JP2015141210A5 - - Google Patents

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本発明の一態様のアクチュエーター制御装置は、アクチュエーターの駆動量を検出する検出手段と、検出された前記駆動量に応じて、前記アクチュエーターに印加する駆動電圧を制御するフィードバックループと、を含み、前記フィードバックループにおけるゲインは、検出された前記駆動量に基づく前記アクチュエーターの駆動特性に応じていることを特徴とする。
上記の本発明に係るアクチュエーター制御装置は、駆動電圧の印加により駆動するアクチュエーターと、前記アクチュエーターの駆動量を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された前記駆動量に応じて、前記アクチュエーターに印加する駆動電圧を制御するフィードバックループと、前記検出手段により検出される前記駆動量に基づく前記アクチュエーターの駆動特性に応じて、前記フィードバックループにおけるゲインを設定するゲイン設定手段と、を具備したことを特徴とする。

Claims (10)

  1. アクチュエーターの駆動量を検出する検出手段と、
    検出された前記駆動量に応じて、前記アクチュエーターに印加する駆動電圧を制御するフィードバックループと、
    を含み、
    前記フィードバックループにおけるゲインは、検出された前記駆動量に基づく前記アクチュエーターの駆動特性に応じていることを特徴とするアクチュエーター制御装置。
  2. 請求項１に記載のアクチュエーター制御装置において、
    前記ゲインを設定するゲイン設定手段をさらに含むことを特徴とするアクチュエーター制御装置。
  3. 請求項１または２に記載のアクチュエーター制御装置において、
    第１部材と、
    前記第２部材に対向する第２部材と、を備え、
    前記アクチュエーターは、前記第１部材に設けられた第１電極と、前記第２部材に設けられ、前記第２電極に対向する第２電極と、を備え、
    前記検出手段は、前記駆動量として、前記第１部材及び前記第２部材の間のギャップ寸法を検出することを特徴とするアクチュエーター制御装置。
  4. 請求項１乃至請求項３に記載のアクチュエーター制御装置において、
    前記ゲイン設定手段は、前記アクチュエーターに対して前記駆動電圧を印加していない初期状態での前記駆動量に基づいて前記ゲインを設定することを特徴とするアクチュエーター制御装置。
  5. 請求項１乃至請求項４に記載のアクチュエーター制御装置において、
    前記ゲイン設定手段は、前記駆動電圧、及び当該駆動電圧を印加した際に前記検出手段により検出された前記駆動量の組み合わせを複数組取得し、これらの組み合わせに基づいて前記ゲインを設定することを特徴とするアクチュエーター制御装置。
  6. 請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のアクチュエーター制御装置において、
    前記フィードバックループは、前記検出手段により検出された前記駆動量と、前記駆動量の目標値と、に基づいて前記駆動電圧を制御する制御器を有し、
    前記ゲイン設定手段は、前記制御器のゲインを設定することを特徴とするアクチュエーター制御装置。
  7. 請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のアクチュエーター制御装置において、
    前記フィードバックループは、第１アクチュエーターに対して所定のバイアス電圧を印加するバイアス電圧印加手段と、前記検出手段により検出された前記駆動量、及び前記駆動量の目標値に基づいて第２アクチュエーターに印加する駆動電圧を制御する制御器と、
    を備え、
    前記ゲイン設定手段は、前記バイアス電圧印加手段におけるバイアス電圧を設定することを特徴とするアクチュエーター制御装置。
  8. 互いに対向する一対の反射膜と、
    駆動電圧の印加により、前記一対の反射膜間のギャップ寸法を変化させるアクチュエーターと、
    請求項１乃至７のいずれかに記載のアクチュエーター制御装置と、
    を具備したことを特徴とする光学モジュール。
  9. アクチュエーターと、
    請求項１乃至７のいずれかに記載のアクチュエーター制御装置と、
    所定の処理を実施する処理部と、
    を具備したことを特徴とする電子機器。
  10. アクチュエーターの駆動量を検出し、
    検出された前記駆動量に基づいて、前記アクチュエーターの駆動特性を取得し、
    前記駆動特性に基づいて、検出された前記駆動量に応じて、前記アクチュエーターに印加する駆動電圧を制御するフィードバックループにおけるゲインを設定することを特徴とするアクチュエーター制御方法。
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