JP2012247372A5 - - Google Patents
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- 一つ以上の電極を有する導電体パターンが設けられたベースフィルムと、
該導電体パターンの電極を覆うようにベースフィルムに積層されるカバーフィルムと、
該カバーフィルムとベースフィルム間に設けられ、前記電極とカバーフィルムの間に所定の隙間を有する中空部を構成するスペーサと、を備え、
前記カバーフィルムの前記中空部に対応する部分は、圧力に応じて前記電極に接離する方向に変形可能で、前記電極との接触圧に応じて接触抵抗が変化する感圧部を有し、接触抵抗の変化によって圧力を検出する構成となっており、前記中空部は外気開放であることを特徴とする圧力センサ。
- 前記電極と前記スペーサの間にカバーフィルムと非接着の土手が設けられている請求項1に記載の圧力センサ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011121090A JP2012247372A (ja) | 2011-05-30 | 2011-05-30 | 圧力センサ及びその製造方法並びに圧力検出モジュール |
US14/123,126 US9423309B2 (en) | 2011-05-30 | 2012-04-20 | Pressure sensor, method for manufacture thereof, and pressure detection module |
PCT/JP2012/060738 WO2012165082A1 (ja) | 2011-05-30 | 2012-04-20 | 圧力センサ及びその製造方法並びに圧力検出モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011121090A JP2012247372A (ja) | 2011-05-30 | 2011-05-30 | 圧力センサ及びその製造方法並びに圧力検出モジュール |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015078036A Division JP2015145881A (ja) | 2015-04-06 | 2015-04-06 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012247372A JP2012247372A (ja) | 2012-12-13 |
JP2012247372A5 true JP2012247372A5 (ja) | 2014-07-31 |
Family
ID=47258946
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011121090A Pending JP2012247372A (ja) | 2011-05-30 | 2011-05-30 | 圧力センサ及びその製造方法並びに圧力検出モジュール |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9423309B2 (ja) |
JP (1) | JP2012247372A (ja) |
WO (1) | WO2012165082A1 (ja) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012055029A1 (en) | 2010-10-29 | 2012-05-03 | Orpyx Medical Technologies Inc. | Peripheral sensory and supersensory replacement system |
JP2012247372A (ja) | 2011-05-30 | 2012-12-13 | Nippon Mektron Ltd | 圧力センサ及びその製造方法並びに圧力検出モジュール |
US9778131B2 (en) | 2013-05-21 | 2017-10-03 | Orpyx Medical Technologies Inc. | Pressure data acquisition assembly |
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KR20150102309A (ko) * | 2014-02-28 | 2015-09-07 | 주식회사 코아로직 | 터치 패널용 압력 센서 |
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KR20160008359A (ko) * | 2014-07-14 | 2016-01-22 | 주식회사 코아로직 | 터치 패널용 압력 센서 |
JP6233236B2 (ja) * | 2014-08-08 | 2017-11-22 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP6539204B2 (ja) | 2014-12-24 | 2019-07-03 | 日本メクトロン株式会社 | 感圧素子および圧力センサ |
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US9574955B2 (en) | 2015-01-14 | 2017-02-21 | Nippon Mektron, Ltd. | Pressure sensing element having an insulating layer with an increased height from the substrate towards the opening |
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JP6530687B2 (ja) | 2015-09-24 | 2019-06-12 | 日本メクトロン株式会社 | 感圧素子および圧力センサ |
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JP6297613B2 (ja) | 2016-03-22 | 2018-03-20 | Nissha株式会社 | 感圧センサ |
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-
2011
- 2011-05-30 JP JP2011121090A patent/JP2012247372A/ja active Pending
-
2012
- 2012-04-20 WO PCT/JP2012/060738 patent/WO2012165082A1/ja active Application Filing
- 2012-04-20 US US14/123,126 patent/US9423309B2/en not_active Expired - Fee Related
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