JP2006112842A - 面圧分布センサ - Google Patents

Abstract

【課題】 特に内部圧力の変化を小さくし、測定の感度を従来よりも向上させることが可能な面圧分布センサを提供することを目的としている。
【解決手段】 測定部Ｅの側方に、流体溜り部３０を設け、前記流体溜り部３０の内部空間Ｇと前記測定部Ｅの内部空間Ｈとを繋いでいる。したがって測定面Ｉ上を押圧し、前記測定部Ｅの内部空間Ｈが潰されたとき、流体は前記流体溜り部３０の方へも逃げることが可能になるため前記測定部Ｅの内部空間Ｈの圧力上昇は従来に比べて小さくなり、従来に比べて前記測定部Ｅの上部基板２３に対する押し上げ力は弱まる。この結果、測定感度を従来に比べて向上させることが出来る。
【選択図】 図３

Description

本発明は、例えば指紋等の被測定物の微細な凹凸を測定する面圧分布センサに係わり、特に測定の感度を従来よりも向上させることが可能な面圧分布センサに関する。

指紋センサには、種々の方式があり、感圧式、光学式、半導体式（指紋と電極間に溜まる電荷量の変化に基づき指紋の画像を測定する）等がある。このうち、光学式や半導体式では、指の乾湿具合などによって適切に指紋画像を検出できない可能性があるのに対し、感圧式では、指の乾湿の影響を受けにくく、過酷な条件下でも適切に指紋画像を検出できるとして期待されている。

図７は、従来における感圧式指紋センサの部分断面図である。感圧式指紋センサは特許文献１（特開平１１−１５５８３７号公報）にも開示されている。

図７に示す符号１は下部基板であり、前記下部基板１上には図示Ｙ方向（長さ方向）に延びる複数の下部導体２が図示Ｘ方向（幅方向）に並列に設けられている。前記下部導体２上には絶縁層９が設けられている。前記下部基板１上には所定距離離れて可撓性の上部基板３が設けられている。前記上部基板３の下面には各下部導体２に対して直交方向（図示Ｘ方向）に延びる複数の上部導体４が図示Ｙ方向へ並列に設けられている。

図７に示すように前記下部基板１と上部基板３間にはスペーサ層５が設けられている。前記上部基板３上には測定部６を画定するための枠体７が設けられており、前記枠体７内に前記上部基板３の上面が露出している。

図７に示すように、指Ｆを前記測定部６の上部基板３上に当接し、前記上部基板３を符号Ａの方向（図示Ｚ方向と逆方向）へ押圧する。前記上部基板３は可撓性の材質であるため容易に下方向へ撓む。

前記上部基板３は指Ｆの指紋の凹凸８の形状に倣って撓み変形することで、多数の前記下部導体２と上部導体４との交差部での離間距離が変化し、前記離間距離に応じて変化する静電容量を検出することによって、指Ｆの指紋の凹凸８の形状を指紋データとして出力することが出来る。
特開平１１−１５５８３７号公報

しかし図７に示す従来の感圧式指紋センサの構造では次のような問題点があった。
前記測定部６に設けられた下部基板１と上部基板３間の内部空間Ｂは、前記スペーサ層５によってその周囲が仕切られ、例えば図７に示すように前記スペーサ層５の側壁５ａと前記枠体７との側壁７ａは図示Ｚ方向にてほぼ同じ位置に設けられている。

そして図７のように指Ｆを前記測定部６内の上部基板３上に当接し前記上部基板３を符号Ａ方向へ押圧すると、前記内部空間Ｂの圧力は上昇する。

このとき前記内部空間Ｂ内に存在する空気は、符号Ｃ，Ｄに示すように側方へ逃げて、可撓性の上部基板３を上方へ押し上げる。この結果、前記指Ｆの側方Ｆ１，Ｆ２の指紋を適切に検知できなくなるといった問題が発生した。

特許文献１には感圧式指紋センサの構造が開示されているものの、上記した内部圧力変化の問題点及びその解決策について何ら言及していない。

そこで本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、特に内部圧力の変化を小さくし、測定の感度を従来よりも向上させることが可能な面圧分布センサを提供することを目的としている。

本発明は、下部基板と、前記下部基板の上面に並列に並べられた複数の下部導体と、前記下部基板上に所定の間隔を有して設けられた可撓性の上部基板と、前記上部基板の下面に前記下部導体と直交する方向へ並列に並べられた複数の上部導体と、を有し、
測定部は、前記上部導体と下部導体とが膜厚方向にて対向し内部が空間となっている領域に設けられ、前記測定部にて、前記上部基板上の測定面が押圧されることで変化する静電容量に基づいて面圧の分布を検出する面圧分布センサにおいて、
前記測定部の側方に、内部が空間となっている流体溜り部が設けられ、前記流体溜り部の内部空間と、前記測定部の内部空間とが繋がっていることを特徴とするものである。

本発明では上記のように測定部の側方に、流体溜り部を設け、前記流体溜り部の内部空間と前記測定部の内部空間とを繋いでいる。したがって前記測定面上を押圧し、前記測定部の内部空間が潰されたとき、流体は前記流体溜り部の方へも逃げることが可能になるため前記測定部の内部空間の圧力上昇は従来に比べて小さくなり、従来に比べて前記測定部の上部基板に対する押し上げ力は弱まる。この結果、測定感度を従来に比べて向上させることが出来る。

また本発明では、前記下部基板と上部基板との間にはスペーサ層が設けられ、前記スペーサ層は前記測定部の内部空間の側壁を規制するとともに、流体溜り部の内部空間の側壁、及び前記測定部と前記流体溜り部との内部空間を繋ぐ空洞連結部の壁面を規制することが好ましい。これにより簡単な構造で前記流体溜り部及び空洞連結部を形成できる。

また本発明では、前記流体溜り部の上面側あるいは下面側の少なくとも一方には、可塑性部材が設けられ、前記流体溜り部は、前記可塑性部材が設けられた側の面を押圧し前記流体溜り部の内部空間を凹ませて、人為的に前記測定部の内部空間の圧力を調整できる圧力調整機能を兼ね備えることが好ましい。

前記測定部の内部空間に繋がる流体溜り部を設けたことによりトータルした内部空間が広くなりすぎると、前記測定面上を押圧しても、前記測定部の内部空間の内部圧力が低くすぎ、前記上部基板が、例えば指の指紋の凹凸に倣って撓み変形しにくくなる可能性がある。かかる場合、適切に指紋の凹凸を検出できない。このように前記測定部の内部空間の内部圧力は押圧したときに低くすぎる状態であっても好ましくなく、本発明ではこのような問題を解決するため前記流体溜り部に圧力調整機能を持たせたのである。すなわち前記流体溜り部の上面あるいは下面に可塑性部材を設け、その可塑性部材が設けられた面を所定量だけ押圧し、前記流体溜り部の内部空間を凹ませる。これにより前記測定部の内部空間の圧力を高くでき、前記圧力を人為的に適切に調整することが出来る。前記可塑性部材は変形したあとは元に戻りにくいため、前記測定面上を押圧することで、流体が前記流体溜り部の内部空間内に導かれても、このとき前記流体溜り部は凹んだ状態のまま元に戻り難く、前記測定部の内部空間の圧力を測定時において、適度な圧力に維持しておくことが可能である。このように前記流体溜り部に圧力調整機能を持たせることで、前記測定部の内部空間の圧力を適切に人為的に調整でき測定感度を高めることが出来る。

また本発明では、前記流体溜り部は複数設けられ、そのうち少なくとも１つが前記圧力調整機能を兼ね備えることが好ましい。このように前記流体溜り部を複数用意しておき、そのうちの少なくとも一つに圧力調整機能を持たせ、主として他の流体溜り部に、測定面上を押圧したときに流体が逃げ込む空間として機能させれば、より測定感度に優れた面圧分布センサとすることが出来る。

なお本発明では、前記内部空間は空気層であることが好ましい。空気は圧縮性があるため、前記測定面上を押圧したときに前記測定部の内部空間の空気層は流体溜り部内へ圧縮されて逃げ込め、前記測定部の内部空間の圧力上昇を小さくできる。よって前記内部空間が空気層であると、前記流体溜り部を設けたことによる測定感度の向上を適切に図ることが出来る。

本発明では測定部の側方に、流体溜り部を設け、前記流体溜り部の内部空間と前記測定部の内部空間とを繋いでいる。したがって測定面上を押圧し、前記測定部の内部空間が潰されたとき、流体は前記流体溜り部の方へも逃げることが可能になるため前記測定部の内部空間の圧力上昇は従来に比べて小さくなり、従来に比べて前記測定部の上部基板に対する押し上げ力は弱まる。この結果、測定感度を従来に比べて向上させることが出来る。

図１は、本発明の第１の実施形態の感圧式指紋センサの部分平面図、図２は図１に示す指紋センサをＩＩ−ＩＩ線から切断し矢印方向から見た部分断面図、図３は、図２に示す部分断面図を拡大したものであり、指紋測定時の状態を示す部分拡大断面図、図４は、図５に示す本発明のより好ましい実施形態を説明するための前提となる問題点を説明するための部分拡大断面図、図５は、図３に示す指紋センサに設けられた圧力調整機能を説明するための部分拡大断面図、図６は本発明における第２実施形態の感圧式指紋センサの部分平面図、である。

図１に示す指紋センサ２０は、図２に示すように、下部基板２１と、前記下部基板２１の上面２１ａに幅方向（図示Ｘ方向）に多数並列に並べられた下部導体２２と、上部基板２３と、前記上部基板２３の下面２３ｂに前記下部導体２２と直交する方向の長さ方向（図示Ｙ方向）に並列に並べられた多数の上部導体２４と、前記下部基板２１と上部基板２３間に介在するスペーサ層２５とを有して構成される。

前記下部基板２１は例えばガラス基板であるが、前記上部基板２３と一体に形成することもでき、係る場合、前記下部基板２１は可撓性の樹脂フィルム等で形成される。

前記上部基板２３は可撓性フィルムで形成される。例えば前記上部基板２３はＰＥＴ樹脂フィルムやポリイミド樹脂フィルム，ポリエステルフィルム等で形成される。前記上部基板２３は厚みが１〜３０μｍ程度である。

前記下部導体２２，上部導体２４は、それぞれ前記下部基板２１の上面２１ａ及び上部基板２３の下面２３ｂにスクリーン印刷等で形成されたものである。前記下部導体２２及び上部導体２４は共に例えば５０μｍピッチで２００本程度形成される。

前記スペーサ層２５は、レジストや接着剤等の有機絶縁物で形成される。前記スペーサ層２５は、２５μｍ程度の膜厚で形成される。

図２に示すように前記下部導体２２上は絶縁層２６で覆われている。前記絶縁層２６は、前記上部導体２４表面を覆って形成されていてもよいし、少なくとも前記下部導体２２と上部導体２４のうちどちらか一方の表面に形成されていればよい。前記絶縁層２６は例えばＳｉ_３Ｎ_４などで形成される。

図１，図２に示すように測定部Ｅは、前記上部導体２４と下部導体２２とが膜厚方向（図示Ｚ方向）にて対向し前記上部基板２３と下部基板２１とが所定距離離されたことによって内部が空間（以下、内部空間Ｈと呼ぶ）となっている領域に設けられる。前記上部基板２３上には、測定部Ｅの測定面Ｉを画定するための枠体２７が設けられている。前記枠体２７から露出する前記上部基板２３の上面２３ａが測定面Ｉであり、前記測定面Ｉは略四角形状で形成されている。

図１，図２に示すように、前記測定部Ｅの左側方には、前記測定部Ｅから所定距離離れた位置に流体溜り部３０が設けられている。図２に示すように前記流体溜り部３０の内部は、その上下が下部基板２１と上部基板２３とに挟まれた空間であり、図１，図２に示すように前記流体溜り部３０に形成された内部空間Ｇと、測定部Ｈの内部空間Ｈとが、上下が上部基板２３と下部基板２１とに挟まれた空洞連結部３１によって繋がっている。

前記流体溜り部３０での下部基板２１はその上面がやや凹んでおり、前記上部基板２３が上方にやや膨らんでおり、前記内部空間Ｇの高さ方向（図示Ｚ方向）への寸法が前記測定部Ｅの内部空間Ｈの高さ方向への寸法よりも大きくなっている。前記内部空間Ｇ，Ｈ及び空洞連結部３１内は空気層である。

図２に示すように前記枠体２７は流体溜り部３０を構成する上部基板２３上には設けられていない。すなわち前記枠体２７は前記測定部Ｅの測定面Ｉとなる上部基板２３の上面２３ａおよび、流体溜り部３０を構成する上部基板２３の上面２３ａ以外の上部基板２３上に設けられている。そして図１，図２に示すように縦長形状に画定された流体溜り部３０を構成する上部基板２３の上面２３ａには、可塑性部材３２が設けられている。

前記可塑性部材３２は、例えばステンレス等の可塑性を有する金属で形成される。可塑性部材３２は、押圧すると変形し、押圧力を除去しても元の形に戻らない性質を示すものである。

上記したスペーサ層２５は、図１に示すように点線で囲まれた斜線領域に設けられる。前記スペーサ層２５は図１，図２に示すように、前記測定部Ｅの内部空間Ｈの側壁Ｈａ，流体溜り部３０の内部空間Ｇの側壁３０ａ及び前記空洞連結部３１の側壁３１ａを規制している。図１に示すように前記空洞連結部３１の側壁３１ａ間の寸法は、前記側壁３１ａ間と同じ方向で見たときの前記流体溜り部３０及び測定部Ｅの側壁間の寸法よりも小さくなっている。

図１，図２に示すように、前記測定部Ｅにて、前記測定部Ｅの測定面Ｉの輪郭を画定する枠体２７の側壁２７ａと前記内部空間Ｈの側壁Ｈａとが膜厚方向（図示Ｚ方向）にて一致していない。図１，図２に示すように前記内部空間Ｈの側壁Ｈａは前記枠体２７の下に潜り込み、前記内部空間Ｈの面積のほうが前記測定面Ｉの面積よりも大きくなっている。前記内部空間Ｈの側壁Ｈａと前記枠体２７の側壁２７ａ間の幅Ｔは１ｍｍ〜５ｍｍ程度である。

図３に示すように、指Ｆを前記操作面Ｉ上に当接し可撓性の上部基板２３を図示下方向へ押圧すると、前記上部基板２３及び上部導体２４が撓む。このとき前記上部基板２３及び上部導体２４は前記指Ｆの指紋の凹凸形状Ｆａに倣って撓み変形する。このように指紋の凹凸形状Ｆａに倣って前記上部基板２３及び上部導体２４が撓むことで多数ある上部導体２４と下部導体２２との交差部の離間距離が各交差部において一律でなく異なる値を示し、前記離間距離に応じた静電容量の変化を図示しない容量検出部で検出することで、指紋の凹凸形状Ｆａを信号データとして出力することが出来る。

本発明では図１ないし図３に示すように前記測定部Ｅの側方には内部が空間Ｇとなっている流体溜り部３０が設けられ、前記測定部Ｅと流体溜り部３０とは空洞連結部３１によって連結されている。これにより内部空間は広がり、指Ｆを操作面Ｉ上で押圧したときに、前記測定部Ｅの内部空間Ｈに存在する空気は矢印Ｊに示すように前記流体溜り部３０の内部空間Ｇへも逃げるため、前記測定部Ｅの内部空間Ｈ内の圧力の上昇は従来よりも小さくなり、図３に示すように内部圧力の上昇による前記測定部Ｅでの上部基板２３を上方へ押し上げる矢印Ｋ方向への空気流は減少する。この結果、指Ｆを前記操作面Ｉ上で押圧したときに前記指Ｆと当接する上部基板２３全体が適切に指紋の凹凸形状Ｆａに倣って下方向へ押し下げられるので、指紋の凹凸形状Ｆａを従来に比べて広範にわたって読み取ることが可能になる。したがって本発明では、測定感度を従来に比べて向上させることが出来る。

ところで前記流体溜り部３０には前記測定部Ｅの内部圧力を人為的に調整できる機能も兼ね備えている。

前記測定部Ｅの内部空間Ｈに繋がる流体溜り部３０の内部空間Ｇを設けたことによりトータルした内部空間が広くなりすぎると、前記測定面Ｉ上を押圧しても、前記測定部Ｅの内部空間Ｈの内部圧力が低くすぎる状態の場合がある。図４にそのような場合の問題点を指摘するが、前記指Ｆを前記測定面Ｉ上で押圧し前記上部基板２３及び上部導体２４を下方へ撓ませたとき、前記内部空間Ｈでの内部圧力が低すぎると前記指Ｆの指紋の凹凸形状Ｆａに倣って前記上部基板２３及び上部導体２４が撓み変形しにくくなり、この結果、適切に指紋の凹凸形状Ｆａを検出できない可能性がある。したがって前記測定部Ｅの内部空間Ｈの内部圧力は押圧したときに低すぎる状態であっても好ましくない。

そこで本発明では図１，図２で説明したように前記流体溜り部３０を構成する上部基板２３の上面２３ａに可塑性部材３２を設け、前記可塑性部材３２上を押圧して前記測定部Ｅの内部空間Ｈの内部圧力を人為的に調整できるようにしている。

図５に示すように、前記流体溜り部３０の上面を下方向に指などで押圧する。これにより前記可塑性部材３２は下方向へ凹み、前記流体溜り部３０の内部空間Ｇ内に存在していた空気が矢印Ｌのように前記測定部Ｅの内部空間Ｈへ導かれる。これにより前記測定部Ｅでの上部基板２３及び上部導体２４がやや上方へ押し上げられる。前記測定部Ｅでは前記流体溜り部３０から空気が流入したことで内部圧力が上昇する。

図５のように前記測定部Ｅの内部空間Ｈでの圧力を図２の状態のときよりも高い状態にして前記測定面Ｉ上を指Ｆで押圧すると、図３と同様に前記測定部Ｅの内部空間Ｈにある一部の空気は矢印Ｊのように前記流体溜り部３０の内部空間Ｇへ逃げる。このため前記流体溜り部３０の内部空間Ｇの圧力は上昇するが、可塑性部材３２は前記圧力によって元の状態にまで押し戻されることはない。なおこのとき前記可塑性部材３２は若干押し戻されてもよい。このように測定部Ｅの内部空間Ｈの一部の空気は前記流体溜り部３０の内部空間Ｇへ逃げるので、前記測定部Ｅの内部空間Ｈの圧力上昇は、図５の初期状態に比べてさほど高くならず、それでいて適度な内部圧力を有しているため指Ｆの指紋の凹凸形状Ｆａに倣って前記上部基板２３及び上部導体２４が適切に撓み変形しやすく前記指紋の凹凸形状Ｆａをより明確な画像として写し出すことが出来る。

ところで前記測定部Ｅの内部空間Ｈ，前記流体溜り部３０の内部空間Ｇ及び空洞連結部３１内は、空気層であることが好ましいが、液体であることを否定するものではない。

空気は圧縮性があるため、図３のように前記測定面Ｉ上を指Ｆで下方向へ押圧すると前記測定部Ｅの内部空間Ｈにある空気は流体溜り部３０の内部空間Ｇへ圧縮されながら移動することが出来るので内部空間を広げたことによる測定感度の向上という作用効果は前記内部空間が空気層であると適切に発揮される。ただし前記内部空間が液体であっても、特に前記流体溜り部３０の上面に可塑性部材３２を設けず、可撓性の上部基板２３を前記流体溜り部３０の上面に露出させておけば、測定面Ｉ上を指Ｆで押圧したときに液体が前記流体溜り部３０の上部基板２３を上方へ押圧して撓せることができるので、この結果、前記内部空間Ｈにある液体が前記内部空間Ｇに流れ込み、前記測定部Ｅの内部空間Ｈでの圧力の上昇を抑制することが可能になる。

図６は本発明における第２実施形態の指紋センサの部分平面図であり、図６に示すように前記指紋センサには、測定部Ｅと、４つの流体溜り部４０，４１，４２，４３が設けられている。前記流体溜り部４０〜４３は全て前記測定部Ｅに空洞連結部４４により繋がっている。前記測定部Ｅの図示右側にある３つの小さい流体溜り部４０，４１，４２は、その上面に可塑性部材３２が設けられており、図１に示す流体溜り部３０と同様に前記測定部Ｅの内部空間Ｈの圧力を人為的に調整できる機能を有する。図６に示す実施形態では、前記測定部Ｅの内部空間Ｈの内部圧力が所定値よりも低いとき、例えば、内部圧力が所定値に比べてかなり低い場合には、流体溜り部４０，４１，４２を３つ全て押圧し、内部圧力が所定値よりも若干低い場合には流体溜り部４０を一つだけ押圧するなど、所定値までに必要な内部圧力の大きさに応じて流体溜り部４０，４１，４２を押す数を決定できる。このため図６ではきめ細かく前記測定部Ｅの内部空間Ｈの圧力を調整できる。図６では前記測定部Ｅの左側にある流体溜り部４３は、その上面に前記可塑性部材３２が設けられておらず、前記測定部Ｅの内部空間Ｈの圧力を人為的に調整できる機能を持っていない。例えば図６のように個別に小さい圧力調整機能を兼ね備えた流体溜り部４０〜４２を、全て圧力調整のために押圧して各流体溜り部４０〜４２の内部空間をさらに小さくすると前記流体溜り部４０〜４２には前記測定面Ｉ上を指Ｆで押圧したときに前記測定部Ｅの内部空間Ｈの空気が逃げ込みにくく、前記内部空間Ｈの圧力上昇を抑制するスペースとしての機能は低下する。そのため主に、前記測定面Ｉ上を指Ｆで押圧したときに前記測定部Ｅの内部空間Ｈの空気が逃げ込み、前記内部空間Ｈの圧力上昇を抑制するスペースとして前記流体溜り部４３を設けておくことで、人為的な圧力調整と、前記内部空間Ｈの圧力上昇の抑制効果との双方をバランス良く調整することが可能になる。

図１ないし図６に示す実施形態では、下部基板２１と上部基板２３とが別個に形成されたものであるが、前記下部基板２１と上部基板２３とが一体に形成され、折り曲げられて図２のように上部基板２３と下部基板２１とが対向させられる形態であってもよい。かかる場合、前記下部基板２１も前記上部基板２３と同様に可撓性のフィルムで形成されるので、操作面Ｉが形成されない前記下部基板２１の下面側には補強板が設けられ、前記操作面Ｉ上を押圧したときに同時に前記下部基板２１も撓み変形しないようにすることが好ましい。またかかる場合、前記下部基板２１は可撓性であるので、前記流体溜り部３０を構成する下部基板２１の下面に前記可塑性部材３２を設け、前記流体溜り部３０を下面側から凹ませることが出来るようにしてもよい。このとき、上記補強板を例えばステンレス板などで形成し、このステンレス板の一部を塑性加工して可塑性部材３２を形成するようにしてもよい。前記流体溜り部３０の上面及び下面のうち少なくともどちらか一方に前記可塑性部材３２が設けられていればよい。

なお図２に示す前記内部空間Ｈの幅寸法Ｔで規制される空間を前記流体溜り部として機能させることも出来る。

図１ないし図６は指紋センサであり、例えば携帯電話の持ち主認証システムなどに適用することが出来る。また本発明では図１ないし図６に示す面圧分布センサを指紋センサ以外の用途としても使用できる。例えば印鑑の陰影を取り込むためのセンサなどであり、かかるセンサを各種認証や実印の登録時等に利用することが出来る。

本発明の第１の実施形態の感圧式指紋センサの部分平面図、 図１に示す指紋センサをＩＩ−ＩＩ線から切断し矢印方向から見た部分断面図、 図２に示す部分断面図を拡大したものであり、指紋測定時の状態を示す部分拡大断面図、 図５に示す本発明のより好ましい実施形態を説明するための前提となる問題点を説明するための部分拡大断面図、 図３に示す指紋センサに設けられた圧力調整機能を説明するための部分拡大断面図、 本発明における第２実施形態の感圧式指紋センサの部分平面図、 従来における感圧式指紋センサの部分断面図、

符号の説明

２１ 下部基板
２２ 下部導体
２３ 上部基板
２４ 上部導体
２５ スペーサ層
２６ 絶縁層
２７ 枠体
３０、４０、４１、４２、４３ 流体溜り部
３１、４４ 空洞連結部
３２ 可塑性部材
Ｅ 測定部
Ｆ 指
Ｇ、Ｈ 内部空間
Ｉ 測定面

Claims (5)

1. 下部基板と、前記下部基板の上面に並列に並べられた複数の下部導体と、前記下部基板上に所定の間隔を有して設けられた可撓性の上部基板と、前記上部基板の下面に前記下部導体と直交する方向へ並列に並べられた複数の上部導体と、を有し、
   測定部は、前記上部導体と下部導体とが膜厚方向にて対向し内部が空間となっている領域に設けられ、前記測定部にて、前記上部基板上の測定面が押圧されることで変化する静電容量に基づいて面圧の分布を検出する面圧分布センサにおいて、
   前記測定部の側方に、内部が空間となっている流体溜り部が設けられ、前記流体溜り部の内部空間と、前記測定部の内部空間とが繋がっていることを特徴とする面圧分布センサ。
2. 前記下部基板と上部基板との間にはスペーサ層が設けられ、前記スペーサ層は前記測定部の内部空間の側壁を規制するとともに、流体溜り部の内部空間の側壁、及び前記測定部と前記流体溜り部との内部空間を繋ぐ空洞連結部の壁面を規制する請求項１記載の面圧分布センサ。
3. 前記流体溜り部の上面側あるいは下面側の少なくとも一方には、可塑性部材が設けられ、前記流体溜り部は、前記可塑性部材が設けられた側の面を押圧し前記流体溜り部の内部空間を凹ませて、人為的に前記測定部の内部空間の圧力を調整できる圧力調整機能を兼ね備える請求項１記載の面圧分布センサ。
4. 前記流体溜り部は複数設けられ、そのうち少なくとも１つが前記圧力調整機能を兼ね備える請求項３記載の面圧分布センサ。
5. 前記内部空間は空気層である請求項１ないし４のいずれかに記載の面圧分布センサ。

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