JP4156642B2 - ガスレーザ装置、並びに送風機の監視方法及び監視装置 - Google Patents
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Description
図面を参照すると、図1は、本発明に係るガスレーザ装置10の基本構成を示す機能ブロック図、図2は、ガスレーザ装置10に装備される送風機12の構成の一例を模式図的に示す図である。
送風機12の潤滑油交換作業に際しては、まず、送風機12を正規の直立姿勢に配置して、排油口42を開放し、貯油室20から古い潤滑油を完全に抜き取る(図6(a))。次に、排油口42を閉鎖して、図示しない給油口から適正量の新たな潤滑油Lを貯油室20に注入する。このとき、貯油室20及び油監視室22の双方が大気圧に維持されているので、潤滑油Lが通路40を満たした時点で油監視室22の開口が潤滑油Lにより塞がれ、結果として、適正量の潤滑油Lが貯油室20に注入されたときに、油監視室22には潤滑油Lが実質的に存在しない状態になる(図6(b))。したがってこの状態では、送風機監視部18の油検出部24は、油監視室22内の潤滑油Lの存在を検出せず、以って、油交換判断部26は、貯油室20に貯留されている潤滑油Lが交換直後のものであると判断する。
つまり、本発明は、送風機12の保守状態を監視する送風機監視方法において、送風機12に、潤滑油Lを貯留する貯油室20と、貯油室20に貯留される適正量の潤滑油Lの液面Sよりも低い位置で貯油室20に流体流通可能に連通する油監視室22とを設けるステップと、送風機12の貯油室20に貯留される潤滑油Lが、貯油室20の内圧変化の結果として、油監視室22に流入することを検出するステップと、油監視室22への潤滑油Lの流入が検出されたか否かを監視して、流入が検出されないときに、貯油室20に貯留されている潤滑油Lが交換直後のものであると判断するステップとを有することを特徴とする送風機監視方法である。
上記した送風機監視方法及び送風機監視装置の用途は、ガスレーザ装置への適用に限定されない。
12、12′ 送風機
14 媒質回路
16 レーザ発振部
18 送風機監視部
20 貯油室
22 油監視室
24 油検出部
26 油交換判断部
38 ケーシング
40 通路
40′ 開口
54 制御装置
62 圧力調整機構
64、74 制御部
72 計時部
Claims (11)
- 媒質回路内で媒質ガスを強制的に循環させる送風機を備えるレーザ発振部と、該送風機の保守状態を監視する送風機監視部とを具備するガスレーザ装置において、
前記送風機は、
潤滑油を貯留する貯油室と、
該貯油室に貯留される適正量の潤滑油の液面よりも低い位置で該貯油室に流体流通可能に連通する油監視室とを備え、
前記送風機監視部は、
前記送風機の前記貯油室に貯留される潤滑油が、前記レーザ発振部の起動及び停止のそれぞれの予備動作に連動して前記貯油室の内圧が大気圧から減圧され次いで大気圧まで昇圧された結果として、前記油監視室に流入することを検出する油検出部と、
前記レーザ発振部が起動する前に、該油検出部が前記油監視室への前記潤滑油の流入を検出したか否かを監視し、該流入が検出されないときに、前記貯油室に貯留されている前記潤滑油が交換直後のものであると判断する油交換判断部とを備えること、
を特徴とするガスレーザ装置。 - 前記レーザ発振部の動作を制御する制御部と、前記レーザ発振部の起動及び停止のそれぞれの予備動作に連動して、前記送風機の前記貯油室の内圧を調整する圧力調整機構とをさらに具備し、該制御部は、該予備動作として前記媒質回路の内圧調整を遂行すると同時に、該圧力調整機構による前記貯油室の内圧調整動作を制御する、請求項1に記載のガスレーザ装置。
- 前記レーザ発振部の動作を制御する制御部と、前記送風機の前記貯油室に貯留されている前記潤滑油の交換後の、前記レーザ発振部の実働時間を計測する計時部とをさらに具備し、該制御部は、該計時部が計測した該実働時間と前記送風機監視部の前記油交換判断部による判断結果とに基づいて、前記レーザ発振部の動作を制御する、請求項1又は2に記載のガスレーザ装置。
- 前記制御部は、前記計時部が計測した前記レーザ発振部の前記実働時間を予め定めた閾値と比較して、該実働時間が該閾値を超えたときにアラーム信号を出力するとともに、該アラーム信号の出力後、前記油交換判断部が前記潤滑油を交換直後のものではないと判断したときに、前記レーザ発振部の動作を強制停止する、請求項3に記載のガスレーザ装置。
- 前記制御部は、前記油交換判断部が前記潤滑油を交換直後のものと判断したときに、前記計時部が計測した前記レーザ発振部の前記実働時間を自動的に初期化する、請求項3又は4に記載のガスレーザ装置。
- 前記制御部は、前記油交換判断部が前記潤滑油を交換直後のものと判断したときに、前記媒質回路における媒質ガスの漏れを検査する作業を、前記レーザ発振部に自動的に遂行させる、請求項2〜5のいずれか1項に記載のガスレーザ装置。
- 前記制御部は、前記油交換判断部が前記潤滑油を交換直後のものと判断したときに、前記媒質回路に侵入している不純物を除去する作業を、前記レーザ発振部に自動的に遂行させる、請求項2〜6のいずれか1項に記載のガスレーザ装置。
- 前記送風機は、前記貯油室及び前記油監視室を画定するケーシングを備え、該油監視室が、該ケーシングの外側に局部的に突出した気密壁部分によって画定される、請求項1〜7のいずれか1項に記載のガスレーザ装置。
- 前記送風機は、前記貯油室及び前記油監視室を画定するケーシングを備え、該油監視室が、該ケーシングの内側に局部的に延設された気密壁部分によって画定される、請求項1〜7のいずれか1項に記載のガスレーザ装置。
- 送風機の保守状態を監視する送風機監視方法において、
前記送風機に、潤滑油を貯留する貯油室と、該貯油室に貯留される適正量の潤滑油の液面よりも低い位置で該貯油室に流体流通可能に連通する油監視室とを設け、
前記送風機の前記貯油室に貯留される潤滑油が、前記送風機の起動及び停止のそれぞれの予備動作に連動して前記貯油室の内圧が大気圧から減圧され次いで大気圧まで昇圧された結果として、前記油監視室に流入することを検出し、
前記油監視室への前記潤滑油の流入が検出されたか否かを監視して、該流入が検出されないときに、前記貯油室に貯留されている前記潤滑油が交換直後のものであると判断すること、
を特徴とする送風機監視方法。 - 送風機の保守状態を監視する送風機監視装置において、
前記送風機は、
潤滑油を貯留する貯油室と、
該貯油室に貯留される適正量の潤滑油の液面よりも低い位置で該貯油室に流体流通可能に連通する油監視室とを備え、
前記送風機監視装置は、
前記送風機の前記貯油室に貯留される潤滑油が、前記送風機の起動及び停止のそれぞれの予備動作に連動して前記貯油室の内圧が大気圧から減圧され次いで大気圧まで昇圧された結果として、前記油監視室に流入することを検出する油検出部と、
該油検出部が前記油監視室への前記潤滑油の流入を検出するか否かを監視し、該流入が検出されないときに、前記貯油室に貯留されている前記潤滑油が交換直後のものであると判断する油交換判断部とを備えること、
を特徴とする送風機監視装置。
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