JP2011191492A5

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Publication number: JP2011191492A5
Application number: JP2010057290A
Authority: JP
Filing date: 2010-03-15
Publication date: 2013-05-02
Anticipated expiration: 2030-03-15

Claims

第１基板と、
前記第１基板と対向する第２基板と、
前記第１基板に設けられた第１反射膜と、
前記第２基板に設けられ、前記第１反射膜と対向する第２反射膜と、
前記第１基板に設けられ、平面視において、前記第１反射膜の周囲に形成された第１電極と、
前記第１基板に設けられ、平面視において、前記第１電極の周囲に形成された第２電極と、
前記第２基板に設けられ、前記第１電極と対向する第３電極と、
前記第２基板に設けられ、前記第２電極と対向する第４電極と、
を含むことを特徴とする光フィルター。
請求項１において、
前記第１電極と前記第２電極とは、電気的に独立しており、
前記第３電極と前記第４電極とは、接続部を介して、電気的に接続されていることを特徴とする光フィルター。
請求項１または２において、
前記第１電極に接続された第１配線と、
前記第２電極に接続された第２配線と、
を含み、
前記第１電極は、第１リング形状を有し、
前記第２電極は、第１スリットを有する第２リング形状を有し、
前記第１配線の一部は、前記第１スリットが形成された領域に形成されていることを特徴とする光フィルター。
請求項３において、
前記第３電極は、第３リング形状を有し、
前記第４電極は、第４リング形状を有することを特徴とする光フィルター。
請求項３において、
前記第３電極は、第３リング形状を有し、
前記第４電極は、第２スリットを有する第４リング形状を有し、
平面視において、前記第２スリットは前記第１スリットと重なることを特徴とする光フィルター。
請求項３ないし５のいずれか一項において、
前記第３電極に接続された第３配線と、
前記第３電極に接続された第４配線と、
を含むことを特徴とする光フィルター。
請求項６において、
前記第１基板は、平面視において、第１仮想直線と、前記第１仮想直線と交わる第２仮想直線とを有し、
前記第１配線は、前記第１仮想直線に沿った第１方向に延在し、
前記第２配線は、前記第１仮想直線に沿い、且つ、前記第１方向と逆方向である第２方向に延在し、
前記第３配線は、前記第２仮想直線に沿った第３方向に延在し、
前記第４配線は、前記第２仮想直線に沿い、且つ、前記第３方向と逆方向である第４方向に延在することを特徴とする光フィルター。
請求項１ないし７のいずれかにおいて、
前記第２電極のリング幅は、前記第１電極のリング幅よりも大きく、
前記第４電極のリング幅は、前記第２電極のリング幅よりも大きいことを特徴とする光フィルター。
請求項１ないし８のいずれかにおいて、
前記第２基板は、第１部分と、前記第１部分の膜厚よりも薄い第２部分とを有し、
前記第２反射膜は、前記第２基板の前記第１部分に形成され、
前記第３電極および前記第４電極は、前記第２基板の前記第２基板の第２部分に形成されていることを特徴とする光フィルター。
請求項１ないし８のいずれかにおいて、
前記第２基板は、第１部分と、前記第１部分の膜厚よりも薄い第２部分とを有し、
前記第２反射膜は、前記第２基板の前記第１部分に形成されていることを特徴とする光フィルター。
請求項１ないし１０のいずれかにおいて、
前記第１基板は、第１面と、前記第１面よりも低い第２面とを有し、
前記第１反射膜は、前記第１面に形成され、
前記第１電極および前記第２電極は、前記第２面に形成されていることを特徴とする光フィルター。
請求項１ないし１１のいずれかにおいて、
前記第１電極と前記第３電極との間の電位差と、前記第２電極と前記第４電極との電位差とを制御する電位差制御部を有することを特徴とする光フィルター。
請求項１２において、
前記電位差制御部は、前記第２電極と前記第４電極との間の電位差を第１電位差に設定した後に、前記第１電極と前記第３電極との間の電位差を第２電位差に設定することを特徴とする光フィルター。
請求項１３において、
前記電位差制御部は、前記第１電位差に設定した状態で、前記第２電位差に設定することを特徴とする光フィルター。
請求項１２において、
前記電位差制御部は、
前記第２電極と前記第４電極との間の電位差を第１電位差に設定し、
前記第１電位差に設定した後に、前記第２電極と前記第４電極との間の電位差を前記第１電位差より大きい第２電位差に設定し、
前記第２電位差に設定した状態で、前記第１電極と前記第３電極との間の電位差を第３電位差に設定し、
前記第３電位差に設定した後に、前記第２電極と前記第４電極との間の電位差を前記第２電位差に設定した状態で、前記第１電極と前記第３電極との間の電位差を前記第３電位差より大きい第４電位差に設定することを特徴とする光フィルター。
請求項１５において、
前記第２電位差に設定されている期間は、前記第１電位差に設定されている期間よりも長く、
前記第４電位差に設定されている期間は、前記第３電位差に設定されている期間よりも長いことを特徴とする光フィルター。
請求項１２において、
前記電位差制御部は、
前記第２電極と前記第４電極との間の電位差を第１電位差に設定し、
前記第１電位差に設定した後に、前記第２電極と前記第４電極との間の電位差を前記第１電位差より大きい第２電位差に設定し、
前記第２電位差に設定した後に、前記第２電極と前記第４電極との間の電位差を前記第２電位差より大きい第３電位差に設定し、
前記第３電位差に設定した状態で、前記第１電極と前記第３電極との間の電位差を第４電位差に設定し、
前記第４電位差に設定した後に、前記第２電極と前記第４電極との間の電位差を前記第３電位差に設定した状態で、前記第１電極と前記第３電極との間の電位差を前記第４電位差より大きい第５電位差に設定し、
前記第５電位差に設定した後に、前記第２電極と前記第４電極との間の電位差を前記第３電位差に設定した状態で、前記第１電極と前記第３電極との間の電位差を前記第５電位差より大きい第６電位差に設定し、
前記第２電位差と前記第３電位差との差の絶対値は、前記第１電位差と前記第２電位差との差の絶対値よりも小さく、
前記第５電位差と前記第６電位差との差の絶対値は、前記第４電位差と前記第５電位差との差の絶対値よりも小さいことを特徴とする光フィルター。
請求項１乃至１７のいずれか記載の光フィルターと
前記光フィルターを透過した光を受光する受光素子と、
を含む光フィルターモジュール。
請求項１乃至１７のいずれか記載の光フィルターを含む分析機器。
請求項１乃至１７のいずれか記載の光フィルターを含む光機器。