JP2016529732A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 基板と、
   前記基板上に配置されたスパイラルインダクタであって、第１の導電性スパイラル及び第２の導電性スパイラルを含み、前記第１の導電性スパイラルが前記第２の導電性スパイラルに重なっている、スパイラルインダクタと、を備えた装置であって、
   前記スパイラルインダクタの最内周ターンの第１の部分が、前記基板に垂直な方向に第１の厚さを有し、前記最内周ターンの前記第１の部分が、前記第２の導電性スパイラルの第１の部分を含み、前記第１の導電性スパイラルを含まず、
   前記最内周ターンの第２の部分が、前記第１の導電性スパイラルの第１の部分を含み、
   前記スパイラルインダクタの最外周ターンの一部分が、前記基板に垂直な前記方向に第２の厚さを有し、前記第２の厚さが、前記第１の厚さよりも大きく、前記最外周ターンの前記部分が、前記第２の導電性スパイラルの第２の部分と、前記第１の導電性スパイラルの第２の部分とを含む、ことを特徴とする装置。
2. 前記第２の導電性スパイラルの第１の長さが、前記第１の導電性スパイラルの第２の長さよりも長い、請求項１に記載の装置。
3. 前記スパイラルインダクタが、さらに、前記第２の導電性スパイラルと前記第１の導電性スパイラルとの間に導電層を備え、前記スパイラルインダクタの前記最内周ターンの第３の部分が、前記基板に垂直な前記方向に第３の厚さを有し、前記第３の厚さが、前記第２の厚さよりも小さく、前記第１の厚さよりも大きく、前記最内周ターンの前記第３の部分が、前記第２の導電性スパイラルの第３の部分と、前記導電層の第１の部分とを含み、前記第１の導電性スパイラルを含まない、請求項１に記載の装置。
4. 前記最内周ターンの前記第１の部分が、前記導電層を含まない、請求項３に記載の装置。
5. 前記スパイラルインダクタの前記最外周ターンの前記部分が、前記導電層の第２の部分を含む、請求項３に記載の装置。
6. 前記導電層が、不連続スパイラルを備えている、請求項３に記載の装置。
7. 前記導電層が、入力導線、出力導線、またはそれらの組み合わせを備えている、請求項３に記載の装置。
8. 前記第２の導電性スパイラルと前記第１の導電性スパイラルとの間に形成されたパッシベーション層をさらに備えている、請求項１に記載の装置。
9. 前記第２の導電性スパイラルが、前記パッシベーション層の一部分を貫通して延在するビアによって前記第１の導電性スパイラルに電気的に接続された、請求項８に記載の装置。
10. 前記基板に垂直な前記方向の前記最内周ターンの厚さが、前記最内周ターンの前記第１の部分から前記最内周ターンの前記第２の部分まで単調に増加している、請求項１に記載の装置。
11. 前記スパイラルインダクタが、階段状積層インダクタである、請求項１に記載の装置。
12. 前記スパイラルインダクタに関連するトレース幅が、前記スパイラルインダクタを製造するために使用される特定のプロセス技術を使用して製造され得る最小のトレース幅である、請求項１に記載の装置。
13. スパイラルインダクタの第１の導電性スパイラルを形成するステップと、
    基板上に配置された前記スパイラルインダクタの第２の導電性スパイラルを形成するステップであって、前記第１の導電性スパイラルが、前記第２の導電性スパイラルに重なるステップと、を含む方法であって、
    前記スパイラルインダクタの最内周ターンの第１の部分が、前記基板に垂直な方向に第１の厚さを有し、前記最内周ターンの前記第１の部分が、前記第２の導電性スパイラルの第１の部分を含み、前記第１の導電性スパイラルを含まず、
    前記最内周ターンの第２の部分が、前記第１の導電性スパイラルの第１の部分を含み、
    前記スパイラルインダクタの最外周ターンの一部分が、前記基板に垂直な前記方向に第２の厚さを有し、前記第２の厚さが、前記第１の厚さよりも大きく、前記最外周ターンの前記部分が、前記第２の導電性スパイラルの第２の部分と、前記第１の導電性スパイラルの第２の部分とを含む、ことを特徴とする方法。
14. 基板と、
    前記基板上に配置されたスパイラルインダクタと、を備えた装置であって、
    前記スパイラルインダクタの最内周ターンの第１の部分が、前記基板に垂直な方向に第１の厚さを有し、
    前記最内周ターンの第２の部分が、前記基板に垂直な前記方向に第２の厚さを有し、前記第２の厚さが、前記第１の厚さよりも大きく、
    前記基板に垂直な前記方向の前記スパイラルインダクタの厚さが、前記第１の厚さから前記第２の厚さまで、勾配に従って増加する、ことを特徴とする装置。
15. 前記スパイラルインダクタが、勾配積層インダクタである、請求項１４に記載の装置。