EA201892773A1 - Модулированный интерферометр фабри-перо - Google Patents

Модулированный интерферометр фабри-перо

Info

Publication number
EA201892773A1
EA201892773A1 EA201892773A EA201892773A EA201892773A1 EA 201892773 A1 EA201892773 A1 EA 201892773A1 EA 201892773 A EA201892773 A EA 201892773A EA 201892773 A EA201892773 A EA 201892773A EA 201892773 A1 EA201892773 A1 EA 201892773A1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
mirrors
interferometer
units
fabry
frame
Prior art date
Application number
EA201892773A
Other languages
English (en)
Other versions
EA036466B1 (ru
Inventor
Иб-Руне Йохансен
Original Assignee
Тюнабл Ас
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Тюнабл Ас filed Critical Тюнабл Ас
Publication of EA201892773A1 publication Critical patent/EA201892773A1/ru
Publication of EA036466B1 publication Critical patent/EA036466B1/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Настоящее изобретение относится к интерферометру Фабри-Перо, содержащему две плоские зеркальные поверхности, установленные в рамке, и к системе, содержащей такой интерферометр. Между зеркалами имеется известное расстояние, и по меньшей мере одна из зеркальных поверхностей частично прозрачная и частично отражающая, кроме того, имеются по меньшей мере два исполнительных блока, каждый из которых содержит по меньшей мере один исполнительный механизм. Первый исполнительный блок регулирует указанное расстояние между зеркалами, а второй исполнительный блок модулирует указанное расстояние на выбранной частоте, в результате чего оба блока совместно обеспечивают вариацию расстояний между зеркалами в некотором диапазоне, соответствующем диапазону длин волн фильтрации в указанном интерферометре Фабри-Перо. По меньшей мере одно из указанных зеркал связано с рамкой через кремниевую мембрану, и по меньшей мере один из указанных исполнительных блоков содержит пьезоэлектрический материал на указанной мембране, таким образом образуя биморфный или униморфный исполнительный блок.
EA201892773A 2016-06-29 2017-06-22 Модулированный интерферометр фабри-перо EA036466B1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO20161086A NO20161086A1 (no) 2016-06-29 2016-06-29 Modulerbar Fabry-Perot
PCT/EP2017/065364 WO2018001851A1 (en) 2016-06-29 2017-06-22 Modulated fabry-perot

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA201892773A1 true EA201892773A1 (ru) 2019-05-31
EA036466B1 EA036466B1 (ru) 2020-11-13

Family

ID=59101468

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA201892773A EA036466B1 (ru) 2016-06-29 2017-06-22 Модулированный интерферометр фабри-перо

Country Status (9)

Country Link
US (1) US10852232B2 (ru)
EP (1) EP3479159B1 (ru)
JP (1) JP7097823B2 (ru)
BR (1) BR112018077318B1 (ru)
CA (1) CA3029090A1 (ru)
DK (1) DK3479159T3 (ru)
EA (1) EA036466B1 (ru)
NO (1) NO20161086A1 (ru)
WO (1) WO2018001851A1 (ru)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018200380A1 (de) * 2018-01-11 2019-07-11 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines durchstimmbaren optischen Resonators und optischer Resonator
EP3683557B1 (en) * 2019-01-18 2021-09-22 Infineon Technologies Dresden GmbH & Co . KG Tunable fabry-perot filter element, spectrometer device and method for manufacturing a tunable fabry-perot filter element
NO20191052A1 (en) 2019-09-02 2021-03-03 Optronics Tech As Gas detector
WO2021240334A1 (en) * 2020-05-29 2021-12-02 Ricoh Company, Ltd. Optical device
FI20205917A1 (en) * 2020-09-22 2022-03-23 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Capacitively controlled Fabry-Perot interferometer
KR102373321B1 (ko) * 2021-05-17 2022-03-11 (주)세성 멀티가스 누출경보기용 감지기
CN114019673B (zh) * 2021-10-21 2024-10-11 西北工业大学宁波研究院 一种电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级制作工艺

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10335693A (ja) * 1997-05-29 1998-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 波長選択受光素子
US6594059B2 (en) * 2001-07-16 2003-07-15 Axsun Technologies, Inc. Tilt mirror fabry-perot filter system, fabrication process therefor, and method of operation thereof
US8724200B1 (en) * 2009-07-17 2014-05-13 Xingtao Wu MEMS hierarchically-dimensioned optical mirrors and methods for manufacture thereof
NO336140B1 (no) 2009-09-18 2015-05-26 Sintef Aktuator for mikro optisk enhet
EP2857876B1 (en) 2011-08-11 2020-07-08 Ludwig-Maximilians-Universität München Tunable VCSEL
JP6015090B2 (ja) * 2012-04-18 2016-10-26 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
FI125612B (en) 2012-05-08 2015-12-15 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Fabry-Perot Interferometer
JP6182918B2 (ja) 2013-03-18 2017-08-23 セイコーエプソン株式会社 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP6201484B2 (ja) 2013-07-26 2017-09-27 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス
JP6543884B2 (ja) 2014-01-27 2019-07-17 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法
JP6413325B2 (ja) * 2014-05-01 2018-10-31 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター装置、電子機器、及び制御方法
NO343314B1 (no) 2015-11-29 2019-01-28 Tunable As Optisk trykksensor
JP6801400B2 (ja) * 2016-11-28 2020-12-16 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール及び電子機器

Also Published As

Publication number Publication date
DK3479159T3 (da) 2022-09-12
NO20161086A1 (no) 2018-01-01
BR112018077318A2 (pt) 2019-04-02
JP7097823B2 (ja) 2022-07-08
US20190265163A1 (en) 2019-08-29
EP3479159A1 (en) 2019-05-08
CA3029090A1 (en) 2018-01-04
BR112018077318B1 (pt) 2023-03-07
EP3479159B1 (en) 2022-07-20
EA036466B1 (ru) 2020-11-13
US10852232B2 (en) 2020-12-01
WO2018001851A1 (en) 2018-01-04
JP2019527374A (ja) 2019-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EA201892773A1 (ru) Модулированный интерферометр фабри-перо
WO2016020630A3 (en) Waveguide laser illuminator incorporating a despeckler
EP4318080A3 (en) Optical system for head-mounted display
WO2015185673A3 (en) Optical device, particularly for tuning the focal length of a lens of the device by means of optical feedback
EA201890993A1 (ru) Оптический датчик давления
AU2017264780A1 (en) Distributed light manipulation over imaging waveguide
WO2014133980A8 (en) Optical system for near-eye display
WO2017003719A3 (en) Illuminator
CY1119196T1 (el) Συγκροτημα αναγνωρισεως για εγγραφο ταυτοτητας
EA201991482A1 (ru) Слоистое остекление
WO2014202753A9 (en) Optical displacement sensor element
JP2016532161A5 (ru)
WO2018095486A3 (de) Mems scanmodul für einen lichtscanner
JP2016012108A5 (ru)
WO2014142832A8 (en) Coupled ring resonator system
JP2016006408A5 (ru)
ATE512377T1 (de) Specklereduktion anhand einer abstimmbaren flüssiglinse
WO2016190932A3 (en) Zero optical path difference phased array
WO2018138349A3 (en) Device for tilting an optical element, particularly a mirror
WO2018002332A3 (de) Komponente, computerprogramm, system und kit zur augenglasbestimmung
ATE392093T1 (de) Projektionssystem mit geringem astigmatismus
EP4407355A3 (en) Compact polarization-based multi-pass optical architectures
EP4223366A3 (en) Cyan enriched white light
WO2019038201A3 (de) Head-up-display
WO2016126897A3 (en) Laser light illumination systems with speckle reduction and speckle reduction methods

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM AZ BY KG TJ TM