JP2011247768A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 一端部が支持され、第１可動電極を備えた第１可動梁が設けられている第１基板と、
   第１固定電極が設けられた第２基板と、を含み、
   前記第１基板と前記第２基板とは、前記第１固定電極と前記第１可動電極とが間隙を介して平面視で重なるように配置されていることを特徴とする素子構造体。
2. 請求項１に記載の素子構造体であって、
   前記第１基板は、第１支持層と前記第１可動梁との間に第１絶縁層が設けられ、
   前記第２基板は、第２支持層と前記第１固定電極との間に第２絶縁層が設けられていることを特徴とする素子構造体。
3. 請求項１または２に記載の素子構造体であって、
   前記第１基板には、第２固定電極が設けられ、
   前記第２基板には、一端部が支持され、第２可動電極を備えた第２可動梁が設けられ、
   前記第２固定電極と前記第２可動電極とは、間隙を介して平面視で重なっていることを特徴とする素子構造体。
4. 請求項３に記載の素子構造体であって、
   前記第１基板は、平面視で、前記第１基板の中心を通る第１軸と、前記中心で前記第１軸に直交する第２軸と、によって第１〜第４の領域に区画され、
   前記中心に対し互いに点対称な位置にある第１の領域および第２の領域に前記第１可動電極が配置され、
   前記中心に対し互いに点対称な位置にある前記第３の領域および前記第４の領域に前記第２固定電極が配置され、
   前記２基板は、平面視で、前記第１の領域に平面視で重なる第５の領域と、前記第２の領域に平面視で重なる第６の領域と、前記第３の領域に平面視で重なる第７の領域と、前記第４の領域に平面視で重なる第８の領域に区画され、
   前記第５の領域および前記第６の領域に前記第１固定電極が配置され、
   前記第７の領域および前記第８の領域に前記第２可動電極が配置されていることを特徴とする素子構造体。
5. 請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の素子構造体であって、
   前記第１基板と前記第２基板とは、スペーサー部材を介して互いに接続されていることを特徴とする素子構造体。
6. 請求項５に記載の素子構造体であって、
   前記スペーサー部材は枠状であり、
   前記第１基板、前記第２基板、および前記スペーサー部材により封止体が構成されていることを特徴とする素子構造体。
7. 請求項５に記載の素子構造体であって、
   前記スペーサー部材は柱状であり、
   前記第１基板と前記第２基板とが平面視で重なっている領域の中央付近に設けられていることを特徴とする素子構造体。
8. 請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の素子構造体を含むことを特徴とする慣性センサー。
9. 請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の素子構造体を含むことを特徴とする電子機器。