CN104428738B - 触摸板传感器、触摸板装置以及显示装置 - Google Patents

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Abstract

触摸板传感器(30)具有：基材(35)；以及电极(40)，其包含检测电极(50)和与检测电极连接的取出电极(45)。电极在任意的厚度方向截面中，包含占据其至少一部分的金属层(61)。在检测电极与取出电极的连接部位处，金属层形成为一体。检测电极包含使导线(60)按网格图案配置而成的导电体网格(55)，导线的高度为0.2μm以上且2μm以下，导线的宽度为1μm以上且5μm以下。导电性网格的导线包含位于基材侧的基端面(66)以及与基端面相对地配置的平坦的顶端面(67)。

Description

触摸板传感器、触摸板装置以及显示装置
技术领域
本发明涉及具有电极的触摸板传感器，特别涉及电极为低电阻且使形成电极的导线细线化的触摸板传感器。此外，本发明涉及包含触摸板传感器的触摸板装置以及包含触摸板传感器或触摸板装置的显示装置。
背景技术
现在，触摸板装置作为输入单元而被广泛使用。触摸板装置包含触摸板传感器、检测触摸板传感器上的接触位置的控制电路、布线以及FPC(柔性印刷基板)。触摸板装置在多数情况下作为针对组装有液晶显示器或等离子显示器等图像显示机构的各种装置等(例如，售票机、ATM装置、便携电话、游戏机)的输入单元而与图像显示机构一并使用。在这样的装置中，触摸板传感器被配置在图像显示机构的显示面上，由此，在触摸板装置中，能够进行针对显示装置的非常直接的输入。触摸板传感器中的与图像显示机构的显示区域相对的区域是透明的，触摸板传感器的该区域构成可检测接触位置(接近位置)的激活(active)区域。
根据检测触摸板传感器上的接触位置(接近位置)的原理，触摸板装置可划分为各种形式。近来，出于光学上明亮、具有设计性、容易构成、功能上优异等原因，电容耦合方式的触摸板装置受到关注。在电容耦合方式的触摸板装置中，应该被检测位置的外部导体(典型为手指)经由电介质与触摸板传感器接触(接近)，新产生寄生电容，利用该静电电容的变化，检测出外部导体在触摸板传感器上的位置。
触摸板传感器通常具有基材和设置在基材上的电极。电极，具有位于激活区域的检测电极和位于非激活区域的取出电极。例如，如日本专利JP2008-98169A中公开的那样，在多数触摸板传感器中，检测电极被配置在与图像显示机构的显示区域相对的位置，因而使用ITO等透明导电材料料来形成。不过，透明导电材料的折射率较大，因此，触摸板传感器中的配置有检测电极的区域与没有配置检测电极的区域之间的光的透过率以及反射率有时会大为不同。这样，在区域之间的光的透过率以及反射率之差较大的情况下，检测电极的轮廓被触摸板传感器的使用者辨认出，不仅基于设计上的观点是不优选，而且会使显示装置的画质显著变差。
此外，作为另外的触摸板传感器，还已知有使用金属材料形成检测电极的触摸板传感器。在该触摸板传感器中，检测电极形成为宽度狭窄的导线。因此，能够使激活区域的透过率足够高。此外，由于金属材料的导电率高，因此，即使减小金属导线的宽度，也能够使触摸板传感器的面电阻率(单位：Ω/□)足够小。这样的触摸板传感器以如下方式制造：首先，将金属薄片经由粘合剂层叠在透明基材上，接下来，通过使用光刻技术的蚀刻对该金属薄片进行图案化，形成电极。
然而，进来，随着高画质化以及被称作平板的便携用小型终端的普及，强烈要求电极的细线化。
但是，在电极是由金属导线构成的现有的触摸板传感器中，是通过将图案化的抗蚀剂作为掩膜对金属薄片进行蚀刻而制造出的。工业上制造的金属薄片的厚度为10μm以上。能够以蚀刻这样的厚度的金属薄片的方式稳定地制造出的金属导线的宽度至少为10μm以上。其原因在于，如图21所示，由于在蚀刻时必然产生朝横方向的侵蚀(侧蚀)，相邻的侵蚀部位在抗蚀剂的下方相连。当侵蚀部位在抗蚀剂的下方相连时，该抗蚀剂部分最终不能被稳定地支承。其结果是，在该抗蚀剂部分的下方应该形成的金属导线欠缺直线性，此外，高度(厚度)产生偏差。
此外，如图21所示，所得到的金属导线的截面形状成为从基材突出的三角形形状。这样的金属导线的宽度小且高度低，因而不能表现出足够的导电率。因此，该触摸板传感器的面电阻率变高，用于位置检测的感测灵敏度下降。此外，在将这样的使触摸板传感器，以突出的金属导线朝向观察者侧的方式组装到触摸板装置或显示装置中的情况下，具有所需面电阻率的金属导线容易被观察到。其结果是，容易观察到触摸板传感器的金属导线引起的浓淡不均、图像显示机构的像素排列或与其它触摸板传感器的金属导线等干涉而导致的叠纹。
发明内容
即，在现有技术中，不能使形成电极的金属导线足够细线化。本发明是考虑这样的点而完成的，目的在于提供一种电极为低电阻且使形成电极的导线细线化的触摸板传感器。
本发明的第1触摸板传感器具有：
基材；以及
电极，其被设置在所述基材上，包含用于位置检测的检测电极和与所述检测电极连接的取出电极，
所述电极在任意的厚度方向截面中，包含占据其至少一部分的金属层，
在所述检测电极与所述取出电极的连接部位处，所述检测电极的金属层以及所述取出电极的金属层形成为一体，
所述检测电极包含导电性网格，该导电性网格是按划分出多个开口区域的网格图案配置导线而成的，所述导电性网格的所述导线的高度为0.2μm以上且2μm以下，所述导电性网格的所述导线的宽度为1μm以上且5μm以下，
所述导电性网格的所述导线具有位于所述基材侧的基端面、与所述基端面相对地配置的平坦的顶端面以及连接所述基端面与所述顶端面之间的一对侧面。
本发明的第2触摸板传感器具有：
基材；以及
电极，其被设置在所述基材上，包含用于位置检测的检测电极和与所述检测电极连接的取出电极，
所述电极在任意的厚度方向截面中，包含占据其至少一部分的金属层，
在所述检测电极与所述取出电极的连接部位处，所述检测电极的金属层以及所述取出电极的金属层形成为一体，
所述检测电极包含导电性网格，该导电性网格是按划分出多个开口区域的网格图案配置导线而成的，
所述导电性网格的所述导线具有位于所述基材侧的基端面、与所述基端面相对地配置的平坦的顶端面以及连接所述基端面与所述顶端面之间的一对侧面，
所述导电性网格的所述导线的宽度随着从所述顶端面朝向所述基端面侧而以变小的方式变化。
本发明的第3触摸板传感器30具有：
基材；以及
电极，其被设置在所述基材上，包含用于位置检测的检测电极和与所述检测电极连接的取出电极，
所述电极在任意的厚度方向截面中，包含占据其至少一部分的金属层，
在所述检测电极与所述取出电极的连接部位处，所述检测电极的金属层以及所述取出电极的金属层形成为一体，
所述检测电极包含导电性网格，该导电性网格是按划分出多个开口区域的网格图案配置导线而成的，
所述导电性网格的所述导线具有位于所述基材侧的基端面、与所述基端面相对地配置的平坦的顶端面以及连接所述基端面与所述顶端面之间的一对侧面，
所述导电性网格的所述导线的宽度在所述基端面处窄于所述顶端面处。
在本发明的第1～第3触摸板传感器中，可以是，所述导电性网格的所述导线还包含黑化层，该黑化层被设置在所述金属层的与所述基材相反侧而形成所述顶端面。
在本发明的第1～第3触摸板传感器中，可以是，所述导电性网格的所述导线还包含黑化层，该黑化层被设置在所述金属层的所述基材侧而形成所述基端面。
在本发明的第1～第3触摸板传感器中，可以是，所述导电性网格的所述导线的宽度在从所述顶端面到所述基端面之间，随着从所述顶端面至所述基端面而仅以变小的方式变化。
在本发明的第1～第3触摸板传感器中，可以是，所述导电性网格的所述导线的宽度随着从所述顶端面至所述基端面侧而仅以变小的方式变化，然后，随着从所述顶端面侧至所述基端面而仅以变大的方式变化。
在本发明的第1～第3触摸板传感器中，可以是，所述网格图案由多个边界线段形成，所述边界线段在两个分叉点之间延伸而划分出所述开口区域，在所述网格图案中，从一个分叉点延伸的边界线段的数量的平均为3.0以上且小于4.0，而且，不存在所述开口区域按固定间距排列的方向。
在本发明的第1～第3触摸板传感器中，可以是，所述网格图案由多个边界线段形成，所述边界线段在两个分叉点之间延伸而划分出所述开口区域，在所述网格图案中包含的所述开口区域中，周围被6条边界线段包围的开口区域最多。
在本发明的第1～第3触摸板传感器中，可以是，连接于一个分叉点的边界线段的数量的所述平均大于3.0。
在本发明的第1～第3触摸板传感器中，可以是，可以连接于一个分叉点的边界线段的数量的所述平均为3.0。
本发明的触摸板装置，包含上述本发明的第1～第3触摸板传感器中的任意一个。
本发明的显示装置包含上述本发明的第1～第3触摸板传感器中的任意一个或上述本发明的触摸板装置中的任意一个。
根据本发明，既能够使触摸板传感器的电极维持低电阻，又能够使该形成电极的导线细线化。
附图说明
图1是用于说明本发明的一个实施方式的图，是将触摸板装置与图像显示机构一并概略地示出的图。
图2是将图1的触摸板装置与图像显示机构一并示出的剖视图。此外，图2所示的截面大致与沿着图1的II-II线的截面对应。
图3是示出触摸板装置的触摸板传感器的俯视图。
图4是沿着图3的IV-IV线的剖视图。
图5是用于说明图4的触摸板传感器中包含的导电性网格55的俯视时的网格图案的一例的图。
图6是导电性网格的放大图，是用于说明导电性网格的网格图案的图。
图7是示出图5所示的导电性网格的另一例的俯视图。
图8是针对图7的导电性网格而示出被各条数的边界线段包围的开口区域的个数的曲线图。
图9是用于说明设计图5所示的导电性网格的网格图案的方法图，是示出确定母点的方法的图。
图10是用于说明设计图5所示的导电性网格的网格图案的方法图，是示出确定母点的方法的图。
图11是用于说明设计图5所示的导电性网格的网格图案的方法图，是示出确定母点的方法的图。
图12(a)～(d)是在绝对坐标系以及相对坐标系中示出确定出的母点群的图，是用于说明母点群的分布的程度图。
图13是用于说明设计图5所示的导电性网格的网格图案的方法的图，是示出根据确定出的母点作成沃罗诺伊图、确定网格图案的方法的图。
图14(a)～(e)是用于说明触摸板传感器的制造方法的一例图。
图15是与图2对应的图，是用于说明触摸板装置的一个变形例的图。
图16是与图4对应的图，是用于说明触摸板传感器的一个变形例的图。
图17是与图4对应的图，是用于说明触摸板传感器的另一变形例的图。
图18是与图3对应的图，是用于说明触摸板传感器又一个变形例的图。
图19是与图3对应的图，是用于说明触摸板传感器又一个变形例的图。
图20是与图3对应的图，是用于说明触摸板传感器又一个变形例的图。
图21是用于说明蚀刻时的问题的图。
图22通过反射型电子显微镜观察到的电极的截面照片。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的一个实施方式进行说明。此外，在本说明书的附图中，除了图22的照片以外，为了易于图示和理解，与实物的情况相比，适当地变更比例以及纵横的尺寸比等而夸大地示出。
图1～图14是用于说明本发明的一个实施方式的图。其中，图1是将触摸板装置与显示装置一并概略地示出的图，图2是将图1的触摸板装置与显示装置一并示出的剖视图，图3和图4是示出触摸板装置的触摸板传感器的俯视图以及剖视图，图5是用于说明触摸板传感器的导电性网格的网格图案的一例的俯视图。
图1～图4所示的触摸板装置20构成为投影型的静电电容耦合方式，构成为能够检测出外部导体(例如，人类的手指)与触摸板装置的接触位置。此外，在静电电容耦合方式的触摸板装置20的检测灵敏度优异的情况下，只要外部导体接近触摸板装置，即可检测出该外部导体接近了触摸板装置的哪个区域。基于这样的现象，此处使用的“接触位置”的概念包含尽管实际没有接触但能够检测出位置的接近位置。
<<<图像显示机构12>>>
如图1和图2所示，触摸板装置20与图像显示机构(例如，液晶显示装置)12一并而组合地使用，构成显示装置10。作为一例，图示的图像显示机构12构成为平板显示器、更具体而言液晶显示装置。图像显示机构12具有：形成显示面12a的液晶显示面板15；从背面对液晶显示面板15进行照明的背光源14；以及与液晶显示面板15连接的显示控制部13。液晶显示面板15包含：能够显示影像的显示区域A1；以及包围显示区域A1而配置在显示区域A1的外侧的非显示区域(也称作边缘区域)A2。显示控制部13处理与应该显示的影像相关的信息，根据影像信息来驱动液晶显示面板15。液晶显示面板15按照显示控制部13的控制信号，在显示面12a中显示规定的影像。即，图像显示机构12作为将文字或图等信息输出为影像的输出装置而发挥作用。
此外，如图2所示，液晶显示面板15具有一对偏振光片16、18以及配置在一对偏振光片16、18之间的液晶组件17。在配置在出光侧的偏振光片18的出光侧，设置有功能层19。功能层19是被期待发挥特定功能的层，形成图像显示机构12的最外侧出光侧面、即显示面12a。作为一例，功能层19可以是作为反射防止层(AR层)而发挥作用的低折射率层。此外，作为功能层19的另一例，可构成为除了反射防止层、或者在反射防止层之外还包含具有防眩功能的防眩层(AG层)、具有耐磨损性的硬质涂层(HC层)、具有带电防止功能的带电防止层(AS层)等的一个以上的层。
偏振光片16、18具有偏振镜，该偏振镜具有如下功能：将射入的光分解为正交的两个偏振光成分，使一个方向的偏振光成分透过，将与所述一个方向正交的另一个方向的偏振光成分吸收。在以下记述中，为了区分液晶显示面板15中包含的一对偏振光片，与液晶显示面板15的配置状态无关地，将入光侧(背光源侧)的偏振光片16称作下偏振光片，将出光侧(观察者侧)的偏振光片18称作上偏振光片。
液晶组件17具有一对支承板和配置在一对支承板之间的液晶。液晶组件17可对形成一个像素的每一区域施加电场。进而，被施加电场的液晶组件17的液晶的指向发生变化。作为一例，透过配置在入光侧的下偏振光片16的特定方向(与透过轴平行的方向)的偏振光成分在通过被施加电场的液晶组件17时，其偏振方向旋转90°，在通过未被施加电场液晶组件17时，维持其偏振方向。因此，根据有无对液晶组件17施加电场，能够将透过下偏振光片16后的特定方向的偏振光成分控制为是进一步透过配置在下偏振光片16的出光侧的上偏振光片18，还是被上偏振光片18吸收而被遮断。
背光源14包含光源，面状地照射光。背光源14可以使用构成为边光型(侧光型)或正下方型的已知的面光源装置。光源可由发光二极管(LED)，冷阴极管、白炽灯、有机EL等已知的光源构成。
<<<触摸板装置20>>>
接下来，对触摸板装置20进行说明。触摸板装置20具有包含触摸板传感器30的层叠体20a和与触摸板传感器30连接的检测控制部21。包含触摸板传感器30的层叠体20a被配置在与图像显示机构12的显示面12a相对的位置。如上所述，触摸板装置20构成为投影型电容耦合方式的触摸板装置，发挥作为输入信息的输入装置的作用。
在图2所示的例中，在触摸板装置20的层叠体20a中，从观察者侧、即从与图像显示机构12相反一侧起，依次具有罩层28、粘合层25、第1触摸板传感器31、粘合层24、第2触摸板传感器32以及低折射率层23。即，在图2所示的例中，触摸板装置20包含两个触摸板传感器30。
罩层28是作为电介质而发挥作用且具有透光性的层，例如由玻璃或树脂膜形成。该罩层28作为对触摸板装置20的输入面(触摸面、接触面)而发挥作用。即，通过使导体、例如人类的手指5与罩层28接触，能够从外部向触摸板装置20输入信息。此外，罩层28是显示装置10的最靠观察者侧的面，在显示装置10中，作为从外部保护触摸板装置20以及图像显示机构12的罩而发挥作用。
罩层28经由粘合层25与第1触摸板传感器31接合。
此外，第1触摸板传感器31经由粘合层24与第2触摸板传感器32接合。粘合层24以及粘合层25在第1触摸板传感器31以及第2触摸板传感器32的电极40与接触到罩层28的导体、例如人类的手指5之间作为电介质而发挥作用。作为这样的粘合层24以及粘合层25，可以使用由各种具有粘合性的材料构成的层。此外，在本说明书中，“粘合(层)”作为还包含粘接(层)的概念而使用。
第2触摸板传感器32的设置在图像显示机构12侧的低折射率层23是被期待作为反射防止层(AR层)而发挥作用的层。通过该低折射率层23，能够防止形成来自图像显示机构12的图像的光在触摸板装置20的图像显示机构12侧的表面被反射而成为杂散光。此外，低折射率层23可以置换为包含多个微小突起而构成的、具有蛾眼(moth-eye)结构的反射防止层，此外，也可以省略。此外，触摸板装置20的层叠体20a也可以经由粘合层等与图像显示机构12的显示面12a接合，在该情况下，不需要低折射率层23。
此外，不限于图示例子，在触摸板装置20的层叠体20a上，还可以设置被期待发挥特定的功能的其它功能层。此外，一个功能层可以发挥二个以上的功能，例如，可以对触摸板传感器30的后述的基材35或其它层叠体20a中包含的各层(各基材或粘合层)赋予功能。关于可对触摸板装置20的层叠体20a赋予的功能，作为一例，可以例示出防眩(AG)功能、具有耐磨损性的硬质涂层(HC)功能、防止带电(AS)功能、电磁波屏蔽功能、防污功能等。
触摸板装置20的检测控制部25与触摸板传感器30连接，处理经由罩层28输入的信息。具体而言，检测控制部25包含电路(检测电路)，该电路构成为在导体(典型地，为人类的手指)5与罩层28接触时，可确定出导体5与罩层28的接触位置。此外，检测控制部25可以与图像显示机构12的显示控制部13连接，将处理后的输入信息发送到显示控制部13。此时，显示控制部13可以作成基于输入信息的影像信息，使图像显示机构12显示与输入信息对应的影像。
此外，“电容耦合”方式以及“投影型”的电容耦合方式的用语作为具有在触摸板的技术领域中使用时的含义相同的含义的用语而在本发明中使用。此外，“电容耦合”方式在触摸板的技术领域中也被称作“静电电容”方式或“静电电容耦合”方式等，在本发明中，作为与这些“静电电容”方式或“静电电容耦合”方式等同义的用语对待。典型的静电电容耦合方式的触摸板装置包含电极(导电体层)，因外部的导体(典型地，为人类的手指)与触摸板接触，使得在外部的导体与触摸板装置的电极(导电体层)之间形成电容器(静电电容)。进而，根据与该电容器的形成相伴的电状态的变化，确定出外部导体在触摸板上接触的位置的位置坐标(位置检测)。
<<触摸板传感器30>>
接下来，对触摸板传感器30进行详细记述。如图2和图3所示，触摸板传感器30具有片状的基材35和设置在基材35上的电极40。在图2所示的例中，电极40被设置在基材35的一侧(观察者侧)的面上。
此外，图2所示的触摸板装置20包含第1触摸板传感器31以及第2触摸板传感器32，第1触摸板传感器31以及第2触摸板传感器32只是电极40的排列图案不同，其它可相同地构成。在以下的说明中，对于可在第1触摸板传感器31以及第2触摸板传感器32之间相同地构成的部分，在不区分第1触摸板传感器31以及第2触摸板传感器32的情况下，作为触摸板传感器30的结构进行说明。
<基材35>
基材35支承电极40，并在触摸板传感器30中作为电介质发挥作用。如图1和图3所示，基材膜32包含与可检测触摸位置的区域对应的激活区域Aa1以及与激活区域Aa1相邻的非激活区域Aa2。如图1所示，触摸板传感器30的激活区域Aa1占据与图像显示机构12的显示区域A1相对的区域。另一方面，非激活区域Aa2从四方周状地包围矩形的激活区域Aa1，换言之，形成为边缘状。该非激活区域Aa2形成与图像显示机构12的非显示区域A2相对的区域。
具体而言，如后述那样，电极40具有用于位置检测的取出电极45和与取出电极45连接的检测电极50。如图3所示，在基材35的激活区域Aa1内，设置有可与外部导体5之间形成电容耦合的检测电极50，在基材35的非激活区域Aa2内，设置有与检测电极50连接的取出电极45。
基材35呈透明或半透明，使得能够经由激活区域Aa1观察到图像显示机构12的图像。基材35的可见光区域的透过率优选为80％以上，更优选为84％以上。此外，基材35的透过率可以根据JIS K7361-1(塑料-透明材料的全光透过率的试验方法)来测定。
基材35例如可由能够作为电介质而发挥作用的玻璃或树脂膜构成。作为树脂膜，可以适当使用被用作光学部件的基材的各种树脂膜。作为一例，可以使用不具有多折射性的光学各向同性的膜、典型地由以三乙酰纤维素为代表的纤维素酯构成的膜来作为基材35。另一方面，也可以使用不具有多折射性的光学各向同性的膜来作为基材35。例如，可以使用低廉且稳定性优异的聚对苯二甲酸酯(PET)等聚酯膜来作为基材35。聚酯膜具有吸湿性低且即使在高温多湿的环境中也难以产生变形等优点。
(基材的光学各向异性)
但是，如图示例子那样，在将触摸板传感器30以及触摸板装置20与形成图像的图像光为特定的偏振光成分的图像显示机构12组合而使用的情况下，在使用以聚酯膜等为代表的光学各向异性膜来作为基材35时，有时会产生观察到颜色不同的不均(以下，也称作“虹状不均”)这样的问题。对于该点，本发明的发明人反复进行深入研究，结果确认到，通过使具有多折射性的光学各向异性基材35具有合计6000nm以上的光程差，能够有效地使虹状不均变得不明显。以下，对该点进行详细说明。此外，对图像显示机构12的位于观察者侧的罩层28也使用此处说明的光学各向异性膜，这对于虹状不均的不可视化是有效的。
基于虹状不均的不可视化这点，基材35的光程差优选为6000nm以上。另一方面，虽然基材35的光程差的上限没有特别限定，但优选为30000nm左右。这是因为，在基材35的光程差超过30000nm时，即使再提高光程差，也看不到虹状不均改善效果的提高，另外，基材35的厚度产生变厚的趋势。此外，基于防止虹状不均性以及薄膜化这双方的观点，基材35的光程差更优选为10000nm～20000nm。
另外，在基材35的面内，此处所用的光程差(Re)与折射率最大的方向(滞相轴(遅相軸)方向)的折射率(nx)、与滞相轴方向正交的方向(超前轴(進相軸)方向)的折射率(ny)以及基材35的厚度(d)由下式(式1)表示。
光程差(Re)＝(nx-ny)×d···(式1)
该光程差的值例如可以使用王子计测设备制造的KOBRA-WR、在测定角0°以及测定波长548.2nm的条件下测定。
上述nx-ny(以下，也记作Δn)优选为0.05以上。这是因为，在上述Δn小于0.05时，有时不能得到足够的虹状不均的抑制效果。另外，用于得到上述光程差值所需膜厚变厚，因而不优选。上述Δn的更优选的下限为0.07。
作为构成光学各向异性的基材35的树脂材料，只要满足上述光程差的条件，就没有特别限定，例如可适当使用从由聚酯类树脂、聚烯烃类树脂、(甲基)丙烯类树脂、聚氨酯类树脂、聚醚砜类树脂、聚碳酸酯类树脂、聚砜类树脂、聚醚类树脂、聚醚醚酮类树脂、(甲基)丙烯腈类树脂以及环烯烃类树脂构成的组中选择出的一种。
作为得到光学各向异性的基材35的方法，只要满足上述光程差的方法即可，没有特别限定，例如，在基材35是由聚酯膜构成的情况下，可举出如下方法：使作为材料的聚酯熔融，在玻化温度以上的温度下，使用拉幅机等，使按压成形为片状的未延伸聚酯横向延伸，然后实施热处理。作为将以该方法制造出的透明基材的光程差控制为6000nm以上的方法，可举出适当地设定延伸倍率、延伸温度和所制造的透明基材的膜厚的方法。具体而言，例如，延伸倍率越高、延伸温度越低且膜厚越厚，则越容易得到高光程差，延伸倍率越低、延伸温度越高且膜厚越薄，则越容易得到低光程差。
作为基材35的厚度，可根据其结构材料等而适当确定，但优选处于20～500μm的范围内。在小于20μm时，不能将基材35的光程差设为6000nm以上，另外，力学特性的各向异性变得显著，容易产生裂纹、破裂等，有时会使作为工业材料的实用性显著下降。另一方面，在超过500μm时，基材非常刚直，高分子膜特有的柔韧性变差，最终，作为工业材料的实用性下降，因而是不优选的。上述基材的厚度的更优选的下限为30μm，更加优选的上限为400μm，进一步优选的上限为300μm。
此外，本发明的发明人反复进行深入研究，结果确认到：在与由液晶显示装置构成的图像显示机构12的组合中，优选的是，对触摸板传感器30与液晶显示面板15进行定位，使得由触摸板传感器30的光学各向异性基材35的滞相轴与图像显示机构12的上偏振光片18的吸收轴所成的角度处于0°±30°或90°±30°的范围，更优选处于0°±10°或90°±10°的范围，更加优选处于0°±7°或90°±7°的范围，进一步优选处于0°±3°或90°±3°的范围，更优选的是，对触摸板传感器30和液晶显示面板15进行定位，使得上述角度为0°或90°。确认到：通过使由触摸板传感器30的光学各向异性基材35的滞相轴与图像显示机构12的上偏振光片18的吸收轴所成的角度处于上述范围内，能够极大程度地抑制虹状不均的产生。
<电极40>
接下来，对设置在基材35上的触摸板传感器30的电极40进行说明。
如上所述，电极40具有用于位置检测的检测电极50和与检测电极50连接的取出电极45。
电极40由具有导电性的材料形成，与检测控制部25的检测电路电连接，该检测电路构成为检测外部导体5与罩层28的接触位置。在图3所示的例中，电极40具有：配置在基材35的激活区域Aa1的多个检测电极50；以及配置在基材35的非激活区域Aa2并与各检测电极50分别连接的多个取出电极45。
(检测电极50的整体结构)
第1触摸板传感器31的检测电极50以规定的图案配置在第1触摸板传感器31的基材35的一侧(观察者侧)的面上。此外，第2触摸板传感器32的检测电极50以与第1触摸板传感器31的检测电极50不同的图案配置在第2触摸板传感器32的基材35的一侧(观察者侧)的面上。更具体而言，如图3所示，在宏观地观察时，第1触摸板传感器31的检测电极50在沿着第1触摸板传感器31的片面的一个方向上排列配置，构成为线状地延伸的导线(导电体)。另一方面，在宏观地观察时，第2触摸板传感器32的检测电极50构成为：在沿着与所述一个方向交叉的第2触摸板传感器32的片面的另一个方向排列而配置的线状地延伸的导线(导电体)。在图示例子中，作为第1触摸板传感器31的检测电极50的排列方向的一个方向与作为第2触摸板传感器32的检测电极50的排列方向的另一个方向在触摸板装置20的面板面上正交。
如图3所示，在第1触摸板传感器31以及第2触摸板传感器32中，形成电极40的检测电极50的导线分别沿着与其排列方向(所述一个方向或所述另一方向)交叉的方向线状地延伸。尤其是，在图示的例子中，检测电极50沿着与其排列方向正交的直线方向延伸。
在图3所示的例子中，电极40的各检测电极50具有：在其长边方向上隔开间隔排列的多个导电性网格55；以及连接相邻的两个导电性网格55之间的连接导线51。各检测电极50通过导电性网格55以及连接导线51，在激活区域Aa1内直线状地延伸。如后述那样，在导电性网格55中，细导线60按划分出多个开口区域71的网格图案进行配置。如图3所示，配置有各检测电极50的区域的宽度在设置有导电性网格55的部分中变粗。在俯视时，图3所示的各检测电极50在导电性网格55中具有大致正方形形状的外轮廓。
如图3所示，在从朝向触摸板装置20的面板面的法线方向观察的情况下(即，在俯视时)，第1触摸板传感器31中包含的各检测电极50与第2触摸板传感器32中包含的多个检测电极50交叉。而且，如图3所示，在检测电极50上，第1触摸板传感器31的导电性网格55配置在相邻的两个第2触摸板传感器32的检测电极50的交叉点之间。同样，在从朝向触摸板装置20的面板面的法线方向观察的情况下(即，在俯视时)，第2触摸板传感器32中包含的各检测电极50与第1触摸板传感器31中包含的多个检测电极50交叉。而且，在检测电极50上，第2触摸板传感器32的导电性网格55也配置在相邻的两个第1触摸板传感器31的检测电极50的交叉点之间。此外，在图示的例子中，在从朝向触摸板装置20的面板面的法线方向观察的情况下(即，在俯视时)，第1触摸板传感器31中包含的检测电极50的导电性网格55与第2触摸板传感器32中包含的检测电极50的导电性网格55被配置为不重合。即，在从朝向触摸板装置20的面板面的法线方向观察的情况下(即，在俯视时)，第1触摸板传感器31中包含的检测电极50与第2触摸板传感器32中包含的检测电极50仅在检测电极50的连接导线51中相交。
(导电性网格55)
导电性网格55形成检测电极50的宽度扩大的部分。由此，能够灵敏度较好地检测出与罩层28的具有一定程度的广度的区域接触的外部导体5(例如，手指)。另一方面，设置有检测电极50的激活区域Aa1位于图像显示机构12的显示区域A1上，因此，需要具有一定程度的可见光透过性。因此，在导电性网格55中，按网格图案来配置使用高导传率的金属材料形成的细导线60，由此确保可见光透过性。
如图5所示，导电性网格55的细导线60包含多个分叉点72。而且，导电性网格55的细导线60构成为在两端形成分叉点72的多个边界线段73的集合。即，导电性网格55的细导线60构成为在两个分叉点72之间延伸的多个边界线段73的集合。而且，边界线段73在分叉点72处连接，由此划分出开口区域71。换言之，以被边界线段73包围分隔的方式，划分出1个开口区域71。
此外，如图5所示，在此处说明的例子中，细导线60仅由边界线段73构成，因此，在不存在延伸到开口区域71的内部的细导线60。根据这样的方式，能够有效地实现对触摸板传感器30同时赋予足够的位置检测灵敏度和高可见光透过率。
(导电性网格55的网格图案)
因此，在与触摸板传感器30重合地配置的图像显示机构12的显示区域A1中，规则地排列有用于形成图像的像素。因此，在将具有导电性网格55的触摸板传感器30层叠于具有像素排列的图像显示机构12上时，有可能观察到由像素的规则的(周期性)图案和导电性网格55的开口区域71的排列图案引起的条纹状的图案、即叠纹。此外，还有可能观察到由开口区域71的密度偏差引起的浓淡不均。作为叠纹或浓淡不均的不可视化对策，已知有各种方法，可以适当地对导电性网格55应用已知的方法。
另一方面，本发明的发明人反复进行深入研究，结果发现，通过在导电性网格55中的细导线60的排列图案上想办法，能够非常有效地使叠纹变得不明显，同时，能够非常有效地使浓淡不均变得不明显。以下，对导电性网格55中的细导线60的俯视时的排列图案进行说明。
图5～图8是用于说明导电性网格55中的网格图案的一例的图。在图示的导电性网格55中，为了防止产生叠纹，不存在开口区域71反复地以具有规则性(周期性)的间距排列的直线方向。本发明的发明人反复进行深入研究，结果发现：不是单纯地使导电性网格55的图案变得不规则化，而是划分导电性网格55的图案，使得不存在导电性网格55的开口区域71按固定间距排列的方向，这对于使在将具有导电性网格55的触摸板传感器30与具有像素排列的图像显示机构12重叠时可能产生的叠纹、或者在将两张具有导电性网格55的触摸板传感器30重叠时有可能产生的叠纹变得不明显是非常有效的。
此处，图6是用于说明不存在开口区域71按固定间距排列的方向的状态、换言之不存在开口区域71规则地排列的方向的状态、进一步换言之不存在开口区域71以具有规则性的方式排列的方向的状态的俯视图。在图6中，在触摸板传感器30的片面上，选择任意位置且朝向任意方向的一条假想直线di。该一条直线di与形成细导线60的边界线段73交叉而形成交叉点。在附图中，从附图左下侧起，依次将该交叉点记作交叉点C1、C2、C3、·····、C9而示出。相邻的交叉点、例如交叉点C1与交叉点C2之间的距离为上述某一个开口区域71在直线di上的尺寸T1。接下来，以同样方式，对沿着直线di而与具有尺寸T1的开口区域71相邻的另一开口区域71定义出直线di上的尺寸T2。进而，在任意位置且任意方向的直线di上，针对从与直线di交叉的边界线段73起与任意位置且任意方向的直线di相遇的多个开口区域71，定义T1、T2、T3、······、T8作为该开口区域71在该直线di上的尺寸。
而且，T1、T2、T3、······、T8的数值的排列不存在周期性(规则性)。即，开口区域71以沿着直线方向di不具有规则性的方式排列，满足
Tk≠Tk+l(k：任意自然数，l：任意自然数)···条件式(x)。
此外，在图6中，该T1、T2、T3、······、T8以容易判别的方式，在附图下方与直线di一并与导电性网格55分离地描绘。
此外，在对使该直线di从图6中图示的位置旋转任意角度而朝向另一方向的假想的直线di+1求出各开口区域A的尺寸T1、T2、··时，最终，与图6中图示的情况同样地，针对直线di+1方向，也满足条件式(x)，在开口区域的尺寸T1、T2、··中，看不到反复的周期性(规则性)。这样，在开口区域71在任意方向上均满足条件式(x)的情况下，可表达为：不存在开口区域71按固定间距排列的方向；或者不存在开口区域规则地排列的方向；或者不存在开口区域71具有反复周期的方向；或者开口区域的排列不具有规则性。
通常，将导电性网格的图案设为不规则化被认为对于叠纹的不可视化是有效的。但是，根据本发明的发明人的研究，单纯地使导电性网格的图案的形状以及排列间距不规则化，并不总是能够使叠纹变得足够不明显。此外，即使使叠纹变得不明显，有时也会在导电性网格中产生浓淡不均。
另一方面，如此处说明的导电性网格55的平面图案那样，如果使导电性网格55构成为不存在开口区域71(闭合电路)按固定间距排列的直线方向，并如以下那样、对从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均设置制约条件，则能够有效地防止产生叠纹，并有效地防止产生浓淡不均。相比于作为叠纹的不可视化而单纯地实施图案的不规则化的现有技术水平，这样的作用效果可以说具有超过预测的范围的显著效果。
在图5和图7所示的30的导电性网格55中，从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均为3.0以上且小于4.0。这样，在从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均为3.0以上且小于4.0的情况下，能够使导电性网格55的排列图案成为与正方格排列大为不同的图案。此外，在从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均大于3.0且小于4.0的情况下，能够成为相比蜂窝排列而使规则性破坏的图案。进而，本发明的发明人反复进行深入研究，结果确认到，在将从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均设为3.0以上且小于4.0的情况下，能够使开口区域71的排列变得不规则化，使得不会稳定地存在开口区域71以具有反复规则性(周期性)的方式排列的方向，其结果是，能够非常有效地使叠纹变得不明显。
此外，如果对从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均设置制约条件，则能够防止浓淡不均变得明显。能够防止浓淡不均的原因的详细情况不明，但估计为如下：通过对从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均设置制约条件，开口区域71在平面内的分布，在一定程度上变得均匀化。
此外，关于从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均，严格来讲，要对导电性网格55内包含的全部分叉点72调查延伸的边界线段73的数量，并计算其平均值，不过，实际上，可以在考虑由细导线60划分出的每一个开口区域71的大小等的基础上，针对具有被期待可反映出从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的整体趋势的面积的一个分区中包含的分叉点72，调查延伸的边界线段73的数量，计算其平均值，将计算出的值作为关于该导电性网格的从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均值来对待。例如，如果是触摸板传感器30的激活区域Aa1中形成的导电性网格55，则开口区域71的开口面积与直径为100μm～600μm的圆的面积相同。在以这样的尺寸来划分开口区域71的触摸板传感器30的导电性网格55中，可以考虑30mm×30mm的区域内包含的分叉点72，作为从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均值来对待。
同样，关于是否存在开口区域71按固定间距排列的方向，严格来讲，要在作为对象的导电性网格55的整个区域内，调查任意方向上的开口区域71的排列。不过，实际上，可以在具有被期待可反映出开口区域71的排列的整体趋势的面积的一个分区(例如，在以上述尺寸例来形成开口区域71的导电性网格55中，在为30mm×30mm的部分)中，以通过其中心的一点并以被期待反映出关于各方向的周期性的趋势的程度的角度等分的各方向(例如，在以上述尺寸例来形成开口区域71的导电性网格55中，为每隔15°的方向)上，调查开口区域71的排列，判定是否存在开口区域71规则地排列的方向。
在图5所示的触摸板传感器30的导电性网格55中，从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均大于3.0且小于4.0。更具体而言，对387个分叉点72确认边界线段73的数量的结果是，延伸出3个边界线段73的分叉点72存在373个，从其它14个分叉点72延伸出4个边界线段73，从一个分叉点72延伸的边界线段数(平均分叉数)为3.04个。进而，在实际制造图5所示的导电性网格55并将其配置到在市场上出售的液晶显示装置的像素排列上的情况下，不会产生可被观察到的程度的条纹状的图案、即叠纹(干涉条纹)以及浓淡不均。
此外，本发明的发明人对各种导电性网格55的图案进行了调查，结果是，在满足如下条件(A)、(B)以及(C)中的一个以上的条件的情况下，能够使浓淡不均以及叠纹这双方变得更不明显。
·条件(A)：周围被6条边界线段73包围的开口区域71包含得最多。即，在导电性网格55中，与周围被其它条数的边界线段73包围的开口区域71相比，包含更多的周围被6条边界线段73包围的开口区域71。
·条件(B)：满足如下条件(b1)。优选满足如下条件(b1)、条件(b2)以及(b3)中的一方。更优选满足如下条件(b1)、(b2)以及(b3)的全部。
(b1)周围被5条边界线段73包围的开口区域71、周围被6条边界线段73包围的开口区域71以及周围被7条边界线段73包围的开口区域71中的至少两种开口区域71，分别以多个的方式被包含在导电性网格55中。
(b2)周围被5条、6条或7条中的相同条数的边界线段73包围的多个开口区域71的面积以及形状中的至少一方不固定。即，在包含多个周围被5条边界线段73包围的开口区域71的情况下，由该5条边界线段73划分出的多个开口区域71中的至少两个开口区域71在面积以及形状中的至少一方上彼此不同，而且，在包含多个周围被6条边界线段73包围的开口区域71的情况下，由该6条边界线段73划分出的多个开口区域71中的至少两个开口区域71在面积以及形状中的至少一方中彼此不同，而且，在包含多个周围被7条边界线段73包围的开口区域71的情况下，由该7条边界线段73划分出的多个开口区域71中的至少两个开口区域71在面积以及形状中的至少一方上彼此不同。
(b3)包含周围被6条边界线段73包围的多个开口区域71。
·条件(C)：设周围被k条边界线段73包围的开口区域71的数量为Nk，
在k为满足3≤k≤5的整数的情况下，Nk≤Nk+1
在k为满足6≤k的整数的情况下，Nk≥Nk+1。
即，周围被6条边界线段73包围的开口区域71包含得最多，随着包围开口区域71的边界线段73的条数从6条起变多，并且，随着包围开口区域71的边界线段73的条数从6条起变少，开口区域71的数量变少。
此外，关于是否满足各条件(A)～(C)，严格来讲，要对导电性网格55内包含的全部开口区域71进行调查。不过，实际上，可以在考虑由细导线60划分出的每一个开口区域71的大小等基础上，针对具有被期待可反映出包围一个开口区域71的边界线段73的条数的整体趋势的面积的一个分区(例如，在以上述尺寸例来形成开口区域71的导电性网格55中，为30mm×30mm的部分)中包含的开口区域71，调查包围的边界线段73的数量，判定是否满足各条件(A)～(C)。
相比于作为叠纹的不可视化而单纯地实施图案的不规则化的现有技术水平，通过满足上述条件(A)～(C)中的一个以上的导电性网格55而起到的作用效果可以说具有超过可预测的范围的显著的效果。而且，通过满足条件(A)～(C)中的一个以上的导电性网格55而得到这样的作用效果的原因的详细情况不明，但估计为其原因如下。不过，本发明不限于以下的估计。
在满足在条件(A)～(C)中的一个以上的遮蔽导电性网格中，开口区域71的排列可以是从规则地配置相同形状的正六边形而成的蜂窝排列中将各开口区域的形状以及配置的规则性破坏的排列，换言之，是以蜂窝排列为基准而使各开口区域的形状以及配置随机化的排列。由此，估计为如下：能够抑制开口区域71的排列中产生明显的疏密，能够使多个开口区域71以大致均匀的密度、即大致一样地分布。其结果是，估计为如下：能够稳定地使开口区域71的排列完全不规则化，即，使得不存在开口区域71规则地排列的方向，与单纯地将开口区域的排列设为不规则化的情况相比，能够有效地使浓淡不均以及叠纹这双方变得不明显。
作为本发明的发明人进行的实验的一例，对图7所示的图案的导电性网格55进行了调查，如图8所示，在该导电性网格55中，被4条、5条、6条、7条、8条、9条边界线段73包围的开口区域71分别包含79个、1141个、2382个、927个、94个、8个。此外，在该导电性网格55中，不包含被3条边界线段包围的开口区域以及被10条以上的边界线段73包围的开口区域71。即，图7所示的导电性网格55满足全部条件(A)、(B)以及(C)。此外，在图7所示的导电性网格55中，不存在开口区域71按固定间距排列的方向，而且，从一个分叉点延伸的边界线段的数量的平均为3.0以上且小于4.0。另外，在以上说明中，在由直线的线段来构成边界线段73的情况下，被N条边界线段73包围的开口区域71的形状为N边形。而且，在实际制造图7所示的导电性网格55并将其配置到图像显示机构12的像素排列上的情况下，不会产生可被观察到的程度的条纹状的图案、即叠纹(干涉条纹)以及浓淡不均。
此处，对制造从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均大于3.0且小于4.0且不存在按固定间距排列开口区域71的直线方向的导电性网格的图案的方法的一例说明如下。
以下说明的方法具有如下工序：确定母点；从确定出的母点作成沃罗诺伊图；确定出边界线段的路径，其中，该边界线段在由沃罗诺伊图中的一个沃罗诺伊边界相连的两个沃罗诺伊点之间延伸；以及确定所确定的路径的粗细，划分各边界线段，确定导电性网格55(细导线60)的网格图案。以下，依次对各工序进行说明。此外，上述图5所示的导电性网格55的网格图案实际是由以下说明的方法确定出的图案。此外，图7所示的导电性网格55的网格图案也可以由以下说明的方法来确定。
首先，对确定母点的工序进行说明。如图9所示，首先，在绝对坐标系O-X-Y的任意位置配置一个母点(以下，称作“第1母点”)BP1。接下来，如图10所示，在与第1母点BP1分开距离r的任意位置，配置第2母点BP2。换言之，以第1母点BP1为中心，在位于绝对坐标系O-X-Y上的半径r的圆周(以下，称作“第1圆周”)上的任意位置，配置第2母点BP2。接下来，如图11所示，在与第1母点BP1分开距离r且与第2母点BP2分开距离r以上的任意位置，配置第3母点BP3。然后，在与第1母点BP1分开距离r且与其它母点BP2、BP3分开距离r以上的任意位置，配置第4母点。
这样，在与第1母点BP1分开距离r且与其它母点分开距离r以上的任意位置配置母点，直到不能配置下一母点为止。然后，以第2母点BP2为基准，继续进行该作业。即，在与第2母点BP2分开距离r且与其它母点分开距离r以上的任意位置，配置下一母点。在与第2母点BP2分开距离r且与其它母点分开距离r以上的任意位置配置母点，直到不能以第2母点BP2为基准配置下一母点为止。然后，依次变更作为基准的母点，按照相同的步骤形成母点。
按照以上步骤配置母点，直到在应该形成导电性网格55的区域内不能配置母点为止。当在应该形成导电性网格55的区域内不能配置母点时，制作母点的工序结束。通过到此为止的处理，在二维平面(XY平面)中不规则地配置的母点群在应该形成导电性网格55的区域内成为一样地分布的状态。
在这样的工序中，在分布在二维平面(XY平面)内的母点群BP1、BP2、··、BP6(参照图12(A))中，各母点间的距离具有不固定的分布。不过，任意相邻的两个母点间的距离的分布不是完全随机分布(均匀分布)，而是夹着平均值RAVG而分布在上限值RMAX与下限值RMIN之间的范围ΔR＝RMAX-RMIN中。另外，此处，相邻的两个母点定义为：在根据母点群BP1、BP2、··作成后述的沃罗诺伊图之后，在两个沃罗诺伊区域XA相邻的情况下，该两个沃罗诺伊区域XA的母点彼此相邻。
即，针对此处说明的母点群，在以各母点为原点的坐标系(称作相对坐标系o-x-y，另一方面，将规定了现实的二维平面的坐标系称作绝对坐标系O-X-Y)上，对全部母点求出描绘与位于原点的母点相邻的全部母点而得到的图12(B)、图12(C)、··等的曲线图。进而，在将这全部相对坐标系上的相邻母点群的曲线图与各相对坐标系的原点o重合地显示时，得到图12(D)那样的曲线图。这意味着，在该相对坐标系上的相邻母点群的分布图案中，构成母点群的任意相邻的两个母点间的距离不是从0到无限大的均匀分布，而是分布在从RAVG-ΔR到RAVG+ΔR的有限范围(半径RMIN～RMAX的圈形区域)内。而且，在图12(A)中，为了进行参考，以虚线示出根据这些母点群而得到的沃罗诺伊边界(参照图13)。
通过这样设定各母点间的距离，根据该母点群而以如下说明的方法得到的沃罗诺伊区域XA、以及由此得到的开口区域71的面积的分布也不是均匀分布(完全随机)，而是分布在有限的范围内。
此外，在以上的确定母点的工序中，通过改变距离r的大小，能够调节每一个开口区域71的大小。具体而言，通过减小距离r的大小，能够减小每一个开口区域71的大小，相反，通过增大距离r的大小，能够增大每一个开口区域71的大小。
接下来，如图13所示，以配置出的母点为基准，作成沃罗诺伊图。如图13所示，沃罗诺伊图是由如下线段构成的图：在相邻的两个母点之间作成垂直二等分线，并在该各垂直二等分线彼此的交点处连接。此处，将垂直二等分线的线段称作沃罗诺伊边界XB，将形成沃罗诺伊边界XB的端部的沃罗诺伊边界XB彼此的交点称作沃罗诺伊点XP，将被沃罗诺伊边界XB包围的区域称作沃罗诺伊区域XA。
在如图13那样作成的沃罗诺伊图中，各沃罗诺伊点XP成为导电性网格55的分叉点72。进而，在成为一个沃罗诺伊边界XB的端部的两个沃罗诺伊点XP之间，设置一个边界线段73。此时，可以将边界线段73确定为如图5所示的例子那样、在两个沃罗诺伊点XP之间直线状地延伸，也可以在与其它边界线段73不接触的范围内，在两个沃罗诺伊点XP之间以各种路径(例如，圆(弧)、椭圆(弧)、抛物线、双曲线、正弦曲线、双曲线正弦曲线、椭圆函数曲线、贝塞尔函数曲线等曲线状、折线状等路径)延伸。此外，边界线段73确定为在如图5所示的例子那样、在两个沃罗诺伊点XP之间直线状地延伸的情况下，各沃罗诺伊边界XB划分出边界线段73。
在确定了各边界线段73的路径后，确定各边界线段73的线宽(粗细)。根据后述的原因，边界线段73的线宽优选为0.2μm～2μm。即，导电性网格55优选确定为呈现期望的可见光透过率以及面电阻率。能够如上述那样确定导电性网格55的图案。
(取出电极45)
接下来，对取出电极45进行说明。如上所述，电极40具有与这样的检测电极50连接的取出电极45。根据接触位置的检测方法，对各个检测电极50设置一个或两个取出电极45。各取出电极45具有与对应的检测电极50的连接导线51或导电性网格55的细导线60连接的取出导线46。如后述那样，取出电极45的厚度方向的至少一部分中，由与检测电极50相同的材料形成为一体。在基材35的非激活区域Aa2内，取出电极45从对应的取出电极50起，延伸到基材35的端缘。取出电极45在其端部处，经由未图示的外部连接布线(例如，FPC)与检测控制部25连接。
(电极40的截面形状)
接下来，对电极40的截面形状进行说明。图4示出沿着厚度方向的截面中的触摸板传感器30。此处，厚度方向是指由片状(膜状、板状、面板状)构成的触摸板传感器30的沿着片面(膜面、板面、面板面)的法线方向的截面。此外，片面(膜面、板面、面板面)是指在整体且宏观地观察作为对象的片状(膜状、板状、面板状)的部件的情况下，与作为对象的片状部件的平面方向一致的面。而且，在本实施方式中，基材35具有如下的具备一对主表面的片状的形状。因此，在本实施方式中，沿着厚度方向的截面与沿着基材35的表面的法线方向的截面一致。
图4示出了导电性网格55的细导线60的截面形状，检测电极50的连接导线51也具有与细导线60相同的截面形状，只是宽度不同。即，如图4所示，形成检测电极50的细导线60以及连接导线51具有：位于基材35侧的基端面66；与基端面66相对地配置的平坦的顶端面67；以及连接基端面66与顶端面67之间的一对侧面68。而且，在图4所示的例中，基端面66与顶端面67相互平行。而且，在图4所示的例中，细导线60以及连接导线51具有：金属层61，其位于基材35侧，形成基端面66；以及黑化层62，其设置在金属层61上，形成顶端面67。在连接导线51与导电性网格55的细导线60之间，金属层61形成为一体，而且，黑化层62也形成为一体。
此处，金属层61是使用具有高导电率的金属材料形成的层，例如由铜、铝、铁、银以及它们的合金构成的层。然而，由金属材料构成的金属层61表现出相对较高的反射率。因此，在外部光被触摸板传感器30的形成检测电极50的金属层61反射时，经由触摸板装置20的激活区域Aa1观察的图像显示机构12的图像对比度下降。因此，在金属层61的观察者侧配置有黑化层62。通过该黑化层62，能够提高对比度，改善由图像显示机构12显示的图像的可见性。
作为黑化层62，可以使用各种已知的层。可以部分地对金属层61进行黑化处理，从金属层61的一部分形成由金属氧化物或金属硫化物构成的黑化层62。此外，也可以在金属层61上设置黑色材料的覆盖膜、镍或铬等镀覆层等那样的黑化层62。作为一具体例，在由铁构成金属层61的情况下，可以在450～470℃左右的蒸气气氛中将金属层61放置10分钟～20分钟，在金属层61的表面上形成1μm～2μm左右的氧化膜(黑化膜)。作为其他的方法，也可以利用浓硝酸等来对由铁构成的金属层61进行腐蚀处理，在金属层61的表面形成氧化膜(黑化膜)。此外，在由铜构成金属层61的情况下，优选在由硫酸、硫酸铜以及硫酸钴等构成的电解液中，对金属层61进行阴极电解处理，进行使阳离子性粒子附着的阴极电镀。通过设置该阳离子性粒子，能够进一步粗糙化，同时得到黑色。作为阳离子性粒子，可以应用铜粒子、铜和其它金属的合金粒子，但优选为铜-钴合金的粒子。关于该阳离子性粒子的粒径，出于黑色浓度这点，平均粒径优选为0.1～1μm左右。此外，此处使用的黑化层62包含不仅黑色化而且粗糙化的层。
此外，取出电极45的取出导线46也可以具有与图4所示的检测电极50的细导线60或连接导线51相同的截面形状。因此，取出电极45的取出导线46具有：位于基材35侧的基端面66；与基端面66相对地配置的平坦的顶端面67；连接基端面66与顶端面67之间的一对侧面68。如图4所示，取出导线46的基端面66与顶端面67可以相互平行。此外，取出电极45的取出导线46在厚度方向的截面中包含金属层61。而且，在取出电极45与检测电极50之间，金属层61形成为一体。即，电极40在任意厚度方向截面中，包含占据其至少一部分的金属层61。
另一方面，取出电极45被配置在图像显示机构12的与非显示区域A2相对的非激活区域Aa2内。因此，取出电极45的取出导线46不需要具有黑化层62。不过，为了避免黑化层62的图案化等的复杂化，取出电极45的取出导线46也可以与检测电极50同样地具有黑化层62。在该情况下，在取出电极45与检测电极50之间，黑化层62可以形成为一体。
此外，在图示的例子中，电极40构成为具有金属层61和黑化层62，但不限于此，也可以在黑化层62之外、或者替代黑化层62而在金属层61上层叠其它层。作为应该被层叠到金属层61上的其它层，例如例示有防锈层。
在由这样的结构构成的电极40中，优选将形成图4所示的导电性网格55的细导线60的宽度(最大宽度)W、即沿着片状地构成触摸板传感器30的片面的宽度(最大宽度)W设为1μm以上且5μm以下，而且，将形成图4所示的导电性网格55的细导线60的高度(厚度)H、即沿着片状地构成触摸板传感器30的片面的法线方向的高度(厚度)H设为0.2μm以上且2μm以下。根据这样的尺寸的导电性网格55，细导线60被充分细线化，因此，能够非常有效地使电极40不可视化。同时，在截面形状中，平行的基端面66以及顶端面67之间的高度成为足够的高度，即，细导线60的截面形状的纵横比(H/W)足够大，具有高导电性。其结果是，能够将导电性网格55的面电阻率设为50Ω/□以下，更优选设为20Ω/□以下。
即，根据具有这样的截面尺寸的细导线60，既能够使触摸板传感器30的电极40维持低电阻，又能够使形成该电极40的细导线60细线化。通过细线化的细导线60，即使在与高精细化的像素的组合中、或者在与被称作平板的便携终端的小间距排列的像素的组合中，也能够充分地使检测电极50不可视化，并能够发挥高检测精度。
此外，出于电极40的不可视化的观点，沿着片状地构成触摸板传感器30的片面的宽度W优选为5.0μm以下，更优选为3.5μm以下，出于降低面电阻率的观点，该宽度W优选为1μm以上，更优选为2μm以上。此外，出于使电极40的制造精度变稳定的观点，沿着片状地构成触摸板传感器30的片面的法线方向的高度(厚度)H优选为2.0μm以下，更优选为1.5μm以下，出于降低面电阻率的观点，该高度H优选为0.1μm以上，更优选为0.5μm以上。此外，出于确保此处说明的作用效果的观点，细导线60的截面形状的纵横比(H/W)优选为0.04以上且2.00以下，更优选为0.67以上7.00以下。
此外，图4所示的细导线60的截面形状为锥形状，顶端面67的宽度W2小于基端面66的宽度W1。尤其是，在图示的例子中，细导线60的宽度随着从基端面66侧朝向顶端面67侧、换言之朝向观察者侧而仅变窄。更具体而言，在图示的例子中，细导线60的宽度随着从基端面66侧朝向顶端面67侧、换言之朝向观察者侧而连续变窄。如图2所示，在使顶端面67朝向观察者侧而将触摸板传感器30组装到显示装置10以及触摸板装置20中的情况下，由于在侧面68处露出的金属层61导致的外部光反射，由图像显示机构12显示的图像的对比度有可能下降。因此，基端面66的宽度W1与顶端面67的宽度W2之差(W1-W2)优选为1.0μm以下，更优选为0.5μm以下。
作为一例，如后述那样，在通过利用光刻技术的图案化来制造细导线60的情况下，蚀刻导致的侵蚀不仅朝深度方向(厚度方向)而且朝横方向(面方向)进展。由于该侧蚀现象，可以使细导线60的截面形状，成为图4所示的锥形状。
另一方面，根据后述的触摸板传感器30的制造方法，检测电极50的连接导线51的高度以及取出电极45的取出导线46的高度与形成检测电极50的导电性网格55的细导线60的高度相同。在该情况下，能够将检测电极50的连接导线51的宽度设为5.0μm以上，将取出电极45的取出导线46的宽度设为5.0μm以上。
(触摸板传感器30的制造方法)
接下来，主要参照图14，对以上说明触摸板传感器30的制造方法的一例进行说明。
首先，如图14(a)所示那样准备基材35。如上所述，可使用玻璃或树脂膜作为基材35。不过，在使用具有光学各向异性的树脂膜来作为基材35的情况下，出于使虹状不均变得不明显观点，优选将该树脂膜的光程差Re调节为上述值。
接下来，如图14(b)所示，在基材35上形成将构成电极40的金属层61的金属膜81。金属膜81不是经由粘合剂层将铜箔等金属薄片层压到基材上形成，而是不经由粘合剂层、直接在基材35上形成。即，不是将能够入手的具有特定的厚度的金属薄片层叠在基材35上，而是使具有期望的厚度的金属膜81在基材35上成膜。作为金属膜81的成膜方法，可以采用溅射、蒸镀、电解镀、无电解镀等各种方法。
如上所述，为了将电极40的高度(厚度)H设为0.2μm～2μm，在以0.2μm～2μm的厚度使金属膜81成膜时，优选采用蒸镀。通过蒸镀，能够在较短时间内低廉地制造出0.2μm～2μm的厚度的金属膜81、尤其是0.5μm以上的厚度的金属膜81。此外，作为另外的方法，通过包含溅射和其它方法、例如溅射和电镀的多个工序来使金属膜81成膜也是有效的。通过溅射，能够形成附着性优异的衬底层，而且，通过之后的电镀，能够比较迅速地使金属膜81的厚度增加到期望的厚度。
然后，如图14(c)所示，在金属膜81上形成将构成电极40的黑化层62的黑化膜82。如已说明的那样，可以对金属膜81的表层部分进行黑化处理，在金属膜81的一部分中形成由金属氧化物或金属硫化物构成的黑化膜82。此外，可以在金属膜81上设置黑色材料的覆盖膜、镍或铬等镀覆层那样的黑化膜82。
接下来，通过使用光刻技术的图案化，按期望的图案对在基材35上的金属膜81以及黑化膜82进行图案化。具体而言，首先，在黑化膜82上设置抗蚀剂膜83，对该抗蚀剂膜83进行图案曝光以及显像，进行图案化(图14(d))。接下来，将图案化后的抗蚀剂膜83作为掩膜，对黑化膜82以及金属膜81进行蚀刻。由此，由黑化膜82形成黑化层62，由金属膜81形成金属层61。这样，在基材35上，以期望的图案形成包含金属层61和黑化层62电极40(图14(e))。
然后，去除电极40上的抗蚀剂膜83，由此得到触摸板传感器30。根据以上那样的制造方法，能够与由金属层61和黑化层62构成的检测电极50相同地，通过相同的处理，一体地制造出由金属层61和黑化层62构成的取出电极45，在生产效率上是优选的。
此外，在以上的方法中，被蚀刻的金属膜81以及黑化层62的厚度能够成为与应该制造的电极40的厚度相同的厚度、例如0.2μm以上且2μm以下。进而，在对该厚度的金属膜81以及黑化层62进行蚀刻的情况下，不会引起较大的侧蚀，能够制造出1μm～5μm左右的细线化的电极40。即，相对于应该形成的细导线60的线宽，金属膜81以及黑化层62的厚度不会过厚。由此，与使用参照图21说明的金属薄片的情况相比，蚀刻导致的侵蚀部位不会在抗蚀剂膜的下方相连。由此，能够稳定且高精度地制造出细线化的电极40(细导线60)。此外，相对于应该形成的细导线60的线宽，金属膜81以及黑化层62设定为适当的厚度，由此，能够使所形成的细导线60的厚度方向的截面形状成为期望的形状、例如具有期望的纵横比的形状。
此外，此处说明的触摸板传感器30的制造方法只是一例，可进行各种变更。例如，可以只在激活区域Aa1内形成黑化膜82，或者，可以进一步设置如下工序：去除制造出的非激活区域Aa2内的黑化层62、尤其是黑化层62中的成为与FPC等外部布线的连接部位的部分。此外，可以在对金属膜81进行图案化、形成电极40的金属层61之后，在该金属层61上制造黑化层62。
<<<作用效果>>>
根据以上那样的本实施方式，检测电极50包含导电性网格55，该导电性网格55是划分出多个开口区域71的网格图案配置细导线60而成的。该导电性网格55的细导线60的高度为0.2μm以上且2μm以下，细导线60的宽度W为1μm以上且5μm以下。而且，导电性网格55的细导线60具有：位于基材35侧的基端面66；与基端面66相对地配置的平坦的顶端面67；连接基端面66与顶端面67之间的一对侧面68。根据具有这样的截面尺寸以及形状的细导线60，既能够使触摸板传感器30的电极40维持低电阻，又能够使形成该电极40的细导线60细线化。通过细线化的细导线60，即使在与高精细化的像素的组合中、或者在与被称作平板的便携终端的小间距排列的像素的组合中，也能够使检测电极50充分不可视化，并能够发挥高位置检测精度。
此外，在上述实施方式中，优选的是，基材35具有面内的多折射性，而且，基材35的光程差Re为6000nm以上。在该情况下，即使来自图像显示机构12的图像光是特定的偏振光成分，也能够有效地使虹状不均变得不明显。
此外，在上述实施方式中，形成导电性网格55的细导线60由在两个的分叉点72之间延伸并划分出开口区域71的多个边界线段73形成，从一个分叉点72延伸的边界线段73的数量的平均为3.0以上且小于4.0，而且，不存在开口区域71以一定的间距、即以固定的反复间距排列的方向。其结果是，能够有效地使与规则地(周期性)排列有像素P的图像显示机构12重合时的叠纹、或者与其它触摸板传感器30重合时的叠纹变得不明显。此外，同时，还能够有效地使导电性网格55内的浓淡不均变得不明显。
此外，在上述实施方式中，形成导电性网格55的细导线60由在两个的分叉点72之间延伸并划分出开口区域71的多个边界线段73形成，在导电性网格55中包含的开口区域71中，周围被6条边界线段73包围的开口区域71最多。其结果是，能够有效地使与规则地(周期性)排列有像素P的图像显示机构12重合时的叠纹、以及与其它触摸板传感器30重合时的叠纹变得不明显。此外，同时，还能够有效地使导电性网格55内的浓淡不均变得不明显。
<<<变形例>>>
此外，可以对上述实施方式施加各种变更。以下，参照附图，对变形的一例进行说明。在以下的说明以及在以下的说明中使用的附图中，对于可与上述实施方式同样地构成的部分，使用与对上述实施方式中的对应的部分使用的符号相同的符号，并省略重复说明。
在上述实施方式的第1触摸板传感器31以及第2触摸板传感器32中，如图2和图4所示，说明了在基材35的观察者侧的面上形成电极40的例子。但是，也可以在第1触摸板传感器31以及第2触摸板传感器32中的一个以上，在基材35的图像显示机构12侧的面上形成电极40。
在图15所示的例中，在第1触摸板传感器31以及第2触摸板传感器32这双方中，电极40设置在基材35的图像显示机构12侧的面上。在图15所示的例子中，触摸板装置20的层叠体20a从观察者侧、即与图像显示机构12相反侧起，依次具有罩层28、粘合层25、第1触摸板传感器31、粘合层24、第2触摸板传感器32、粘合层26、支承层27以及低折射率层23。
图16示出了可组装到图15的触摸板装置20中的触摸板传感器30的一例。图16所示的触摸板传感器30具有基材35和设置在基材35上的电极40。电极40具有：黑化层62，其位于基材35侧，形成基端面66；以及金属层61，其设置在黑化层62上，形成顶端面67。即，在图16所示的例子中，也与上述实施方式同样地，将黑化层62配置在金属层61的观察者侧。图16所示的电极40在基材35上的金属层61和黑化层62的层叠顺序不同这方面，与上述实施方式的电极40不同，在其它方面，可与上述实施方式的电极40相同地构成。此外，图16所示的黑化层62以及金属层61可通过上述各种方法来制造。作为一例，可以由在基材35上通过溅射而成膜的镍或铬来制造黑化层62，或者，可以由涂覆在基材35上且具有染料或颜料等的覆盖膜来制造黑化层62。
此外，在上述实施方式中，示出了电极40的沿着厚度方向的截面形状、尤其是形成导电性网格55的细导线60的沿着厚度方向的截面形状随着从基端面66侧朝向顶端面67侧变细而形成为锥形状的例子，但是不限于此。例如，如图17所示，在电极40、尤其是细导线60的截面形状中，顶端面67的宽度W2可以大于基端面66的宽度W1。尤其是，在图17所示的例中，细导线60的宽度随着从顶端面67侧朝向基端面66侧、换言之朝向图像显示机构12侧而仅以变小的方式变化。更具体而言，在图17所示的例中，细导线60的宽度随着从顶端面67侧朝向基端面66侧、换言之朝向图像显示机构12侧而连续以变小的方式变化。如图17所示，在使顶端面67朝向观察者侧而将触摸板传感器30组装到显示装置10以及触摸板装置20中的情况下，由于被配置在比金属层61更靠观察者侧的黑化层62，能够使得金属层61更加难以观察到。由此，能够提高对比度，改善由图像显示机构12显示的图像的可见性。
此外，出于使金属层61因黑化层62而难以观察到、从而提高对比度这样的观点，电极40(细导线60)的宽度不需要随着从顶端面67侧朝向基端面66侧、换言之朝向图像显示机构12侧而仅变窄，此外，电极40(细导线60)的宽度不需要随着从顶端面67侧朝向基端面66侧、换言之朝向图像显示机构12侧而连续变窄。在导电性网格55的电极40(细导线60)的宽度首先随着从顶端面67朝向基端面66侧而仅以变小的方式变化、然后随着从顶端面67侧朝向基端面66而以变大的方式变化的情况下，即在仅在顶端面67的附近成为倒锥形状的情况下，也能够有效地使金属层61因黑化层62而难以观察到、从而提高对比度。此外，在导电性网格55的电极40(细导线60)的宽度首先随着从顶端面67朝向基端面66侧而仅以变大的方式变化、然后随着从顶端面67侧朝向基端面66而以变小的方式变化的情况下、即在仅在基端面66的附近成为倒锥形状的情况下，也能够有效地使金属层61因黑化层62而难以观察到、从而提高对比度。
此外，本发明的发明人反复进行深入实验，结果发现，顶端面67的宽度W2、基端面66的宽度W1以及从基端面66到顶端面67的厚度H优选满足下式。
在1≤H/((W2-W1)/2)≤2、
「H/((W2-W1)/2)」小于1时，锥形变细，电极40不再充分附着于基材35，根据触摸板传感器30的使用状况，电极40有可能从基材35剥离，进而在电极40中产生断线。另一方面，在“H/((W2-W1)/2)”超过2时，由侧面68处的反射引起的对比度的下降被辨认出。
此外，倒锥形状的电极40可通过以下方式制造：在参照图14说明的上述制造方法中，在金属膜81上形成由金属氧化物构成的黑化膜82，接下来，经由图案化后的抗蚀剂膜83对金属膜81以及黑化膜82进行蚀刻。通常，与由金属材料构成的金属膜81相比，由该金属材料的氧化物构成的黑化膜82难以被蚀刻侵蚀。因此，与黑化膜82相比，在金属膜81中，侧蚀对侧方的侵蚀进展更大。此外，在金属膜81内，与黑化膜82附近的区域相比，在远离黑化膜82的基材35附近的区域中，侧蚀对侧方的侵蚀更容易进展。因此，通过调节蚀刻时间，能够制造出图17所示的倒锥形状的电极40。
此处，图22示出了形成为倒锥形状的电极40的一例。图22示出了由反射型电子显微镜(SEM)观察到的电极的截面照片。此外，在图22所示的照片中，电极40的表面以及基材的表面的一部分进行了金蒸镀。为了便于进行使用透过型显微镜的截面观察，该金蒸镀层设置在作为样本的触摸板传感器10上，没有形成触摸板传感器10的构成要素。
此外，在上述实施方式中，说明了对于叠纹以及浓淡不均的不可视化非常有效地的导电性网格55的网格图案的一例，但导电性网格55的网格图案不限于上述例子。可以替代上述结构，适当将用于叠纹或浓淡不均的不可视化的已知的方法应用于导电性网格55。此外，例如，根据形成导电性网格55的细导线60的宽度或一个导电性网格55所占的面积，有时也难以观察到叠纹或浓淡不均。因此，导电性网格55的网格图案不限于上述例子，例如，也可以按正方格排列或蜂窝排列来排列细导线60。
此外，在上述实施方式中，示出了由连接导线51和导电性网格55构成检测电极50的例子，但是不限于此。例如，如图18所示，也可以由在细长状的区域中形成的单一的导电性网格55l构成各检测电极50。在图18所示的例子中，由在条状的区域中形成的多个导电性网格55形成检测电极50，而且，由与各导电性网格55连接的取出导线46形成取出电极45。
此外，在上述实施方式中，示出了由第1触摸板传感器31以及第2触摸板传感器32形成投影型的静电电容式的触摸板装置20的例子，但是不限于此。例如，也可以如图19所示的触摸板传感器30那样，在基材35上划分出的激活区域Aa1内二维排列的各区域中形成导电性网格55。
另一方面，在图19所示的例子中，各导电性网格55经由连接导线51与对应的取出导线46连接。此外，在图20所示的例子中，在基材35上划分出的激活区域Aa1的整个区域中，形成单一的导电性网格55。从导电性网格55的四角连接到取出导线46。即，图19所示的触摸板传感器30构成表面型的静电电容式触摸板。
此外，在以上记述中，说明了针对上述实施方式的几个变形例，当然，也可以适当组合多个变形例来应用。

Claims (22)

1.一种触摸板传感器，其中，
该触摸板传感器具有：
基材；以及
电极，其被设置在所述基材上，包含用于位置检测的检测电极和与所述检测电极连接的取出电极，
所述电极在任意的厚度方向截面中包含占据其至少一部分的金属层，
在所述检测电极与所述取出电极的连接部位处，所述检测电极的金属层以及所述取出电极的金属层形成为一体，
所述检测电极包含导电性网格，该导电性网格是按划分出多个开口区域的网格图案配置导线而成的，所述导电性网格的所述导线的高度为0.2μm以上且2μm以下，所述导电性网格的所述导线的宽度为1μm以上且5μm以下，
所述导电性网格的所述导线具有位于所述基材侧的基端面、与所述基端面相对地配置的平坦的顶端面以及连接所述基端面与所述顶端面之间的一对侧面，
所述导电性网格的所述导线的宽度在从所述顶端面到所述基端面之间，随着从所述顶端面至所述基端面而仅以变小的方式变化。
2.根据权利要求1所述的触摸板传感器，其中，
所述导电性网格的所述导线还包含黑化层，该黑化层被设置在所述金属层的与所述基材相反侧而形成所述顶端面。
3.根据权利要求1所述的触摸板传感器，其中，
所述导电性网格的所述导线还包含黑化层，该黑化层被设置在所述金属层的所述基材侧而形成所述基端面。
4.根据权利要求1所述的触摸板传感器，其中，
所述网格图案由多个边界线段形成，所述边界线段在两个分叉点之间延伸，划分出所述开口区域，
在所述网格图案中，从一个分叉点延伸的边界线段的数量的平均为3.0以上且小于4.0，而且，不存在所述开口区域按固定间距排列的方向。
5.根据权利要求4所述的触摸板传感器，其中，
连接于一个分叉点的边界线段的数量的所述平均大于3.0。
6.根据权利要求4所述的触摸板传感器，其中，
连接于一个分叉点的边界线段的数量的所述平均为3.0。
7.根据权利要求1所述的触摸板传感器，其中，
所述网格图案由多个边界线段形成，所述边界线段在两个分叉点之间延伸，划分出所述开口区域，
在所述网格图案中包含的所述开口区域中，周围被6条边界线段包围的开口区域最多。
8.根据权利要求7所述的触摸板传感器，其中，
连接于一个分叉点的边界线段的数量的平均大于3.0。
9.根据权利要求7所述的触摸板传感器，其中，
连接于一个分叉点的边界线段的数量的平均为3.0。
10.一种触摸板传感器，其中，
该触摸板传感器具有：
基材；以及
电极，其被设置在所述基材上，包含用于位置检测的检测电极和与所述检测电极连接的取出电极，
所述电极在任意的厚度方向截面中包含占据其至少一部分的金属层，
在所述检测电极与所述取出电极的连接部位处，所述检测电极的金属层以及所述取出电极的金属层形成为一体，
所述检测电极包含导电性网格，该导电性网格是按划分出多个开口区域的网格图案配置导线而成的，所述导电性网格的所述导线的高度为0.2μm以上且2μm以下，所述导电性网格的所述导线的宽度为1μm以上且5μm以下，
所述导电性网格的所述导线具有位于所述基材侧的基端面、与所述基端面相对地配置的平坦的顶端面以及连接所述基端面与所述顶端面之间的一对侧面，
所述导电性网格的所述导线的宽度随着从所述顶端面朝向所述基端面侧而仅以变小的方式变化，然后，随着从所述顶端面侧朝向所述基端面而仅以变大的方式变化。
11.根据权利要求10所述的触摸板传感器，其中，
所述导电性网格的所述导线还包含黑化层，该黑化层被设置在所述金属层的与所述基材相反侧而形成所述顶端面。
12.根据权利要求10所述的触摸板传感器，其中，
所述导电性网格的所述导线还包含黑化层，该黑化层被设置在所述金属层的所述基材侧而形成所述基端面。
13.根据权利要求10所述的触摸板传感器，其中，
所述网格图案由多个边界线段形成，所述边界线段在两个分叉点之间延伸，划分出所述开口区域，
在所述网格图案中，从一个分叉点延伸的边界线段的数量的平均为3.0以上且小于4.0，而且，不存在所述开口区域按固定间距排列的方向。
14.根据权利要求13所述的触摸板传感器，其中，
连接于一个分叉点的边界线段的数量的所述平均大于3.0。
15.根据权利要求13所述的触摸板传感器，其中，
连接于一个分叉点的边界线段的数量的所述平均为3.0。
16.根据权利要求10所述的触摸板传感器，其中，
所述网格图案由多个边界线段形成，所述边界线段在两个分叉点之间延伸，划分出所述开口区域，
在所述网格图案中包含的所述开口区域中，周围被6条边界线段包围的开口区域最多。
17.根据权利要求16所述的触摸板传感器，其中，
连接于一个分叉点的边界线段的数量的平均大于3.0。
18.根据权利要求16所述的触摸板传感器，其中，
连接于一个分叉点的边界线段的数量的平均为3.0。
19.一种触摸板装置，其中，
该触摸板装置包含权利要求1或10所述的触摸板传感器。
20.一种显示装置，其中，
该显示装置包含权利要求1或10所述的触摸板传感器。
21.一种触摸板传感器，其中，该触摸板传感器具有：
基材；以及
电极，其被设置在所述基材上，包含用于位置检测的检测电极和与所述检测电极连接的取出电极，
所述电极在任意的厚度方向截面中包含占据其至少一部分的金属层，
在所述检测电极与所述取出电极的连接部位处，所述检测电极的金属层以及所述取出电极的金属层形成为一体，
所述检测电极包含导电性网格，该导电性网格是按划分出多个开口区域的网格图案配置导线而成的，
所述导电性网格的所述导线具有位于所述基材侧的基端面、与所述基端面相对地配置的平坦的顶端面以及连接所述基端面与所述顶端面之间的一对侧面，
所述导电性网格的所述导线的宽度随着从所述顶端面朝向所述基端面侧而以变小的方式变化。
22.一种触摸板传感器，其中，该触摸板传感器具有：
基材；以及
电极，其被设置在所述基材上，包含用于位置检测的检测电极和与所述检测电极连接的取出电极，
所述电极在任意的厚度方向截面中包含占据其至少一部分的金属层，
在所述检测电极与所述取出电极的连接部位处，所述检测电极的金属层以及所述取出电极的金属层形成为一体，
所述检测电极包含导电性网格，该导电性网格是按划分出多个开口区域的网格图案配置导线而成的，
所述导电性网格的所述导线具有位于所述基材侧的基端面、与所述基端面相对地配置的平坦的顶端面以及连接所述基端面与所述顶端面之间的一对侧面，
所述导电性网格的所述导线的宽度在所述基端面处窄于所述顶端面处。
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