JP5036259B2 - 除振装置、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
実施形態1では、ローレンツ力アクチュエータ23を用いて基準物体21を一定の力で支持する。そして、一定の力で支持された基準物体21に対して基板ステージの定盤2を位置フィードバック制御することで、低周波成分の除振性能に優れた除振装置を提供する。この実施形態では、基板ステージの定盤2が除振対象物体である。
実施形態1と実施形態2の違いは、ローレンツ力アクチュエータ23が、床1に取り付けられているか、或いは定盤2に取り付けられているかである。本発明の特徴は、基準物体21をローレンツ力アクチュエータ23により一定の力で支持するところにあるので、ローレンツ力アクチュエータ23が床1、定盤2、又はその他の部材に取り付けられていても構わない。実施形態2では、ローレンツ力アクチュエータ23は基板ステージの定盤2上に設けられる。
実施形態3では、6個のローレンツ力アクチュエータを用いて、基準物体21を支持している。ローレンツ力アクチュエータ23x1,23x2は、基準物体21をX軸方向及びZ軸周りへの駆動する力を発生する。ローレンツ力アクチュエータ23y1は、基準物体21をY軸方向へ駆動する力を発生する。ローレンツ力アクチュエータ23z1,23z2,23z3は、基準物体21をZ軸方向へ駆動する力を発生する。
実施形態4では、実施形態3のローレンツ力アクチュエータ23x1、23x2、23y1を省略している。その代わりに、基準物体21aがX軸方向、Y軸方向、及びZ軸周りへ運動しないように、基準物体21aの運動を拘束するためのガイド30x1、30x2、30y1、30y2を設けている。
実施形態5は、実施形態4の基準物体21aのX軸方向、Y軸方向、Z軸周りの運動をガイドで拘束する代わりに、非接触計測器50とアクチュエータ51を用いて、位置フィードバック制御系している。基準物体21aの位置フィードバック制御系について次に述べる。
図7に示される実施形態6は、基準物体21に加わる重力と釣り合う力を基準物体21に与えるように、気体の圧力を一定に保っている。これにより基準物体21を基準物体21の位置によらず一定の力で支持することができる。
実施形態例7は、基準物体21に速度変化が発生した場合に、速度変化を抑えるための速度フィードバック制御系をローレンツ力アクチュエータ23に設けている。次に基準物体21の速度フィードバック制御系について説明する。
実施形態8は、図9に示すように、本発明の除振装置を露光装置の鏡筒定盤に適用した例を示している。この実施形態では鏡筒定盤が除振対象物体である。露光装置100は、ステップアンドスキャン方式により基板の露光(パターン転写)を行う投影露光装置として構成されている。露光装置100は、原版としてのレチクルRからの露光光を基板としてのウエハW上に垂直に投射する投影光学系POを有する。この露光光には、レチクルRに形成されたパターン情報が含まれる。
次に、図11及び図12を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施形態を説明する。図11は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
2 定盤(鏡筒定盤)
3 原版ステージ定盤
4 基板ステージ定盤
10 パッシブダンパ
11 アクチュエータ
12,29 非接触計測器
13 計測情報
14 補償器
15 指令値
20 気体の圧力で支持するアクチュエータ
21 基準物体
22 計測ミラー
23 ローレンツ力アクチュエータ
24 ヨーク(磁石含む)
25 コイル
26 電源装置
27 シール部材
28 位置補正センサ
30,41 ガイド
Claims (6)
- 除振対象物体と、
基準物体と、
前記基準物体をローレンツ力によって支持するローレンツ力アクチュエータと、
前記基準物体の位置によらない一定の電流をローレンツ力アクチュエータに供給することによって、前記基準物体に働く重力と釣り合う一定のローレンツ力を発生させる電源装置と、
前記基準物体に対する前記除振対象物体の位置を計測する第1計測器と、
前記第1計測器による計測結果に基づいて、前記基準物体に対する前記除振対象物体の位置を一定にするように前記除振対象物体に駆動力を作用させる駆動機構と、
を備えること特徴とする除振装置。 - 前記基準物体の速度を計測する第2計測器をさらに備え、
前記ローレンツ力アクチュエータは、前記第2計測器によって前記基準物体の速度の変化が検出されたならば前記基準物体に前記速度の変化を減少させる力を付与することを特徴とする請求項1に記載の除振装置。 - 前記第2計測器は、床に対する前記基準物体の速度を計測することを特徴とする請求項2に記載の除振装置。
- 前記基準物体の少なくとも1軸がエアガイド又は電磁ガイドにより拘束されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の除振装置。
- 原版ステージ、投影光学系の鏡筒及び基板ステージを備える露光装置であって、
請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の除振装置を備え、
前記除振装置は、前記原版ステージ、前記投影光学系の鏡筒及び前記基板ステージのいずれか一つを前記除振対象物体で支持するように構成されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項5に記載される露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
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