JP2011187526A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 光共振器と、この光共振器に接続したガス循環路と、このガス循環路、または前記光共振器にレーザ媒質ガスを供給するガス供給器と、前記ガス循環路、または前記光共振器からレーザ媒質ガスを排出するガス排出器と、前記ガス循環路、または前記光共振器のレーザ媒質ガスのガス圧力を検出するガス圧力検出器と、このガス圧力検出器で検出したガス圧力により、前記ガス供給器とガス排出器の少なくとも一方を制御するガス圧力制御器と、前記ガス循環路に介在させた送風機と、この送風機に設置され振動センサと、この振動センサが検出した振動信号値が、予め設定された振動基準値以上であるか否かを判断し、前記振動基準値以上であれば基準値超過信号を出力する比較器とを備え、
   前記比較器から前記基準値超過信号が出力されると、前記ガス圧力制御器により、前記ガス供給器とガス排出器の少なくとも一方を制御して、前記光共振器内のレーザ媒質ガスのガス圧力を、所定運転ガス圧力よりも低くなるように制御する構成としたレーザ発振装置。
2. 前記ガス圧力制御器は、前記光共振器内のレーザ媒質ガス圧力を、前記所定運転ガス圧力よりも低く、且つ予め設定されたガス圧下限値よりも高い値に制御する構成とした請求項１に記載のレーザ発振装置。
3. 前記比較器には警報器を接続した請求項１または２に記載のレーザ発振装置。
4. 前記比較器からの基準値超過信号は前記警報器を介して前記ガス圧力制御器に出力される構成とした請求項３に記載のレーザ発振装置。