JP5494027B2 - レーザ発振装置 - Google Patents
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Description
図1において、1は光共振器で、この光共振器1は、部分反射鏡2と、この部分反射鏡2に対向するように設置された全反射鏡3とにより、構成されている。
2 部分反射鏡
3 全反射鏡
4 送風機
4i 軸受
5 熱交換器
6 ガス循環路
7 レーザ光
8 インバータ
9 振動センサ
10 増幅器
11 比較器
12 アラーム表示器
13 ガス供給器
14 ガス排出器
15 真空ポンプ
16 ガス圧力検出器
17 ガス圧力制御器
20 レーザ発振装置
30 ガスボンベ
Claims (5)
- 光共振器と、
前記光共振器に接続したガス循環路と、
前記ガス循環路、または前記光共振器にレーザ媒質ガスを供給するガス供給器と、
前記ガス循環路、または前記光共振器からレーザ媒質ガスを排出するガス排出器と、
前記ガス循環路、または前記光共振器のレーザ媒質ガスのガス圧力を検出するガス圧力検出器と、
前記ガス圧力検出器で検出したガス圧力により、前記ガス供給器と前記ガス排出器の少なくとも一方を制御するガス圧力制御器と、
前記ガス循環路に介在させた送風機と、
前記送風機に設置された振動センサと、
前記振動センサが検出した振動信号値が、予め設定された振動基準値以上であるか否かを判断し、前記振動基準値以上であれば基準値超過信号を出力する比較器とを備え、
前記比較器は、直接、前記ガス圧力制御器に前記基準値超過信号を出力し、
前記基準値超過信号が入力された前記ガス圧力制御器は、前記ガス供給器と前記ガス排出器の少なくとも一方を制御して、前記光共振器内のレーザ媒質ガスのガス圧力を、所定運転ガス圧力よりも低くなるように制御するレーザ発振装置。 - 前記比較器には警報器を接続した請求項1に記載のレーザ発振装置。
- 前記比較器は前記ガス圧力制御器に前記基準値超過信号を出力すると同時に、前記警報器に前記基準値超過信号を出力する請求項2に記載のレーザ発振装置。
- 光共振器と、
前記光共振器に接続したガス循環路と、
前記ガス循環路、または前記光共振器にレーザ媒質ガスを供給するガス供給器と、
前記ガス循環路、または前記光共振器からレーザ媒質ガスを排出するガス排出器と、
前記ガス循環路、または前記光共振器のレーザ媒質ガスのガス圧力を検出するガス圧力検出器と、
前記ガス圧力検出器で検出したガス圧力により、前記ガス供給器と前記ガス排出器の少なくとも一方を制御するガス圧力制御器と、
前記ガス循環路に介在させた送風機と、
前記送風機に設置された振動センサと、
前記振動センサが検出した振動信号値が、予め設定された振動基準値以上であるか否かを判断し、前記振動基準値以上であれば基準値超過信号を出力する比較器と、
前記比較器と前記ガス圧力制御器との間に接続された警報器とを備え、
前記比較器は、前記警報器に前記基準値超過信号を出力し、
前記基準値超過信号が入力された前記警報器は、アラーム表示をすると同時に、アラーム信号を前記ガス圧制御装置に出力し、
前記アラーム信号が入力された前記ガス圧力制御器は、前記ガス供給器と前記ガス排出器の少なくとも一方を制御して、前記光共振器内のレーザ媒質ガスのガス圧力を、所定運転ガス圧力よりも低くなるように制御する構成としたレーザ発振装置。 - 前記ガス圧力制御器は、前記光共振器内のレーザ媒質ガス圧力を、前記所定運転ガス圧力よりも低く、且つ予め設定されたガス圧下限値よりも高い値に制御し、
前記ガス圧下限値は、前記送風機内部に設けられた固定子に通電するための電源接続部分で絶縁抵抗が劣化しない下限のガス圧である請求項1〜4のいずれかに記載のレーザ発振装置。
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