JP6051534B2 - 容量検出回路、光学モジュール、及び電子機器 - Google Patents
容量検出回路、光学モジュール、及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6051534B2 JP6051534B2 JP2012024888A JP2012024888A JP6051534B2 JP 6051534 B2 JP6051534 B2 JP 6051534B2 JP 2012024888 A JP2012024888 A JP 2012024888A JP 2012024888 A JP2012024888 A JP 2012024888A JP 6051534 B2 JP6051534 B2 JP 6051534B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- output
- circuit
- timing
- timing signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
図19に、従来の容量検出回路を示す。
図19に示すように、従来の容量検出回路は、検出用電圧の入力端子にスイッチS1が接続され、このスイッチS1の出力端に、容量検出対象であるキャパシターCx1と、スイッチS2とが接続される。キャパシターCx1は、スイッチS1が接続されない他方側の端子が、グランド(GND)に接続される。スイッチS2は、スイッチS1が接続されない他方側の端子が、オペアンプOPの反転入力端子に接続される。オペアンプOPの非反転入力端子は、GNDに接続される。また、オペアンプOPの出力端子と、オペアンプOPの反転入力端子との間には、帰還回路が設けられる。この帰還回路には、フィードバックキャパシターCfとスイッチS3とが並列に接続されている。そして、オペアンプOPの出力端子は、スイッチS4を介してサンプルアンドホールド回路に接続される。
まず、第1のタイミングで、検出用電圧の入力端子に電圧Vaを印加すると同時に、スイッチS1,S3を接続(ON状態)し、スイッチS2,S4を切断(OFF状態)する。これにより、帰還回路がショートし、フィードバックキャパシターCfの電荷が放電される。また、キャパシターCx1が充電される。
次に、第2のタイミングで、スイッチS1,S3をON状態、スイッチS2をON状態に切り替え、スイッチS4をOFF状態のまま維持する。これにより、キャパシターCx1の放電電流がオペアンプOPに流れ、これと等しい電流がフィードバックキャパシターCfにも流れるため、フィードバックキャパシターCfにおける電圧が上昇する。なお、フィードバックキャパシターCfは、容量固定であり、既知であるとする。
この後、第3のタイミングで、スイッチS4をON状態に切り替え、フィードバックキャパシターCfの電圧をサンプルアンドホールド回路に取り込む。
以上により、キャパシターCx1の容量に応じた電圧をフィードバックキャパシターCfに生じさせ、その電圧を測定することで、キャパシターCx1の容量を検出することが可能となる。
図20及び図21は、図19の容量検出回路において寄生容量が発生した場合にオペアンプOPに流れる電流を説明する図である。ここで、キャパシターCx1の入力側及び出力側において、それぞれ対地(GND)間で寄生容量Ca,Cbが発生したとする。
従来の容量検出回路では、第1のタイミングでスイッチS1がON状態に切り替わり、スイッチS2がOFF状態に切り替わると、図20に示すように、キャパシターCx1に電流Isが流れる。この時、キャパシターCx1の出力端側に発生する寄生容量CbはGNDに接続されているため電流は流れないが、キャパシターCx1の入力端側に発生する寄生容量Caには電流Ipが流れる。
次に、第2のタイミングでスイッチS1がOFF状態に切り替えられ、スイッチS2がON状態に切り替えられると、図21に示すように、キャパシターCx1に蓄えられた電荷が電流IsとしてオペアンプOPの反転入力端子に流れる。この時、寄生容量Caに蓄えられた電荷も電流IpとしてオペアンプOPに流れる。したがって、フィードバックキャパシターCfには、Is+Ipの電流が流れることになり、オペアンプOPの出力電圧は、電流Ipの分だけ増加してしまい、上述のように、正確なキャパシターCx1の容量検出ができなくなる。
を備え、前記サンプルアンドホールド回路は、前記第二タイミング信号が出力されたタイミングで出力信号を取得することを特徴とする。
また、上記の本発明に係る容量検出回路は、容量の検出対象である検出対象キャパシターと、前記検出対象キャパシターの入力端子に正弦波信号を出力する正弦波生成回路と、反転入力端子、非反転入力端子、及び出力端子を有し、前記反転入力端子に前記検出対象キャパシターの出力端子が接続され、前記非反転入力端子がグランドに接続されるオペアンプと、前記オペアンプの前記出力端子及び前記反転入力端子間に接続され、インピーダンス素子が設けられる帰還回路と、前記正弦波生成回路から出力される前記正弦波信号に同期したタイミング信号を生成するタイミング信号生成回路と、前記オペアンプの前記出力端子に接続され、前記タイミング信号に基づいたタイミングで前記オペアンプからの出力信号を取得するサンプルアンドホールド回路と、ことを特徴とする。
一方、オペアンプから出力される出力信号は、正弦波信号に対して位相が反転する。したがって、正弦波信号においてピーク電圧が出力されるタイミングから、正弦波信号の半周期だけずらしたタイミングで出力信号を検出することで、出力信号のピーク電圧を検出することが可能となる。つまり、タイミング信号生成回路により、正弦波信号に同期したタイミング信号を生成することで、サンプルアンドホールド回路は、このタイミング信号に基づいて、出力信号のピーク電圧を検出(取得)することが可能となる。
そして、インピーダンス素子のインピーダンスは固定値となるため、サンプルアンドホールド回路により取得される出力信号の信号値、及び正弦波信号の信号値に基づいて、検出対象キャパシターのインピーダンス、及び静電容量を算出することができる。
また、オペアンプの非反転入力端子は、GNDに接続されているので、オペアンプのイマジナリーショートの作用により、反転入力端子の電位もGNDレベル(基準電位)となる。したがって、検出対象キャパシターの出力端子側に対地間に寄生容量がある場合でも、寄生容量の両端側の電位がGNDレベルであり、電流が流れない。
以上により、本発明では、寄生容量の影響を低減させることができ、検出対象キャパシターの容量検出を精度よく実施することができる。
このように、2つのワンショット回路を設けることにより、正弦波生成回路から出力される正弦波信号と、オペアンプから出力される出力信号とにおいて位相差が存在する場合であっても、最適な出力信号の取得タイミングを設定することができる。
なお、本発明における出力時間とは、矩形波(方形波)状のタイミング信号がハイレベルに維持される時間を指す。
第一ワンショット回路は、矩形入力信号が入力されると、矩形入力信号の立ち上がりタイミング又は立下りタイミングに基づいて、矩形波の第一タイミング信号を出力する。上記のように、オペアンプからの出力される出力信号の立ち上がりタイミングと、矩形入力信号の立ち上がりタイミングとが一致する場合では、矩形入力信号の立ち上がりタイミングで第一タイミング信号を出力する。
また、第二ワンショット回路は、この第一タイミング信号の立下りタイミングをトリガーとして立ち上がる第二タイミング信号を出力する。
本発明では、第二タイミング信号の出力時間は、出力信号の電圧がピーク電圧の99%以上である時間に設定されているため、検出した信号値の誤差を1%未満に抑えることができ、検出精度を向上させることができる。
水晶振動子を用いた発振回路は、精度の高い信号値で、かつ、精度の高い周波数の正弦波信号を出力することができる。したがって、オペアンプから安定した周波数や信号値の出力信号を出力することができ、容量検出精度を向上させることができる。
本発明では、インピーダンス素子として抵抗のみにより構成される素子を用いるため、容量検出回路のコストを低減させることができる。
本発明では、インピーダンス素子として、抵抗とキャパシターとを組み合わせた素子により構成される。このような構成では、抵抗のみによりインピーダンス素子を構成する場合に比べて、インピーダンス素子におけるインピーダンス調整を容易に実施できる。これにより、検出対象キャパシターの容量検出精度を向上させることができる。
本発明では、第一反射膜及び第二反射膜間の静電容量を精度よく検出することができ、検出された容量に基づいて、反射膜間ギャップのギャップ量を設定することで、所望の波長の光を精度よく取り出すことができる。したがって、取り出された高精度な光に基づいて、分光測定処理や分光画像の撮像処理、成分分析処理等の各種処理を正確に実施することができ、電子機器における性能向上を図ることができる。
以下、本発明の第一実施形態に係る容量検出回路について、図面に基づいて説明する。
図1は、第一実施形態の容量検出回路の回路構成を示す図である。
容量検出回路10は、図1に示すように、検出対象キャパシターCxの入力端子に対して、入力信号VI(正弦波信号)を出力する正弦波生成回路11と、検出対象キャパシターCxの出力端子に接続されるオペアンプ12と、オペアンプ12の出力端子及び反転入力端子の間に設けられる帰還回路13と、オペアンプ12の出力端子に接続されるサンプルアンドホールド回路14と、正弦波生成回路11及びサンプルアンドホールド回路14に接続されるタイミング信号生成回路15と、測定処理部16と、を備えている。
この容量検出回路10は、検出対象キャパシターCxの静電容量を検出するための回路であり、測定処理部16は、サンプルアンドホールド回路14から出力された信号値に基づいて、検出対象キャパシターCxの静電容量を測定する。なお、測定処理部16による静電容量の測定については後述する。
図2は、正弦波生成回路11の回路構成を示す図である。
本実施形態では、正弦波生成回路11として、図2に示すように、水晶振動体の圧電効果を用いて所定の入力信号VIを出力する水晶発振回路を用いる。
具体的には、正弦波生成回路11は、インバーター11Aと、インバーター11Aの入出力間に接続される水晶振動子11Bとを備える。このような正弦波生成回路11では、インバーター11Aの入力端子側の第一出力端11Cから、正弦波の入力信号VIが出力され、インバーター11Aの出力端子側の第二出力端11Dから、矩形波(方形波)の入力信号(矩形入力信号VIR)が出力される。第一出力端11Cから出力された入力信号VI(正弦波)は、検出対象キャパシターCxに入力され、第二出力端11Dから出力された矩形入力信号VIRは、タイミング信号生成回路15に入力される。
オペアンプ12は、図1に示すように、反転入力端子が検出対象キャパシターCxの出力端子が接続され、非反転入力端子がGNDに接続される。オペアンプ12の出力端子には、サンプルアンドホールド回路14が接続されるとともに、反転入力端子との間に帰還回路13が設けられる。
なお、インピーダンス素子13Aとしては、抵抗のみにより構成されるものであってもよい。このような抵抗のみで構成されるインピーダンス素子13Aを用いる場合、帰還回路13の回路構成を簡略化でき、コストの低減を図ることができる。
VO=−Zf/Zi・VI …(1)
図3及び(1)式に示されるように、オペアンプ12は、入力信号VIの位相を反転させて、出力信号VOを出力する。また、オペアンプ12の出力信号VOは、(1)式に示すように、インピーダンス素子13AのインピーダンスZi及び検出対象キャパシターCxのインピーダンスZfの比に応じて変化する。
図4は、タイミング信号生成回路15の構成を示す図である。また、図5は、各信号のタイミングチャートである。
図4に示すように、タイミング信号生成回路15は、第一ワンショット回路15A及び第二ワンショット回路15Bを備える。
上述したように、矩形入力信号VIRは、入力信号VIがピーク電圧VImaxからボトム電圧VIminに変化する際、中間値VIcにおいて、ローレベルからハイレベルに立ち上がる。ここで、オペアンプ12から出力される出力信号VOは、入力信号VIに対して位相は反転する。したがって、図5に示すように、矩形入力信号VIRは、オペアンプ12の出力信号VOがボトム電圧VOminからピーク電圧VOmaxに変化する際、中間値VOC((VOmax+VOmin)/2)において、ローレベルからハイレベルに立ち上がることになる。
そして、第一ワンショット回路15Aは、矩形入力信号VIRの立ち上がりタイミングと同タイミングで立ち上がる第一タイミング信号Vhoを生成する。すなわち、第一タイミング信号Vhoは、出力信号VOの立ち上がりタイミングに同期して、ローレベルからハイレベルに立ち上がる。また、第一ワンショット回路15Aは、第一タイミング信号Vhoの立ち上がりタイミングから所定の時間T1だけ、ハイレベルを維持した後、第一タイミング信号Vhoをローレベルに下げる。
T1<T/4 …(2)
T2<T/4 …(3)
T1+T2>T/4 …(4)
また、第二タイミング信号Vh1がハイレベルに維持される時間T2としては、オペアンプ12からの出力信号VOがピーク電圧VOmaxの99%以上となる時間に設定されることが好ましい。
図6は、サンプルアンドホールド回路14の回路構成の一例を示す図である。
サンプルアンドホールド回路14は、図6に示すように、オペアンプ12に接続されるスイッチSと、スイッチSに接続されるオペアンプ14Aと、スイッチS及びオペアンプ14Aの間に接続されるホールド用キャパシター14Bとを備える。また、オペアンプ14Aの非反転入力端子には、スイッチSの出力端子が接続され、オペアンプ14Aの出力端子及びオペアンプ14Aの反転入力端子間には、帰還回路が形成される。
スイッチSは、タイミング信号生成回路15から出力される第二タイミング信号Vh1に基づいて、接続状態が切り替えられる。つまり、スイッチSは、タイミング信号生成回路15からの第二タイミング信号Vh1がハイレベルである場合、ON状態に切り替わり、オペアンプ12及びオペアンプ14Aを接続する。また、第二タイミング信号Vh1がローレベルである場合、OFF状態に切り替わり、オペアンプ12及びオペアンプ14Aを切断する。
すなわち、サンプルアンドホールド回路14は、第二タイミング信号Vh1としてハイレベル信号値が出力される出力時間において、出力信号VO(VOmax)をホールドし、検出信号VSとして出力する。
なお、本実施形態では、オペアンプ14Aは、ゲイン1のバッファとして用いられるが、出力を増幅させて電圧範囲が所望の範囲となるように設定されていてもよい。
次に、上述したような容量検出回路10において、検出対象キャパシターCxの入出力端側に、それぞれ、対地(GND)間に寄生容量Ca,Cbが発生した場合の影響について説明する。
図7は、容量検出回路10に寄生容量が発生した場合の電流の流れを示す図である。
図7に示すように、検出対象キャパシターCxには、入力信号VIの入力に伴い、電流ISが流れ、オペアンプ12に入力される。一方、検出対象キャパシターCxの入力端子側に寄生容量Caが発生した場合、この寄生容量Caに電流Ipが流れるが、電流IpはGNDに流れるため、オペアンプ12には流れない。
また、オペアンプ12の非反転入力端子はGNDに接続されている。したがって、オペアンプ12のイマジナリーショートの作用により、オペアンプ12の反転入力端子の電位は、基準電位(GNDレベル)となる。したがって、検出対象キャパシターCxの出力端側に対地間との間に寄生容量Cbが発生したとしても、寄生容量Cbの入出力端は同電位となり、電流が流れない。
以上に示すように、本実施形態の容量検出回路10では、検出対象キャパシターCxの入出力端側に、それぞれ、対地間との間に寄生容量Ca,Cbが発生した場合でも、検出対象キャパシターCxに流れる電流ISと、インピーダンス素子13Aに流れる電流Ifとは等しく(IS=IF)、上述した(1)式が維持され、寄生容量の影響を受けることがない。
測定処理部16は、サンプルアンドホールド回路14により取得された検出信号VS(出力信号VOのピーク電圧VOMAX)が入力されると、上述した(1)式に基づいて、検出対象キャパシターCxのインピーダンスZiを算出し、さらに、検出対象キャパシターCxの静電容量Cを算出する。
上述したように、本実施形態の容量検出回路10は、検出対象キャパシターCxの入力端子に入力信号VIを出力する正弦波生成回路11と、検出対象キャパシターCxの出力端子が反転入力端子に接続され、非反転入力端子がGNDに接続されるオペアンプ12と、オペアンプ12の出力端子及び反転入力端子を接続し、インピーダンス素子13Aを備える帰還回路13と、オペアンプ12から出力される出力信号VOを検出するサンプルアンドホールド回路14と、を備えている。また、容量検出回路10は、正弦波生成回路11の入力信号VIに同期する第二タイミング信号Vh1を出力するタイミング信号生成回路15を備え、サンプルアンドホールド回路14は、第二タイミング信号Vh1としてハイレベルの信号値が出力される時間において入力された出力信号VOを取得する。
これにより、オペアンプ12により出力される出力信号VOが、正弦波生成回路11から出力される入力信号VIに対して半周期分位相がずれる場合であっても、ピーク電圧VOmaxの出力タイミングに対応した最適なタイミングで第二タイミング信号Vh1を出力することができ、サンプルアンドホールド回路14において精度よく検出信号VSを取得することができる。
このようなタイミング信号を生成することで、出力信号VOとしてピーク電圧VOmaxが出力される時間に、第二タイミング信号Vh1がハイレベルとなる時間T2を重ねることができる。したがって、サンプルアンドホールド回路14は、第二タイミング信号Vh1に基づいて出力信号VOを取得することで、ピーク電圧VOmaxを精度よく取得することができる。
また、この第二タイミング信号Vh1がハイレベルに設定される時間は、出力信号VOの電圧がピーク電圧VOmaxの99%以上である時間に設定されているので、検出信号VSの検出誤差を1%未満に抑えることができ、検出精度をより向上させることができる。
このような水晶発振回路は、精度の高い周波数で所望の信号値の入力信号VIを出力することができる。したがって、オペアンプ12から出力される出力信号VOも安定した信号特性となり、容量検出精度を向上させることができる。
次に、本発明の第二実施形態について、図面に基づいて説明する。
図8は、第二実施形態の電子機器である分光測定装置の概略構成を示すブロック図である。
図9は、第二実施形態の光学モジュールの概略構成を示す回路図である。
この分光測定装置20は、図8に示すように、波長可変干渉フィルター5と、ディテクター21(検出部)と、I−V変換器22と、アンプ23と、A/D変換器24と、電圧制御回路25と、容量検出回路10と、制御回路部30と、を備えている。
I−V変換器22は、ディテクター21から入力された検出信号を電圧値に変換し、アンプ23に出力する。
アンプ23は、I−V変換器22から入力された検出信号に応じた電圧(検出電圧)を増幅する。
A/D変換器24は、アンプ23から入力された検出電圧(アナログ信号)をデジタル信号に変換し、制御回路部30に出力する。
電圧制御回路25は、制御回路部30の制御に基づいて、波長可変干渉フィルター5の後述する静電アクチュエーター56に対して駆動電圧を印加する。
ここで、分光測定装置20に組み込まれる波長可変干渉フィルター5について、以下説明する。図10は、波長可変干渉フィルターの概略構成を示す平面図である。図11は、図10のA−A´線を断面した断面図である。
波長可変干渉フィルター5は、図10及び図11に示すように、本発明の第一基板である固定基板51および本発明の第二基板である可動基板52を備えている。これらの固定基板51及び可動基板52は、それぞれ例えば、ソーダガラス、結晶性ガラス、石英ガラス、鉛ガラス、カリウムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラスなどの各種ガラスや、水晶などにより形成されている。そして、これらの固定基板51及び可動基板52は、固定基板51の第一接合部513及び可動基板の第二接合部523が、例えばシロキサンを主成分とするプラズマ重合膜などにより構成された接合膜53により接合されることで、一体に構成されている。
また、波長可変干渉フィルター5を固定基板51(可動基板52)の基板厚み方向から見た図10に示すような平面視において、固定基板51及び可動基板52の平面中心点Oは、固定反射膜54及び可動反射膜55の中心点と一致し、かつ後述する可動部521の中心点と一致する。
なお、以降の説明に当たり、固定基板51または可動基板52の基板厚み方向から見た平面視、つまり、固定基板51、接合膜53、及び可動基板52の積層方向から波長可変干渉フィルター5を見た平面視を、フィルター平面視と称する。
固定基板51には、エッチングにより電極配置溝511および反射膜設置部512が形成されている。この固定基板51は、可動基板52に対して厚み寸法が大きく形成されており、固定電極561および可動電極562間に電圧を印加した際の静電引力や、固定電極561の内部応力による固定基板51の撓みはない。
また、固定基板51の頂点C2,C4には、切欠部514が形成されており、波長可変干渉フィルター5を固定基板51側から見た際に、後述する可動電極パッド564Pや第二測定用引出電極566が露出する。
また、固定基板51には、電極配置溝511から、固定基板51の外周縁の各頂点C1,C2,C3,C4に向かって延出する電極引出溝511Bが設けられている。
そして、固定基板51には、固定電極561の外周縁から、頂点C1方向に延出する固定引出電極563が設けられている。この固定引出電極563の延出先端部(固定基板51の頂点C1に位置する部分)は、電圧制御回路25に接続される固定電極パッド563Pを構成する。
なお、本実施形態では、電極設置面511Aに1つの固定電極561が設けられる構成を示すが、例えば、平面中心点Oを中心とした同心円となる2つの電極が設けられる構成(二重電極構成)などとしてもよい。
この反射膜設置部512には、図11に示すように、導電性の固定反射膜54が設置されている。この固定反射膜54としては、例えばAg等の金属膜や、Ag合金等の合金膜を用いることができる。
可動基板52は、図10に示すようなフィルター平面視において、平面中心点Oを中心とした円形状の可動部521と、可動部521と同軸であり可動部521を保持する保持部522と、保持部522の外側に設けられた基板外周部525と、を備えている。
また、可動基板52には、図10に示すように、頂点C1、C3に対応して、切欠部524が形成されており、波長可変干渉フィルター5を可動基板52側から見た際に、固定電極パッド563P及び第一測定用引出電極565が露出する。
なお、固定基板51と同様に、可動部521の固定基板51とは反対側の面には、反射防止膜が形成されていてもよい。このような反射防止膜は、低屈折率膜および高屈折率膜を交互に積層することで形成することができ、可動基板52の表面での可視光の反射率を低下させ、透過率を増大させることができる。
なお、本実施形態では、上述したように、電極間ギャップのギャップ量が反射膜間ギャップG1のギャップ量よりも大きい例を示すがこれに限定されない。例えば、測定対象光として赤外線や遠赤外線を用いる場合等、測定対象光の波長域によっては、反射膜間ギャップG1のギャップ量が、電極間ギャップのギャップ量よりも大きくなる構成としてもよい。
なお、本実施形態では、ダイヤフラム状の保持部522を例示するが、これに限定されず、例えば、平面中心点Oを中心として、等角度間隔で配置された梁状の保持部が設けられる構成などとしてもよい。
以上のような波長可変干渉フィルター5では、固定電極パッド563P及び可動電極パッド564Pがそれぞれ電圧制御回路25に接続されている。したがって、電圧制御回路25により、固定電極561及び可動電極562間に電圧が印加されることで、静電引力により可動部521が固定基板51側に変位する。これにより、反射膜間ギャップG1のギャップ量を所定量に変更することが可能となる。
これにより、制御回路部30は、この検出信号VSに基づいて、固定反射膜54及び可動反射膜55における静電容量を精度よく算出することができ、反射膜間ギャップG1の正確なギャップ量を算出することができる。
図8に戻り、分光測定装置20の制御回路部30について、説明する。
制御回路部30は、本発明の測定制御部に相当し、例えばCPUやメモリー等が組み合わされることで構成され、分光測定装置20の全体動作を制御する。この制御回路部30は、図8に示すように、ギャップ測定部31と、フィルター駆動部32と、光測定部33と、を備えている。また、制御回路部30は、各種データを記憶する記憶部34を備える。この記憶部34には、波長可変干渉フィルター5の静電アクチュエーター56に印加する駆動電圧に対する、波長可変干渉フィルター5を透過する光の波長の関係を示すV−λデータが記憶される。また、記憶部34は、容量検出回路10により取得された検出信号VSに対する反射膜間ギャップG1のギャップ量の関係を示すVS−Gデータが記憶される。なお、VS−Gデータとして、更に、反射膜間ギャップG1のギャップ量に対して、波長可変干渉フィルター5を透過する光の波長が記憶されていてもよい。
なお、本実施形態では、ギャップ測定部31は、記憶部34に予め記憶されたVS−Gデータに基づいて反射膜間ギャップG1のギャップ量を測定する例を示すが、例えば、上記第一実施形態の測定処理部16のように、(1)式及び検出信号VSから、固定反射膜54及び可動反射膜55により構成されるキャパシターのインピーダンス及び静電容量を算出し、静電容量から反射膜間ギャップG1のギャップ量を算出してもよい。
ここで、フィルター駆動部32は、記憶部34に記憶されたV−λデータから、測定対象である目的波長に対応した駆動電圧を読み出し、読み出した駆動電圧を静電アクチュエーター56に印加する。
また、フィルター駆動部32は、ギャップ測定部31により反射膜間ギャップG1のギャップ量が測定されると、設定した電圧に対する反射膜間ギャップG1のギャップ量と、測定により得られた反射膜間ギャップG1のギャップ量との差分値を算出する。そして、フィルター駆動部32は、算出した差分値が所定の閾値以上である場合は、ギャップ測定部31により測定された反射膜間ギャップG1のギャップ量に基づいて、所望の波長の光が透過される状態となるよう、静電アクチュエーター56に印加する電圧を補正する。
本実施形態の分光測定装置20は、波長可変干渉フィルター5の固定反射膜54が容量検出回路10の正弦波生成回路11に接続され、可動反射膜55が容量検出回路10のオペアンプ12に接続される。したがって、上述した発明と同様に、容量検出回路10により、固定反射膜54及び可動反射膜55を検出対象キャパシターとして、静電容量に対応した正確な検出信号VSを制御回路部30に出力することができる。
したがって、ギャップ測定部31は、反射膜間ギャップG1のギャップ量を精度よく測定することができ、測定されたギャップ量に基づいて、静電アクチュエーター56に印加する電圧を補正することで、測定対象光から所望波長の光を精度よく取り出すことができる。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、上記第二実施形態では、導電性の固定反射膜54及び可動反射膜55を検出対象キャパシターCxとして、反射膜間ギャップG1のギャップ量を測定したが、これに限定されない。
例えば、固定反射膜54及び可動反射膜55として、例えば高屈折層をTiO2、低屈折層をSiO2とした誘電体多層膜を用いる構成とする場合では、図12に示すように、別途静電容量測定用の電極を備える構成としてもよい。
図12は、他の実施形態における波長可変干渉フィルターの平面図である。
図12に示すように、固定基板51は、反射膜設置部512上で、固定反射膜54の外周側に、例えば円環状の第一測定電極567が設けられる。この第一測定電極567は、頂点C3に向かって延出する第一測定用引出電極567Pを備え、第一測定用引出電極567Pの延出先端部が容量検出回路10の正弦波生成回路11に接続される。
また、可動基板52は、可動反射膜55及び可動電極562の間に、第一測定電極567に対向する第二測定電極568を備える。この第二測定電極568は、頂点C4に向かって延出する第二測定用引出電極568Pを備え、第二測定用引出電極568Pの延出先端部が容量検出回路10のオペアンプ12に接続される。
このような構成であっても、上記第二実施形態と同様に、第一測定電極567及び第二測定電極568を検出対象キャパシターCxとして、静電容量に応じた正確な検出信号VSを検出することができ、反射膜間ギャップG1の正確なギャップ量を測定することができる。
また、図13及び図14に示すような他の発振回路を用いてもよい。
図13に示す例は、RC発振を用いたウィーンブリッジ発振回路である。また、図14に示す例は、マイコン等により所望の周期とデューティー比の矩形波(矩形入力信号VIR)を生成し、ローパスフィルターによって高調波成分をカットすることで正弦波の入力信号VIを生成する例である。
この場合、第一ワンショット回路15Aは、矩形入力信号VIRの立下りタイミングに同期して、ローレベルからハイレベルに立ち上がる第一タイミング信号Vh0を生成すればよい。
例えば、固定電極561の代わりに、第一誘電コイルを配置し、可動電極562の代わりに第二誘電コイルまたは永久磁石を配置した誘電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。
更に、静電アクチュエーター56の代わりに圧電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。この場合、例えば保持部522に下部電極層、圧電膜、及び上部電極層を積層配置させ、下部電極層及び上部電極層の間に印加する電圧を入力値として可変させることで、圧電膜を伸縮させて保持部522を撓ませることができる。
例えば、特定物質の存在を検出するための光ベースのシステムとして用いることができる。このようなシステムとしては、例えば、本発明の波長可変干渉フィルターを用いた分光計測方式を採用して特定ガスを高感度検出する車載用ガス漏れ検出器や、呼気検査用の光音響希ガス検出器等のガス検出装置を例示できる。
このようなガス検出装置の一例を以下に図面に基づいて説明する。
図16は、図15のガス検出装置の制御系の構成を示すブロック図である。
このガス検出装置100は、図15に示すように、センサーチップ110と、吸引口120A、吸引流路120B、排出流路120C、及び排出口120Dを備えた流路120と、本体部130と、を備えて構成されている。
本体部130は、流路120を着脱可能な開口を有するセンサー部カバー131、排出手段133、筐体134、光学部135、フィルター136、波長可変干渉フィルター5、及び受光素子137等を含む検出装置と、検出された信号を処理し、検出部を制御する制御部138、電力を供給する電力供給部139等から構成されている。なお、波長可変干渉フィルター5としては、図12に示すようなフィルターを用いてもよい。また、光学部135は、光を射出する光源135Aと、光源135Aから入射された光をセンサーチップ110側に反射し、センサーチップ側から入射された光を受光素子137側に透過するビームスプリッター135Bと、レンズ135C,135D,135Eと、により構成されている。
また、図16に示すように、ガス検出装置100の表面には、操作パネル140、表示部141、外部とのインターフェイスのための接続部142、電力供給部139が設けられている。電力供給部139が二次電池の場合には、充電のための接続部143を備えてもよい。
更に、ガス検出装置100の制御部138は、図16に示すように、CPU等により構成された信号処理部144、光源135Aを制御するための光源ドライバー回路145、波長可変干渉フィルター5を制御するための電圧制御部146、受光素子137からの信号を受信する受光回路147、センサーチップ110のコードを読み取り、センサーチップ110の有無を検出するセンサーチップ検出器148からの信号を受信するセンサーチップ検出回路149、及び排出手段133を制御する排出ドライバー回路150、波長可変干渉フィルター5の固定反射膜54及び可動反射膜55(図12に示す波長可変干渉フィルター5を用いる場合は、第一測定電極567及び第二測定電極568)の静電容量を検出する容量検出回路10などを備えている。
本体部130の上部のセンサー部カバー131の内部には、センサーチップ検出器148が設けられており、このセンサーチップ検出器148でセンサーチップ110の有無が検出される。信号処理部144は、センサーチップ検出器148からの検出信号を検出すると、センサーチップ110が装着された状態であると判断し、表示部141へ検出動作を実施可能な旨を表示させる表示信号を出す。
これらのレイリー散乱光やラマン散乱光は、光学部135を通ってフィルター136に入射し、フィルター136によりレイリー散乱光が分離され、ラマン散乱光が波長可変干渉フィルター5に入射する。そして、信号処理部144は、電圧制御部146を制御し、波長可変干渉フィルター5に印加する電圧を調整し、検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光を波長可変干渉フィルター5で分光させる。この時、信号処理部144は、容量検出回路10で検出された検出信号VSに基づいて、反射膜間ギャップG1のギャップ量を測定し、電圧制御部146は、静電アクチュエーター56に印加する電圧を適正な値に補正する。そして、分光した光が受光素子137で受光されると、受光量に応じた受光信号が受光回路147を介して信号処理部144に出力される。
信号処理部144は、上記のようにして得られた検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光のスペクトルデータと、ROMに格納されているデータとを比較し、目的のガス分子か否かを判定し、物質の特定をする。また、信号処理部144は、表示部141にその結果情報を表示させたり、接続部142から外部へ出力したりする。
以下に、上記物質成分分析装置の一例として、食物分析装置を説明する。
この食物分析装置200は、図17に示すように、検出器210(光学モジュール)と、制御部220と、表示部230と、を備えている。検出器210は、光を射出する光源211と、測定対象物からの光が導入される撮像レンズ212と、撮像レンズ212から導入された光を分光する波長可変干渉フィルター5と、分光された光を検出する撮像部213(検出部)と、容量検出回路10と、を備えている。なお、波長可変干渉フィルター5としては、図12に示すようなフィルターを用いてもよい。
また、制御部220は、光源211の点灯・消灯制御、点灯時の明るさ制御を実施する光源制御部221と、波長可変干渉フィルター5を制御する電圧制御部222と、撮像部213を制御し、撮像部213で撮像された分光画像を取得する検出制御部223と、信号処理部224と、記憶部225と、を備えている。
そして、信号処理部224は、上述のようにして得られた検査対象の食物の成分や含有量、カロリーや鮮度等の情報を表示部230に表示させる処理をする。
更には、鉱物の成分分析を実施する鉱物分析装置としても用いることができる。
例えば、各波長の光の強度を経時的に変化させることで、各波長の光でデータを伝送させることも可能であり、この場合、光学モジュールに設けられた波長可変干渉フィルターにより特定波長の光を分光し、受光部で受光させることで、特定波長の光により伝送されるデータを抽出することができ、このようなデータ抽出用光学モジュールを備えた電子機器により、各波長の光のデータを処理することで、光通信を実施することもできる。この時、容量検出回路により反射膜間ギャップのギャップ量を測定し、所望の波長の光が透過されるように補正することで、データ通信エラー等の発生を抑制することができる。
図18は、分光カメラの概略構成を示す模式図である。分光カメラ300は、図18に示すように、カメラ本体310と、撮像レンズユニット320と、撮像部330(検出部)とを備えている。
カメラ本体310は、利用者により把持、操作される部分である。
撮像レンズユニット320は、カメラ本体310に設けられ、入射した画像光を撮像部330に導光する。また、この撮像レンズユニット320は、図18に示すように、対物レンズ321、結像レンズ322、及びこれらのレンズ間に設けられた波長可変干渉フィルター5を備えて構成され、図示略の容量検出回路により反射膜間ギャップG1のギャップ量を測定可能に構成されている。なお、波長可変干渉フィルター5としては、図12に示すようなフィルターを用いてもよい。
撮像部330は、受光素子により構成され、撮像レンズユニット320により導光された画像光を撮像する。
このような分光カメラ300では、波長可変干渉フィルター5により撮像対象となる波長の光を透過させることで、所望波長の光の分光画像を撮像することができる。
また、本発明の光学モジュールを生体認証装置として用いてもよく、例えば、近赤外領域や可視領域の光を用いた、血管や指紋、網膜、虹彩などの認証装置にも適用できる。
Claims (11)
- 容量の検出対象である検出対象キャパシターと、
前記検出対象キャパシターの入力端子に正弦波信号を出力する正弦波生成回路と、
反転入力端子、非反転入力端子、及び出力端子を有し、前記反転入力端子に前記検出対象キャパシターの出力端子が接続され、前記非反転入力端子がグランドに接続されるオペアンプと、
前記オペアンプの前記出力端子と前記反転入力端子との間に接続され、インピーダンス素子が設けられる帰還回路と、
前記正弦波生成回路から出力される前記正弦波信号に同期したタイミング信号を生成するタイミング信号生成回路と、
前記オペアンプの前記出力端子に接続され、前記タイミング信号に基づいたタイミングで前記オペアンプからの出力信号を取得するサンプルアンドホールド回路と、
を具備し、
前記タイミング信号生成回路は、前記正弦波信号に同期した第一タイミング信号を出力する第一ワンショット回路と、
前記第一タイミング信号に基づいて、前記出力信号のピーク電圧が出力されるタイミングに同期した第二タイミング信号を出力する第二ワンショット回路と、
を備え、
前記サンプルアンドホールド回路は、前記第二タイミング信号が出力されたタイミングで出力信号を取得することを特徴とする容量検出回路。 - 請求項1に記載の容量検出回路において、
前記正弦波生成回路は、正弦波信号を矩形波に変換した矩形入力信号を前記タイミング信号生成回路に出力し、
前記第一ワンショット回路は、前記矩形入力信号に基づいて、前記出力信号が立ち上がるタイミングに同期して立ち上がる前記第一タイミング信号を生成し、
前記第二ワンショット回路は、前記第一タイミング信号の立下りタイミングに同期して立ち上がる第二タイミング信号を生成し、
前記第一タイミング信号及び前記第二タイミング信号の出力時間は、前記正弦波信号の1/4周期より小さく、
前記第一タイミング信号の出力時間及び前記第二タイミング信号の出力時間の和は、前記正弦波信号の1/4周期よりも大きいことを特徴とする容量検出回路。 - 請求項2に記載の容量検出回路において、
前記第二タイミング信号の出力時間は、前記出力信号の電圧がピーク電圧の99%以上である時間に設定されることを特徴とする容量検出回路。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の容量検出回路において、
前記正弦波生成回路は、水晶振動子を用いた発振回路であることを特徴とする容量検出回路。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の容量検出回路において、
前記インピーダンス素子は、抵抗であることを特徴とする容量検出回路。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の容量検出回路において、
前記インピーダンス素子は、抵抗及びキャパシターを直接に接続した素子であることを特徴とする容量検出回路。 - 第一基板と、
前記第一基板に対向して配置される第二基板と、
前記第一基板に設けられる導電性の第一反射膜と、
前記第二基板に設けられ、反射膜間ギャップを介して前記第一反射膜に対向して設けられる導電性の第二反射膜と、
前記反射膜間ギャップのギャップ量を変更するギャップ変更部と、
前記第一反射膜に正弦波信号を出力する正弦波生成回路と、
反転入力端子、非反転入力端子、及び出力端子を有し、前記反転入力端子に容量の検出対象である検出対象キャパシターの出力端子が接続され、前記非反転入力端子がグランドに接続されるオペアンプと、
前記オペアンプの前記出力端子と前記反転入力端子との間に接続され、インピーダンス素子が設けられる帰還回路と、
前記正弦波生成回路から出力される前記正弦波信号に同期したタイミング信号を生成するタイミング信号生成回路と、
前記オペアンプの前記出力端子に接続され、前記タイミング信号に基づいたタイミングで前記オペアンプからの出力信号を取得するサンプルアンドホールド回路と、
を具備し、
前記タイミング信号生成回路は、前記正弦波信号に同期した第一タイミング信号を出力する第一ワンショット回路と、
前記第一タイミング信号に基づいて、前記出力信号のピーク電圧が出力されるタイミングに同期した第二タイミング信号を出力する第二ワンショット回路と、
を備え、
前記サンプルアンドホールド回路は、前記第二タイミング信号が出力されたタイミングで出力信号を取得することを特徴とする光学モジュール。 - 第一基板と、
前記第一基板に対向して配置される第二基板と、
前記第一基板に設けられる第一反射膜と、
前記第二基板に設けられ、反射膜間ギャップを介して前記第一反射膜に対向して設けられる第二反射膜と、
前記反射膜間ギャップのギャップ量を変更するギャップ変更部と、
前記第一基板に設けられる第一測定電極と、
前記第二基板に設けられ、所定のギャップを介して前記第一測定電極に対向して設けられる第二測定電極と、
前記第一測定電極に正弦波信号を出力する正弦波生成回路と、
反転入力端子、非反転入力端子、及び出力端子を有し、前記反転入力端子に容量の検出対象である検出対象キャパシターの出力端子が接続され、前記非反転入力端子がグランドに接続されるオペアンプと、
前記オペアンプの前記出力端子と前記反転入力端子との間に接続され、インピーダンス素子が設けられる帰還回路と、
前記正弦波生成回路から出力される前記正弦波信号に同期したタイミング信号を生成するタイミング信号生成回路と、
前記オペアンプの前記出力端子に接続され、前記タイミング信号に基づいたタイミングで前記オペアンプからの出力信号を取得するサンプルアンドホールド回路と、
を具備し、
前記タイミング信号生成回路は、前記正弦波信号に同期した第一タイミング信号を出力する第一ワンショット回路と、
前記第一タイミング信号に基づいて、前記出力信号のピーク電圧が出力されるタイミングに同期した第二タイミング信号を出力する第二ワンショット回路と、
を備え、
前記サンプルアンドホールド回路は、前記第二タイミング信号が出力されたタイミングで出力信号を取得することを特徴とする光学モジュール。 - 第一基板と、
前記第一基板に対向して配置される第二基板と、
前記第一基板に設けられる第一反射膜と、
前記第二基板に設けられ、反射膜間ギャップを介して前記第一反射膜に対向して設けられる第二反射膜と、
前記反射膜間ギャップのギャップ量を変更するギャップ変更部と、
前記第一反射膜に正弦波信号を出力する正弦波生成回路と、
反転入力端子、非反転入力端子、及び出力端子を有し、前記反転入力端子に容量の検出対象である検出対象キャパシターの出力端子が接続され、前記非反転入力端子がグランドに接続されるオペアンプと、
前記オペアンプの前記出力端子と前記反転入力端子との間に接続され、インピーダンス素子が設けられる帰還回路と、
前記正弦波生成回路から出力される前記正弦波信号に同期したタイミング信号を生成するタイミング信号生成回路と、
前記オペアンプの前記出力端子に接続され、前記タイミング信号に基づいたタイミングで前記オペアンプからの出力信号を取得するサンプルアンドホールド回路と、
を具備し、
前記タイミング信号生成回路は、前記正弦波信号に同期した第一タイミング信号を出力する第一ワンショット回路と、
前記第一タイミング信号に基づいて、前記出力信号のピーク電圧が出力されるタイミングに同期した第二タイミング信号を出力する第二ワンショット回路と、
を備え、
前記サンプルアンドホールド回路は、前記第二タイミング信号が出力されたタイミングで出力信号を取得することを特徴とする電子機器。 - 第一基板と、
前記第一基板に対向して配置される第二基板と、
前記第一基板に設けられる第一反射膜と、
前記第二基板に設けられ、反射膜間ギャップを介して前記第一反射膜に対向して設けられる第二反射膜と、
前記反射膜間ギャップのギャップ量を変更するギャップ変更部と、
前記第一基板に設けられる第一測定電極と、
前記第二基板に設けられ、所定のギャップを介して前記第一測定電極に対向して設けられる第二測定電極と、
前記第一測定電極に正弦波信号を出力する正弦波生成回路と、
反転入力端子、非反転入力端子、及び出力端子を有し、前記反転入力端子に容量の検出対象である検出対象キャパシターの出力端子が接続され、前記非反転入力端子がグランドに接続されるオペアンプと、
前記オペアンプの前記出力端子と前記反転入力端子との間に接続され、インピーダンス素子が設けられる帰還回路と、
前記正弦波生成回路から出力される前記正弦波信号に同期したタイミング信号を生成するタイミング信号生成回路と、
前記オペアンプの前記出力端子に接続され、前記タイミング信号に基づいたタイミングで前記オペアンプからの出力信号を取得するサンプルアンドホールド回路と、
を具備し、
前記タイミング信号生成回路は、前記正弦波信号に同期した第一タイミング信号を出力する第一ワンショット回路と、
前記第一タイミング信号に基づいて、前記出力信号のピーク電圧が出力されるタイミングに同期した第二タイミング信号を出力する第二ワンショット回路と、
を備え、
前記サンプルアンドホールド回路は、前記第二タイミング信号が出力されたタイミングで出力信号を取得することを特徴とする電子機器。 - 正弦波信号を出力する正弦波生成回路と、
反転入力端子、非反転入力端子、及び出力端子を有し、前記反転入力端子に容量の検出対象である検出対象キャパシターの出力端子が接続され、前記非反転入力端子がグランドに接続されるオペアンプと、
前記オペアンプの前記出力端子と前記反転入力端子との間に接続され、インピーダンス素子が設けられる帰還回路と、
前記正弦波生成回路から出力される前記正弦波信号に同期したタイミング信号を生成するタイミング信号生成回路と、
前記オペアンプの前記出力端子に接続され、前記タイミング信号に基づいたタイミングで前記オペアンプからの出力信号を取得するサンプルアンドホールド回路と、
を具備し、
前記タイミング信号生成回路は、前記正弦波信号に同期した第一タイミング信号を出力する第一ワンショット回路と、
前記第一タイミング信号に基づいて、前記出力信号のピーク電圧が出力されるタイミングに同期した第二タイミング信号を出力する第二ワンショット回路と、
を備え、
前記サンプルアンドホールド回路は、前記第二タイミング信号が出力されたタイミングで出力信号を取得することを特徴とする容量検出回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012024888A JP6051534B2 (ja) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 容量検出回路、光学モジュール、及び電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012024888A JP6051534B2 (ja) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 容量検出回路、光学モジュール、及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013160707A JP2013160707A (ja) | 2013-08-19 |
JP6051534B2 true JP6051534B2 (ja) | 2016-12-27 |
Family
ID=49173050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012024888A Active JP6051534B2 (ja) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 容量検出回路、光学モジュール、及び電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6051534B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5924313B2 (ja) | 2012-08-06 | 2016-05-25 | 株式会社デンソー | ダイオード |
JP2016118468A (ja) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | セイコーエプソン株式会社 | 測色装置および印刷装置 |
JP6646808B2 (ja) * | 2015-12-22 | 2020-02-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | センサ |
JP6958131B2 (ja) * | 2017-08-31 | 2021-11-02 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び光学モジュールの制御方法 |
CN108375710A (zh) * | 2018-01-05 | 2018-08-07 | 昂纳信息技术(深圳)有限公司 | 一种光模块的检测系统 |
EP3779426B1 (en) * | 2018-03-30 | 2023-12-27 | Provigate Inc. | Device for an electrochemical measurement of a solution |
CN115902356B (zh) * | 2023-03-08 | 2023-05-26 | 华中科技大学 | 一种电力机车受电电压高频分量的非侵入式测量方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5717868A (en) * | 1980-07-04 | 1982-01-29 | Syst Design Kk | Lcr measuring device |
JPH0194312A (ja) * | 1987-10-06 | 1989-04-13 | Sharp Corp | 可変干渉装置 |
JPH07229941A (ja) * | 1994-02-17 | 1995-08-29 | Sunx Ltd | 静電容量測定回路及びこれを利用した電子部品のリード検査装置 |
JP3835525B2 (ja) * | 2001-03-19 | 2006-10-18 | ホーチキ株式会社 | 波長可変フィルタ制御装置 |
-
2012
- 2012-02-08 JP JP2012024888A patent/JP6051534B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013160707A (ja) | 2013-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6051534B2 (ja) | 容量検出回路、光学モジュール、及び電子機器 | |
JP6019863B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、および電子機器、並びに波長可変干渉フィルターの製造方法 | |
JP6015090B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 | |
US9389350B2 (en) | Optical module, electronic device, food analyzer, spectroscopic camera, driving method of wavelength variable interference filter | |
JP6543884B2 (ja) | アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法 | |
JP6413325B2 (ja) | アクチュエーター装置、電子機器、及び制御方法 | |
JP6136356B2 (ja) | 測定装置 | |
JP6107186B2 (ja) | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ | |
JP6182918B2 (ja) | 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 | |
JP6098197B2 (ja) | 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 | |
JP2012168438A (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 | |
JP5888080B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 | |
JP2015141209A (ja) | アクチュエーター制御装置、光学モジュール、及び電子機器 | |
JP5983020B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 | |
JP5879893B2 (ja) | 光学フィルターデバイス、光学モジュールおよび電子機器 | |
JP6115519B2 (ja) | Mems駆動装置、電子機器、及びmems駆動方法 | |
JP6194673B2 (ja) | 光学モジュール及び電子機器 | |
JP6064468B2 (ja) | 光学モジュール及び電子機器 | |
JP2014074754A (ja) | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 | |
JP2012220912A (ja) | 干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器 | |
JP6566061B2 (ja) | 波長可変干渉フィルターの駆動方法 | |
JP2015225148A (ja) | 光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの制御方法 | |
JP2019133076A (ja) | 波長可変干渉フィルターおよび電子機器 | |
JP6296128B2 (ja) | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 | |
JP2013178392A (ja) | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150107 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160401 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20160609 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20160617 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160802 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160927 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161101 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6051534 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |