JP2014153389A5 - - Google Patents
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Description
本発明の一態様の光学モジュールは、第一反射膜と、前記第一反射膜に対向する第二反射膜と、前記第一反射膜及び前記第二反射膜を厚み方向から見て、前記第一反射膜と前記第二反射膜との間で光が干渉する光干渉領域の外に設けられ、電圧印加によりそれぞれ独立して駆動可能な複数の部分駆動部を有する第一駆動手段と、前記第一反射膜と前記第二反射膜との間のギャップ寸法を変化させる第二駆動手段と、前記複数の部分駆動部の各々に第一駆動電圧を印加し、前記第二駆動手段に第二駆動電圧を印加する電圧制御部と、を備え、前記第一駆動電圧は、前記ギャップ寸法を変化させた際の前記第一反射膜と前記第二反射膜との平行度に応じて前記部分駆動部毎に印加されることを特徴とする。
上記の本発明に係る光学モジュールは、入射光の一部を反射し一部を透過する第一反射膜と、前記第一反射膜にギャップを介して対向し、入射光の一部を反射し一部を透過する第二反射膜と、前記第一反射膜及び前記第二反射膜を厚み方向から見た平面視において、前記第一反射膜及び前記第二反射膜から形成された光干渉領域の外に設けられ、電圧印加によりそれぞれ独立して駆動可能な複数の部分駆動部を有する第一駆動手段と、前記第一反射膜及び前記第二反射膜の間のギャップ寸法を変化させる第二駆動手段と、前記部分駆動部に第一駆動電圧を印加し、前記第二駆動手段に第二駆動電圧を印加する電圧制御部と、を備え、前記電圧制御部は、前記ギャップ寸法を変更した際の前記第一反射膜及び前記第二反射膜の平行度に応じて前記部分駆動部毎に設定された第一駆動電圧を印加することを特徴とする。
上記の本発明に係る光学モジュールは、入射光の一部を反射し一部を透過する第一反射膜と、前記第一反射膜にギャップを介して対向し、入射光の一部を反射し一部を透過する第二反射膜と、前記第一反射膜及び前記第二反射膜を厚み方向から見た平面視において、前記第一反射膜及び前記第二反射膜から形成された光干渉領域の外に設けられ、電圧印加によりそれぞれ独立して駆動可能な複数の部分駆動部を有する第一駆動手段と、前記第一反射膜及び前記第二反射膜の間のギャップ寸法を変化させる第二駆動手段と、前記部分駆動部に第一駆動電圧を印加し、前記第二駆動手段に第二駆動電圧を印加する電圧制御部と、を備え、前記電圧制御部は、前記ギャップ寸法を変更した際の前記第一反射膜及び前記第二反射膜の平行度に応じて前記部分駆動部毎に設定された第一駆動電圧を印加することを特徴とする。
Claims (12)
- 第一反射膜と、
前記第一反射膜に対向する第二反射膜と、
前記第一反射膜及び前記第二反射膜を厚み方向から見て、前記第一反射膜と前記第二反射膜との間で光が干渉する光干渉領域の外に設けられ、電圧印加によりそれぞれ独立して駆動可能な複数の部分駆動部を有する第一駆動手段と、
前記第一反射膜と前記第二反射膜との間のギャップ寸法を変化させる第二駆動手段と、
前記複数の部分駆動部の各々に第一駆動電圧を印加し、前記第二駆動手段に第二駆動電圧を印加する電圧制御部と、を備え、
前記第一駆動電圧は、前記ギャップ寸法を変化させた際の前記第一反射膜と前記第二反射膜との平行度に応じて前記部分駆動部毎に印加される
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項１に記載の光学モジュールにおいて、
前記ギャップ寸法を検出するギャップ検出手段を備え、
前記電圧制御部は、前記第一駆動手段に前記第一駆動電圧を印加することで、前記ギャップ寸法を所定量駆動させた後、前記ギャップ検出手段により検出されたギャップ量に応じたフィードバック電圧を前記第二駆動手段に印加する
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項２に記載の光学モジュールにおいて、
前記ギャップ検出手段は、前記第一反射膜と前記第二反射膜との間の静電容量を検出することでギャップ寸法を検出する
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項１から請求項３のいずれかに記載の光学モジュールにおいて、
前記第一駆動手段は、３つ以上の部分駆動部を有し、
前記電圧制御部は、２種類の電圧波形の前記第一駆動電圧のいずれかを各部分駆動部に印加する
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項４に記載の光学モジュールにおいて、
２種類の電圧波形の前記第一駆動電圧のうちの１つは、基準電位波形である
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項１から請求項５のいずれかに記載の光学モジュールにおいて、
前記第一駆動手段は、３つ以上の部分駆動部を有し、
前記電圧制御部は、３種類の電圧波形の前記第一駆動電圧のいずれかを各部分駆動部に印加し、
３種類の電圧波形の前記第一駆動電圧のうちの１つは、基準電位波形である
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項１から請求項６のいずれかに記載の光学モジュールにおいて、
前記第一駆動手段及び前記第二駆動手段は、静電アクチュエーターである
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項１に記載の光学モジュールにおいて、
前記第一駆動手段は、前記第一反射膜と前記第二反射膜との平行度を制御し、前記第二駆動手段は、前記ギャップ寸法を変化させる
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項１から請求項８のいずれかに記載の光学モジュールにおいて、
前記第一駆動手段は、前記第二駆動手段の外側に設けられる
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項１から請求項９のいずれかに記載の光学モジュールにおいて、
前記複数の部分駆動部の各々は、前記平面視において、前記第一反射膜の中心点及び前記第二反射膜の中心点を中心とした仮想円の円周に沿う円弧状に、かつ、前記仮想円の円周上において等角度間隔に設けられる
ことを特徴とする光学モジュール。 - 請求項１乃至１０のいずれかに記載の光学モジュールと、
前記光学モジュールを制御する制御部と、を備えた
ことを特徴とする電子機器。 - 請求項１乃至１０のいずれかに記載の光学モジュールと、
前記光学モジュールを制御する制御部と、を備えた
ことを特徴とする分光カメラ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013020168A JP6107186B2 (ja) | 2013-02-05 | 2013-02-05 | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ |
| CN201410043550.1A CN103969728B (zh) | 2013-02-05 | 2014-01-29 | 光学模块、电子设备以及分光照相机 |
| US14/171,866 US9297997B2 (en) | 2013-02-05 | 2014-02-04 | Optical module, electronic apparatus, and spectroscopic camera |
| EP14153779.5A EP2762948A1 (en) | 2013-02-05 | 2014-02-04 | Optical module comprising a tunable Fabry-Perot interferometer, electronic apparatus, and spectroscopic camera |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013020168A JP6107186B2 (ja) | 2013-02-05 | 2013-02-05 | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014153389A JP2014153389A (ja) | 2014-08-25 |
| JP2014153389A5 true JP2014153389A5 (ja) | 2016-03-17 |
| JP6107186B2 JP6107186B2 (ja) | 2017-04-05 |
Family
ID=50097551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013020168A Active JP6107186B2 (ja) | 2013-02-05 | 2013-02-05 | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9297997B2 (ja) |
| EP (1) | EP2762948A1 (ja) |
| JP (1) | JP6107186B2 (ja) |
| CN (1) | CN103969728B (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010002558A1 (de) | 2009-11-20 | 2011-06-01 | Symrise Ag | Verwendung physiologischer Kühlwirkstoffe und Mittel enthaltend solche Wirkstoffe |
| JP2013238755A (ja) | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Seiko Epson Corp | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| JP6107186B2 (ja) | 2013-02-05 | 2017-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ |
| JP6543884B2 (ja) | 2014-01-27 | 2019-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法 |
| JP6413325B2 (ja) * | 2014-05-01 | 2018-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター装置、電子機器、及び制御方法 |
| US9780134B2 (en) * | 2014-05-16 | 2017-10-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Semiconductor device and method of forming the same |
| JP6601007B2 (ja) * | 2015-06-18 | 2019-11-06 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置、画像形成装置、及び分光測定方法 |
| JP6897226B2 (ja) * | 2017-03-28 | 2021-06-30 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール及び光学モジュールの駆動方法 |
| US11480783B2 (en) | 2017-06-13 | 2022-10-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical filter system |
| KR102289043B1 (ko) | 2017-07-25 | 2021-08-10 | 삼성전자주식회사 | 스펙트럼 측정 장치 및 방법 |
| MX2020002347A (es) | 2017-08-31 | 2020-10-28 | Basf Se | Uso de principios activos refrescantes fisiologicos y agentes que contienen dichos principios activos. |
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| CN107479185A (zh) * | 2017-09-30 | 2017-12-15 | 广东欧珀移动通信有限公司 | 滤光片、显示装置和电子装置 |
| DE102018200380A1 (de) * | 2018-01-11 | 2019-07-11 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines durchstimmbaren optischen Resonators und optischer Resonator |
| DE102019210707A1 (de) * | 2019-07-19 | 2021-01-21 | Robert Bosch Gmbh | Interferometereinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Interferometereinrichtung |
| CN113946014B (zh) * | 2021-12-20 | 2022-03-04 | 南京高华科技股份有限公司 | 一种可调光谐振器 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH07243963A (ja) | 1994-03-07 | 1995-09-19 | Yazaki Corp | 光共振器とその製造方法 |
| US5751469A (en) | 1996-02-01 | 1998-05-12 | Lucent Technologies Inc. | Method and apparatus for an improved micromechanical modulator |
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| JP3982349B2 (ja) | 2001-07-05 | 2007-09-26 | 株式会社デンソー | 波長可変デバイス |
| JP4019847B2 (ja) | 2001-08-17 | 2007-12-12 | 株式会社デンソー | 機能デバイス |
| US6781208B2 (en) | 2001-08-17 | 2004-08-24 | Nec Corporation | Functional device, method of manufacturing therefor and driver circuit |
| JP2003215473A (ja) | 2002-01-21 | 2003-07-30 | Yokogawa Electric Corp | ファブリペローフィルタ |
| WO2004041710A1 (ja) | 2002-11-06 | 2004-05-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 変位検出機能を備えたマイクロアクチュエータ、および当該マイクロアクチュエータを備えた可変形ミラー |
| TW200408824A (en) | 2002-11-21 | 2004-06-01 | Delta Electronics Inc | Method for finesse compensation in a Fabry-Perot device and a Fabry-Perot device with high finesse |
| JP4548288B2 (ja) | 2005-09-22 | 2010-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変フィルタ |
| JP4466634B2 (ja) | 2006-01-19 | 2010-05-26 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| JP2008151544A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Olympus Corp | 可変分光素子、分光装置および内視鏡システム |
| JP2008183350A (ja) | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Olympus Corp | 可変分光素子、分光装置および内視鏡システム |
| JP2008197362A (ja) | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Olympus Corp | 可変分光素子 |
| JP5230952B2 (ja) * | 2007-02-13 | 2013-07-10 | オリンパス株式会社 | 内視鏡用可変分光素子、分光装置および内視鏡システム |
| DE102009001381A1 (de) | 2009-03-06 | 2010-09-09 | Robert Bosch Gmbh | Antriebselement und Verfahren zum Betrieb eines Antriebselements |
| IL201742A0 (en) | 2009-10-25 | 2010-06-16 | Elbit Sys Electro Optics Elop | Tunable spectral filter |
| JP2011106936A (ja) | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Seiko Epson Corp | 分光測定装置、および分析装置 |
| JP6010275B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
| JP5589459B2 (ja) | 2010-03-15 | 2014-09-17 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 |
| JP5348032B2 (ja) | 2010-03-16 | 2013-11-20 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
| JP5834418B2 (ja) | 2011-02-04 | 2015-12-24 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器 |
| JP5909850B2 (ja) | 2011-02-15 | 2016-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 |
| JP5807353B2 (ja) | 2011-03-18 | 2015-11-10 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 |
| JP5874271B2 (ja) | 2011-09-27 | 2016-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP5879910B2 (ja) | 2011-10-18 | 2016-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器 |
| JP5888080B2 (ja) | 2012-04-11 | 2016-03-16 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| JP6015090B2 (ja) | 2012-04-18 | 2016-10-26 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP2013238755A (ja) | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Seiko Epson Corp | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| JP6019863B2 (ja) | 2012-07-18 | 2016-11-02 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、および電子機器、並びに波長可変干渉フィルターの製造方法 |
| JP2014059497A (ja) | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス |
| JP6107186B2 (ja) | 2013-02-05 | 2017-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ |
| JP6543884B2 (ja) | 2014-01-27 | 2019-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法 |
-
2013
- 2013-02-05 JP JP2013020168A patent/JP6107186B2/ja active Active
-
2014
- 2014-01-29 CN CN201410043550.1A patent/CN103969728B/zh active Active
- 2014-02-04 EP EP14153779.5A patent/EP2762948A1/en not_active Withdrawn
- 2014-02-04 US US14/171,866 patent/US9297997B2/en active Active
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