JPS59111382A - 炭酸ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
炭酸ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS59111382A JPS59111382A JP22027082A JP22027082A JPS59111382A JP S59111382 A JPS59111382 A JP S59111382A JP 22027082 A JP22027082 A JP 22027082A JP 22027082 A JP22027082 A JP 22027082A JP S59111382 A JPS59111382 A JP S59111382A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- gas
- blower
- water
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、温度管理によってレーザ用ガス温度とガス循
環用ブロアの回転体部温度の最適制御を行なう装置に関
する。
環用ブロアの回転体部温度の最適制御を行なう装置に関
する。
従来、レーザ発振器は、レーザ発振媒体である炭酸ガス
等のガス循環を常時性ない、ガス、循環経路内はガス耐
大により、一定の真空圧力を保持している。ガスは高速
回転するブロアにより循環させているが、レーザ発振時
、あるいは、ベーキング（放電脱ガス）時、ガス循環経
路中に配置した放電部でグロー放電がなされる。この時
、放電作用により温度上昇したガスを、循環させる駆動
力となるブロア部入口で熱交換器によシ冷却して、低温
ガスにしてガスの循ｆｉ１ ｆ実施する。熱交換器は冷
却水を常時一定の水温、流量で流している。
等のガス循環を常時性ない、ガス、循環経路内はガス耐
大により、一定の真空圧力を保持している。ガスは高速
回転するブロアにより循環させているが、レーザ発振時
、あるいは、ベーキング（放電脱ガス）時、ガス循環経
路中に配置した放電部でグロー放電がなされる。この時
、放電作用により温度上昇したガスを、循環させる駆動
力となるブロア部入口で熱交換器によシ冷却して、低温
ガスにしてガスの循ｆｉ１ ｆ実施する。熱交換器は冷
却水を常時一定の水温、流量で流している。
この場合、レーザ媒体のガス温度は放電電源からの放電
電流に依存し、放電の多少でガス温度が昇降し、例えば
、熱交換器出入口温度やブロアの出入口の温度が不均一
であった。このため、例えば、ガス循環の駆動力となる
高速回転用モータの軸近傍へ、一定の水量、水温で冷却
水によシ冷却してもカス温度が異常に高い場合は、前記
の作用により熱伝導によってモータ軸が温度上昇し、モ
ーｌ軸受部が摩耗し、軸受部の潤滑剤の劣化が早く、ひ
いては、高速回転用モータの寿命を縮めている欠点があ
υ、父、ガス温度を低くするために、熱交換器の容量を
、常時、大きくとっておく必要があるなどの問題があっ
た。
電流に依存し、放電の多少でガス温度が昇降し、例えば
、熱交換器出入口温度やブロアの出入口の温度が不均一
であった。このため、例えば、ガス循環の駆動力となる
高速回転用モータの軸近傍へ、一定の水量、水温で冷却
水によシ冷却してもカス温度が異常に高い場合は、前記
の作用により熱伝導によってモータ軸が温度上昇し、モ
ーｌ軸受部が摩耗し、軸受部の潤滑剤の劣化が早く、ひ
いては、高速回転用モータの寿命を縮めている欠点があ
υ、父、ガス温度を低くするために、熱交換器の容量を
、常時、大きくとっておく必要があるなどの問題があっ
た。
本発明の目的は、ガス温度の最適制御を行ない、機器の
寿命、並びに、省電力などを図る炭酸ガスレーザ発振器
を提供するにある。
寿命、並びに、省電力などを図る炭酸ガスレーザ発振器
を提供するにある。
本発明の要点は、プロア入口にガス温度測定用センサを
取付け、父、プロア用モータ軸近傍に軸温度測定用セン
サを取付けて、各々の温度Ｕ理をし、冷却水の水温及び
冷却水量を制御することでモータ軸受部の潤滑剤の劣化
防止を図るにある。
取付け、父、プロア用モータ軸近傍に軸温度測定用セン
サを取付けて、各々の温度Ｕ理をし、冷却水の水温及び
冷却水量を制御することでモータ軸受部の潤滑剤の劣化
防止を図るにある。
以下、本発明の実施例を第１図ないし第３図で説明する
。
。
レーザ用ガス循環経路１は真空室２をもち、ガスを循環
させる駆動力となるプロア４を構成し、プロア４によっ
て高速循環しているガス３が放電部５によつ′【グロー
放電し、真壁室２をベーキングしている。この時、放電
部５の放電作用によって温度上昇した高温ガス３Ａはプ
ロア４に入る前に、冷却装＠６により一定の水温及び水
量によシ循環された冷却水７で、冷却した熱交換器８に
よって低温ガス３Ｂにして、プロア４へ循環している。
させる駆動力となるプロア４を構成し、プロア４によっ
て高速循環しているガス３が放電部５によつ′【グロー
放電し、真壁室２をベーキングしている。この時、放電
部５の放電作用によって温度上昇した高温ガス３Ａはプ
ロア４に入る前に、冷却装＠６により一定の水温及び水
量によシ循環された冷却水７で、冷却した熱交換器８に
よって低温ガス３Ｂにして、プロア４へ循環している。
放電電源９の制御によシ、放・抱部５を通過した高温カ
ス３Ａは徐々に温度が上昇する。プロア入口に配置され
たガス温度測定センサ１０によシ、ガス温度上昇値を検
出し、熱交換器８を冷却している冷却装置６の冷却水７
の水温及び水量を制御することで、プロア４人口へのガ
ス温度を一定にする。プロア４人口のガス温度センサｌ
Ｏが動作せずに、規定より高温のガスがプロア４へ流入
した状態や、高速回転用モータ１１のモータ軸１２が規
定以上の温度になった時も、軸近傍温度センサ１３が上
昇値を検出し、熱交換器８の冷却水水温及び水量を制御
して、モータ軸１２の温度上昇を防止し、軸受け１４の
潤滑剤１５の劣化を防止する事ができる。
ス３Ａは徐々に温度が上昇する。プロア入口に配置され
たガス温度測定センサ１０によシ、ガス温度上昇値を検
出し、熱交換器８を冷却している冷却装置６の冷却水７
の水温及び水量を制御することで、プロア４人口へのガ
ス温度を一定にする。プロア４人口のガス温度センサｌ
Ｏが動作せずに、規定より高温のガスがプロア４へ流入
した状態や、高速回転用モータ１１のモータ軸１２が規
定以上の温度になった時も、軸近傍温度センサ１３が上
昇値を検出し、熱交換器８の冷却水水温及び水量を制御
して、モータ軸１２の温度上昇を防止し、軸受け１４の
潤滑剤１５の劣化を防止する事ができる。
本発明によれば、プロア入口のガス温度及びモータ軸近
傍の温度を管理し、又、冷却水の水量及び水温を制御す
ることで次の効果を生じる。
傍の温度を管理し、又、冷却水の水量及び水温を制御す
ることで次の効果を生じる。
■ モータ軸近傍の温度の管理により、モータ軸受部の
潤滑剤の劣化を防止し、かつ、異常を早急に捕えること
が出来るので、モータの寿命を伸ばすことが出来る。
潤滑剤の劣化を防止し、かつ、異常を早急に捕えること
が出来るので、モータの寿命を伸ばすことが出来る。
■ ガス温度が管理出来るので、ガス温度上昇による部
品の熱歪がなく信頼性が高い。
品の熱歪がなく信頼性が高い。
第１図は本発明の一実施例のレーザ発振器の概略説明図
、第２図は第１図の■−■矢視断面図、第３図は第１図
の■−■矢視断面図である。 ４・・・プロア、８・・・熱交換器、１０・・・ガス温
度測定センサ、１３・・・軸近傍温度測定センサ。 第２図 沼３図
、第２図は第１図の■−■矢視断面図、第３図は第１図
の■−■矢視断面図である。 ４・・・プロア、８・・・熱交換器、１０・・・ガス温
度測定センサ、１３・・・軸近傍温度測定センサ。 第２図 沼３図
Claims (1)
- １、負圧容器内に炭酸ガスを含むレーザ媒質を循環させ
、グロー放電および鏡開共振作用によりレーザ光を発生
させる様に溝底したものにおいて、前記レーザ媒質の循
環用ブロワの回転体近傍の温度を測定する検出手段と、
前記レーザ媒質の温度を検出する手段と、前記レーザ媒
質の温度を制御できる熱交換手段とから成り、前記回転
体近傍の温度と前記レーザ媒質の温度により前記レーザ
媒質の温度を最適制御することを特徴とする炭酸ガスレ
ーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22027082A JPS59111382A (ja) | 1982-12-17 | 1982-12-17 | 炭酸ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22027082A JPS59111382A (ja) | 1982-12-17 | 1982-12-17 | 炭酸ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59111382A true JPS59111382A (ja) | 1984-06-27 |
Family
ID=16748541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22027082A Pending JPS59111382A (ja) | 1982-12-17 | 1982-12-17 | 炭酸ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59111382A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022696A (ja) * | 1988-06-16 | 1990-01-08 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| JPH0232579A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-02 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| JPH03120882A (ja) * | 1989-10-04 | 1991-05-23 | Fanuc Ltd | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 |
| JPH03227080A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-08 | Shimadzu Corp | エキシマレーザ装置 |
-
1982
- 1982-12-17 JP JP22027082A patent/JPS59111382A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022696A (ja) * | 1988-06-16 | 1990-01-08 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| JPH0232579A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-02 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| JPH03120882A (ja) * | 1989-10-04 | 1991-05-23 | Fanuc Ltd | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 |
| JPH03227080A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-08 | Shimadzu Corp | エキシマレーザ装置 |
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