、送風手段１０の翼車部１０ａと駆動部１０ｄとの圧力差を監視する差圧監視装置は、送風手段１０の運転中に差圧を監視するようになっていて、翼車部１０ａと駆動部１０ｄとの差圧が低下、または、差圧が上昇した場合に送風手段１０の運転を停止する仕様となっている。
特開２００３−１１０１７０号公報

従来のレーザ発振装置は、送風手段の定格運転中に翼車部と駆動部の圧力差を監視していたため、送風手段のシール部やガス排出量調整手段のオリフィスなどに不具合があった場合でも、一旦、送風手段の運転を開始して、定格回転数になった後でないと異常の有無を判別できなかった。

そのため、上記不具合に気づかず再起動を繰返すと、駆動部で発生したオイルミストがガス循環経路内に侵入して、光共振器を構成する全反射鏡や部分反射鏡の汚染によるレーザ光の出力低下や全反射鏡や部分反射鏡の劣化を招く場合があった。

またオイルミストの影響で放電管の放電の乱れが発生し、レーザ光の出力低下や最悪の場合には異常放電に至り、高電圧電源や共振器構造部品の損傷を招くという課題を有していた。

本発明は、送風手段の運転開始前に送風手段のシール部やガス排出量調整手段などの不具合を発見できるレーザ発振装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明のレーザ発振装置は、レーザ媒体であるレーザガスを励起する放電手段と、前記レーザガスを送風する翼車部とこの翼車部を駆動する駆動部を有する送風手段と、前記放電手段と前記送風手段との間のレーザガスの循環経路を形成するガス循環経路と、前記送風手段の駆動部および前記ガス循環経路にそれぞれ排気通路を介して接続されたガス排気手段と、前記ガス循環経路にレーザガスを供給するガス供給源とを備え、前記ガス循環経路の大気を排出する第１ガス排気通路と、前記第１ガス排気通路に設けた電磁弁と、前記送風手段の駆動部から大気を排出する第２ガス排気通路と、前記第２ガス排気通路に設けたガス排出量調整手段と、前記ガス排出量調整手段に並列に前記第２ガス排気通路に設けた電磁弁と、前記送風手段の翼車部の出口側と前記送風手段の駆動部との差圧を検出する差圧検出手段を設け、運転開始時に前記第１排気通路の電磁弁および前記第２排気通路の電磁弁を閉めた状態で前記ガス排気手段により前記送風手段の駆動部の大気を一定時間排出し、前記差圧検出手段の圧力が所定圧力以下の場合に前記ガス排出量調整手段の詰まりが発生したとして警報を発生させる警報手段を設けたものである。

この構成により駆動部で発生したオイルミストやガス排気経路のゴミなどによるガス排出量調整手段のオリフィス詰まりが特別な検出器を装備することなく、送風手段の翼車部と駆動部との差圧検出手段で、送風手段の運転前に発見でき、送風手段の翼車部と駆動部との差圧低下によるガス経路循環内にオイルミストの侵入するのを防止できる。

また、本発明のレーザ加工機は、加工物を乗せる加工テーブルと、前記加工テーブルの移動とレーザ光の集光手段の少なくとも一方を移動する駆動手段と、前記駆動手段を制御する数値制御手段と、本発明のレーザ発振装置を備えたものである。

この構成により、数値制御手段によりレーザ発振装置が統括的に制御され、レーザ加工の信頼性が向上すると共に加工ワークの不良品の混入を防止することができる。

以上のように、本発明は、オイルミストやガス排気通路内のゴミなどによるガス排出量調整手段のオリフィス詰まりや送風手段の翼車部と駆動部との差圧低下によるオイルミストのガス経路循環内の侵入を未然に防止し、レーザ出力の安定化と信頼性の向上を図ることができる。

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図１から図４を用いて説明する。

（実施の形態１）
図１は本発明のレーザ発振装置の実施の形態１におけるブロック図である。

なお、従来例と同じ構成要素には同一番号を付与し、特に送風手段１０の構成についてはその説明を省略する。

図１において本実施の形態のレーザ発振装置は、レーザ光１、レーザ媒体であるレーザガス２、放電空間３、放電管４、アノード電極６、カソード電極７、高電圧電源８、レーザガス温度を下げる熱交換器９、レーザガス２を送風する翼車部（図示はしないが図６における翼車部１０ａと同じ構成部分）とこの翼車部を駆動する駆動部（図示はしないが図６における駆動部１０ｄと同じ構成部分）を有する送風手段１０、レーザガス温度を下げる熱交換器１１、ガス循環経路１２、レーザ共振器を構成する部分反射鏡１３、レーザ共振器を構成する全反射鏡１４、レーザガスを供給するガス供給源２１、ガス供給量調整手段２２、ガス供給電磁弁２３、第１ガス排気通路３１、第１ガス排気電磁弁３２、第２ガス排気通路３３、第２ガス排気電磁弁３４、ガス排出量調整手段３５、真空ポンプなどのガス排気手段３６、ガス排気停止用電磁弁３７、ガス圧力検出手段４１、差圧検出手段４２、警報手段４３を備えている。

なお、電磁弁や各部の制御は警報装置４３を兼ねた制御装置（図示せず）で行う構成としている。

その構成は、放電管４の両端にアノード電極６とカソード電極７を配置し、これらアノード電極６とカソード電極７は高電圧電源８と接続してレーザガス２を励起する放電手段を構成し、放電管４内部のレーザガス２に放電して放電空間３を形成するようにしている。この放電管４にはガス循環経路１２を接続していて、このガス循環経路１２の途中に熱交換器９、送風機１０、熱交換器１１を配置して、放電手段と送風手段との間のレーザガスの循環経路を形成し、レーザガス２が循環するように構成しており、本実施の形態ではアノード電極６からカソード電極７へレーザガス２を流すようにしている。また、本実施の形態では放電管２を２本向かい合わせに接続しているが並列に並べて反射鏡で折り返して光学的に連結してもよいし、１本でもまた３本以上連結してもよい。

この各放電管４を連結していないそれぞれの端部には部分反射鏡１３と全反射鏡１４を配置してレーザ共振器を構成している。このレーザ共振器からは部分反射鏡１３から高出力のレーザ光１が出力される。

そして、このガス循環経路１２はガス供給量調整手段２２、ガス供給電磁弁２３を介してガス供給源２１と接続しており、また、ガス循環経路１２は第１ガス排気通路３１も接続している。この第１ガス排気通路３１は、第１ガス排気電磁弁３２、ガス排気停止用電磁弁３７を介してガス排気手段３６に接続しており、ガス供給源２１とガス排気手段３６によってレーザガスの供給と圧力調整を行っている。

また、送風手段１０の駆動部（図示はしないが図６における駆動部１０ｄと同じ構成部分）には第２ガス排気通路３３を接続し、ガス排出量調整手段３５、ガス排気停止用電磁弁３７を介してガス排気手段３６に接続している。なお、ガス排出量調整手段３５には並列に第２ガス排気電磁弁３４を接続し、第２ガス排気通路３３から第２ガス排気電磁弁３４、ガス排気停止用電磁弁３７を介してガス排気手段３６に接続するようにしている。

そして、ガス循環経路１２には内部のレーザガス２の圧力を検出するガス圧力検出手段４１を設けていて、また、ガス循環経路１２の送風手段１０の翼車部（図示はしないが図６における翼車部１０ａと同じ構成部分）の出口側と第２ガス排気通路３３には差圧検出手段４２を設けており、これらガス圧力検出手段４１、差圧検出手段４２の出力信号を警報手段４３に入力するようにしている。

以上のように構成されたレーザ発振装置について、その動作を説明する。

誘電体よりなる放電管４内にはレーザガス２が循環している。放電管４の周辺に設けられたアノード電極６およびカソード電極７に接続された高電圧電源８は、放電管４内に放電を発生させる。放電によりレーザガス２は励起され、全反射鏡１４および部分反射鏡１３を通って外部にレーザ光１として出力される。放電管４と共にレーザガス２の循環路を形成するガス循環経路１２の内部には送風手段１０によりレーザガス２が送られており、放電および送風手段１０により上昇したレーザガス２の温度を下げるため、熱交換器９、１１が配置されている。

そして、運転停止状態ではガス循環経路１２、送風手段１０、および放電管４の内部が大気圧近くの圧力約９０ｋＰａに保たれていて、運転開始時に第１ガス排気電磁弁３２、第２ガス排気電磁弁３４およびガス排気停止用電磁弁３７を開放して、ガス排気手段３６の真空ポンプなどで大気を排気して、圧力約１ｋＰａ前後まで真空引きをする。

この圧力が約１ｋＰａ前後になったとき、送風手段１０の運転を開始すると同時に、第２ガス排気電磁弁３４とガス排気停止用電磁弁３７を閉鎖後、ガス供給電磁弁２３を開放してガス供給源２１より運転ガス圧力になるまで新鮮なレーザガスを供給する。

運転ガス圧力になるとガス排気停止用電磁弁３７を開放してレーザガスを排気すると同時にガス圧力検出手段４１で一定の圧力になるようにガス供給電磁弁２３の開閉制御をする。

図２は運転開始時におけるガス圧力および差圧の時間的変化の関係を示すもので、図２を参照しながら警報手段の詳細な動作ついて説明する。

レーザ発振器の停止中のガス圧力は、約９０ｋＰａ前後になっている。運転を開始するとガス排気停止用電磁弁３７は開放、第１ガス排気電磁弁３２と第２ガス排気電磁弁３４は閉鎖の状態でガス排気手段３６からガスが排気されると、ガス排出量調整手段３５と第２ガス排気経路３３の圧力が低下して、送風手段１０の駆動部と翼車部との差圧が徐々に上昇すると同時に、差圧検出手段４２の差圧も徐々に大きくなる。

起動して一定時間（数１０秒間）経過後の図中Ａ点の差圧が所定の基準値以上の場合、ガス排出量調整手段３５の流量は確保されていて正常と判断される。

しかし、ガス排出量調整手段３５に詰まりが発生した場合、排気流量が低下して、それと同時に差圧が所定の基準値以下になることにより異常検出が可能となる。

すなわち、この構成により駆動部で発生したオイルミストやガス排気経路のゴミなどによるガス排出量調整手段３５のオリフィス詰まりが特別な検出器を装備することなく、送風手段１０の翼車部と駆動部との差圧検出手段４２で、送風手段１０の運転前に発見でき、送風手段１０の翼車部と駆動部との差圧低下によるガス経路循環内にオイルミストの侵入するのを防止できる。

また、送風手段１０のシール部（図示はしないが図６におけるシール部１０ｂと同じ構成部分）の隙間が広くなった場合も同様に差圧が所定の基準値以下になることにより異常検出が可能となる。

また、運転開始時のガス圧力が停止ガス圧力の約９０ｋＰａより低い場合、ガス供給電磁弁２３を一旦開放してレーザガスを供給して約９０ｋＰａになった後に、ガス排気停止用電磁弁３７は開放、第１ガス排気電磁弁３２と第２ガス排気電磁弁３４は閉鎖の状態でガス排気手段３６からガスが排気することにより正確に差圧の検出が可能となっている。

そして、上記ガス排出量調整手段３５の詰まり検出のチェック後、第１ガス排気電磁弁３２と第２ガス排気電磁弁３４は開放の状態にして真空引きを継続する。

その後、ガス圧力が１０ｋＰａ以下の状態で差圧検出手段４２の差圧信号が所定の基準値以下の図中Ｂ点に到達したとき、第１ガス排気通路３１の第１ガス排気電磁弁３２および第２ガス排気通路３３の第２ガス排気電磁弁３４を閉めた状態でガス供給源２１より一定ガス圧力（約０．５ｋＰａ程度）になるまでレーザガスを供給後、ガス排気手段３６により送風手段１０の駆動部の大気を一定時間（約１０秒間程度）排出し、図中Ｃ点になったとき前記送風手段１０の駆動部の真空リーク発生の有無を前記差圧検出手段４２の差圧変化で検出する。送風手段１０の駆動部のケーシング（図示はしないが図６におけるケーシング１０ｃと同じ構成部分）より真空リークが発生している場合、駆動部の内部圧力が微少に上昇して、前記差圧検出手段４２の差圧変化が所定圧力以下になる。この場合に警報手段４３より警報を発生させレーザ発振器の運転を停止させる。

前記ガス供給源３６からの一定ガス圧力の供給は、第１ガス排気通路３１の第１ガス排気電磁弁３２と第２ガス排気通路３３の第２ガス排気電磁弁３４を閉めた状態より一定時間経過後のガス圧力を記憶し、ガス供給時のガス圧力との差を演算手段（警報装置４３を兼ねた制御装置に含める）で演算することにより、各電磁弁の動作遅れやガス圧の変動がなくなり安定した状態で計測が出来るため誤差の少ない制御が可能となる。

図３は真空引き中のガス圧力および差圧の時間的変化の関係を示すもので、図３を参照しながら警報手段の別の動作ついて説明する。

真空引き中に運転ガス圧力付近（約２０〜３０ｋＰａ）の所定ガス圧力に到達（図中Ｄ点）したとき、第１ガス排気通路３１の第１ガス排気電磁弁３２を閉めた状態でガス排気手段３６により送風手段１０の駆動部の大気を一定時間（約数１０秒間）排出し、前記送風手段１０の駆動部と前記送風手段１０の翼車部とのシール部の隙間が広くなった異常を前記圧力検出手段４１の圧力変化で検出する。

前記送風手段１０の駆動部と前記送風手段１０の翼車部とのシール部の隙間、第２ガス排気通路３３および第２ガス排気電磁弁３４の経路でシール部の隙間が広くなった場合にガス排気流量が上昇してガス圧力の低下現象が早まるためシール部の異常の有無が検出できる。

よって、送風手段１０の駆動部と翼車部のシール部の隙間異常を速やかに検出することができオイルミストのガス循環経路内の侵入を未然に防止できレーザ出力が低下するということもなくなる。

また、前記圧力検出手段４１の圧力変化計測は、第１ガス排気通路３１の第１ガス排気電磁弁３２を閉めた状態から一定時間経過後のガス圧力を記憶し、ガス排気手段３６により送風手段１０の駆動部の大気を一定時間排出後のガス圧力との差を演算手段（警報装置４３を兼ねた制御装置に含める）で演算することにより各電磁弁の動作遅れやガス圧の変動がなくなり安定した状態で計測が出来るため誤差の少ない制御が可能となる。

以上のように、本実施の形態によれば、オイルミストやガス排気通路内のゴミなどによるガス排出量調整手段のオリフィス詰まりや送風手段の翼車部と駆動部との差圧低下によるオイルミストのガス経路循環内の進入を未然に防止し、レーザ出力の安定化と信頼性の向上を図ることができる。

なお、以上の構成からなるレーザ発振装置では、各構成に制御素子を設けて、各信号処理または各構成において制御するようにしたが、レーザ発振装置に、各構成に接続されるＣＰＵを設け、各処理を統括的に制御するようにしても良い。

（実施の形態２）
図４は、本発明の実施の形態２におけるレーザ加工機の構成図を示すもので、加工ワーク６４を乗せる加工テーブル６３と、加工テーブル６３の移動またはレーザ光を集光する集光手段６７の少なくとも一方を移動する駆動手段６２と、前記駆動手段６２を制御する数値制御手段６１と、上述した実施の形態１におけるレーザ発振装置６５と、レーザ光路６６により構成されている。

レーザ発振装置６５から出射されたレーザ光は、折返し鏡などで構成されたレーザ光路６６で伝送され集光手段６７により集光されて、加工ワーク６４に照射され、加工が開始される。それと同時に数値制御手段６１により駆動手段６２に指令が出力され、加工テーブル６３または集光手段６７の少なくとも一方を動作させて加工ワーク６４を加工される。

上記レーザ加工機によれば、オイルミストによるレーザガスの混合比不良によるレーザ光の出力変動がなくなり、レーザ光の出力パワーの正確な照射が可能となる。さらに数値制御手段によりレーザ発振装置が統括的に制御されことにより、レーザ加工の信頼性が向上すると共に加工ワークへの不良品の混入を防止することができる。

本発明のレーザ発振装置およびレーザ加工機は、送風手段からのオイルミストの影響を低減し、レーザ出力の安定および長期信頼性の向上を図れるレーザ発振装置およびレーザ加工機として有用である。

本発明の実施の形態１におけるレーザ発振装置のブロック図 本発明の実施の形態１における運転開始時のガス圧力および差圧の時間的変化を示す関係図 本発明の実施の形態１における真空引き中のガス圧力および差圧の時間的変化を示す関係図 本発明の実施の形態２におけるレーザ加工機の構成図 従来のガスレーザ発振装置の構成図 一般的なレーザ発振装置における送風手段の構造図

１ レーザ光
２ レーザガス
３ 放電空間
４ 放電管
６ アノード電極
７ カソード電極
８ 高電圧電源
９ 熱交換器
１０ 送風手段
１１ 熱交換器
１２ ガス循環経路
１３ 出力鏡
１４ 反射鏡
２１ ガス供給源
２２ ガス供給量調整手段
２３ ガス供給電磁弁
３１ 第１ガス排気通路
３２ 第１ガス排気電磁弁
３３ 第２ガス排気通路
３４ 第２ガス排気電磁弁
３５ ガス排出量調整手段
３６ ガス排気手段
４１ ガス圧力検出手段
４２ 差圧検出手段
４３ 警報手段

Claims (10)

1. レーザ媒体であるレーザガスを励起する放電手段と、前記レーザガスを送風する翼車部とこの翼車部を駆動する駆動部を有する送風手段と、前記放電手段と前記送風手段との間のレーザガスの循環経路を形成するガス循環経路と、前記送風手段の駆動部および前記ガス循環経路にそれぞれ排気通路を介して接続されたガス排気手段と、前記ガス循環経路にレーザガスを供給するガス供給源とを備え、前記ガス循環経路の大気を排出する第１ガス排気通路と、前記第１ガス排気通路に設けた電磁弁と、前記送風手段の駆動部から大気を排出する第２ガス排気通路と、前記第２ガス排気通路に設けたガス排出量調整手段と、前記ガス排出量調整手段に並列に前記第２ガス排気通路に設けた電磁弁と、前記送風手段の翼車部の出口側と前記送風手段の駆動部との差圧を検出する差圧検出手段を設け、運転開始時に前記第１排気通路の電磁弁および前記第２排気通路の電磁弁を閉めた状態で前記ガス排気手段により前記送風手段の駆動部の大気を一定時間排出し、前記差圧検出手段の圧力が所定圧力以下の場合に前記ガス排出量調整手段の詰まりが発生したとして警報を発生させる警報手段を設けたレーザ発振装置。
2. 運転開始直前の前記送風手段の圧力が大気圧近くの所定圧力以下の場合、前記ガス供給源から前記所定圧力までレーザガスを供給後に前記差圧検出手段で差圧を検出するガス供給手段を設けた請求項１記載のレーザ発振装置。
3. 前記送風手段の駆動部と前記送風手段の翼車部とのシール部の隙間異常を前記差圧検出手段で検出する請求項１または２記載のレーザ発振装置。
4. 真空引き中に運転ガス圧力付近の所定ガス圧力に到達したとき、前記第１排気通路の電磁弁を閉めた状態で前記ガス排気手段により前記送風手段の駆動部の大気を一定時間排出し、前記送風手段の駆動部と前記送風手段の翼車部とのシール部の隙間異常を前記圧力検出手段の圧力変化で検出し、前記圧力検出手段の圧力変化が所定圧力以上の場合に警報を発生させる警報手段を設けた請求項１から３のいずれかに記載のレーザ発振装置。
5. 前記圧力検出手段の圧力変化計測は、前記第１排気通路の電磁弁を閉めた状態から一定時間経過後のガス圧力を記憶し、前記ガス排気手段により前記送風手段の駆動部の大気を一定時間排出後のガス圧力との差を演算する演算手段を設けた請求項４記載のレーザ発振装置。
6. 前記ガス排気手段で真空引き中の１０ｋＰａ以下の状態で前記差圧検出手段の差圧が所定値以下になったとき、前記第１排気通路の電磁弁および前記第２排気通路の電磁弁を閉めた状態で前記ガス供給源より一定ガス圧力なるまでガスを供給後、前記ガス排気手段により前記送風手段の駆動部の大気を一定時間排出し、前記送風手段の駆動部の真空リーク異常を前記差圧検出手段の差圧変化で検出し、前記差圧検出手段の差圧変化が所定圧力以下の場合に警報を発生させる警報手段を設けた請求項１から５のいずれかに記載のレーザ発振装置。
7. 前記ガス供給源からの一定圧力のガス供給は、前記第１排気通路の電磁弁と前記第２排気通路の電磁弁を閉めた状態から一定時間経過後のガス圧力を記憶し、ガス供給時のガス圧力との差を演算する演算手段を設けた請求項６記載のレーザ発振装置。
8. 前記検出手段で異常を検出した場合、レーザ発振装置の運転を強制的に停止して、以後の再起動運転の禁止する請求項１から７の何れかに記載のレーザ発振装置。
9. 定期点検時などの場合に強制的に前記警報手段を無効にする請求項１から７の何れかに記載のレーザ発振装置。
10. 加工物を乗せる加工テーブルと、前記加工テーブルの移動とレーザ光の集光手段の少なくとも一方を移動する駆動手段と、前記駆動手段を制御する数値制御手段と、レーザ光を発生する請求項１から９のいずれかに記載のレーザ発振装置とを備えたレーザ加工機。

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