CN101141043A - 气体激光装置、和鼓风机的监视方法以及监视装置 - Google Patents

Abstract

一种气体激光装置具备：具有在介质回路内使介质气体强制性循环的鼓风机的激光振荡部；和对鼓风机的维护状态进行监视的鼓风机监视部。鼓风机具有：存积润滑油的贮油室；和油监视室，其在比存积于贮油室的预定的适量润滑油的液面低的位置，与贮油室可液体流通地进行连通。鼓风机监视部具有：油检测部，其对存积在鼓风机的贮油室的润滑油作为贮油室的内压变化结果而流入并存在于油监视室的情况进行检测；和油更换判断部，其在启动激光振荡部之前，对油检测部是否检测出油监视室中的润滑油的存在进行监视，在油检测部没有检测出存在时，判断为存积在贮油室的润滑油为刚更换之后的润滑油。

Description

气体激光装置、和鼓风机的监视方法以及监视装置

技术领域

本发明涉及一种使用气体状态激光介质的气体激光装置。本发明还涉及对可装备在气体激光装置的鼓风机的维护状态进行监视的方法以及装置。

背景技术

使用气体状态激光介质的气体激光装置，在加工、医疗、计测等领域中被广泛应用。气体激光装置的激光振荡部的一般结构为具有：激励部(基于放电、光、热、化学反应等)，其对作为激光介质的流动气体(在本申请中，称为介质气体)进行激励；光共振部(具有一对镜(mirror))，其放大由激励部激励的介质气体的光能量生成激光束；和鼓风机，其在含有激励部以及光共振部的介质回路内强制循环介质气体。

装备在气体激光装置上的介质气体循环用的鼓风机，在气体激光装置给予的尺寸制约下，为了使生成的激光束的特性(或者品质)提高，需要能实现大容量以及高速旋转。而且这种鼓风机因为在生成激光束时被曝露于高温下，所以特别是关于提供给叶轮轴承部的润滑油，会成为容易产生其品质恶化的条件。因此，需要定期地更换(即更新)内置于鼓风机的润滑油，但是在通过人工来进行这样的维护检修时期的管理时，担心会产生忽略了检修时期等人为失误。为了解决这样的课题，例如，如在专利第2622424号公报(JP-2622424-B2)中所记载的那样，提出了可自动管理维护检修时期的气体激光装置。

在JP-2622424-B2中记载的气体激光装置具有：维护时期监视装置，其通过监视维护对象物的动作时间，对有关更换鼓风机的润滑油等各种维护项目的维护检修时期进行自动管理。该维护时期监视装置的结构为具有如下的单元：时间计测单元，其对维护对象物(例如鼓风机)的动作时间进行计测；时限警报单元，其在计测的动作时间到达了预定时间时输出警报信号；维护时期显示控制单元，其根据警报信号的输出将维护时期(例如润滑油更换时期)的到来显示到显示装置中；和复位单元，其根据表示进行了维护作业(例如润滑油的更换)的信号来复位时间计测单元的时间计测，并且取消维护时期显示控制单元的显示命令。这里，例如作为表示更换了鼓风机的润滑油的信号，将安装到鼓风机的给油口盖(cap)上的限位开关检测到盖的开闭的信号给予复位单元。

在JP-2622424-B2中记载的气体激光装置的维护时期监视装置，作为表示更换了鼓风机的润滑油的信号，采用由安装到鼓风机的给油口盖上的限位开关发出的盖开闭检测信号。但是鼓风机的润滑油的更换，为了确保安全一般在切断了气体激光装置电源的状态下进行。这里，维护时期监视装置装入对气体激光装置中的介质气体的激励以及共振动作进行控制的控制部，所以在切断了气体激光装置电源的状态下，难以通过预定信号来判断是否更换了鼓风机的润滑油。这一点在JP-2622424-B2中示教了如下的方法：例如通过键盘操作，以手工作业来输入表示更换了鼓风机的润滑油的信号。根据上述方法，在完成润滑油的更换再次接入气体激光装置的电源后，工作人员通过键盘操作输入润滑油更换完成信号，因此维护时期监视单元的复位单元进行如下的动作：复位时间计测单元的时间计测，并且取消维护时期显示控制单元的显示命令。

在采用了如上所述地以手工作业来输入润滑油更换完成信号的方法时，增加工作人员的负担，并且有可能产生由操作人员进行的错误指示，其结果是导致进行了无意图的复位动作(即，管理数据的初始化)。另外，在更换鼓风机的润滑油时，气体激光装置的介质回路的内部空间曝露于外部空气中，所以担心在激励部及光共振部内侵入介质气体以外的不纯物而粘着在壁面等上，进而损害介质回路的气密性。因此，在润滑油更换后通常要进行对介质回路中介质气体的泄漏进行检查的作业(即泄漏检查)、以及除去侵入到介质回路的不纯物的作业(即养护(aging))。关于这点，做成了：在采用上述的现有维护时期监视装置时，工作人员利用手工作业输入了润滑油更换完成信号后，为了方便起见，同样利用手工作业来输入在气体激光装置中进行泄漏检查及养护的指示。由此工作人员的负担显著增加，担心由操作人员造成的错误指示的发生频率会升高。

本发明的目的是提供在采用气体状态激光介质的气体激光装置中，可自动管理鼓风机的润滑油更换时期，并且可自动执行润滑油更换后的管理数据的初始化，因此可以显著地减轻工作人员的负担可有效地排除错误指示的危险性的、可长期稳定工作的气体激光装置。

本发明的其它目的是提供作为对可装备到气体激光装置上的鼓风机的维护状态进行监视的方法以及装置，可自动管理鼓风机的润滑油更换时期，并且可自动执行润滑油更换后的管理数据的初始化，因此可以显著地减轻工作人员的负担可有效地排除错误指示的危险性的、鼓风机监视方法以及鼓风机监视装置。

发明内容

为了实现上述目的，本发明提供一种气体激光装置，其具备：具有在介质回路内使介质气体强制性循环的鼓风机的激光振荡部；和对鼓风机的维护状态进行监视的鼓风机监视部，鼓风机具有：存积润滑油的贮油室；和油监视室，其在比存积于贮油室的预定的适量润滑油的液面低的位置，与贮油室可液体流通地进行连通，鼓风机监视部具有：油检测部，其对存积在鼓风机的贮油室的润滑油作为贮油室的内压变化结果而流入并存在于油监视室的情况进行检测；和油更换判断部，其在启动激光振荡部之前，对油检测部是否检测出油监视室中的润滑油的存在进行监视，在油检测部没有检测出存在时，判断为存积在贮油室的润滑油为刚更换之后的润滑油。

上述气体激光装置还可具备：控制部，其对激光振荡部的动作进行控制；和压力调整机构，其与激光振荡部的启动以及停止的各个预备动作联动地调整鼓风机的贮油室的内压。此时，控制部，在作为预备动作执行介质回路的内压调整的同时，可以对压力调整机构的贮油室的内压调整动作进行控制。

另外，上述气体激光装置还可具备：控制部，其对激光振荡部的动作进行控制；和计时部，其对存积在鼓风机的贮油室的润滑油刚更换后的、激光振荡部的实际动作时间进行计测。此时，控制部可以根据计时部计测出的实际动作时间、和鼓风机监视部的油更换判断部得出的判断结果，对激光振荡部的动作进行控制。

在鼓风机具有划定贮油室以及油监视室的壳时，通过局部突出于壳外侧的气密壁部分、或者局部延设到壳内侧的气密壁部分可以划定油监视室。

本发明还提供一种鼓风机监视方法，其用于对鼓风机的维护状态进行监视，具有如下步骤：在鼓风机中设置存积润滑油的贮油室和在比存积于贮油室的预定的适量润滑油的液面低的位置与贮油室可液体流通地进行连通的油监视室的步骤；对存积在鼓风机的贮油室的润滑油作为贮油室的内压变化结果而流入并存在于油监视室的情况进行检测的步骤；和对是否检测出油监视室中的润滑油的存在进行监视，在没有检测出存在时，判断为存积在贮油室的润滑油为刚更换之后的润滑油的步骤。

本发明还提供一种鼓风机监视装置，其用于对鼓风机的维护状态进行监视，鼓风机具有：存积润滑油的贮油室；和油监视室，其在比存积于贮油室的预定的适量润滑油的液面低的位置，与贮油室可液体流通地进行连通；鼓风机监视装置具有：油检测部，其对存积在鼓风机的贮油室的润滑油作为贮油室的内压变化结果而流入并存在于油监视室进行检测；和油更换判断部，其对油检测部是否检测出油监视室中的润滑油的存在进行监视，在油检测部没有检测出存在时，判断为存积在贮油室的润滑油为刚更换之后的润滑油。

附图说明

本发明的上述和其它目的、特征以及优点，通过与附图相关联的以下最佳实施方式的说明会变得更加清楚。

图1是表示本发明的气体激光装置的基本结构的功能框图。

图2是示意性表示装备在图1的气体激光装置上的鼓风机结构的一例的图。

图3是示意性表示图1的气体激光装置的激光振荡部结构的一例的图。

图4是表示本发明第1扩展实施方式的气体激光装置结构的功能框图。

图5是表示本发明第2扩展实施方式的气体激光装置结构的功能框图。

图6A以及图6B是根据润滑油更换作业中的状态转移来表示装备在图4以及图5的气体激光装置上的鼓风机的结构的图，分别表示抽出了旧润滑油的状态、以及注入了新润滑油的状态。

图7A以及图7B是根据润滑油更换作业中的状态转移来表示装备在图4以及图5的气体激光装置上的鼓风机的结构的图，分别表示减压了贮油室的状态、以及升压了贮油室的状态。

图8是对图4以及图5的气体激光装置中的鼓风机的监视方法进行说明的流程。

图9A以及图9B是根据润滑油更换作业中的状态转移来表示装备在图4以及图5的气体激光装置上的鼓风机的变形例结构的图，分别表示抽出了旧润滑油的状态、以及注入了新润滑油的状态。

图10A以及图10B是根据润滑油更换作业中的状态转移来表示装备在图4以及图5的气体激光装置上的鼓风机的变形例结构的图，分别表示减压了贮油室的状态、以及升压了贮油室的状态。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细地说明。在附图中对相同和类似的构成要素标注共通的参照符号。

当参照附图时，图1是表示本发明的气体激光装置10的基本结构的功能框图，图2是示意表示装备在气体激光装置10上的鼓风机12的结构的一例。

气体激光装置10具备激光振荡部16和鼓风机监视部18，该激光振荡部16，具有生成激光束的介质回路14，并且具备在介质回路14内使介质气体M强制性循环的鼓风机12；该鼓风机监视部18，对激光振荡部16的鼓风机12的维护状态(特别是润滑油更换状态)进行监视。鼓风机12具有：存积润滑油L的贮油室20、和油监视室22，该油监视室22在比存积于贮油室20的预定的适量润滑油L的液面S低的位置，与贮油室20可液体流通地进行连通。鼓风机监视部18具有油检测部24和油更换判断部26，该油检测部24，对存积在鼓风机14的贮油室20的润滑油L作为贮油室20的内压变化结果而流入油监视室22进行检测；该油更换判断部26在启动激光振荡部16之前，对油检测部24是否检测出向油监视室22流入润滑油L进行监视，在没有检测出流入润滑油L时，判断为存积在贮油室20的润滑油L为刚更换(即更新)之后的润滑油。

图2所示的鼓风机12作为例子具有直接驱动型的涡轮风扇的结构，其具备：具有轴28的叶轮30；与轴28连接的电动机转子32；经由空隙包围转子32的电动机定子34；和经由一对轴承36可旋转地支撑轴28并且固定地支撑定子34的壳(casing)38。壳38，在与转子32以及定子34邻接的空间内划定贮油室20以及油监视室22。贮油室20与油监视室22在将鼓风机12以正规的直立姿势(将叶轮30朝上的图示姿势)配置在静止面上时，在重力方向看，在油监视室22的下端经由任意口径的通路40相互连通。此外，油监视室22，作为在通路40以外不具有允许液体流通的开口的气密封闭空间，由壳38来划定。在壳38中附设可开闭的活塞或者阀，形成在贮油室20中个别开口的排油口42以及排气口44。在鼓风机12中通过在贮油室20内存积适量的润滑油L，在叶轮30旋转中对一对轴承36稳定地供给润滑油L。

在将劣质的润滑油L更换为新的润滑油L时，开放排油口42，从贮油室20中抽出旧的润滑油L，接着关闭排油口42，从未图示的供油口将新的润滑油L注入贮油室20。该润滑油L的更换作业，为了确保安全而在切断了气体激光装置10的电源(即，置成了OFF)的状态下来进行，并将贮油室20以及油监视室22的内压维持在大气压。润滑油L更换完成后，在启动气体激光装置10时，在接通了气体激光装置10的电源(即，成为了ON)的状态下，作为将另外设置的启动开关(未图示)置为接通之后的预备动作，使激光振荡部16的介质回路14的内压降低，所以与此同时开放排气口44，通过未图示的泵等从排气口44抽气，使贮油室20减压。在气体激光装置10的运转中，将激光振荡部16的介质回路14的内压以及鼓风机12的贮油室20的内压维持在减压状态。

鼓风机监视部18的油检测部24，例如可以具有下述结构等的各种液体检测结构：通过对具有透明壁面的油监视室22照射光后经过了反射、折射、透过的光接收量的测定，来检测润滑油L存在(例如液面高度)的结构；对油监视室22进行拍摄后通过图像处理来检测润滑油L存在(液面高度)的结构；对油监视室22照射超声波来检测润滑油L存在(液面高度)的结构；在油监视室22中设置热敏电阻通过电阻或者测定温度的变化来检测润滑油L存在的结构；对油监视室22施以局部振动通过振动的变化来检测润滑油L存在的结构等。另外，鼓风机监视部18的油更换判断部26，例如为了控制激光振荡器16生成激光束的动作，可以作为软件装入到在气体激光装置10中装备的控制装置(未图示)中。在具有上述结构的气体激光装置10中，在鼓风机12的润滑油更换作业时，将鼓风机以正规的直立姿势进行进行配置，当从贮油室20完全抽出旧的润滑油L后将新的润滑油L注入贮油室20时，将贮油室20以及油监视室22双方维持在大气压，所以在润滑油L填满了通路40的时刻由润滑油L堵住油监视室22的开口，结果，即使在适量润滑油L被注入贮油室20的状态下，在油监视室22中实质上也没有存在润滑油L。然后，当在鼓风机12的润滑油更换作业后初次启动气体激光装置10时，作为上述的预备动作，在激光振荡部16的介质回路14减压的同时使贮油室20减压，由此，被封入油监视室22的空气通过通路40向贮油室20移动适当量。其结果，与移动到贮油室20的空气对应的量的润滑油L，从贮油室20流入油监视室22。

在气体激光装置10中，针对具有这样的结构性特征的鼓风机12，鼓风机监视部18在将气体激光装置10的启动开关置为接通之后、开始所述的启动预备动作之前进行工作，通过油检测部24来确认在油监视室22内是否存在润滑油L。在此时刻存在于油监视室22内的润滑油L作为贮油室20的内压变化(即，上述的预备动作)的结果而从贮油室20流入到油监视室22内，所以油更换判断部26在油检测部24没有检测出油监视室22内存在润滑油L时，可以判断为存积在贮油室20内的润滑油L是刚更换后的润滑油(即，在气体激光装置10的运转中一次也没有暴露的润滑油)。另一方面，在此时刻，在油检测部24检测出油监视室22内存在润滑油L时，油更换判断部26判断为存积在贮油室20内的润滑油L不是刚更换之后的润滑油、是在气体激光装置10的运转中至少曝露过一次的润滑油。

这样，根据气体激光装置10，通过鼓风机监视部18对油监视室22内有无润滑油L进行监视，可自动判断是否为刚更换了鼓风机12的润滑油L之后，所以不依靠手工作业，就能够自动管理润滑油更换时期。而且，在将气体激光装置10的启动开关置为接通之后，可不依赖于工作人员的指示自动地执行由鼓风机监视部18进行的这样的判断，所以可减轻工作人员的负担，并可有效地排除工作人员误指示的危险性。因此气体激光装置10可以使工作人员在适当时期(例如定期)内可靠地实施作为鼓风机12的维护作业所必须的润滑油更换作业，因此可长期稳定地进行工作。

在上述结构中，在鼓风机12处于润滑油刚更换之后的状态时，由于上述激光振荡部16的启动预备动作以外的某些主要原因，而存在从贮油室20向油监视室22流入少量润滑油L的情况。在这样的情况下担心鼓风机监视部18作为预备动作的结果会误认为润滑油L从贮油室20流入到油监视室22。因此理想的是构成为：预先设定存放在油监视室22的润滑油L量的阈值(余裕值)，在油检测部24在油监视室22内没有检测出存在超过这样的阈值的量的润滑油L时，油更换判断部26判断为处于润滑油L刚更换之后的状态。

图3示意表示气体激光装置10的激光振荡部16的一结构例。图示的激光振荡部16的结构为具有：激励部46，其对介质气体M进行激励；光共振部48，其放大由激励部46激励的介质气体M的光能量作为激光束进行放射；循环路径50，其与激励部46以及光共振部48连接，形成介质气体M在压力下流动的介质回路14；和鼓风机12，其设置在循环路径50中，使介质气体M在介质回路14内强制性地高速循环。激励部46形成为具有与一对激励电源52连接的电极对(未图示)的放电管。在激励部46的轴线方向两端分别固定地设置有构成光共振部48的后镜(全反射镜或者部分透过镜)48a和放射镜(部分透过镜)48b。

激励部46的一对激励电源52，对对应的电极施加射频区域的交流电压。通过与激光振荡部16连接的控制装置54执行的顺序控制来启动这样的通常振动动作。当启动激励电源52后产生放电、并激励在激励部46内的介质气体M在光振荡部48中进行放大时，从放射镜48b放射激光束。激励部46内的介质气体M接受放电变为高温，利用设置在鼓风机12上流侧的热交换器56冷却后吸入鼓风机12。鼓风机12在压力下向吐出侧送出介质气体M。通过其压缩过程升温后的介质气体M通过设置在鼓风机12下流侧的热交换器58进行再次冷却。从鼓风机12送出的介质气体M冷却后在循环路径50内流动，提供给激励部46。

图4是表示本发明第1扩展实施方式的气体激光装置60的结构的功能方框图。气体激光装置60具有图1所示的气体激光装置10的基本结构，对应的构成要素标注共同的参照符号，省略其说明。

气体激光装置60还具有压力调整机构62，该压力调整机构与激光振荡部16的启动以及停止的各个预备动作联动地调整鼓风机12的贮油室20的内压。通过此结构，作为气体激光装置10的上述启动预备动作，可以利用装备在气体激光装置60自身的压力调整机构(例如泵、切换阀等)62来自动执行在对激光振动部16的介质回路14进行减压的同时对贮油室20进行减压的作业。另一方面，在停止气体激光装置10时，作为将气体激光装置10的停止开关(未图示)设为关断之后的停止预备动作，使激光振荡部16的介质回路14的内压提高，所以与此同时，开放鼓风机12的排气口44，使贮油室20升压到大气压。这样的停止预备动作也可以通过装备在气体激光装置60自身的压力调整机构62来自动地执行。

在上述结构中，在气体激光装置60具有对激光振荡部16的动作进行控制的控制部64(例如，图3的控制装置54)时，控制部64在执行作为上述预备动作的介质回路14的内压调整的同时，可以控制由压力调整机构62进行的贮油室20的内压调整动作。这样，在控制部64按照1个程序来控制激光振荡部16的启动以及停止的同时，还可以控制鼓风机12的贮油室20的减压以及升压，所以能促进气体激光装置60中的作业以及管理系统的自动化。此外，控制部64还控制鼓风机监视部18的动作(油检测部24的检测动作或油更换判断部26的判断动作)。这是有利的。

图5是表示本发明第2扩展实施方式的气体激光装置70的结构的功能框图。气体激光装置70具有图1所示的气体激光装置10的基本结构，对应的结构要素标注共通的参照符号，省略其说明。

气体激光装置70还具有存积在鼓风机12的贮油室20中的润滑油L更换后的、对激光振荡部16的实际动作时间进行计测的计时部72。根据此结构，鼓风机监视部18的油更换判断部26在判断为存积在贮油室20中的润滑油L不是刚更换之后的润滑油时，根据计时部72计测到的实际动作时间可预测该润滑油在气体激光装置10的运转中曝露到了什么程度。因此，可以在更适合的时期来实施润滑油L的更换作业。

在上述结构中，在气体激光装置70具有对激光振荡部16的动作进行控制的控制部74(例如，图3的控制装置54)时，控制部74根据计时部72计测到的实际动作时间、和鼓风机监视部18的油更换判断部26的判断结果，可以控制激光振荡部16的动作。此时，控制部74还控制鼓风机监视部18的动作(油检测部24的检测动作或油更换判断部26的判断动作)。这样，控制部74按照1个程序，根据鼓风机12的润滑油L的变质程度，可控制激光振荡部16的启动以及停止，所以能促进气体激光装置70中的作业以及管理系统的自动化。

在气体激光装置70中，控制部74将计时部72计测到的激光振荡部16的实际动作时间与预定的阈值进行比较，在实际动作时间超过了阈值时输出警报信号，并且在警报信号输出后、油更换判断部26判断为润滑油L不是刚更换之后的润滑油时，可强制停止激光振荡器16的动作。这样，可将润滑油L的更换时期事先设定在激光振荡部16的实际动作时间的阈值内，并且在到达了更换时期时，对其自动进行检测后可强制停止激光振荡器16，所以能够使气体激光装置70的安全性以及维护管理的可靠性进一步提高。

在上述结构中，控制部74可构成为：在油更换判断部26将润滑油L判断为刚更换之后的润滑油时，使计时部72计测到的激光振荡部16的实际动作时间自动初始化(例如，置零)。由此，可以不依靠手工作业、高可靠性地管理下次的润滑油更换时期。此外还可以构成为：相互组合图4以及图5所示的实施方式，通过共通的控制部64、74来控制压力调整机构62和计时部72。

在气体激光装置60、70中，控制部64、74在油更换判断部26将润滑油L判断为刚更换之后的润滑油时，可构成为：使激光振荡部16自动执行对介质回路14中的介质气体M的泄漏进行检查的作业(即，泄漏检查)。同样，控制部64、74在油更换判断部26将润滑油L判断为刚更换之后的润滑油时，可构成为：使激光振荡部16自动执行对侵入介质回路14的不纯物进行去除的作业(即，养护)。根据这样的结构，在润滑油L更换后可不依靠工作人员的指示自动地执行使激光振荡部16成为可启动的状态的必须的准备作业。其结果是，能显著地减轻工作人员的负担，由此可有效地降低工作人员误指示的发生频率。

参照图6A～图7B所示的鼓风机12的状态转移和图8所示的管理流程，来更加详细地说明上述本发明的最佳实施方式的气体激光装置60、70中的鼓风机12的监视方法(或者维护时期管理方法)。

在鼓风机12的润滑油更换作业时，首先将鼓风机12以正规的直立姿势进行配置，开放排油口42，从贮油室20完全抽出旧的润滑油(图6A)。接着，关闭排油口，从未图示的供油口将适量的新润滑油L注入贮油室20。此时，贮油室20以及油监视室22双方维持在大气压，所以在润滑油L填满了通路40的时刻由润滑油L堵住油监视室22的开口，结果，在将适量润滑油L注入贮油室20时，在油监视室22中成为实际上不存在润滑油L的状态(图6B)。因此在这种状态下，鼓风机监视部18的油检测部24没有检测出在油监视室22内存在润滑油L，由此，油更换判断部26判断为存积在贮油室20中的润滑油L为刚更换之后的润滑油。

在这样地完成了鼓风机12的润滑油L的更换作业后，当最初启动气体激光装置10时，作为上述的启动预备动作，在激光振荡部16的介质回路14减压的同时，通过压力调整机构62对贮油室20进行减压。由此，封入油监视室22的空气P通过通路40向贮油室20移动适当量(图7A)。结果，与移动到贮油室20的空气P对应的量的润滑油L，从贮油室20流入油监视室22。之后，经过气体激光装置60、70的运转，在停止气体激光装置60、70时，作为上述的停止预备动作，在激光振荡部16的介质回路14升压的同时，通过压力调整机构62将贮油室20升压到大气压。由此，与压力差对应的追加量的润滑油L从贮油室20进一步流入油监视室22(图7B)。因此在这种状态下，鼓风机监视部18的油检测部24检测出在油监视室22内存在润滑油L，由此，油更换判断部26判断为存积在贮油室20中的润滑油L为刚更换之后的润滑油。

利用上述鼓风机12的状态转移，气体激光装置60、70在其运转时以图8所示的顺序执行鼓风机12的监视方法(或者维护时期管理方法)。以下，按照流程对本监视方法进行说明。

在将气体激光装置10的电源接通的状态(步骤S1)下，当接通启动开关(步骤S2)后，控制部74(图5)将计时部72(图5)计测到的激光振荡部16的实际动作时间Ot与预定的阈值Tt进行比较，判断实际动作时间Ot是否超过了阈值Tt(步骤S3)。然后，在实际动作时间Ot超过了阈值Tt时，由控制部74输出警报信号(步骤S4)，例如通过向显示装置(未图示)进行显示等的方法，来向工作人员报告润滑油更换时间的到来。

当步骤S3中实际动作时间Ot为Tt以下时，步骤5中鼓风机监视部18在开始上述的启动预备动作之前动作，通过油检测部24来确认在油监视室22内是否存在润滑油L。在此时刻，如果在油监视室22内不存在润滑油L，则油更换判断部26判断为存积在贮油室20中的润滑油L为刚更换之后的润滑油，控制部74使计时部72计测到的激光振荡部16的实际动作时间Ot自动初始化或复位(步骤S6)。再者，控制部64、74(图4以及图5)在激光振荡部16中自动执行泄漏检查(步骤S7)，并且在激光振荡部16中自动执行养护(步骤S8)。之后，控制部64、74开始激光振荡部16的启动预备动作，在通过无图示的泵等对介质回路14进行减压的同时，通过压力调整机构62对贮油室62进行减压(步骤S9)。

步骤S5中，当在油监视室22内存在润滑油L、并且油更换判断部26判断为存积在贮油室20中的润滑油L为不是刚更换之后的润滑油时，控制部64、74不进行计时部72的初始化及泄漏检查、和养护，就开始激光振荡器16的启动预备动作(步骤S9)。之后，执行气体激光装置60、70所需要的运转(步骤S10)。接着，当接通气体激光装置60、70的停止开关(或者关断启动开关)(步骤S11)时，控制部64、74开始激光振荡部16的上述停止预备动作，在对激光振荡部16的介质回路14升压的同时，通过压力调整机构62将贮油室20升压到大气压(步骤S12)。如果升压完成，则可以关断电源开关(步骤S13)。

在步骤S3中当实际动作时间Ot超过了阈值Tt时，在步骤S4中输出了警报信号后，与上述步骤S5同样，鼓风机监视部18判断存积在贮油室20中的润滑油L是否为刚更换之后的润滑油(步骤S14)。在润滑油L为刚更换之后的润滑油的情况(例如在工作人员主动进行了更换作业这样的情况)下，控制部74与上述步骤S6～S8同样自动地执行计时部72以及警报信号的初始化或复位(步骤S15)、和激光振荡部16的泄漏检查(步骤S16)以及养护(步骤S17)。之后，控制部64、74开始激光振荡部16的启动预备动作(步骤S9)。

在步骤S14中当润滑油L不是刚更换之后的润滑油时，控制部74再次输出警报信号(步骤S18)，向工作人员报告润滑油更换时期的到达，并且强制停止激光振荡部16的动作。该强制停止引起与接通上述步骤S11的停止开关相同的结果，可安全地停止气体激光装置60、70。

在上述实施方式中，鼓风机12采用了由局部突出在壳38外侧的气密壁部分22a来划定油监视室22的结构。代替这个结构，本发明的气体激光装置10、60、70如图9A～图10B所示，还可以采用具有如下结构的鼓风机12’，该结构为由局部延设到壳38内侧的气密壁部分22b来划定油监视室22。此外，图9A以及图9B和图10A以及图10B是分别与图6A以及图6B和图7A以及图7B对应的图。

如图所示在鼓风机12’中，当在静止面上以正规的直立姿势(将叶轮30朝上的图示姿势)配置了鼓风机12时，在重力方向看在油监视室22的下端经由任意口径的开口40’相互地连通贮油室20与油监视室22。此外，油监视室22，作为除了开口40’以外没有允许液体流通的开口的气密封闭空间，由壳38划定。在具有这样的结构的鼓风机12’中，也能够高效地实施与上述鼓风机12相关的监视方法(或者维护时期管理方法)，这是可以理解的。

从以上说明可以明白，根据本发明的气体激光装置，鼓风机监视部，通过监视油监视室内有无润滑油就可自动判断鼓风机的润滑油是否为刚被更换过的，所以不依靠手工作业就可以自动管理润滑油更换时期。而且，由鼓风机监视部进行的这些判断是不依靠工作人员的指示而自动执行的，所以能够减轻工作人员的负担，能有效地排除由工作人员误指示所带来的危险性。因此，气体激光装置，作为鼓风机的维护作业，可以使工作人员在适当时期内(例如定期的)可靠地实施所必须的润滑油更换作业，因此，可以长期稳定地工作。

以上，与使用气体状态的激光介质的气体激光装置关联起来对本发明进行了说明，但是本发明，作为对可装备在气体激光装置中的鼓风机的维护状态进行监视的方法以及装置，还可以进行如下的叙述。

即，本发明是一种鼓风机监视方法，其用于对鼓风机12的维护状态进行监视，其特征在于，具有如下步骤：在鼓风机12中设置存积润滑油L的贮油室20，和在比存积于贮油室20的适量润滑油L的液面S低的位置与该贮油室20可液体流通地进行连通的油监视室22的步骤；对存积在鼓风机12的贮油室20的润滑油L作为贮油室20的内压变化结果流入油监视室22的情况进行检测的步骤；和对是否检测出向油监视室22流入润滑油L进行监视，而在没有检测出流入时，判断为存积在贮油室20的润滑油L为刚更换之后的润滑油的步骤。

另外，本发明是一种鼓风机监视装置，其用于对鼓风机12的维护状态进行监视其特征在于，鼓风机12具有：存积润滑油L的贮油室20；和油监视室22，其在比存积于贮油室20的适量润滑油L的液面S低的位置，与贮油室20可液体流通地进行连通；鼓风机监视装置具有：油检测部24，其对存积在鼓风机12的贮油室20的润滑油L作为贮油室20的内压变化结果而流入油监视室22的情况进行检测；和油更换判断部26，其对油检测部24是否检测出向油监视室20流入润滑油进行监视，而在没有检测出流入时，判断为存积在贮油室20的润滑油L为刚更换之后的润滑油。

此外，上述鼓风机监视方法以及鼓风机监视装置的用途，不限定于向气体激光装置的应用。

以上，将本发明与其最佳的实施方式关联起来进行了说明，但是本领域技术人员一定能够理解：在不脱离后述权利要求所公开的范围的情况下可以进行各种修正以及变更。

Claims (11)

1.一种气体激光装置，具备：具有强制性使介质气体(M)在介质回路(14)内循环的鼓风机(12)的激光振荡部(16)；和对该鼓风机的维护状态进行监视的鼓风机监视部(18)，其特征在于，

所述鼓风机具有：

存积润滑油(L)的贮油室(20)；和

油监视室(22)，其在比该贮油室所存积的预定的适量润滑油(L)的液面(S)低的位置，与该贮油室可流通液体地进行连通，

所述鼓风机监视部，具有：

油检测部(24)，其对存积在所述鼓风机的所述贮油室的润滑油作为所述贮油室的内压变化结果而流入并存在于所述油监视室进行检测；和

油更换判断部(26)，其在启动所述激光振荡部之前，对该油检测部是否检测出所述油监视室中的所述润滑油的存在进行监视，在该油检测部没有检测出该存在时，判断为存积在所述贮油室的所述润滑油为刚更换之后的润滑油。

2.根据权利要求1所述的气体激光装置，其中，

还具备：

控制部(54；64)，其对所述激光振荡部的动作进行控制；和

压力调整机构(62)，其与所述激光振荡部的启动以及停止的各个预备动作联动，来调整所述鼓风机的所述贮油室的内压，

该控制部，在作为该预备动作执行所述介质回路的内压调整的同时，对该压力调整机构进行的所述贮油室的内压调整动作进行控制。

3.根据权利要求1所述的气体激光装置，其中，

还具备：

控制部(54；74)，其对所述激光振荡部的动作进行控制；和

计时部(72)，其对存积在所述鼓风机的所述贮油室的所述润滑油更换后的、所述激光振荡部的实际动作时间进行计测，

该控制部根据该计时部计测出的该实际动作时间、和所述鼓风机监视部的所述油更换判断部得出的判断结果，对所述激光振荡部的动作进行控制。

4.根据权利要求3所述的气体激光装置，其中，

所述油更换判断部，在所述激光振荡部启动之前，所述油检测部检测出所述油监视室中的所述润滑油的所述存在时，判断为存积在所述贮油室的所述润滑油不是刚更换之后的润滑油，

所述控制部，将所述计时部计测出的所述激光振荡部的所述实际动作时间与预定的阈值进行比较，在该实际动作时间超过了该阈值时输出警报信号，并且在输出该警报信号后，当所述油更换判断部将所述润滑油判断为不是刚更换之后的润滑油时，强制停止所述激光振荡部的动作。

5.根据权利要求3所述的气体激光装置，其中，

所述控制部，在所述油更换判断部将所述润滑油判断为是刚更换之后的润滑油时，使所述计时部计测出的所述激光振荡部的所述实际动作时间自动地进行初始化。

6.根据权利要求2所述的气体激光装置，其中，

所述控制部在所述油更换判断部将所述润滑油判断为是刚更换之后的润滑油时，使所述激光振荡部自动执行检查所述介质回路中的介质气体泄漏的作业。

7.根据权利要求2所述的气体激光装置，其中，

所述控制部，在所述油更换判断部将所述润滑油判断为是刚更换之后的润滑油时，使所述激光振荡部自动执行除去侵入了所述介质回路的不纯物的作业。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的气体激光装置，其中，

所述鼓风机，具有划定所述贮油室以及所述油监视室的壳(38)，该油监视室通过局部突出于该壳外侧的气密壁部分(22a)进行划定。

9.根据权利要求1～7中任意一项所述的气体激光装置，其中，

所述鼓风机具有划定所述贮油室以及所述油监视室的壳(38)，该油监视室通过局部延设到该壳内侧的气密壁部分(22b)进行划定。

10.一种鼓风机监视方法，其用于对鼓风机(12)的维护状态进行监视，其特征在于，

具有如下的步骤：

在所述鼓风机中设置存积润滑油(L)的贮油室(20)和在比存积于该贮油室的预定的适量润滑油(L)的液面(S)低的位置与该贮油室可流通液体地进行连通的油监视室(22)的步骤；

对存积在所述鼓风机的所述贮油室的润滑油作为所述贮油室的内压变化结果流入并存在于所述油监视室进行检测的步骤；和

对是否检测出所述油监视室中的所述润滑油的存在进行监视，在没有检测出该存在时，判断为存积在所述贮油室的所述润滑油为刚更换之后的润滑油的步骤。

11.一种鼓风机监视装置，其用于对鼓风机(12)的维护状态进行监视，其特征在于，

所述鼓风机具有：

存积润滑油(L)的贮油室(20)；和

油监视室(22)，其在比存积于该贮油室的预定的适量润滑油(L)的液面(S)低的位置，与该贮油室可流通液体地进行连通，

所述鼓风机监视装置具有：

油检测部(24)，其对存积在所述鼓风机的所述贮油室的润滑油作为所述贮油室的内压变化结果流入并存在于所述油监视室进行检测；和

油更换判断部(26)，其对该油检测部是否检测出所述油监视室中的所述润滑油的存在进行监视，在该油检测部没有检测出该存在时，判断为存积在所述贮油室的所述润滑油为刚更换之后的润滑油。

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