JP2015066611A - アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 - Google Patents
アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015066611A JP2015066611A JP2013201046A JP2013201046A JP2015066611A JP 2015066611 A JP2015066611 A JP 2015066611A JP 2013201046 A JP2013201046 A JP 2013201046A JP 2013201046 A JP2013201046 A JP 2013201046A JP 2015066611 A JP2015066611 A JP 2015066611A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- driving
- voltage
- drive
- actuators
- variable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
- B81B7/008—MEMS characterised by an electronic circuit specially adapted for controlling or driving the same
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2207/00—Microstructural systems or auxiliary parts thereof
- B81B2207/03—Electronic circuits for micromechanical devices which are not application specific, e.g. for controlling, power supplying, testing, protecting
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】アクチュエーターの駆動システムは、各静電アクチュエーター55,56と、各静電アクチュエーター55,56のそれぞれに駆動電圧V1,V2を印加する電圧制御部15と、を具備し、電圧制御部15は、各静電アクチュエーター55,56による全駆動量に対応した8ビットの駆動用変数Pを、4ビットの各個別駆動用変数p1,p2に分割するデジタル制御器17と、第一個別駆動用変数p1に基づく第一駆動電圧信号s1を発生させる第一DAC181、及び第二個別駆動用変数p2に基づく第二駆動電圧信号s2を発生させる第二一DAC182と、を備えた。
【選択図】図2
Description
特許文献1に記載の波長可変干渉フィルターと、上記対向する電極間に駆動電圧を印加する電圧制御部と、を備える光学モジュールでは、アクチュエーターに印加された駆動電圧に応じて電極間に発生した静電引力により基板間距離が変更されて、反射膜間に設けられたギャップの寸法が変更され、当該ギャップ寸法に応じた波長の光が選択的に取り出される。
このようなアクチュエーターの駆動電圧を調整する電圧制御部として、例えば、マイコン等のデジタル制御器から出力されたデジタル信号を駆動電圧信号発生器(例えば、デジタル‐アナログ変換器(DAC:Digital to Analog Converter)や、電圧制御パルス幅変調器(PWM:Pulse Width Modulator)等)に入力し、出力された駆動電圧信号を(駆動電圧)をアクチュエーターに印加するものがある。
しかしながら、駆動電圧信号発生器は、ビット数が多いデジタル信号を処理可能なものほど高価である。このため、電圧制御部の製造コストが増大するという課題がある。
また、変数出力手段により分割される個別駆動用変数は、同じ桁数であってもよく、それぞれ異なる桁数であってもよい。例えば、8bitの駆動用変数を、上位4bitの第一個別駆動用変数と、下位4bitの第二個別駆動用変数とに分割してもよく、上位3bitの第一個別駆動用変数と、下位5bitの第二個別駆動用変数とに分割してもよい。
また、駆動用変数をそのまま信号発生手段に入力する場合と比べて、信号発生手段が処理する桁数を少なくできるので、信号発生手段における処理の高速化を図ることができ、アクチュエーターをより高速で駆動させることができる。
本発明では、複数のアクチュエーターは、所定の駆動電圧が印加された際の駆動量がそれぞれ異なっている。これにより、複数のアクチュエーターを組み合わせて、例えば、駆動量が大きなもの(粗動用)と、小さなもの(微動用)とを組み合わせて全駆動量を制御することができる。したがって、全駆動量の変動幅を大きくしつつ、この変動幅の間で全駆動量を細かく制御できる。
本発明では、駆動用変数は、値が増大するのに伴い、対応する全駆動量が増大するように設定されており、個別駆動用変数は、この駆動用変数を上位の桁から下位の桁に向かって順に分割したものである。例えば、8bitの駆動用変数を、上位4bitの第一個別駆動用変数と、下位4bitの第二個別駆動用変数と、に分割する。
そして、複数の個別駆動用変数が、駆動電圧に対する駆動量が小さいアクチュエーターほど駆動用変数のより下位の桁を含むように対応づけられている。例えば、上記の例では、下位の第二個別駆動用変数が、駆動量が小さいアクチュエーターに対応した信号変換器に入力される。
このような構成では、複数のアクチュエーターによる全駆動量の大小を、駆動用変数の大小に対応させることができる。これにより、駆動用変数を新たに設定する必要がなく、従来から使用していた駆動用変数を使用することができる。
本発明では、複数のアクチュエーターに対して、個別駆動用変数が同じ場合は、同じ駆動電圧が印加されるように構成されている。そして、複数のアクチュエーターは、駆動電圧が同じでも変化量がそれぞれ異なるように構成されている。
このような構成では、個別駆動用変数が同じでも、出力される駆動電圧が異なるように、電圧制御部を構成する必要がない。このため、各アクチュエーターに対して同じ信号発生手段を設け、対応づけられたアクチュエーターに関わらず駆動電圧信号を同様に処理して駆動電圧を印加するように電圧制御部を構成することができる。これにより、電圧制御部の設計及び製造を簡単にでき、コストを抑制できる。
また、各アクチュエーターによる変化量の和が、駆動用変数に対応する変化量となるように、各アクチュエーターを設計すればよく、光学モジュールの設計を容易とすることができる。
本発明では、アクチュエーターが静電アクチュエーターであり、複数の静電アクチュエーターは、それぞれ、一対の駆動電極の対向領域の面積(以下、対向面積とも称する)がそれぞれ異なる。
静電アクチュエーターの一対の駆動電極間に発生する静電引力は対向面積に比例しており、対向面積が小さいほど駆動電圧に対する駆動量が小さく、対向面積が大きいほど駆動電圧に対する駆動量が大きくなる。
このような構成では、複数の静電アクチュエーターの対向面積を適宜設定することで、駆動用変数に対応づけられた変化量だけギャップ寸法が変化するように構成することができる。したがって、光学モジュールの設計をより容易とすることができる。
本発明では、個別駆動用変数が1ステップ分の駆動量が最も近い2つのアクチュエーターにおいて、駆動量が大きい方のアクチュエーターの1ステップ分の駆動量をD1、駆動量が小さい方のアクチュエーターの1ステップ分の変化量をd1、最大駆動電圧印加時の駆動量をdMとすると、D1が、d1+dMと同じ又は略一致する。このような関係が、複数のアクチュエーターのうちの、個別駆動用変数の1ステップ分の駆動量が最も近い2つのアクチュエーター間において成立している。
このような構成では、信号発生手段において、最小出力電圧から最大出力電圧において、n段階で駆動電圧を変化させることができる場合に、駆動量が大きい方のアクチュエーターによる1ステップ分の駆動量を、駆動量が小さいアクチュエーターの1ステップ分の駆動量の変化量でn分割することができる。したがって、全駆動量が0から最大値の間の全区間において、設定可能な全駆動量の値の間隔が広い区間や狭い区間が発生することを抑制できる。これにより、全駆動量を全区間に亘って略均一に設定でき、高精度な駆動制御を実施できる。
本発明では、信号発生手段として、デジタル‐アナログ変換器(DAC)を用いる。
DACは、簡易な構成を有するため、電圧制御部の設計を容易とすることができる。また、DACは、比較的に安価な信号発生手段であるため、電圧制御部の製造コストを抑制できる。さらに、DACは、直流電圧を発生させるため、高周波ノイズの発生を抑制でき、電圧制御部による高精度の駆動電圧の制御を可能とする。
本発明では、信号発生手段として、パルス幅変調器(PWM)を用いる。
PWMを用いた場合、PWMが備えるタイマー回路の桁数を少なくすることができ、安価なPWMを用いることができる。
また、PWMからの出力である駆動電圧信号を増幅させるアンプを設ける場合、このアンプとしてD級アンプ(デジタルアンプ)を配置することができる。D級アンプは、増幅効率が高く、小型化が可能である。したがって、電圧制御部の駆動効率の向上及び小型化を図ることができる。
本発明では、駆動量検出部によって検出された全駆動量に基づいて、電圧制御部が駆動電圧を制御する。
このような構成では、電圧制御部が、検出された全駆動量を用いた駆動電圧のフィードバック制御を行うことにより、全駆動量を精度よく制御できる。
本発明では、駆動量検出部として、一対の容量検出電極間の静電容量を検出する。
このような構成では、駆動量検出部を構成する容量検出電極を薄くすることができ、駆動システムの小型化を図ることができる。
このような構成では、上述のように、高精度に駆動電圧を制御可能で、かつ、製造コストの増大を抑制可能な光学モジュールを提供できる。
本発明では、上記発明と同様に、電圧制御部は、複数桁の駆動用変数を、所定の桁単位の個別駆動用変数に分割し、個別駆動用変数に基づいた駆動電圧を対応するアクチュエーターに印加する。
このような構成では、上述のように、高精度に駆動電圧を制御可能で、かつ、製造コストの増大を抑制可能な電子機器を提供できる。
以下、本発明に係る第一実施形態を図面に基づいて説明する。
[分光測定装置の構成]
図1は、本発明に係る第一実施形態の分光測定装置の概略構成を示すブロック図である。
分光測定装置1は、本発明の電子機器であり、測定対象Xで反射された測定対象光における所定波長の光強度を分析し、分光スペクトルを測定する装置である。なお、本実施形態では、測定対象Xで反射した測定対象光を測定する例を示すが、測定対象Xとして、例えば液晶パネル等の発光体を用いる場合、当該発光体から発光された光を測定対象光としてもよい。
この分光測定装置1は、図1に示すように、光学モジュール10と、ディテクター11(検出部)と、I−V変換器12と、アンプ13と、A/D変換器14と、制御部20と、を備えている。また、光学モジュール10は、波長可変干渉フィルター5と、電圧制御部15とを備えて構成されている。
I−V変換器12は、ディテクター11から入力された検出信号を電圧値に変換し、アンプ13に出力する。
アンプ13は、I−V変換器12から入力された検出信号に応じた電圧(検出電圧)を増幅する。
A/D変換器14は、アンプ13から入力された検出電圧(アナログ信号)をデジタル信号に変換し、制御部20に出力する。
電圧制御部15は、制御部20の制御に基づいて、波長可変干渉フィルター5を駆動させ、波長可変干渉フィルター5から所定の目的波長の光を透過させる。
(波長可変干渉フィルターの構成)
光学モジュール10の波長可変干渉フィルター5について、以下説明する。
波長可変干渉フィルター5は、例えば四角形板状の光学部材であり、図2に示すように、固定基板51(第一基板)、可動基板52(第二基板)、一対の反射膜541,542、第一静電アクチュエーター55、第二静電アクチュエーター56を備えている。
波長可変干渉フィルター5は、電圧制御部15から各静電アクチュエーター55,56に駆動電圧が印加されることで、一対の反射膜541,542間のギャップG1の寸法を制御し、当該ギャップG1の寸法に応じた波長の光を干渉光として取り出すことができる。
なお、本発明のアクチュエーターの駆動システムは、各静電アクチュエーター55,56及び電圧制御部15を少なくとも備え構成される。
固定基板51は、図2に示すように、例えばエッチング等により形成された電極配置溝511及び反射膜設置部512を備える。
電極配置溝511は、フィルター平面視で、固定基板51の外周部を除く位置に設けられた溝である。電極配置溝511の溝底面は、各静電アクチュエーター55,56を構成する電極が配置される電極設置面511Aとなる。
この電極設置面511Aには、第一静電アクチュエーター55を構成する第一固定電極551、及び第二静電アクチュエーター56を構成する第二固定電極561が設けられている。第一固定電極551は、反射膜設置部512の外周側で第二固定電極561の内周側に設けられている。
なお、図2では、図示を省略しているが、固定基板51には、電極配置溝511に連続し、基板の外周部に向かう電極引出溝が設けられている。そして、第一固定電極551及び第二固定電極561は、電極配置溝511及び電極引出溝に設けられ、基板外周部で外部に露出する接続電極を備えている。この接続電極の露出部分は、接地されている。
この固定反射膜541としては、例えばAg等の金属膜や、Ag合金等、導電性の合金膜を用いることができる。また、例えば高屈折層をTiO2、低屈折層をSiO2とした誘電体多層膜を用いてもよく、この場合、誘電体多層膜の最下層又は表層に導電性の金属合金膜が形成されていることが好ましい。
可動基板52は、その中心部分に例えば円形状の可動部521と、可動部521を保持する保持部522と、保持部522の外側に設けられた基板外周部524と、を備えている。
可動部521は、保持部522よりも厚み寸法が大きく形成され、例えば、本実施形態では、可動基板52の厚み寸法と同一寸法に形成されている。この可動部521の固定基板51に対向する可動面521Aには、可動反射膜542、第一可動電極552及び第二可動電極562が設けられている。
なお、固定基板51と同様に、可動部521の固定基板51とは反対側の面には、反射防止膜が形成されていてもよい。
また、可動面521Aには、第一静電アクチュエーター55を構成する第一可動電極552、及び第二静電アクチュエーター56を構成する第二可動電極562が設けられている。第一可動電極552は、可動反射膜542の外周側で第二可動電極562の内周側に設けられている。
第一可動電極552及び第二可動電極562は、基板厚み方向から見た平面視において、それぞれ第一固定電極551及び第二固定電極561に対して電極間ギャップG2を介して対向配置されている。
第一静電アクチュエーター55は、第一固定電極551及び第一可動電極552を備える。第二静電アクチュエーター56は、第二固定電極561及び第二可動電極562を備える。なお、各静電アクチュエーター55,56の詳細については後述する。
電圧制御部15は、図2に示すように、マイコン16と、デジタル制御器17と、駆動電圧出力器18と、を備える。
マイコン16は、後述する制御部20からの波長設定指令として駆動用変数Pを取得し、この駆動用変数Pを、静電アクチュエーター55,56を駆動させるための制御信号をデジタル制御器17に出力する。なお、マイコン16は、上述の動作以外に、電圧制御部15の各部の動作を制御する。
ここで、駆動用変数Pは、複数ビットからなるデジタル信号であり、初期寸法から、目標波長に対応する反射膜間ギャップG1の寸法に変更するための、反射膜間ギャップG1の寸法の変化量、すなわち各静電アクチュエーター55,56による全駆動量に対応している。
具体的には、デジタル制御器17は、駆動用変数Pを格納する格納部171を備える。以下の説明では、一例として、駆動用変数Pが8ビットのデジタル情報として説明する。
デジタル制御器17は、8ビットの信号である駆動用変数Pの最上位ビット(MSB:Most Significant Bit)から最下位ビット(LSB:Least Significant Bit)までの各桁の値を順に格納部171に記憶させる。
デジタル制御器17は、格納部171に記憶された駆動用変数Pを上位4ビットと、下位4ビットとの二つに分割し、上位4ビットに対応する第一個別駆動用変数p1と、下位4ビットに対応する第二個別駆動用変数p2をそれぞれ駆動電圧出力器18に出力する。
なお、第一DAC181が、第一静電アクチュエーター55に対応する本発明の信号発生手段に相当し、第二DAC182が、第二静電アクチュエーター56に対応する本発明の信号発生手段に相当する。
本実施形態では、第一DAC181及び第二DAC182は、入力される個別駆動用変数が異なる点以外は同様に構成される。また、アンプ183,184は、入力及び出力先が異なる以外、増幅率等は同様に構成される。すなわち、駆動電圧出力器18は、各個別駆動用変数p1,p2が同一の値の場合は、同じ大きさの駆動電圧を出力する。
アンプ183は、第一DAC181からの第一駆動電圧信号s1の電圧値を増幅し、第一駆動電圧V1として第一可動電極552、すなわち第一静電アクチュエーター55に印加する。
第二DAC182は、デジタル制御器17からの第二個別駆動用変数p2をアナログ信号に変換し、第二駆動電圧信号s2としてアンプ184に出力する。
アンプ184は、第二DAC182からの第二駆動電圧信号s2の電圧値を増幅し、第二駆動電圧V2として第二可動電極562、すなわち第二静電アクチュエーター56に印加する。
図3は、駆動用変数Pと、当該駆動用変数Pの各値に対するギャップG1の寸法の変化量、すなわち、各静電アクチュエーター55,56による全駆動量との関係の一例を模式的に示すグラフである。
本実施形態では、図3に示すように、駆動用変数Pの値の増加に応じて、各静電アクチュエーター55,56による静電引力が増大し、可動部521の変化量(全駆動量)が増大するように、駆動用変数Pが定められている。駆動用変数Pが8ビットの場合、電圧制御部15は、上記変化量を、256ステップ分、段階的に変更できる。すなわち、駆動用変数Pが1つ増加すると、変化量が1ステップ分増大する。
図4は、駆動用変数の値と、第一静電アクチュエーター55に印加される第一駆動電圧V1、及び、第二静電アクチュエーター56に印加される第二駆動電圧V2と、駆動用変数Pとの関係の一例を示すグラフである。
図4に示すように、駆動用変数Pが0から15(10進数)の間では、第二個別駆動用変数p2(下位4ビット)のみが変更され、第一個別駆動用変数p1(上位4ビット)は変更されない。したがって、第一駆動電圧V1は0Vのまま変更されず、第二駆動電圧V2が、0Vから15Vの間で段階的に変更される。
駆動用変数Pが16の場合、第一個別駆動用変数p1(上位4ビット)の値が1となり、第二個別駆動用変数p2の値が0となる。第一駆動電圧V1は、1ステップ分の駆動電圧の1Vとなり、第二駆動電圧V2は、0Vとなる。
そして、駆動用変数Pが16から31の間、第二個別駆動用変数p2(下位4ビット)のみが変更される。したがって、第一駆動電圧V1は1Vのまま変更されず、第二駆動電圧V2が、0Vから15Vの間で段階的に変更される。
以上のように、本実施形態では、8ビットの駆動用変数Pを、上位4ビットの第一個別駆動用変数p1と、下位4ビットの第二個別駆動用変数p2と、に分割することで、256段階の駆動制御を行うことができる。
第一静電アクチュエーター55は、本発明のアクチュエーターに相当し、電極間ギャップG2を介して対向配置された第一固定電極551と第一可動電極552とを備える。
第二静電アクチュエーター56は、同様に、本発明のアクチュエーターに相当し、電極間ギャップG2を介して対向配置された第二固定電極561と第二可動電極562とを備える。電極間ギャップG2のギャップ量は、対向する電極の表面間の距離に相当する。
各静電アクチュエーター55,56の対向面積S1,S2は、S1>S2の関係になっている。静電アクチュエーターでは、発生する静電引力の大きさが対向面積に比例する。したがって、第一静電アクチュエーター55は、所定の駆動電圧が印加された際の静電引力が、第二静電アクチュエーター56よりも大きくなっており、このため、所定の駆動電圧が印加された際の駆動量が、第二静電アクチュエーター56よりも大きくなっている。本実施形態では、第一静電アクチュエーター55は、粗動用として、第二静電アクチュエーター56は、微動用のアクチュエーターとして用いられる。
本実施形態では、各静電アクチュエーター55,56は、駆動量(反射膜間ギャップG1の寸法の変化量)が、駆動電圧の変化量に対して上述の関係を満たし、かつ、全駆動量が駆動用変数Pの値に対応づけられた値となるように、各アンプ183,184の増幅率に応じて、対向面積S1,S2が設定されている。
図1に戻り、分光測定装置1の制御部20について、説明する。
制御部20は、本発明の処理部に相当し、例えばCPUやメモリー等が組み合わされることで構成され、分光測定装置1の全体動作を制御する。この制御部20は、図1に示すように、波長設定部21と、光量取得部22と、分光測定部23と、を備えている。
また、制御部20は、各種データを記憶する記憶部30を備え、記憶部30には、各静電アクチュエーター55,56を制御するための駆動用変数P等、分光測定装置1の制御に必要な各種のデータが記憶される。
光量取得部22は、ディテクター11により取得された光量に基づいて、波長可変干渉フィルター5を透過した目的波長の光の光量を取得する。
分光測定部23は、光量取得部22により取得された光量に基づいて、測定対象光のスペクトル特性を測定する。
本実施形態では、電圧制御部15のデジタル制御器17が、駆動用変数Pを2つの個別駆動用変数p1,p2に分割する。第一個別駆動用変数p1は、第一静電アクチュエーター55に印加される第一駆動電圧V1に対応づけられ、第二個別駆動用変数p2は、第二静電アクチュエーター56に印加される第二駆動電圧V2に対応づけられている。そして、駆動電圧出力器18では、第一静電アクチュエーター55に対して第一DAC181が、第二静電アクチュエーター56に対して第二DAC182が設けられており、第一DAC181に第一個別駆動用変数p1が入力され、第二DAC182に第二個別駆動用変数p2が入力される。駆動電圧出力器18では、各個別駆動用変数p1,p2に基づいて各DAC181,182器が発生させた駆動電圧信号s1,s2をアンプ183,184で増幅させた駆動電圧V1,V2を、各静電アクチュエーター55,56に印加する。各静電アクチュエーター55,56にそれぞれ駆動電圧V1,V2が印加されると、反射膜間ギャップG1の寸法が変化する。そして、波長可変干渉フィルター5は、変更された反射膜間ギャップG1の寸法に応じた波長の光を取り出すことが可能となる。
ここで、通常、桁数が多いデジタル信号(例えば16)を処理可能なDACと比較して、桁数が少ない(例えば8ビット)デジタル信号を処理可能なDACは安価である。また、8ビットを処理可能なDACを複数内蔵している安価な1チップマイコンも一般に製造されている。したがって、光学モジュール10は、ビット数が多い駆動用変数Pを用いて高精度に駆動電圧を制御可能で、かつ、光学モジュール10の製造コストの低減できる。
また、桁数が多い駆動用変数PをそのままDACに入力する場合と比べて、個別駆動用変数p1,p2を入力する方が、DACが処理するデジタル信号の桁数を少なくできるので、DACにおける処理の高速化を図ることができ、アクチュエーターをより高速で駆動させることができる。
さらに、分光測定装置1は、上述の光学モジュール10を備えることにより、製造コストを低減しつつも、高速かつ高精度に分光測定を行うことができる。
このような構成では、各静電アクチュエーター55,56を組み合わせて、反射膜間ギャップG1の寸法を制御することができ、反射膜間ギャップG1の寸法の変動幅を大きくしつつ、この変動幅の間で反射膜間ギャップG1の寸法の変動量を細かく制御できる。
このような構成では、各静電アクチュエーター55,56による全駆動量の大小を、駆動用変数Pの大小に対応させることができる。これにより、駆動用変数Pを新たに設定する必要がなく、従来から使用していた駆動用変数Pを使用することができる。
このような構成では、各静電アクチュエーター55,56は、対向面積を異なせることによって、個別駆動用変数p1,p2の値が同じでも変化量が互いに異なるようにしている。このため、各静電アクチュエーター55,56において、個別駆動用変数p1,p2に対する変化量を互いに異ならせるために、各静電アクチュエーター55,56に対して、それぞれ増幅率が異なるアンプや、異なる駆動電圧信号を発生させるDACを設ける必要がなく、同じDAC及びアンプを設けることができる。これにより、電圧制御部15の設計及び製造を簡単にでき、コストを抑制できる。
また、静電アクチュエーター55,56において、一対の電極間に発生する静電引力は対向面積に比例している。したがって、静電アクチュエーターを用いて反射膜間ギャップG1の寸法を制御する本実施形態のような構成では、各静電アクチュエーター55,56による全駆動量が、駆動用変数Pに対応する全駆動量となるように、静電アクチュエーター55,56の対向面積を設計すればよく、光学モジュール10の設計を容易とすることができる。
このような構成では、0から最大値まで変化する全駆動量の全区間において、取り得る値の間隔が広い区間や、狭い区間が発生し、値間の間隔に不均一が生じることを抑制できる。これにより、全駆動量の全区間において全駆動量を高精度に制御でき、反射膜間ギャップG1の寸法を高精度に制御できる。
このように、DACを用いた場合、DACは、駆動電圧信号を発生可能な信号発生手段としては、例えば、パルス幅変調器等と比較して、簡易な構成を有するため、電圧制御部15の設計を容易とすることができる。また、DACは、比較的に安価な信号発生器であるため、電圧制御部15の製造コストを抑制できる。さらに、DACは、直流電圧を発生させるため、高周波ノイズの発生を抑制でき、電圧制御部15による高精度の駆動電圧の制御を可能とする。
次に、本発明に係る第二実施形態について、図面に基づいて説明する。
本実施形態では、信号発生器としてDACの代わりに、電圧制御パルス幅変調器(PWM)を用いる点で、第一実施形態と相違している。
図5は、本発明に係る第二実施形態の光学モジュール10Aの概略構成を示すブロック図である。なお、以降の説明にあたり、既に説明した構成については、同一の符号を付し、その説明を省略又は簡略化する。
光学モジュール10Aは、図5に示すように、波長可変干渉フィルター5と、電圧制御部15Aと、を備えている。
駆動電圧出力器18Aは、第一PWM185と、第二PWM186と、各PWM185,186に対してそれぞれ接続されたアンプ183,184と、を備える。
本実施形態では、第一PWM185及び第二PWM186は、入力される駆動用変数が異なる点以外は同様に構成される。
アンプ183は、第一PWM185からの第一駆動電圧信号s1の電圧値を増幅し、第一駆動電圧V1として第一可動電極552、すなわち第一静電アクチュエーター55に印加する。
第二PWM186は、デジタル制御器17からの第二個別駆動用変数p2に対応するデューティー比を有するパルス波を発生させて、第二駆動電圧信号s2としてアンプ184に出力する。
アンプ184は、第二PWM186からの第二駆動電圧信号s2の電圧値を増幅し、第二駆動電圧V2として第二可動電極562、すなわち第二静電アクチュエーター56に印加する。
本実施形態では、2つのPWM185,186を用いて各個別駆動用変数p1,p2をそれぞれ駆動電圧信号s1,s2に変換している。
PWMを用いた場合も、第一実施形態と同様に、8ビットのデジタル信号を処理可能なPWMを用いて、16ビット相当の高精度な駆動制御を高速に行うことができる。
また、PWMが備えるタイマー回路の桁数を少なくすることができ、安価なPWMを用いることができる。
また、PWMからの出力である各駆動電圧信号s1,s2を増幅させるアンプとして、D級アンプ(デジタルアンプ)を用いることができる。D級アンプは、増幅効率が高く、小型化が可能である。したがって、電圧制御部15Aの駆動効率の向上及び小型化を図ることができる。
次に、本発明に係る第三実施形態について、図面に基づいて説明する。
本実施形態では、反射膜間ギャップG1の寸法を検出するギャップ検出部を備え、検出結果に基づいて、駆動電圧を制御する点で第二実施形態と相違している。
図6は、本発明に係る第三実施形態の光学モジュール10Bの概略構成を示すブロック図である。
光学モジュール10Bは、図6に示すように、波長可変干渉フィルター5Aと、電圧制御部15Bと、を備えている。
波長可変干渉フィルター5Aは、固定反射膜541及び可動反射膜542のそれぞれに連続する引出電極を備え、この引出電極は、固定基板51又は可動基板52の基板外周部で外部に露出し、露出部分が後述するギャップ検出器19に接続されている。
ギャップ検出器19は、C/V変換器(Capacitance to Voltage Converter)191と、アナログ‐デジタル変換器(ADC:Analog to Digital Converter)192と、を備える。
C/V変換器191は、各反射膜541,542に接続され、各反射膜541,542間のギャップG1の寸法に応じた静電容量を検出し、検出した静電容量を電圧に変換してADC192に出力する。
ADC192は、静電容量に対応する電圧値をデジタル信号に変換し、マイコン16Aに出力する。
電圧制御部15Bは、マイコン16Aにより補正された駆動用変数Pに基づいて、各静電アクチュエーター55,56に駆動電圧を印加する。
なお、固定反射膜541、可動反射膜542、マイコン16A、及びギャップ検出器19は、全駆動量を検出しており、本発明の駆動量検出部に相当する。
本実施形態では、電圧制御部15Bが、反射膜間ギャップG1の寸法に対応する検出値を用いて駆動電圧のフィードバック制御を行うことにより、反射膜間ギャップG1の寸法、すなわち全駆動量を一層精度よく制御できる。
また、一対の反射膜541,542を容量検出電極として利用し、一対の反射膜541,542間の静電容量を検出している。これにより反射膜間ギャップG1の寸法を高精度に検出できる。さらに、一対の反射膜541,542を容量検出電極として用いてギャップG1の寸法を検出するので、例えば、歪みゲージ等によりギャップG1の寸法を検出する構成と比べて、ギャップ寸法検出部の小型化を図ることができ、波長可変干渉フィルター5A及び光学モジュール10Bの小型化を図ることができる。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良、及び各実施形態を適宜組み合わせる等によって得られる構成は本発明に含まれるものである。
例えば、上記各実施形態では、反射膜間ギャップG1を変更するアクチュエーターとして、静電アクチュエーターを例示したが、本発明はこれに限定されず、電磁アクチュエーターや圧電アクチュエーターを用いてもよい。
図7は、アクチュエーターの一例である電磁アクチュエーターを採用した波長可変干渉フィルターを備えた光学モジュール10Cの概略構成を示す図である。
波長可変干渉フィルター5Bは、可動部521を固定基板51側に変位させるアクチュエーターとして第一電磁アクチュエーター55A及び第二電磁アクチュエーター56Aを備える。波長可変干渉フィルター5Bでは、上記各実施形態における第一固定電極551及び第二固定電極561の代わりに、永久磁石553が配置され、第一可動電極552の代わりに第一誘電コイル552Aが配置され、第二可動電極562の代わりに第二誘電コイル562Aが配置されている。
本実施形態では、各電磁アクチュエーター55A,56Aは、それぞれの駆動量が、駆動電圧の変化量に対して上述の関係を満たし、かつ、全駆動量が駆動用変数Pの値に対応づけられた値となるように、各アンプ183,184の増幅率に応じて、コイルの巻き数が設定されている。なお、第一電磁アクチュエーター55Aは、第二電磁アクチュエーター56Aよりも巻き数が多くなっている。
また、電磁アクチュエーターを用いる場合、可動反射膜542を囲むようにコイルが巻回された誘電コイルを用いてもよい。
例えば、複数のアクチュエーターのうち、少なくとも2つのアクチュエーターにおいて上記関係が成り立つように構成してもよいし、全てのアクチュエーターで上記関係が成り立たないように構成してもよい。
例えば、個別駆動用変数と、アクチュエーターとの対応づけは、アクチュエーターの1ステップ分の変化量や、桁の上位・下位等に関わらず、任意に対応づけられていてもよい。また、駆動用変数の大小が、全駆動量の大小に対応していなくてもよい。
より具体的には、例えば、2つのアクチュエーターを備える場合、駆動用変数の偶数桁を第一個別駆動用変数、奇数桁を第二個別駆動用変数となるように駆動用変数を分割してもよい。このような場合、複数のアクチュエーターのそれぞれに対応づけられた複数の個別駆動用変数を適宜組み合わせることで、駆動用変数を設定すればよい。
また、アクチュエーターとして静電アクチュエーターを用いる場合、各静電アクチュエーター間で、電極間ギャップG2が互いに異なるように構成することで、駆動電圧に対する駆動量が互いに異なるように構成してもよい。
また、上記各実施形態では、波長可変干渉フィルター5として、一対の基板51,52と、各基板51,52のそれぞれに設けられた一対の反射膜54,55を備える構成を例示したが、これに限定されない。例えば、可動基板52が設けられない構成としてもよい。この場合、例えば、基板(固定基板)の一面に第一反射膜、ギャップスペーサ、及び第二反射膜を積層形成し、第一反射膜と第二反射膜とがギャップを介して対向する構成とする。当該構成では、一枚の基板からなる構成となり、分光素子をより薄型化することができる。
例えば、図8に示すように、本発明の電子機器を、色を測定するための測色装置に適用することもできる。
図8は、波長可変干渉フィルターを備えた測色装置400の一例を示すブロック図である。
この制御装置430としては、例えば汎用パーソナルコンピューターや、携帯情報端末、その他、測色専用コンピューターなどを用いることができる。そして、制御装置430は、図8に示すように、光源制御部431、測色センサー制御部432、及び測色処理部433などを備えて構成されている。
光源制御部431は、光源装置410に接続され、例えば利用者の設定入力に基づいて、光源装置410に所定の制御信号を出力して、所定の明るさの白色光を射出させる。
測色センサー制御部432は、測色センサー420に接続され、例えば利用者の設定入力に基づいて、測色センサー420にて受光させる光の波長を設定し、この波長の光の受光量を検出する旨の制御信号を測色センサー420に出力する。これにより、測色センサー420の電圧制御部15は、制御信号に基づいて、静電アクチュエーター56に電圧を印加し、波長可変干渉フィルター5を駆動させる。
測色処理部433は、ディテクター11により検出された受光量から、測定対象Xの色度を分析する。
図9は、光学フィルターデバイスを備えたガス検出装置の一例を示す概略図である。
図10は、図9に示すガス検出装置の制御系の構成を示すブロック図である。
ガス検出装置100は、図9に示すように、センサーチップ110と、吸引口120A、吸引流路120B、排出流路120C、及び排出口120Dを備えた流路120と、本体部130と、を備えて構成されている。
本体部130は、流路120を着脱可能な開口を有するセンサー部カバー131、排出手段133、筐体134、光学部135、フィルター136、波長可変干渉フィルター5、及び受光素子137(検出部)等を含む検出装置と、検出された信号を処理し、検出部を制御する制御部138、電力を供給する電力供給部139等から構成されている。また、光学部135は、光を射出する光源135Aと、光源135Aから入射された光をセンサーチップ110側に反射し、センサーチップ側から入射された光を受光素子137側に透過するビームスプリッター135Bと、レンズ135C,135D,135Eと、により構成されている。
また、図9に示すように、ガス検出装置100の表面には、操作パネル140、表示部141、外部とのインターフェイスのための接続部142、電力供給部139が設けられている。電力供給部139が二次電池の場合には、充電のための接続部143を備えてもよい。
さらに、ガス検出装置100の制御部138は、図10に示すように、CPU等により構成された信号処理部144、光源135Aを制御するための光源ドライバー回路145、波長可変干渉フィルター5を制御するための電圧制御部146、受光素子137からの信号を受信する受光回路147、センサーチップ110のコードを読み取り、センサーチップ110の有無を検出するセンサーチップ検出器148からの信号を受信するセンサーチップ検出回路149、及び排出手段133を制御する排出ドライバー回路150などを備えている。
本体部130の上部のセンサー部カバー131の内部には、センサーチップ検出器148が設けられており、このセンサーチップ検出器148でセンサーチップ110の有無が検出される。信号処理部144は、センサーチップ検出器148からの検出信号を検出すると、センサーチップ110が装着された状態であると判断し、表示部141へ検出動作を実施可能な旨を表示させる表示信号を出す。
これらのレイリー散乱光やラマン散乱光は、光学部135を通ってフィルター136に入射し、フィルター136によりレイリー散乱光が分離され、ラマン散乱光が波長可変干渉フィルター5に入射する。そして、信号処理部144は、電圧制御部146を制御し、波長可変干渉フィルター5に印加する電圧を調整し、検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光を波長可変干渉フィルター5で分光させる。この後、分光した光が受光素子137で受光されると、受光量に応じた受光信号が受光回路147を介して信号処理部144に出力される。
信号処理部144は、上記のようにして得られた検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光のスペクトルデータと、ROMに格納されているデータとを比較し、目的のガス分子か否かを判定し、物質の特定をする。また、信号処理部144は、表示部141にその結果情報を表示させたり、接続部142から外部へ出力したりする。
以下に、上記物質成分分析装置の一例として、食物分析装置を説明する。
この食物分析装置200は、図11に示すように、検出器210(光学モジュール)と、制御部220と、表示部230と、を備えている。検出器210は、光を射出する光源211と、測定対象物からの光が導入される撮像レンズ212と、撮像レンズ212から導入された光を分光する波長可変干渉フィルター5と、分光された光を検出する撮像部213(検出部)と、を備えている。
また、制御部220は、光源211の点灯・消灯制御、点灯時の明るさ制御を実施する光源制御部221と、波長可変干渉フィルター5を制御する電圧制御部222と、撮像部213を制御し、撮像部213で撮像された分光画像を取得する検出制御部223と、信号処理部224と、記憶部225と、を備えている。
そして、信号処理部224は、上述のようにして得られた検査対象の食物の成分や含有量、カロリーや鮮度等の情報を表示部230に表示させる処理をする。
さらには、鉱物の成分分析を実施する鉱物分析装置としても用いることができる。
例えば、各波長の光の強度を経時的に変化させることで、各波長の光でデータを伝送させることも可能であり、この場合、本発明の干渉フィルターを備える光学モジュールにおいて、干渉フィルターにより特定波長の光を分光し、受光部で受光させることで、特定波長の光により伝送されるデータを抽出することができ、このようなデータ抽出用光学モジュールを備えた電子機器により、各波長の光のデータを処理することで、光通信を実施することもできる。
図12は、分光カメラの概略構成を示す模式図である。分光カメラ300は、図12に示すように、カメラ本体310と、撮像レンズユニット320と、撮像部330(検出部)とを備えている。
カメラ本体310は、利用者により把持、操作される部分である。
撮像レンズユニット320は、カメラ本体310に設けられ、入射した画像光を撮像部330に導光する。また、この撮像レンズユニット320は、図12に示すように、対物レンズ321、結像レンズ322、及びこれらのレンズ間に設けられた波長可変干渉フィルター5を備えて構成されている。
撮像部330は、受光素子により構成され、撮像レンズユニット320により導光された画像光を撮像する。
このような分光カメラ300では、波長可変干渉フィルター5により撮像対象となる波長の光を透過させることで、所望波長の光の分光画像を撮像することができる。
また、本発明の干渉フィルターを備える光学フィルターデバイスを生体認証装置として用いてもよく、例えば、近赤外領域や可視領域の光を用いた、血管や指紋、網膜、虹彩などの認証装置にも適用できる。
Claims (12)
- 駆動電圧に応じた駆動量で駆動する複数のアクチュエーターと、
前記複数のアクチュエーターのそれぞれに前記駆動電圧を印加する電圧制御部と、を具備し、
前記電圧制御部は、
前記複数のアクチュエーターによる全駆動量に対応した複数桁の駆動用変数を、少なくとも1以上の桁単位であり、前記複数のアクチュエーターのそれぞれに対応した個別駆動用変数に分割する変数分割手段と、
前記複数のアクチュエーターのそれぞれに対して設けられ、前記個別駆動用変数に基づいて、前記駆動電圧に対応する駆動電圧信号を発生させる信号発生手段と、を備えた
ことを特徴とするアクチュエーターの駆動システム。 - 請求項1に記載のアクチュエーターの駆動システムにおいて、
前記複数のアクチュエーターは、前記駆動電圧に対する前記駆動量がそれぞれ異なる
ことを特徴とするアクチュエーターの駆動システム。 - 請求項2に記載のアクチュエーターの駆動システムにおいて、
前記複数の個別駆動用変数は、前記駆動用変数の上位の桁から下位の桁に向かって順に当該駆動用変数を分割したものであり、
前記複数のアクチュエーターは、
前記駆動電圧に対する前記駆動量が小さい前記アクチュエーターほど、前記駆動用変数のより下位の桁を含む前記個別駆動用変数が対応づけられた
ことを特徴とするアクチュエーターの駆動システム。 - 請求項2又は請求項3に記載のアクチュエーターの駆動システムにおいて、
前記電圧制御部は、前記個別駆動用変数に対応する前記駆動電圧の各値が、前記複数のアクチュエーターに対して同じ値である
ことを特徴とするアクチュエーターの駆動システム。 - 請求項4に記載のアクチュエーターの駆動システムにおいて、
前記アクチュエーターは、対向して設けられた一対の駆動電極を備える静電アクチュエーターであり、
前記複数のアクチュエーターは、前記一対の駆動電極の対向領域の面積がそれぞれ異なる
ことを特徴とするアクチュエーターの駆動システム。 - 請求項2から請求項5のいずれかに記載のアクチュエーターの駆動システムにおいて、
前記複数のアクチュエーターは、前記駆動電圧に対する前記駆動量が最も近い2つのアクチュエーターのうちの一方の前記アクチュエーターにおいて、対応した前記個別駆動用変数を1ステップ分変化させた際の前記駆動量が、他方の前記アクチュエーターにおいて、前記1ステップ分変化させた際の前記駆動量及び最大駆動電圧印加時の前記駆動量の和となる
ことを特徴とするアクチュエーターの駆動システム。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載のアクチュエーターの駆動システムにおいて、
前記信号発生手段は、デジタル‐アナログ変換器である
ことを特徴とするアクチュエーターの駆動システム。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載のアクチュエーターの駆動システムにおいて、
前記信号発生手段は、定電圧に対してパルス幅変調処理を施して前記駆動電圧信号を発生させるパルス幅変調器である
ことを特徴とするアクチュエーターの駆動システム。 - 請求項1から請求項8のいずれかに記載のアクチュエーターの駆動システムにおいて、
前記全駆動量を検出する駆動量検出部を備え、
前記電圧制御部は、前記駆動量検出部による前記全駆動量の検出結果に基づいて、前記駆動電圧を制御する
ことを特徴とするアクチュエーターの駆動システム。 - 請求項9に記載のアクチュエーターの駆動システムにおいて、
前記駆動量検出部は、互いに対向する一対の容量検出電極を備え、前記容量検出電極間の静電容量を検出する
ことを特徴とするアクチュエーターの駆動システム。 - 互いに対向する一対の反射膜と、
駆動電圧に応じた駆動量で駆動し、前記一対の反射膜間のギャップの寸法を変更する複数のアクチュエーターと、
前記複数のアクチュエーターのそれぞれに前記駆動電圧を印加する電圧制御部と、を具備し、
前記電圧制御部は、
前記複数のアクチュエーターによる全駆動量に対応した複数桁の駆動用変数を、少なくとも1以上の桁単位であり、前記複数のアクチュエーターのそれぞれに対応した個別駆動用変数に分割する変数分割手段と、
前記複数のアクチュエーターのそれぞれに対して設けられ、前記個別駆動用変数に基づいて、前記駆動電圧に対応する駆動電圧信号を発生させる信号発生手段と、を備えた
ことを特徴とする光学モジュール。 - 互いに対向する一対の反射膜、及び、駆動電圧に応じた駆動量で駆動し、前記一対の反射膜間のギャップの寸法を変更する複数のアクチュエーターを備える波長可変干渉フィルターと、
前記複数のアクチュエーターのそれぞれに前記駆動電圧を印加する電圧制御部と、
前記電圧制御部に前記駆動電圧を印加させる駆動制御部と、を具備し、
前記電圧制御部は、
前記複数のアクチュエーターによる全駆動量に対応した複数桁の駆動用変数を、少なくとも1以上の桁単位であり、前記複数のアクチュエーターのそれぞれに対応した個別駆動用変数に分割する変数分割手段と、
前記複数のアクチュエーターのそれぞれに対して設けられ、前記個別駆動用変数に基づいて、前記駆動電圧に対応する駆動電圧信号を発生させる信号発生手段と、を備えた
ことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013201046A JP2015066611A (ja) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 |
CN201410488590.7A CN104516100B (zh) | 2013-09-27 | 2014-09-23 | 致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备 |
US14/494,996 US9891424B2 (en) | 2013-09-27 | 2014-09-24 | Actuator drive system, optical module, and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013201046A JP2015066611A (ja) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015066611A true JP2015066611A (ja) | 2015-04-13 |
JP2015066611A5 JP2015066611A5 (ja) | 2016-11-04 |
Family
ID=52739906
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013201046A Withdrawn JP2015066611A (ja) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9891424B2 (ja) |
JP (1) | JP2015066611A (ja) |
CN (1) | CN104516100B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6010275B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
CN106289514A (zh) * | 2016-07-25 | 2017-01-04 | 四川新健康成生物股份有限公司 | 多波长光束光强检测方法、光电转换电路和生化分析仪 |
DE102016214565A1 (de) * | 2016-08-05 | 2018-02-08 | Robert Bosch Gmbh | Interferometer und Verfahren zum Betreiben desselben |
GB201805301D0 (en) * | 2018-03-29 | 2018-05-16 | Adlens Ltd | Improvements In Or Relating To Variable Focusing Power Optical Devices |
JP7110081B2 (ja) * | 2018-12-18 | 2022-08-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | 制御装置、光学フィルタシステム、制御方法 |
JP7181784B2 (ja) * | 2018-12-18 | 2022-12-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | モニタ装置、光学フィルタシステム、モニタ方法、電流発生装置 |
JP2022133757A (ja) * | 2021-03-02 | 2022-09-14 | ローム株式会社 | 制御システムおよび制御方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02257676A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-18 | Sharp Corp | 波長選択性受光素子 |
JPH11133039A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Sharp Corp | プローブ制御装置 |
JP2002350749A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-04 | Sony Corp | 光変調素子駆動システム及びその駆動装置、並びに投映システム |
WO2003065103A1 (fr) * | 2002-01-29 | 2003-08-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Miroir a forme variable et dispositif de regulation de lumiere possedant ledit miroir |
US20100201291A1 (en) * | 2009-01-13 | 2010-08-12 | Cheiky Michael C | Multi-element piezoelectric actuator driver |
JP2011191554A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Seiko Epson Corp | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
JP2012220656A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100863850B1 (ko) | 2001-01-30 | 2008-10-15 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 가변형 미러와 당해 가변형 미러를 구비한 정보 장치 및 보상 광학 장치 |
JP4210245B2 (ja) * | 2004-07-09 | 2009-01-14 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変フィルタ及び検出装置 |
US7733553B2 (en) * | 2005-09-21 | 2010-06-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Light modulator with tunable optical state |
JP2008197362A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Olympus Corp | 可変分光素子 |
JP5589459B2 (ja) | 2010-03-15 | 2014-09-17 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 |
JP5874271B2 (ja) | 2011-09-27 | 2016-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
JP5879910B2 (ja) | 2011-10-18 | 2016-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器 |
JP5888080B2 (ja) | 2012-04-11 | 2016-03-16 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
JP6015090B2 (ja) | 2012-04-18 | 2016-10-26 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
JP2013238755A (ja) | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Seiko Epson Corp | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
JP2014059497A (ja) | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びmemsデバイス |
-
2013
- 2013-09-27 JP JP2013201046A patent/JP2015066611A/ja not_active Withdrawn
-
2014
- 2014-09-23 CN CN201410488590.7A patent/CN104516100B/zh active Active
- 2014-09-24 US US14/494,996 patent/US9891424B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02257676A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-18 | Sharp Corp | 波長選択性受光素子 |
JPH11133039A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Sharp Corp | プローブ制御装置 |
JP2002350749A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-04 | Sony Corp | 光変調素子駆動システム及びその駆動装置、並びに投映システム |
WO2003065103A1 (fr) * | 2002-01-29 | 2003-08-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Miroir a forme variable et dispositif de regulation de lumiere possedant ledit miroir |
US20100201291A1 (en) * | 2009-01-13 | 2010-08-12 | Cheiky Michael C | Multi-element piezoelectric actuator driver |
JP2011191554A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Seiko Epson Corp | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
JP2012220656A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9891424B2 (en) | 2018-02-13 |
CN104516100A (zh) | 2015-04-15 |
CN104516100B (zh) | 2019-05-17 |
US20150092275A1 (en) | 2015-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6019863B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、および電子機器、並びに波長可変干渉フィルターの製造方法 | |
CN107479182B (zh) | 光模块、电子设备、食物分析装置以及分光照相机 | |
JP2015066611A (ja) | アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 | |
CN105045292B (zh) | 致动器装置、电子设备、以及控制方法 | |
JP6107186B2 (ja) | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ | |
CN109100861B (zh) | 致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法 | |
CN105738997B (zh) | 光学滤波器装置、光学模块、以及电子设备 | |
US9939629B2 (en) | Optical filter device, optical module, and electronic apparatus | |
US11347049B2 (en) | MEMS driving device, electronic apparatus, and MEMS driving method | |
JP2015141209A (ja) | アクチュエーター制御装置、光学モジュール、及び電子機器 | |
US20140211315A1 (en) | Optical module, and electronic apparatus | |
JP5888080B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 | |
JP6194673B2 (ja) | 光学モジュール及び電子機器 | |
JP6056464B2 (ja) | 光学モジュール及び電子機器 | |
JP6064468B2 (ja) | 光学モジュール及び電子機器 | |
JP6566061B2 (ja) | 波長可変干渉フィルターの駆動方法 | |
JP2015225148A (ja) | 光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの制御方法 | |
JP2016138915A (ja) | 干渉フィルターの製造方法、干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 | |
JP6296128B2 (ja) | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 | |
JP2014013339A (ja) | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 | |
JP2014174365A (ja) | 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、干渉フィルターの製造方法、及び基板間接続構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150113 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20160617 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20160624 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160914 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160914 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170724 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170801 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20170919 |