JP2014146772A5 - - Google Patents

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上記課題を解決する本発明の態様は、ペロブスカイト構造を有してＡサイトがＢｉを含みＢサイトがＦｅ及びＴｉを含む（１００）面に自己配向する配向制御層と、該配向制御層上に設けられて（１００）面に優先配向したペロブスカイト構造の圧電材料からなる圧電体層と、該配向制御層と該圧電体層とを挟むように設けられた第１電極と第２電極とを具備することを特徴とする圧電素子にある。
かかる態様によると、ペロブスカイト構造を有してＡサイトがＢｉを含みＢサイトがＦｅ及びＴｉを含む（１００）面に自己配向する配向制御層を設けることにより、その下地の影響を受けることなく、（１００）面に自己配向し、その上の圧電体層を（１００）面に優先配向することができ、下地の異なる境界領域での配向の乱れ等が防止され、変位特性、耐久性が向上した圧電素子が実現される。
また、本発明の他の態様は、上記態様の圧電素子を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様によれば、変位特性、耐久性の向上した圧電素子を具備する液体噴射ヘッドが実現される。
また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様によれば、圧電素子の変位特性、耐久性の向上した液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置が実現される。

Claims (5)

  1. ペロブスカイト構造を有してＡサイトがＢｉを含みＢサイトがＦｅ及びＴｉを含む（１００）面に自己配向する配向制御層と、該配向制御層上に設けられて（１００）面に優先配向したペロブスカイト構造の圧電材料からなる圧電体層と、該配向制御層と該圧電体層とを挟むように設けられた第１電極と第２電極とを具備することを特徴とする圧電素子。
  2. 前記配向制御層の厚さが２０ｎｍ以上、８０ｎｍ以下の範囲にあることを特徴とする請求項１記載の圧電素子。
  3. 請求項１又は２に記載の圧電素子を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
  4. 請求項３に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
  5. 請求項１又は２に記載の圧電素子を具備することを特徴とするセンサー。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6318682B2 (ja) 2014-02-19 2018-05-09 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター、及び液体噴射ヘッド
JP6519735B2 (ja) 2014-03-24 2019-05-29 セイコーエプソン株式会社 圧電素子及び圧電素子応用デバイス
JP6299338B2 (ja) 2014-03-31 2018-03-28 セイコーエプソン株式会社 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びセンサー
JP6610856B2 (ja) * 2015-03-20 2019-11-27 セイコーエプソン株式会社 圧電素子及び圧電素子応用デバイス並びに圧電素子の製造方法
DE102015206175A1 (de) * 2015-04-07 2016-10-13 Globalfoundries Inc. Halbleiterbauelement mit Dünnschicht-Widerstand
JP6606866B2 (ja) * 2015-05-29 2019-11-20 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
JP6721856B2 (ja) * 2015-08-07 2020-07-15 セイコーエプソン株式会社 圧電素子の製造方法
US10059103B2 (en) * 2016-05-27 2018-08-28 Sii Printek Inc. Liquid jet head and liquid jet apparatus
JP7014513B2 (ja) * 2016-05-27 2022-02-01 エスアイアイ・プリンテック株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP6790749B2 (ja) * 2016-11-16 2020-11-25 セイコーエプソン株式会社 圧電素子及び圧電素子応用デバイス

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3745950B2 (ja) * 2000-09-08 2006-02-15 セイコーエプソン株式会社 酸化ジルコニウム膜とｐｚｔ膜との積層体及びこれを備えた半導体装置
JP2004066600A (ja) * 2002-08-05 2004-03-04 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2005302933A (ja) * 2004-04-09 2005-10-27 Seiko Epson Corp 圧電素子、圧電アクチュエーター、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、及び電子機器
JP2005340428A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Seiko Epson Corp 圧電体素子及びその製造方法
JP4984018B2 (ja) * 2005-03-30 2012-07-25 セイコーエプソン株式会社 圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置
JP4091641B2 (ja) * 2006-04-07 2008-05-28 富士フイルム株式会社 圧電素子とその製造方法、及びインクジェット式記録ヘッド
JP2007287745A (ja) 2006-04-12 2007-11-01 Seiko Epson Corp 圧電材料および圧電素子
JP5472596B2 (ja) 2009-08-27 2014-04-16 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及びそれを用いた液体噴射装置
JP5375688B2 (ja) * 2010-03-16 2013-12-25 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド、圧電素子および圧電アクチュエーター
JP5429492B2 (ja) * 2010-06-22 2014-02-26 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及びアクチュエーター装置
JP2012011615A (ja) * 2010-06-30 2012-01-19 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置
JP5776890B2 (ja) * 2010-11-16 2015-09-09 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子
EP2463925B1 (en) * 2010-12-10 2016-11-23 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, piezoelectric element, and piezoelectric ceramic

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