JP2012097786A5 - - Google Patents

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本発明の一側面は、第１物体と、前記第１物体を支持する第１ばね機構と、前記第１物体の位置を検出する検出系と、前記第１物体に力を加える第１駆動手段と、前記検出系の出力に基づいて前記第１駆動手段に対する指令値を生成する第１演算器とを含み、前記第１物体の振動を制御する振動制御装置であって、
前記検出系は、第２物体と、前記第２物体を支持する第２ばね機構と、前記第２ばね機構を支持する第３物体と、前記第３物体を支持する第３ばね機構と、前記第２物体に対する前記第３物体の変位を検出する第１変位検出器と、前記第３物体に力を加える第２駆動手段と、前記第１変位検出器の出力に基づいて前記第２駆動手段に対する指令値を生成する第２演算器とを含み、前記第１物体と前記第１ばね機構とからなる第１系の有する第１固有振動数より前記第２物体と前記第２ばね機構とからなる第２系の有する第２固有振動数が高く、前記第１固有振動数より前記第３物体と前記第３ばね機構とからなる第３系の有する第３固有振動数が高く、かつ、前記第２物体および前記第３物体の少なくとも一方に対する前記第１物体の位置を検出する、
ことを特徴とする振動制御装置である。

Claims (1)

  1. 第１物体と、前記第１物体を支持する第１ばね機構と、前記第１物体の位置を検出する検出系と、前記第１物体に力を加える第１駆動手段と、前記検出系の出力に基づいて前記第１駆動手段に対する指令値を生成する第１演算器とを含み、前記第１物体の振動を制御する振動制御装置であって、
    前記検出系は、第２物体と、前記第２物体を支持する第２ばね機構と、前記第２ばね機構を支持する第３物体と、前記第３物体を支持する第３ばね機構と、前記第２物体に対する前記第３物体の変位を検出する第１変位検出器と、前記第３物体に力を加える第２駆動手段と、前記第１変位検出器の出力に基づいて前記第２駆動手段に対する指令値を生成する第２演算器とを含み、前記第１物体と前記第１ばね機構とからなる第１系の有する第１固有振動数より前記第２物体と前記第２ばね機構とからなる第２系の有する第２固有振動数が高く、前記第１固有振動数より前記第３物体と前記第３ばね機構とからなる第３系の有する第３固有振動数が高く、かつ、前記第２物体および前記第３物体の少なくとも一方に対する前記第１物体の位置を検出する、
    ことを特徴とする振動制御装置。
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