JP2015141210A - アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法 - Google Patents
アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
しかしながら、上述した特許文献1に記載のような従来の固定ゲインを用いたフィードバック回路では、最適なゲイン制御が実施できず、例えば、静電アクチュエーターを目標値に設定するまでの時間が長くなったり、異常発振が発生したりする等、最適なフィードバック制御を実施することが困難であるという課題があった。
なお、上述のように、アクチュエーターを静電アクチュエーターとして、第一部材及び第二部材のギャップ寸法を検出して駆動量とする場合では、第一部材及び第二部材の初期ギャップ寸法を初期駆動量とすることができる。
アクチュエーターに駆動特性(駆動電圧に対する駆動量を示した曲線)は、ほぼ同形状となり、初期状態での駆動量が測定できれば、駆動特性を予測することができる。したがって、本発明では、上記のように初期状態での駆動量を検出手段により検出することで、アクチュエーターの駆動特性を容易に判定することができ、当該駆動特性から、フィードバックループにおけるゲインを容易に設定することができる。
本発明では、フィードバックループにおいて、アクチュエーターに対してフィードバック電圧を印加する制御器のゲインを設定する。このように制御器のゲインを、駆動特性に応じて変更することで、フィードバック制御時における感度の調整を適切に行え、制御状態を良好に維持できる。
この際、微動駆動させる第二アクチュエーターを制御するフィードバック電圧印加手段でのゲインを変動させ、例えば感度を高くすると、フィードバック制御が困難となる。これに対して、本発明では、バイアス電圧印加手段におけるバイアス電圧を再設定する。このように、バイアス電圧を再設定することで、第二アクチュエーターの感度が変わり、結果としてフィードバックループ全体のゲインを最適値に設定することができる。また、本発明では、フィードバック印加手段における感度を一定に保つこともでき、最適なフィードバック制御を実施することが可能となる。
このような光学モジュールでは、反射膜間のギャップ寸法を検出手段により検出し、その検出結果に基づいてアクチュエーターをフィードバック制御することで、所望の波長の光を精度よくファブリーペローエタロンから出射させることができる。
この際、上述した発明と同様、アクチュエーターの駆動特性が変動した場合でも、フィードバックループのゲインを最適な値に設定することができるため、フィードバック制御により、迅速に反射膜間のギャップ寸法を所望値に合わせ、所望波長の光を波長可変型ファブリーペローエタロンから出射させることができる。
以下、本発明に係る第一実施形態の分光測定装置について、図面に基づいて説明する。
[分光測定装置の構成]
図1は、本発明に係る第一実施形態の分光測定装置の概略構成を示すブロック図である。
分光測定装置1は、本発明の電子機器であり、測定対象Xで反射された測定対象光における所定波長の光強度を分析し、分光スペクトルを測定する装置である。なお、本実施形態では、測定対象Xで反射した測定対象光を測定する例を示すが、測定対象Xとして、例えば液晶ディスプレイ等の発光体を用いる場合、当該発光体から発光された光を測定対象光としてもよい。
この分光測定装置1は、図1に示すように、光学モジュール10と、ディテクター11(検出部)と、I−V変換器12と、アンプ13と、A/D変換器14と、制御部20と、を備えている。また、光学モジュール10は、波長可変干渉フィルター5と、電圧制御部15とを備えて構成されている。
I−V変換器12は、ディテクター11から入力された検出信号を電圧値に変換し、アンプ13に出力する。
アンプ13は、I−V変換器12から入力された検出信号に応じた電圧(検出電圧)を増幅する。
A/D変換器14は、アンプ13から入力された検出電圧(アナログ信号)をデジタル信号に変換し、制御部20に出力する。
電圧制御部15は、制御部20の制御に基づいて、波長可変干渉フィルター5を駆動させ、波長可変干渉フィルター5から所定の目的波長の光を透過させる。
次に、光学モジュール10の構成について、以下に説明する。
図2は、光学モジュール10の概略構成を示すブロック図である。
光学モジュール10は、上記のように、波長可変干渉フィルター5と、電圧制御部15とを備えて構成される。
光学モジュール10の波長可変干渉フィルター5について、以下説明する。図3は、波長可変干渉フィルター5の概略構成を示す平面図である。
波長可変干渉フィルター5は、図2及び図3に示すように、例えば矩形板状の光学部材であり、固定基板51(第一部材)および可動基板52(第二部材)を備えている。これらの固定基板51及び可動基板52は、例えば各種ガラスや水晶等の絶縁性素材により形成され、例えばシロキサンを主成分とするプラズマ重合膜などにより構成された接合膜53(図2参照)により接合されることで、一体的に構成されている。
また、固定基板51には、固定電極561が設けられ、可動基板52には、可動電極562が設けられている。これらの固定電極561及び可動電極562は、所定のギャップを介して対向配置されている。これらの固定電極561及び可動電極562は、本発明のアクチュエーターの一例である静電アクチュエーター56を構成する。
なお、以降の説明に当たり、固定基板51または可動基板52の基板厚み方向から見た平面視、つまり、固定基板51、接合膜53、及び可動基板52の積層方向から波長可変干渉フィルター5を見た平面視をフィルター平面視と称する。また、本実施形態では、フィルター平面視において、固定反射膜54の中心点及び可動反射膜55の中心点は、一致し、平面視におけるこれらの反射膜の中心点をフィルター中心点Oと称し、これらの反射膜の中心点を通る直線を中心軸と称する。
固定基板51は、図2に示すように、例えばエッチング等により形成された電極配置溝511および反射膜設置部512を備える。また、固定基板51の一端側(図3における辺C1−C2)は、可動基板52の基板端縁(図3における辺C5−C6)よりも外側に突出しており、第一端子取出部514を構成している。
また、固定基板51には、電極配置溝511から、固定基板51の外周縁に向かって延出する電極引出溝(図示略)が設けられている。
そして、固定電極561は、電極引出溝に沿って第一端子取出部514まで延出する固定引出電極563を備えている。この固定引出電極563の延出先端部は、例えばFPC(Flexible printed circuits)やリード線等により電圧制御部15に接続されている。
そして、第一ミラー電極541は、第一端子取出部514上で電圧制御部15に接続される。
可動基板52は、図3に示すようなフィルター平面視において、フィルター中心点Oを中心とした円形状の可動部521と、可動部521と同軸であり可動部521を保持する保持部522と、保持部522の外側に設けられた基板外周部525と、を備えている。
また、可動基板52には、図3に示すように、一端側(図3における辺C7−C8)は、固定基板51の基板端縁(図3における辺C3−C4)よりも外側に突出しており、第二端子取出部524を構成している。
ここで、図3に示すように、フィルター平面視において、可動電極562と固定電極561とが重なる円弧領域(図3において右上がり斜線部で示される領域)により、静電アクチュエーター56が構成されている。この静電アクチュエーター56は、図3に示すように、フィルター平面視において、フィルター中心点Oに対して互いに点対称となる形状及び配置となる。したがって、静電アクチュエーター56に電圧を印加した際に発生する静電引力も、フィルター中心点Oに対して点対称となる位置に作用し、バランスよく可動部521を固定基板51側に変位させることが可能となる。
また、可動基板52には、図3に示すように、可動反射膜55の外周縁に接続され、可動電極562のC字開口部を通り、第二端子取出部524に向かって延出する第二ミラー電極551が設けられている。
また、可動反射膜55として、誘電体多層膜及び導電性膜の積層体により構成される場合では、第二ミラー電極551は、導電性膜と同時に形成され、この導電性膜に接続される。
そして、この第二ミラー電極551は、第二端子取出部524上において例えばFPCやリード線等により電圧制御部15に接続されている。
なお、本実施形態では、ダイヤフラム状の保持部522を例示するが、これに限定されず、例えば、フィルター中心点Oを中心として、等角度間隔で配置された梁状の保持部が設けられる構成などとしてもよい。
電圧制御部15は、図2に示すように、ギャップ検出器151(本発明における検出手段)と、フィードバック制御部152と、マイコン(マイクロコントローラー)16とを備えて構成されている。
図4は、電圧制御部15を用いたフィードバックループの概念図である。
電圧制御部15は、図4に示すように、波長可変干渉フィルター5の静電アクチュエーター56、ギャップ検出器151、フィードバック制御部152により、クローズドループシステム15L(フィードバックループ)を構成する。そして、本実施形態では、マイコン16は、静電アクチュエーター56の駆動特性に基づいて、このクローズドループシステム15Lのゲインを設定することで、フィードバック制御時の制御状態を好適に維持する。
以下、電圧制御部15の構成について、詳細に説明する。
具体的には、ギャップ検出器151は、図示略のC−V変換回路を有し、反射膜54,55間の静電容量を電圧値(検出信号)に変換する。このようなC−V変換回路としては、例えば、スイッチト・キャパシタ回路等が挙げられる。
そして、ギャップ検出器151は、検出信号をフィードバック制御部152及びマイコン16に出力する。
なお、ギャップ検出器151は、検出信号としては、アナログ信号を出力してもよく、デジタル信号を出力してもよい。デジタル信号を出力する場合、C−V変換回路からの検出信号(アナログ信号)をADC(Analog to Digital Converter)に入力し、デジタル値に変換する。
また、フィードバック制御部152は、ギャップ検出器151からの検出信号と、マイコン16から入力された指令信号との偏差が所定閾値以下となるように、静電アクチュエーター56に対する駆動電圧を増減して制御する。すなわち、フィードバック制御部152は、検出信号及び指令信号に基づいて、フィードバック制御を実施する。
具体的には、フィードバック制御部152として、アナログ方式の制御器が用いられる場合、制御器に複数のゲインのうちのいずれかを設定可能なゲイン設定回路を設ける。そして、マイコン16からの制御信号により、ゲイン設定回路のゲインを所定のゲインに設定する。
また、フィードバック制御部152として、デジタル方式の制御器が用いられる場合、マイコンの信号に基づき、制御ゲインのパラメーター(レジスタ値)を書き換えることで、所定のゲインに設定することが可能となる。
また、メモリー161には、静電アクチュエーター56に印加する駆動電圧に対する、ギャップG2(アクチュエーターギャップ)の寸法を示す静電アクチュエーター56の駆動特性データが記録されている。また、各駆動特性データに対して最適なゲインが関連付けられて記憶されている。
図5は、駆動特性データの一例を示す図である。
本実施形態では、図5に示すように、静電アクチュエーター56に対して駆動電圧を印加していない初期状態におけるギャップG2の寸法(初期ギャップ寸法)がそれぞれ異なる、複数の駆動特性データが記録されている。
目標指令手段162は、制御部20から波長設定指令が入力されると、目標波長に対応するギャップG1の寸法(目標値)を算出し、目標信号としてフィードバック制御部152に出力する。
特性取得手段163は、ギャップ検出器151から入力された検出信号に基づいて、静電アクチュエーター56の駆動特性を取得する。
ゲイン設定手段164は、特性取得手段163により取得された駆動特性に基づいて、フィードバック制御部152のゲインを設定する。
図1に戻り、分光測定装置1の制御部20について、説明する。
制御部20は、本発明の処理部に相当し、例えばCPUやメモリー等が組み合わされることで構成され、分光測定装置1の全体動作を制御する。この制御部20は、図1に示すように、波長設定部21と、光量取得部22と、分光測定部23と、記憶部30を備えている。
記憶部30には、分光測定装置1を制御するための各種プログラムや、各種データ(例えば目標波長に対する駆動電圧を示したV−λデータ等)が記録されている。
光量取得部22は、ディテクター11により取得された光量に基づいて、波長可変干渉フィルター5を透過した目的波長の光の光量を取得する。
分光測定部23は、光量取得部22により取得された光量に基づいて、測定対象光のスペクトル特性を測定する。
図6は、分光測定装置1の分光測定処理における波長可変干渉フィルターの駆動方法(アクチュエーター制御方法)を示すフローチャートである。
分光測定装置1により測定対象光に含まれる各波長の光の強度を取得するためには、まず、制御部20は、波長設定部21により波長可変干渉フィルター5を透過させる光の波長(目的波長)を設定する。そして、波長設定部21は、設定した目的波長の光を透過させる旨の波長設定指令を電圧制御部15に出力する(ステップS1)。
具体的には、特性取得手段163は、ギャップ検出器151から入力された検出信号に基づき、反射膜54,55間のギャップG1の初期ギャップ寸法を取得し、ギャップG1の初期ギャップから、電極561,562間のギャップG2の初期値(初期ギャップ寸法)を算出する。そして、特性取得手段163は、メモリーに記憶された複数の駆動特性データから、算出したギャップG2の初期ギャップ寸法に対応した駆動特性データを取得する。
本実施形態では、各駆動特性データに対して関連付けられた最適ゲインを読み込む。
なお、駆動特性データに対してゲインが関連付けられる例を示したが、例えば、メモリー161に、ギャップG2の初期ギャップ寸法に対するゲインの関係を示したテーブルデータを記憶しておいてもよい。
また、ゲイン設定手段164は、基準となる駆動特性データ(基準特性データ)に対する基準ゲインが設定されている場合、ステップS2において取得した駆動特性データと、基準特性データとに基づいて、ゲインを算出する等の処理をしてもよい。
例えば図5において、曲線Aの駆動特性データを基準データに対してその基準ゲインGcが設定されており、ステップS2において、曲線Bの駆動特性データが取得された場合、ゲイン設定手段164は、各駆動特性データの感度比を算出する。
例えば、曲線Aの基準データでは、アクチュエーターギャップG2をGαに設定する際、フィードバック制御における感度は、Rα(m/V)であり、駆動特性が曲線Bに変化し、ギャップG2をGαに設定する際のフィードバック制御における感度が、Rβ(m/V)に変化する。この場合、ゲイン設定手段164は、基準ゲインGcの(Rβ/Rα)倍のゲインを設定する。これにより、フィードバック制御時の感度変化が抑制され、異常発振や、目標値までの設定時間の増加等の不都合を抑制できる。
すなわち、フィードバック制御部152は、ギャップ検出器151から入力される検出信号と目標信号との偏差が0に近づくように、静電アクチュエーター56に印加する駆動電圧を制御する。
本実施形態では、特性取得手段163は、ギャップ検出器151からの検出信号に基づいて、静電アクチュエーター56の駆動特性を測定し、ゲイン設定手段164は、測定された駆動特性に対応したフィードバック制御におけるゲインを設定する。
このため、静電アクチュエーター56の駆動特性が、例えば環境変化や経年劣化等により変動した場合でも、変動した駆動特性に対応した最適なゲインを設定することができる。これにより、フィードバック制御時において、静電アクチュエーター56が異常発振したり、目標波長の光の出力に過剰に時間を要したりする不都合を回避でき、最適なフィードバック制御を行うことができる。
このような最適なフィードバック制御を実施することで、光学モジュール10においても、より迅速に目標波長の光の光量を取得することができ、分光測定装置1における分光測定処理もより迅速に実施することができる。
波長可変干渉フィルター5の保持部522等のバネ係数が一定と見なせる場合等では、ギャップG2の初期ギャップ寸法から行動特性を予測することができる。また、本実施形態のように、メモリー161に予め複数の駆動特性データを記憶しておくことで、初期ギャップ寸法に対する駆動特性データをより迅速に取得することができる。これにより、より迅速にゲイン設定を行え、フィードバック制御もより迅速に開始することができる。
次に、本発明の第二実施形態について図面に基づいて説明する。
上述した第一実施形態では、ステップS2において、特性取得手段163は、ギャップG2の初期ギャップ寸法から静電アクチュエーター56の駆動特性を取得した。これに対して、第二実施形態が、複数の測定点に基づいて、静電アクチュエーター56の駆動特性を取得する点で、上記第一実施形態と相違する。
なお、以降の説明にあたり、既に説明した構成については同符号を付し、その説明を省略、または簡略化する。
本実施形態では、特性取得手段163は、上述したステップS2において、静電アクチュエーター56に印加した駆動電圧に対する、当該駆動電圧を印加した際のギャップ検出器からの検出信号に基づくギャップG2の寸法(測定点c)を、駆動電圧を変えて複数取得する。
そして、特性取得手段163は、これらの取得した複数の測定点cに基づいて、例えば多項式近似等により駆動特性の曲線データCを得る。
次に、本発明の第三実施形態について、図面に基づいて説明する。
上述した第一及び第二実施形態では、1つの静電アクチュエーター56を用いて、反射膜54,55間のギャップG1を所望の値に制御する光学モジュール10を例示した。
これに対して、第三実施形態では、静電アクチュエーターは、それぞれ独立して駆動可能な第一アクチュエーター及び第二アクチュエーターを備え、これらの第一及び第二アクチュエーターにより、ギャップG1の寸法を制御する点で上記第一及び第二実施形態と相違する。
図8は、第三実施形態の光学モジュールの概略構成を示す図である。図9は、波長可変干渉フィルターの平面図である。
本実施形態の波長可変干渉フィルター5Aは、上記第一及び第二実施形態に対して電極構成が異なる。本実施形態の波長可変干渉フィルター5Aは、フィルター平面視において、反射膜54,55の外側に、2重電極構造の電極が設けられる。
具体的には、図8及び図9に示すように、本実施形態の波長可変干渉フィルター5Aの静電アクチュエーターは、第一静電アクチュエーター56A、及び第二静電アクチュエーター56Bにより構成されている。
第一静電アクチュエーター56Aは、固定基板51に設けられた第一固定電極561Aと、可動基板52に設けられた第一可動電極562Aにより構成されている。
第一固定電極561Aには、第一固定引出電極563Aが接続され、また、第一可動電極562Aには第一可動引出電極564Aが接続されており、これらの引出電極563A,564Aは、それぞれ電圧制御部15Aに接続される。
第二固定電極561Bには、第二固定引出電極563Bが接続され、また、第二可動電極562Bには第二可動引出電極564Bが接続されており、これらの引出電極563B,564Bは、それぞれ電圧制御部15Aに接続される。
図10は、本実施形態のフィードバックループ(クローズドループシステム)の概念図である。
本実施形態の電圧制御部15Aのクローズドループシステム15Lでは、第一実施形態の電圧制御部15に対してさらに、バイアス駆動部153(本発明のバイアス電圧印加手段)が設けられる。
第一静電アクチュエーター56Aの各引出電極563A,564Aは、このバイアス駆動部153に接続されている。
また、第二静電アクチュエーター56Bの各引出電極563B、564Bは、フィードバック制御部152Aに接続される。
なお、本実施形態では、フィードバック制御部152のゲインは固定ゲインとなり、一定に保たれる。
また、マイコン16Aは、目標指令手段162、特性取得手段163、及びバイアス指令手段165として機能する。
バイアス指令手段165は、制御部20から入力される波長設定指令に基づいて、バイアス駆動部153に、バイアス電圧の印加を指令するバイアス指令を出力する。
図11は、波長可変干渉フィルターの駆動方法(アクチュエーター制御方法)を示すフローチャートである。
分光測定装置1により測定対象光に含まれる各波長の光の強度を取得するためには、まず、第一実施形態と同様、ステップS1の処理により、制御部20から電圧制御部15に波長設定指令が出力される。また、マイコン16Aは、波長設定指令を受けると、目標波長に対応したギャップG1の目標値(目標信号)を算出する。
具体的には、バイアス指令手段165は、ギャップG1の目標値に対応したバイアス電圧を算出する。
すなわち、本実施形態では、フィードバック制御において、第二静電アクチュエーター56Bへの電圧印加時の感度(印加電圧に対するギャップ変位量(m/V))が一定となるように、バイアス電圧を設定する。
ここで、第二静電アクチュエーター56Bへの電圧印加時の感度RC(m/V)は、次式(1)により表される。
上記式(1)を、Vbについて解くと、次式(2)を導き出すことができる。
すなわち、本実施形態では、フィードバック制御部152のゲインを固定し、バイアス指令手段165により静電アクチュエーター56の駆動特性に応じた最適なバイアス電圧を設定することで、第二静電アクチュエーター56Bの電圧印加時の感度を調整し、クローズドループシステム15L全体におけるゲインを最適化する。したがって、本実施形態では、バイアス指令手段165が本発明におけるゲイン設定手段として機能する。
この後、ステップS5のフィードバック制御、及びステップS6の光量取得を実施する。
このため、本実施形態においても上記実施形態と同様、アクチュエーターの駆動特性が変動した場合でも、変動した特性に応じてバイアス駆動部のバイアス電圧を最適値に設定し、第二静電アクチュエーター56Bによるフィードバック制御時の感度が一定になるように、クローズドループシステム15L全体におけるゲインを制御することができる。これにより、最適なフィードバック制御を実施することが可能となる。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
また、反射膜54,55を駆動用電極として用いてもよい。例えば、第三実施形態において、反射膜54,55を第二静電アクチュエーター又は第一静電アクチュエーターとして機能させてもよい。
また、バイアス電圧としては、バイアス駆動部153を単独駆動させて反射膜間ギャップG1を目標ギャップ量に設定するための駆動電圧よりも小さい電圧が用いられていればよい。このようなバイアス電圧が印加されることで、フィードバック制御部152による第二静電アクチュエーター56Bの制御において、バイアス電圧が印加されない場合に比べて感度を低減させることができ、フィードバック制御の精度を向上させることができる。
図12は、波長可変干渉フィルターを備えた測色装置400の一例を示すブロック図である。
この測色装置400は、図12に示すように、検査対象Aに光を射出する光源装置410と、測色センサー420(光学モジュール)と、測色装置400の全体動作を制御する制御装置430(処理部)とを備える。そして、この測色装置400は、光源装置410から射出される光を検査対象Aにて反射させ、反射された検査対象光を測色センサー420にて受光し、測色センサー420から出力される検出信号に基づいて、検査対象光の色度、すなわち検査対象Aの色を分析して測定する装置である。
この制御装置430としては、例えば汎用パーソナルコンピューターや、携帯情報端末、その他、測色専用コンピューターなどを用いることができる。そして、制御装置430は、図12に示すように、光源制御部431、測色センサー制御部432、および測色処理部433などを備えて構成されている。
光源制御部431は、光源装置410に接続され、例えば利用者の設定入力に基づいて、光源装置410に所定の制御信号を出力して、所定の明るさの白色光を射出させる。
測色センサー制御部432は、測色センサー420に接続され、例えば利用者の設定入力に基づいて、測色センサー420にて受光させる光の波長を設定し、この波長の光の受光量を検出する旨の制御信号を測色センサー420に出力する。これにより、測色センサー420の電圧制御部15は、制御信号に基づいて、静電アクチュエーター56に電圧を印加し、波長可変干渉フィルター5を駆動させる。
測色処理部433は、ディテクター11により検出された受光量から、検査対象Aの色度を分析する。
このようなガス検出装置の一例を以下に図面に基づいて説明する。
図14は、図13のガス検出装置の制御系の構成を示すブロック図である。
このガス検出装置100は、図13に示すように、センサーチップ110と、吸引口120A、吸引流路120B、排出流路120C、及び排出口120Dを備えた流路120と、本体部130と、を備えて構成されている。
本体部130は、流路120を着脱可能な開口を有するセンサー部カバー131、排出手段133、筐体134、光学部135、フィルター136、波長可変干渉フィルター5、及び受光素子137(検出部)等を含む検出装置(光学モジュール)と、検出された信号を処理し、検出部を制御する制御部138(処理部)、電力を供給する電力供給部139等から構成されている。また、光学部135は、光を射出する光源135Aと、光源135Aから入射された光をセンサーチップ110側に反射し、センサーチップ側から入射された光を受光素子137側に透過するビームスプリッター135Bと、レンズ135C,135D,135Eと、により構成されている。
また、図14に示すように、ガス検出装置100の表面には、操作パネル140、表示部141、外部とのインターフェイスのための接続部142、電力供給部139が設けられている。電力供給部139が二次電池の場合には、充電のための接続部143を備えてもよい。
更に、ガス検出装置100の制御部138は、図14に示すように、CPU等により構成された信号処理部144、光源135Aを制御するための光源ドライバー回路145、波長可変干渉フィルター5を制御するための電圧制御部146、受光素子137からの信号を受信する受光回路147、センサーチップ110のコードを読み取り、センサーチップ110の有無を検出するセンサーチップ検出器148からの信号を受信するセンサーチップ検出回路149、及び排出手段133を制御する排出ドライバー回路150などを備えている。
本体部130の上部のセンサー部カバー131の内部には、センサーチップ検出器148が設けられており、このセンサーチップ検出器148でセンサーチップ110の有無が検出される。信号処理部144は、センサーチップ検出器148からの検出信号を検出すると、センサーチップ110が装着された状態であると判断し、表示部141へ検出動作を実施可能な旨を表示させる表示信号を出す。
これらのレイリー散乱光やラマン散乱光は、光学部135を通ってフィルター136に入射し、フィルター136によりレイリー散乱光が分離され、ラマン散乱光が波長可変干渉フィルター5に入射する。そして、信号処理部144は、電圧制御部146に対して制御信号を出力する。これにより、電圧制御部146は、上記第一実施形態に示すように、ギャップ検出器151、フィードバック制御部152、及びマイコン16により構成され、第一実施形態と同様の駆動方法により、波長可変干渉フィルター5を駆動させ、検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光を波長可変干渉フィルター5で分光させる。なお、第三実施形態の電圧制御部15Aと同様の構成としてもよい。
この後、分光した光が受光素子137で受光されると、受光量に応じた受光信号が受光回路147を介して信号処理部144に出力される。この場合、波長可変干渉フィルター5から目的とするラマン散乱光を精度よく取り出すことができる。
信号処理部144は、上記のようにして得られた検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光のスペクトルデータと、ROMに格納されているデータとを比較し、目的のガス分子か否かを判定し、物質の特定をする。また、信号処理部144は、表示部141にその結果情報を表示させたり、接続部142から外部へ出力したりする。
以下に、上記物質成分分析装置の一例として、食物分析装置を説明する。
この食物分析装置200は、図15に示すように、検出器210(光学モジュール)と、制御部220と、表示部230と、を備えている。検出器210は、光を射出する光源211と、測定対象物からの光が導入される撮像レンズ212と、撮像レンズ212から導入された光を分光する波長可変干渉フィルター5と、分光された光を検出する撮像部213(検出部)と、を備えている。
また、制御部220は、光源211の点灯・消灯制御、点灯時の明るさ制御を実施する光源制御部221と、波長可変干渉フィルター5を制御する電圧制御部222と、撮像部213を制御し、撮像部213で撮像された分光画像を取得する検出制御部223と、信号処理部224(分析部)と、記憶部225と、を備えている。
そして、信号処理部224は、上述のようにして得られた検査対象の食物の成分や含有量、カロリーや鮮度等の情報を表示部230に表示させる処理をする。
更には、鉱物の成分分析を実施する鉱物分析装置としても用いることができる。
例えば、各波長の光の強度を経時的に変化させることで、各波長の光でデータを伝送させることも可能であり、この場合、光学モジュールに設けられた波長可変干渉フィルターにより特定波長の光を分光し、受光部で受光させることで、特定波長の光により伝送されるデータを抽出することができ、このようなデータ抽出用光学モジュールを備えた電子機器により、各波長の光のデータを処理することで、光通信を実施することもできる。
図16は、分光カメラの概略構成を示す模式図である。分光カメラ300は、図16に示すように、カメラ本体310と、撮像レンズユニット320と、撮像部330(検出部)とを備えている。
カメラ本体310は、利用者により把持、操作される部分である。
撮像レンズユニット320は、カメラ本体310に設けられ、入射した画像光を撮像部330に導光する。また、この撮像レンズユニット320は、図16に示すように、対物レンズ321、結像レンズ322、及びこれらのレンズ間に設けられた波長可変干渉フィルター5を備えて構成されている。
撮像部330は、受光素子により構成され、撮像レンズユニット320により導光された画像光を撮像する。
このような分光カメラ300では、波長可変干渉フィルター5により撮像対象となる波長の光を透過させることで、所望波長の光の分光画像を撮像することができる。この時、各波長に対して、電圧制御部(図示略)が上記第一実施形態に示すような本発明の駆動方法により波長可変干渉フィルター5を駆動させることで、精度よく目的波長の分光画像の画像光を取り出すことができる。
また、本発明の波長可変干渉フィルターを生体認証装置として用いてもよく、例えば、近赤外領域や可視領域の光を用いた、血管や指紋、網膜、虹彩などの認証装置にも適用できる。
例えば、電圧印加により、駆動電圧に対して駆動量が非線形に変化するアクチュエーター駆動装置のフィードバック制御に利用することができ、このようなアクチュエーターとして例えば、ピエゾアクチュエーター等が挙げられる。具体的には、ピエゾアクチュエーターに駆動電圧を印加することで、ミラーを駆動電圧に応じた角度だけ姿勢を変更させるミラーデバイス等にも適用できる。この場合、所定の駆動電圧を印加した際のピエゾアクチュエーターの駆動量(駆動角度等)を検出することで、ピエゾアクチュエーターの駆動特性を取得し、取得した駆動特性に基づいてピエゾアクチュエーターの駆動をフィードバック制御する構成等が挙げられる。
Claims (9)
- 駆動電圧の印加により駆動するアクチュエーターと、
前記アクチュエーターの駆動量を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された前記駆動量に応じて、前記アクチュエーターに印加する駆動電圧を制御するフィードバックループと、
前記検出手段により検出される前記駆動量に基づく前記アクチュエーターの駆動特性に応じて、前記フィードバックループにおけるゲインを設定するゲイン設定手段と、
を具備したことを特徴とするアクチュエーター制御装置。 - 請求項1に記載のアクチュエーター制御装置において、
第一部材と、
前記第一部材に対向する第二部材と、を備え、
前記アクチュエーターは、前記第一部材に設けられた第一電極と、前記第二部材に設けられ、前記第一電極に対向する第二電極とを備えた静電アクチュエーターであり、
前記検出手段は、前記駆動量として、前記第一部材及び前記第二部材の間のギャップ寸法を検出する
ことを特徴とするアクチュエーター制御装置。 - 請求項1又は請求項2に記載のアクチュエーター制御装置において、
前記ゲイン設定手段は、前記アクチュエーターに対して駆動電圧を印加していない初期状態での前記駆動量に基づいて前記ゲインを設定する
ことを特徴とするアクチュエーター制御装置。 - 請求項1又は請求項2に記載のアクチュエーター制御装置において、
前記ゲイン設定手段は、前記アクチュエーターに対して印加する駆動電圧、及び当該駆動電圧を印加した際に前記検出手段により検出された前記駆動量の組み合わせを複数組取得し、これらの組み合わせに基づいて前記ゲインを設定する
ことを特徴とするアクチュエーター制御装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載のアクチュエーター制御装置において、
前記フィードバックループは、前記検出手段により検出された前記駆動量と、前記アクチュエーターの駆動量の目標値とに基づいて前記アクチュエーターに印加する駆動電圧を制御する制御器を有し、
前記ゲイン設定手段は、前記制御器のゲインを設定する
ことを特徴とするアクチュエーター制御装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載のアクチュエーター制御装置において、
前記アクチュエーターは、互いに独立して駆動可能な第一アクチュエーター及び第二アクチュエーターを有し、
前記フィードバックループは、前記第一アクチュエーターに対して所定のバイアス電圧を印加するバイアス電圧印加手段と、前記検出手段により検出された前記駆動量、及び前記アクチュエーターの駆動量の目標値に基づいて前記第二アクチュエーターに印加する駆動電圧を制御する制御器と、を備え、
前記ゲイン設定手段は、前記バイアス電圧印加手段におけるバイアス電圧を設定する
ことを特徴とするアクチュエーター制御装置。 - 互いに対向する一対の反射膜と、
駆動電圧の印加により、前記一対の反射膜間のギャップ寸法を変化させるアクチュエーターと、
前記一対の反射膜間のギャップ寸法を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された前記ギャップ寸法に応じて、前記アクチュエーターに印加する駆動電圧を制御するフィードバックループと、
前記検出手段により検出される前記ギャップ寸法に基づく前記アクチュエーターの駆動特性に応じて、前記フィードバックループにおけるゲインを設定するゲイン設定手段と、
を具備したことを特徴とする光学モジュール。 - 駆動電圧の印加により駆動するアクチュエーターと、
前記アクチュエーターの駆動量を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された前記駆動量に応じて、前記アクチュエーターに印加する駆動電圧を制御するフィードバックループと、
前記検出手段により検出される前記駆動量に基づく前記アクチュエーターの駆動特性に応じて、前記フィードバックループにおけるゲインを設定するゲイン設定手段と、
前記アクチュエーターの駆動により所定の処理を実施する処理部と、
を具備したことを特徴とする電子機器。 - 駆動電圧の印加により駆動するアクチュエーター、及び前記アクチュエーターの駆動量を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された前記駆動量に応じて、前記アクチュエーターに印加する駆動電圧を制御するフィードバックループと、を備えたアクチュエーター制御装置のアクチュエーター制御方法であって、
前記アクチュエーター制御方法は、
前記検出手段により検出される前記駆動量に基づいて、前記アクチュエーターの駆動特性を取得し、
取得した前記駆動特性に基づいて、前記フィードバックループにおけるゲインを設定し、
設定した前記ゲインで前記駆動電圧を前記アクチュエーターに印加する
ことを特徴とするアクチュエーター制御方法。
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