JP5077271B2 - レーザ発振装置およびレーザ加工機 - Google Patents

Description

本発明は、ガス配管経路内に送風機を備えたレーザ発振装置およびレーザ加工機に関するものである。

従来のガスレーザ発振装置の構成を図５に沿って説明する。

誘電体よりなる放電管４内にはレーザガス２が循環している。放電管４の周辺に設けられた電極６、７に接続された高電圧電源８は、放電管４内に放電空間３を発生させる。放電空間３によりレーザガス２は励起され、全反射鏡１４および部分反射鏡１３を通って外にレーザ光１として出力される。放電管４と共にレーザガスの循環路を形成するガス循環経路１２の内部には送風手段１０によりレーザガス２が循環されていて、放電空間３および送風手段１０の圧縮熱により上昇したレーザガスの温度を下げるため、熱交換器９が配置されている。

次に送風手段１０の構造およびその動作について図６に沿って説明する。

送風手段１０は前記ガス循環経路１２の中に設けられたガス送風用のローター室１０ａと、これに隣接するローターの回転タイミングを決めるギアー室１０ｂと、駆動部１０ｄからなり、ローターと駆動部１０ｄは、互いに軸により接続された構造になっている。

ローター室１０ａはガス循環経路１２に接続されていて、（図６（ｂ）はローターを横から見た図）互いに９０度ずれて近接した断面が８の字または瓢箪のローターが回転することでレーザガスを圧縮しながら流すようになっている。

一方、駆動部１０ｄはモータなどの駆動手段が回転することにより、動力をローター室１０ａのローターに伝達するようになっている。

ローター室１０ａには、２個のローターが配置されていて、ギアー室１０ｂのギアーで２個のローターの回転タイミングを決めている。ギアー室１０ｂには、潤滑用オイルが収納され、ベアリングおよびギアーの潤滑を行っている。

この潤滑用オイルより発生したオイルミストが、ローターで循環させているレーザガス中に侵入するとレーザガスの純度が低下し、レーザ発振に大きな不具合をもたらすことになる。

よってオイルミストのガス循環経路への侵入を抑制するため、オイルシールまたはドライシールなどのシール部１０ｃが設けられ、ローター室１０ａとギアー室１０ｂとを分離している。シール部とシャフトの間は数μｍから数十μｍの隙間が設けられており、シャフトの回転を阻害しないような構成となっている。

上述のように、シール部には数μｍから数十μｍの隙間があるため、真空拡散によりオイルミストが隙間を通って、ギアー室１０ｂからローター室１０ａへ侵入してしまう。これを防ぐため、ローター室１０ａの両サイドのギアー室１０ｂよりギアー室ガス排気通路１０ｅおよびオイルミストトラップなどのオイルミスト捕獲手段３５を経由してガス排気手段４０によって、ギアー室１０ｂより常時一定量のガスを排気し、ローター室１０ａよりギアー室１０ｂの方が低圧になるように構成している。

そして、レーザ発振装置には、レーザガスを入れ替えるため、ガス供給源２１をガス供給量調整手段２２、電磁弁２３を介してガス循環経路１２と接続しており、また、第１ガス排気通路３１、電磁弁３２、電磁弁３９を介してガス循環経路１２とガス排気手段４０を接続している。

なお、ローター室１０ａのローターを加速および減速するときには、ローター室１０ａ内の圧力が変動し、そのためシール部１０ｃを通してギアー室１０ｂの潤滑用オイルミストがガス循環経路中に混入して、レーザ発振に悪影響を及ぼすという問題があった。

このため、送風手段のギアー室は、モータを回転制御しているインバータからの信号で開閉する電磁弁と、送風手段の運転中に開いている電磁弁とを介して、真空ポンプで真空引きし、送風手段の運転加速時および減速時に、インバータからの信号で電磁弁を開閉制御することにより、ギアー室からのガス排気流量を制御して、ギアー室の圧力をローター室の圧力よりも低圧に制御する発明が知られている（特許文献１参照）。
特開２０００−２２２４３号公報

この特許文献１に記載された発明は、ギアー室の圧力がガス送風手段の運転加速時および減速時に変動し、オイルミストがガス循環経路内に混入するのを防止する構成となっているが、シール部の隙間が磨耗や経年変化で拡大した場合、ローター室とギアー室との圧力差が減少して、そのオイルミストの混入を防止する圧力差が得られなくなる場合があった。

従来のレーザ発振装置は、長時間使用しているとオイルシールまたはドライシールなどのシール部の隙間は、徐々に磨耗や経年変化などにより拡大する。

したがって、ローター室とギアー室との圧力差が減少し、ギアー室で発生したオイルミストがガス循環経路内の混入という問題点があった。

また、シール部の隙間拡大に伴い、ローター室からギアー室を経由してガス排気手段までの配管インピーダンスが減少することによりガス排気の流量が増加して、レーザ発振器のガス消費量が増加するという問題点もあった。

そのため、上記不具合に気づかず運転を継続すると、ギアー室で発生したオイルミストがガス循環経路内に侵入して、光共振器を構成する全反射鏡や部分反射鏡に付着してレーザ光の出力低下、さらに全反射鏡や部分反射鏡の劣化破損を招く場合があった。

また、オイルミストの影響で放電管内の放電の乱れが発生し、レーザ光の出力低下や最悪の場合には異常放電に至り、高電圧電源や共振器構造部品の損傷を招くという課題を有していた。

本発明は、送風手段のシール部の隙間異常や真空リークおよびガス消費量の増加などの不具合を早期発見して、安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明のレーザ発振装置は、レーザ媒体であるレーザガスを励起する放電手段と、前記レーザガスを送風するローターと前記ローターを駆動する駆動部と前記駆動部からの力を前記ローターに伝えるギアーを有する送風手段と、前記放電手段と前記送風手段との間のレーザガスの循環経路を形成するガス循環経路と、前記送風手段のギアーを収納したギアー室および前記ガス循環経路にそれぞれ排気通路を介して接続されたガス排気手段と、前記ガス循環経路のレーザガスの圧力を検出するガス圧力検出手段と、前記ガス循環経路にレーザガスを供給するガス供給源とを備え、前記送風手段のギアー室の圧力を検出するギアー室圧力検出手段と、前記ガス循環経路のレーザガスを排気する第１ガス排気通路と、前記第１ガス排気通路にガス排気量調整手段を設け、前記ギアー室圧力検出手段で検出した圧力が所定の圧力より上昇した時に前記第１ガス排気通路からのレーザガス排気量を減少させるガス排気量調整手段を設けたガス循環経路ものである。

この構成によりローター室とギアー室とのシール部の隙間拡大が発生した場合でも、ギアー室の圧力検出手段の検出により、ガス循環経路のガスを排気するガス排気量調整手段で第１ガス排気通路のガス排気量を減少させて、ガス排気手段のガス排気量の増加を防止すると同時に、ローター室とギアー室との圧力差を確保することによりガス経路循環内にオイルミストの侵入するのを防止できる。

また、本発明にかかるレーザ加工機は、加工物を乗せる加工テーブルと、前記加工テーブルの移動とレーザ光の集光手段の少なくとも一方を移動する駆動手段と、前記駆動手段を制御する数値制御手段と、上述したレーザ発振装置を具備したものである。

この構成により、数値制御手段によりレーザ発振装置が統括的に制御され、レーザ加工の信頼性が向上すると共に加工ワークの不良品の混入を防止することができる。

以上のように、本発明は、送風手段のローター室とギアー室とのシール部の隙間が拡大した場合でも、第１ガス排気通路から排気される排気量を減少させて、ガス排気手段のガス排気量の増加を防止すると同時に、ローター室とギアー室との圧力差を確保することにより、圧力差の低下によるオイルミストのガス経路循環内の侵入を未然に防止し、レーザ出力の安定化と信頼性の向上を図ることができる。

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図１から図４を用いて説明する。

（実施の形態１）
図１は本発明のレーザ発振装置の実施の形態におけるブロック図である。

なお、従来例と同じ構成要素には同一番号を付与し、特に送風手段１０の構成についてはその説明を省略する。

図１において本実施の形態のレーザ発振装置は、レーザ光１、レーザ媒体であるレーザガス２、放電空間３、放電管４、アノード電極６、カソード電極７、高電圧電源８、レーザガス温度を下げる熱交換器９、レーザガス２を送風するローターを収めたローター室（図示はしないが図６におけるロータ室１０ａと同じ構成部分）と前記ローターを駆動する駆動部（図示はしないが図６における駆動部１０ｄと同じ構成部分）と前記駆動部からの力を前記ローターに伝えるギアーを収めたギヤー室（図示はしないが図６におけるギヤー室１０ｂと同じ構成部分）を有する第１と第２の送風手段１０と１１、ガス循環経路１２、レーザ共振器を構成する部分反射鏡１３、レーザ共振器を構成する全反射鏡１４、ガス循環経路１２にレーザガス２を供給するガス供給源２１、ガス供給量調整手段２２、ガス供給電磁弁２３、ガス循環経路１２のレーザガス２を排気する第１ガス排気通路３１、第１ガス排気電磁弁３２、第１ガス排気通路３１に設け、ギアー室圧力検出手段４２で検出した圧力が所定の圧力より上昇した時に第１ガス排気通路３１からのレーザガス排気量を減少させるガス排気量調整手段３３、オイルミスト捕獲手段３５と３６、第２ガス排気通路３７、第２ガス排気電磁弁３８、ガス排気停止用電磁弁３９、ガス排気手段４０、ガス循環経路１２のレーザガス２の圧力を検出するガス圧力検出手段４１、送風手段１０と１１のギアー室の圧力を検出するギアー室圧力検出手段４２、警報手段４３を備えている。なお、電磁弁や各部の制御は警報装置４３を兼ねた制御装置で行う構成としている。

その構成は、放電管４の両端にアノード電極６とカソード電極７を配置し、これらアノード電極６とカソード電極７は高電圧電源８と接続してレーザガス２を励起する放電手段を構成し、放電管４内部のレーザガス２を放電するようにしている。この放電管４には前記放電手段と送風手段１０、１１との間のレーザガス２の循環経路を形成するガス循環経路１２を接続していて、このガス循環経路１２の途中に熱交換器９、第１の送風機１０、第２の送風機１１を配置してレーザガス２が循環するように構成しており、本実施の形態ではアノード電極６からカソード電極７へレーザガス２を流すようにしている。また、本実施の形態では放電管２を２本向かい合わせに接続しているが並列に並べて反射鏡で折り返して光学的に連結してもよいし、１本でもまた３本以上連結してもよい。

この各放電管４を連結していないそれぞれの端部には部分反射鏡１３と全反射鏡１４を配置してレーザ共振器を構成している。このレーザ共振器からは部分反射鏡１３から高出力のレーザ光１が出力される。

そして、このガス循環経路１２はガス供給量調整手段２２、ガス供給電磁弁２３を介してガス供給源２１と接続しており、また、ガス循環経路１２は第１ガス排気通路３１も接続している。この第１ガス排気通路３１は、第１ガス排気電磁弁３２、ガス排気停止用電磁弁３９を介してガス排気手段４０に接続しており、ガス供給源２１とガス排気手段４０によってレーザガスの供給と圧力調整を行っている。

また、第１の送風手段１０、第２の送風手段１１のギヤー室（図示はしないが図６におけるギヤー室１０ｂと同じ構成部分）には第２ガス排気通路３７を接続し、第２ガス排気電磁弁３８、ガス排気停止用電磁弁３９を介してガス排気手段４０に接続している。

なお、第１の送風手段１０、第２の送風手段１１のギヤー室と第２ガス排気電磁弁３８の間の第２ガス排気通路３７にはオイルミスト捕獲手段３５、３６をそれぞれ配置している。

また、第１ガス排気通路３１には、第１ガス排気電磁弁３２と並列にガス排気量調整手段３３を並列に接続し、ガス循環経路１２からガス排気量調整手段３３、ガス排気停止用電磁弁３９を介してガス排気手段４０に接続している。

このガス排気量調整手段３３は、電磁弁３３ａとオリフィス３３ｂを直列に接続して構成している。

そして、ガス循環経路１２の第１の送風手段１０と第２の送風手段１１の入口側に内部のレーザガス２の圧力を検出するガス圧力検出手段４１を設けていて、また、第１の送風手段１０のギヤー室と第２の送風手段１１のギヤー室の圧力を検出するギヤー室圧力検出手段４２をそれぞれのギヤー室に対応して設けており、これらガス圧力検出手段４１、ギヤー室圧力検出手段４２の出力信号を警報手段４３に入力するようにしている。

以上のように構成されたレーザ発振装置２０について、その動作を説明する。

このレーザ発振装置２０は、誘電体よりなる放電管４内にはレーザガスが２循環している。放電管４の周辺に設けられたアノード電極６およびカソード電極７に接続された高電圧電源８は、放電管４内に放電を発生させる。放電によりレーザガス２は励起され、全反射鏡１４および部分反射鏡１３を通って外部にレーザ光１として出力される。放電管４と共にレーザガス２の循環路を形成するガス循環経路１２の内部には第１の送風手段１０と第２の送風手段１１によりレーザガス２が送られており、放電および第１の送風手段１０と第２の送風手段１１の圧縮熱により上昇したレーザガス２の温度を下げるため、複数の熱交換器９が配置されている。

そして、運転停止状態ではガス循環経路１２、第１の送風手段１０と第２の送風手段１１および放電管４の内部が大気圧近くの圧力約９０ｋＰａに保たれていて、運転開始時に第１ガス排気電磁弁３２、ガス排気量調整手段３３の電磁弁３３ａ、第２ガス排気電磁弁３８およびガス排気停止用電磁弁３９を開放して、ガス排気手段４０の真空ポンプなどでレーザガスを排気して、レーザガスの圧力が約１ｋＰａ前後まで真空引きをする。

このレーザガスの圧力が約１ｋＰａ前後になったとき、第１の送風手段１０と第２の送風手段１１の運転を開始すると同時に、ガス排気停止用電磁弁３９を閉じた後、ガス供給電磁弁２３を開放してガス供給源２１より運転ガス圧力になるまで新鮮なレーザガスを供給する。

運転ガス圧力になるとガス排気停止用電磁弁３９を開放してレーザガスを排気すると同時にガス圧力検出手段４１で一定の圧力になるようにガス供給電磁弁２３の開閉制御をする。

図２は運転時におけるギアー室圧力および排気流量の時間的変化の関係を示すもので、図２を参照しながらガス排気量調整手段の詳細な動作ついて説明する。

第１の送風手段１０、第２の送風手段１１のギアー室の圧力は、新しいブロワの場合、ローター室（図示はしないが図６におけるロータ室１０ａと同じ構成部分）とギアー室とのシール部（図示はしないが図６におけるシール部１０ｃと同じ構成部分）の隙間が少なく圧力が低い状態であるが、運転時間の経過に伴いシール部の磨耗や経年変化などで隙間が徐々に拡大して、徐々に緩やかな上昇曲線でギアー室の圧力が上昇をする。

また、シール部の隙間拡大に伴いギアー室よりのガス排気流量も徐々に増加する傾向がある。ギアー室の圧力が所定の基準値の図中Ａ点に到達したことをギアー室圧力検出手段４２により検出し、ガス排気量調整手段３３の電磁弁３３ａを閉じて、ガス排気量調整手段３３のオリフィス３３ｂのガス流量を停止し、ガス循環経路１２から第１ガス排気通路３１経由のガス流量を減少させて、ガス排出手段４０からのガス排出量の増加を抑制する構成となっている。

また、ギアー室圧力検出手段４２は、第１の送風手段１０、第２の送風手段１１の回転数が所定の定格回転数に到達し、かつガス圧力検出手段４１のレーザガス２の圧力が運転ガス圧に到達後に検出を開始することにより、第１の送風手段１０、第２の送風手段１１の加速時のギアー室のガス圧変化に影響されること無く検出することが可能となる。

なお、本実施の形態１では、ガス排気量調整手段３３として、電磁弁３３ａとオリフィス３３ｂを各１個の組合せにしているが、複数個組合せてることによりより細かな排気量制御が可能となる。

また、本実施の形態１のように送風手段を複数台使用した場合、ギアー室圧力検出手段４２としては、各ギアー室の圧力を個別に測定し、その検出値を演算手段で平均圧力に変換する構成とし、ガス排気量調整手段３３の電磁弁３３ａを制御するようにしている。これにより、送風手段が故障した場合などで別の送風手段に交換した場合でも、シール部の隙間の磨耗状態に影響されることなく検出が出来て、より正確なガス排気量の制御が可能となる。

さて、レーザ発振装置の運転時のレーザガスの圧力に到達した後は、第１ガス排気電磁弁３２およびガス排気量調整手段３３の電磁弁３３ａを閉めた状態でガス排気手段４０により第１の送風手段１０と第２の送風手段１１のギアー室のガスを２０秒から３０秒程度排気し、各ギアー室圧力検出手段４２で圧力の変化を測定する。

ローター室とギアー室のシール部の隙間が小さい間は、圧力値が低いが隙間が拡大するに伴い圧力値が上昇して、圧力値が所定の圧力（図２のＢ点）以上の場合にローター室とギアー室とのシール部の隙間異常と判断して、警報手段４３より警報を発生させる。

また、第１ガス排気電磁弁３２およびガス排気量調整手段３３の電磁弁３３ａを閉めた状態でガス排気手段４０によりギアー室のガスを数秒排気した後のギアー室圧力検出手段４２の圧力を記憶する。その後、ガス排気手段４０より２０秒から３０秒程度排気した後のギアー室の圧力値を測定し、その圧力の差を演算して圧力変化によりシール部の異常を判断することも可能である。

図３は運転開始時におけるレーザガスの圧力および圧力差の時間的変化の関係を示すもので、図３を参照しながら警報手段４３の詳細な動作ついて説明する。

レーザ発振装置の運転開始時にガス循環経路１２内のレーザガス２を置換するため真空引きをする。その真空引き中の１０ｋＰａ以下の状態で、ギアー室圧力検出手段４２とガス圧力検出手段４１の検出値の圧力差が所定の基準値以下の図中Ｄ点に到達した時、第１ガス排気電磁弁３２およびガス排気量調整手段３３の電磁弁３３ａを閉めた状態でガス供給源２１より一定ガス圧力（約０．５ｋＰａ程度）になるまでガスを供給後、ガス排気手段４０によりギアー室のガスを一定時間（約１０秒間程度）排気し、図中Ｅ点になったときにギアー室の真空リーク発生有無をギアー室圧力検出手段４２とガス圧力検出手段４１との圧力差変化で検出する。

ギアー室のケーシングより真空リークが発生している場合、ギアー室の内部圧力が微少に上昇して、ギアー室圧力検出手段４２とガス圧力検出手段４１との検出値の圧力差が所定の基準値圧力以下になり警報手段４３より警報を発生させレーザ発振器の運転を停止するようになっている。

前記ガス供給源２１からの一定のレーザガスの圧力までの供給は、第１ガス排気電磁弁３２を閉めた状態から一定時間経過後のガス圧力を記憶し、ガス供給時のレーザガスの圧力との差を演算手段（警報装置４３を兼ねた制御装置に含める）で演算することにより、電磁弁の動作遅れやガス圧の変動がなくなり安定した状態で計測が出来るため誤差の少ない制御が可能となる。

また、前記警報手段４３で異常を検出した場合、レーザ発振装置の運転を強制的に停止して、以降の再起動運転を禁止することにより、シール部異常や真空リークなどの不具合発生時の被害拡大を未然に防止できる。

以上のように、本実施の形態によれば、送風手段のローター室とギアー室とのシール部の隙間が拡大した場合に、第１ガス排気通路より排気される排気量を減少させて、レーザガス消費量の増加に伴うランニングコストの上昇を防止すると同時に、ローター室とギアー室との圧力差を確保することにより、圧力差の低下によるオイルミストのガス経路循環内の侵入を未然に防止し、レーザ出力の安定化と信頼性の向上を図ることができる。

また、レーザ発振器の定期点検作業時に、警報手段を強制的に無効にする機能を設けることにより運転開始から準備完了までの立ち上げ時間が短縮されサービス性がさらに向上する。

なお、以上の構成からなるレーザ発振装置では、各構成に制御素子を設けて、各信号処理または各構成において制御するようにしたが、レーザ発振装置に、各構成に接続されるＣＰＵを設け、各処理を統括的に制御するようにしても良い。

（実施の形態２）
図４は、本発明の実施の形態２におけるレーザ加工機の構成図を示すもので、加工ワーク６４を乗せる加工テーブル６３と、加工テーブル６３の移動またはレーザ光を集光する集光手段６７の少なくとも一方を移動する駆動手段６２と、前記駆動手段６２を制御する数値制御手段６１と、上述した実施の形態１におけるレーザ発振装置６５と、レーザ光路６６とにより構成されている。

レーザ発振装置６５から出射されたレーザ光は、折返し鏡などで構成されたレーザ光路６６で伝送され集光手段６７により集光されて、加工ワーク６４に照射され、加工が開始される。それと同時に数値制御手段６１により駆動手段６２に指令が出力され、加工テーブル６３または集光手段６７の少なくとも一方を動作させて加工ワーク６４を加工される。

上記レーザ加工機によれば、オイルミストによるレーザガスの混合比不良によるレーザ光の出力変動がなくなり、レーザ光の出力パワーの正確な照射が可能となる。さらに数値制御手段によりレーザ発振装置が統括的に制御されことにより、レーザ加工の信頼性が向上すると共に加工ワークへの不良品の混入を防止することができる。

本発明のレーザ発振装置およびレーザ加工機は、送風手段よりのオイルミストの影響を低減し、レーザ出力の安定および長期信頼性の向上するレーザ発振装置およびレーザ加工機として有用である。

本発明の実施の形態１におけるレーザ発振装置のブロック図 本発明の実施の形態１における運転時のギアー室圧力および排気流量の時間的変化を示す関係図 本発明の実施の形態１における運転開始時のガス圧力および圧力差の時間的変化を示す関係図 本発明の実施の形態２におけるレーザ加工機の構成図 従来のガスレーザ発振装置の構成図 一般的なレーザ発振装置における送風手段の構造図

１ レーザ光
２ レーザガス
３ 放電
４ 放電管
６ アノード電極
７ カソード電極
８ 高電圧電源
９ 熱交換器
１０ 第１送風手段
１１ 第２送風手段
１２ ガス循環経路
１３ 部分反射鏡
１４ 全反射鏡
２１ ガス供給源
２２ ガス供給量調整手段
２３ ガス供給電磁弁
３１ 第１ガス排気通路
３２ 第１ガス排気電磁弁
３３ ガス排気量調整手段
３５，３６ オイルミスト捕獲手段
３７ 第２ガス排気通路
３８ 第２ガス排気電磁弁
３９ ガス排気停止用電磁弁
４０ ガス排気手段
４１ ガス圧力検出手段
４２ ギアー室圧力検出手段
４３ 警報手段

Claims (10)

1. レーザ媒体であるレーザガスを励起する放電手段と、前記レーザガスを送風するローターと前記ローターを駆動する駆動部と前記駆動部からの力を前記ローターに伝えるギアーを有する送風手段と、前記放電手段と前記送風手段との間のレーザガスの循環経路を形成するガス循環経路と、前記送風手段のギアーを収納したギアー室および前記ガス循環経路にそれぞれ排気通路を介して接続されたガス排気手段と、前記ガス循環経路のレーザガスの圧力を検出するガス圧力検出手段と、前記ガス循環経路にレーザガスを供給するガス供給源とを備え、
   前記送風手段のギアー室の圧力を検出するギアー室圧力検出手段と、前記ガス循環経路のレーザガスを排気する第１ガス排気通路と、前記第１ガス排気通路にガス排気量調整手段を設け、前記ギアー室圧力検出手段で検出した圧力が所定の圧力より上昇した時に前記第１ガス排気通路からのレーザガス排気量を減少させるガス排気量調整手段を設けたレーザ発振装置。
2. 前記ガス排気量調整手段は、少なくとも真空排気速度を制限するオリフィスとレーザガス排気の開閉をする電磁弁とを各１個または複数個有する請求項１記載のレーザ発振装置。
3. 前記ギアー室圧力検出手段は、前記送風手段が所定の回転数に到達し、かつ前記ガス圧力検出手段で検出したレーザガスの圧力値が運転時のレーザガスの圧力に到達後に検出を開始する請求項１または２記載のレーザ発振装置。
4. 前記第１ガス排気通路に前記ガス排気量調整手段と並列に配置した電磁弁と、前記ガス循環用の送風手段のギアー室からガスを排気する第２ガス排気通路を設け、前記ガス圧力検出手段を送風手段の入口側のレーザガス圧力を検出する位置に配置し、運転時のレーザガスの圧力に到達した後に、前記第１ガス排気通路の電磁弁を閉めた状態で前記ガス排気手段により前記送風手段のギアー室のガスを一定時間排気し、
   前記送風手段のローターを収納したローター室とギアー室との間に配置したシール部の隙間異常を前記ギアー室圧力検出手段の圧力変化で検出し、前記ギアー室圧力検出手段の圧力変化が所定圧力以上の場合に警報を発生させる警報手段を設けた請求項１から３の何れかに記載のレーザ発振装置。
5. 前記ギアー室圧力検出手段の圧力変化検出として、前記第１ガス排気通路の電磁弁を閉めた状態から一定時間経過後のガス圧力を記憶し、前記ガス排気手段により前記送風手段のギアー室のガスを一定時間排気後のガス圧力との差を演算する演算手段を設けた請求項４記載のレーザ発振装置。
6. 前記ガス排気手段で真空引き中の１０ｋＰａ以下の状態で前記ギアー室圧力検出手段と前記ガス圧力検出手段との検出値の差圧力が所定値以下になったとき、前記第１排気通路の電磁弁を閉めた状態で前記ガス供給源から一定ガス圧力になるまでレーザガスを供給後、前記ガス排気手段により前記送風手段のギアー室のガスを一定時間排気し、
   前記送風手段のギアー室の真空リーク異常を前記ギアー室圧力検出手段とガス圧力検出手段との差圧力変化で検出し、前記差圧力変化が所定圧力以下の場合に警報を発生させる警報手段を設けた請求項１から５の何れかに記載のレーザ発振装置。
7. 前記ガス供給源からの一定ガス圧力になるまでレーザガスを供給するのは、前記第１排気通路の電磁弁を閉めた状態から一定時間経過後のガス圧力を記憶し、ガス供給時のガス圧力との差を演算する演算手段を設けた請求項６記載のレーザ発振装置。
8. 前記警報手段で異常を検出した場合、レーザ発振装置の運転を強制的に停止して、以後の再起動運転を禁止する請求項４から７の何れかに記載のレーザ発振装置。
9. 定期点検時などの場合に強制的に前記警報手段を無効にする手段をさらに設けた請求項４から７の何れかに記載のレーザ発振装置。
10. 加工物を乗せる加工テーブルと、前記加工テーブルの移動とレーザ光の集光手段の少なくとも一方を移動する駆動手段と、前記駆動手段を制御する数値制御手段と、レーザ光を発生する請求項１から９のいずれかに記載のレーザ発振装置とを備えたレーザ加工機。

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