JP7097823B2 - 変調ファブリ・ペロー - Google Patents
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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Description
2 鏡
3 圧電アクチュエータ
4 鏡
5 外側アクチュエータ
6 内側アクチュエータ
7 内側アクチュエータ
8 外側アクチュエータ
9 電極
10 電極
11 鏡面
12 鏡面
13 電極
14 電極
15 アクチュエータ
16 アクチュエータ
17 アクチュエータ
18 アクチュエータ
19 電極
20 電極
21 電極
22 電極
23 電極
24 電極
25 電極
26 電極
27 電極
28 アクチュエータ
29 アクチュエータ
30 アクチュエータ
31 アクチュエータ
32 アクチュエータ
33 アクチュエータ
34 アクチュエータリング
35 アクチュエータ
36 アクチュエータ
37 アクチュエータ
38 アクチュエータ
39 アクチュエータ
40 アクチュエータ
41 アクチュエータ
42 アクチュエータ
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44 アクチュエータ
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63 アクチュエータ
64 アクチュエータ
65 アクチュエータ
66 アクチュエータ
67 アクチュエータ
68 アクチュエータ
69 アクチュエータ
70 アクチュエータ
100 光
Claims (12)
- フレームに取り付けられた2つの平らな、本質的に平行な鏡面を含む2つの鏡を含むファブリ・ペロー干渉計を備える気体検出用の分光計であって、前記鏡が、それらの間の既知の距離を有し、前記鏡面の少なくとも1つが、共に部分的に反射性であり部分的に透過性であり、第1のアクチュエータユニット及び第2のアクチュエータユニットを含む少なくとも2つのアクチュエータユニットがあり、前記第1のアクチュエータユニットが第1のアクチュエータを含み、前記第2のアクチュエータユニットが第2のアクチュエータを含み、前記第1のアクチュエータユニットが、フィルタでフィルタリングされた波長を特定の範囲内に調整するように前記鏡間の前記距離を調整するように適合され、前記第2のアクチュエータユニットが、10~1000Hzの範囲の選択された周波数fで前記距離を変調するように適合され、それによって両方が、前記ファブリ・ペロー干渉計のフィルタリングされた波長の範囲に対応する鏡の距離の範囲にわたる変動を与え、前記第2のアクチュエータの変調の動きの振幅が、前記第1のアクチュエータの動きによって作られる調整未満であり、
前記鏡の少なくとも1つが、シリコン膜を介して前記フレームに関連し、前記アクチュエータユニットの少なくとも1つが、前記シリコン膜上に圧電材料を含み、それによってバイモルフ又はユニモルフアクチュエータユニットを構成する、気体検出用の分光計。 - 前記フィルタリングされた波長が前後に走査されるように、変調が、前記フィルタの光軸に対して平行な動きである、請求項1に記載の分光計。
- 前記変調がサイナスである、請求項1に記載の分光計。
- 前記第1のアクチュエータユニット及び前記第2のアクチュエータユニットが、前記ファブリ・ペロー干渉計の同じ鏡を移動させる、請求項1に記載の分光計。
- 前記第1のアクチュエータユニットが、前記ファブリ・ペロー干渉計の1つの鏡を移動させ、前記第2のアクチュエータユニットが、前記ファブリ・ペロー干渉計の他の1つの鏡を移動させる、請求項1に記載の分光計。
- 選択された領域間の静電容量を測定し、前記フィルタリングされた波長を平均化し、前記平均化されたフィルタリングされた波長を変調ありと変調なしで比較することによって、前記フィルタリングされた波長に対応する前記鏡の距離が測定される、請求項1に記載の分光計。
- 前記鏡の少なくとも1つがフォトニック結晶膜である、請求項1に記載の分光計。
- 前記鏡の少なくとも1つが表面プラズモンに基づく、請求項1に記載の分光計。
- 前記シリコン膜が開口部を含み、前記バイモルフ又はユニモルフアクチュエータユニットが、前記フレームから前記鏡まで延びる膜アーム上に配置されている、請求項1に記載の分光計。
- 少なくとも1つのアクチュエータユニットが、静電力を利用する、請求項1に記載の分光計。
- 前記ファブリ・ペロー干渉計を介して送られる光が、高調波検出を用いて検出される、請求項1に記載の分光計。
- 光音響検出器における、請求項1に記載の分光計の使用。
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