JP5238678B2 - オブジェクトを制動させるための方法、アクティブダンピングシステムおよびリソグラフィ装置 - Google Patents
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- 238000013016 damping Methods 0.000 title claims description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 67
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 62
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 46
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 44
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 22
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 18
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 4
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 4
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 3
- 108060008226 thioredoxin Proteins 0.000 description 3
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 3
- 101710168651 Thioredoxin 1 Proteins 0.000 description 2
- 101710168624 Thioredoxin 2 Proteins 0.000 description 2
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000001010 compromised effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000026058 directional locomotion Effects 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/002—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion characterised by the control method or circuitry
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2022—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure
- G03F7/203—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure comprising an imagewise exposure to electromagnetic radiation or corpuscular radiation
-
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/70125—Use of illumination settings tailored to particular mask patterns
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70758—Drive means, e.g. actuators, motors for long- or short-stroke modules or fine or coarse driving
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
Description
Claims (12)
- 多変量コントローラを使用してオブジェクトの運動を2以上の自由度で減衰させるための方法であって、
前記多変量コントローラが、
2以上の測定位置で前記オブジェクトの位置量を測定する位置量測定システムと、
前記2以上の測定位置で測定された前記位置量に基づいて、前記オブジェクトに取り付けられた2以上のアクチュエータに制御信号を提供するコントローラと、
を備え、
前記コントローラが、
前記オブジェクトの2つの異なる動的モードに対する測定信号を少なくとも1自由度に対して前記2以上の測定位置で測定された前記位置量から抽出するエキストラクタと、
動的モード毎のコントローラユニットであって、少なくとも1自由度の前記動的モード毎の出力信号に基づいて前記2以上のアクチュエータに対する前記制御信号を提供する、コントロールユニットと、
を備え、
前記方法が、
前記2以上の測定位置の各々で前記位置量を測定することと、
前記2以上の測定位置の各々で測定された前記位置量から前記動的モード毎に測定信号を抽出することと、
1つの動的モードの前記測定信号を、前記対応する個々の動的モードと結合した前記コントローラユニットに提供することであって、前記コントローラユニットが前記対応する個々の測定信号に基づいて前記動的モード毎に出力信号を提供することと、
前記2以上のアクチュエータに前記制御信号を提供することであって、前記制御信号が1つまたは2以上のコントローラユニットの出力信号に基づくことと、
を含み、
前記オブジェクトの2つの異なる動的モードが、
前記オブジェクトのリジッドボディモードである第1の動的モード、および、
前記オブジェクトの曲げモードである第2の動的モードであり、
前記位置量から前記動的モード毎に測定信号を抽出することは、
一対の前記位置量を、第1の位置量z1および第2の位置量z2とし、前記リジッドボディモードである前記第1の動的モードについて設定された第1のモデルパラメータをαとした場合に、前記第1の動的モードについての測定信号rx1を、式(1)を用いて抽出すること、および、
前記一対の位置量を、前記第1の位置量z1および前記第2の位置量z2とし、前記曲げモードである前記第2の動的モードについて設定された第2のモデルパラメータをβとした場合に、前記第2の動的モードについての測定信号rx2を、式(2)を用いて抽出すること、
を含み、
前記第1のモデルパラメータαは、前記第2の動的モードによる影響を無くするように設定されるものであり、
前記第2のモデルパラメータβは、前記第1の動的モードによる影響を無くするように設定されるものである、方法。
rx1=αz1−(1−α)z2 …(1)
rx2=βz1+(1−β)z2 …(2) - 前記2以上のアクチュエータに前記制御信号を提供することが、制御された方向に導かれた制御信号を前記アクチュエータの駆動方向に導かれた1つまたは2以上の駆動信号に変換することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記オブジェクトがリソグラフィ装置の一部である、請求項1に記載の方法。
- 前記多変量コントローラがスカイフックダンピングを提供する、請求項1に記載の方法。
- 前記オブジェクトが2以上のアクティブマウントによってサポートされ、個々のアクティブマウントが、前記オブジェクトの位置量を測定位置で測定する位置量センサ、および前記オブジェクトに力を加えるアクチュエータを備えた、請求項1に記載の方法。
- 2以上の自由度でオブジェクトの運動を減衰させるアクティブダンピングシステムであって、
前記オブジェクトに接続された2以上のアクチュエータと、
前記オブジェクトの位置量を2以上の測定位置で測定する位置量測定システムと、
前記2以上の測定位置で測定された前記位置量に基づいて前記2以上のアクチュエータに制御信号を提供するコントローラを備えた多変量制御システムと、
を備え、
前記コントローラが、
少なくとも1自由度に対して、前記複数の測定位置で測定された前記位置量から前記オブジェクトの2つの異なる動的モードに対する測定信号を抽出するエキストラクタと、
動的モード毎および自由度毎のコントローラユニットと、
を備え、
前記2以上のアクチュエータのうちの少なくとも1つのための前記制御信号が、少なくとも1自由度の個々の動的モードのコントローラユニットによって提供される出力信号に基づいて提供され、
前記オブジェクトの2つの異なる動的モードが、
前記オブジェクトのリジッドボディモードである第1の動的モード、および、
前記オブジェクトの曲げモードである第2の動的モードであり、
前記エキストラクタは、
一対の前記位置量を、第1の位置量z1および第2の位置量z2とし、前記リジッドボディモードである前記第1の動的モードについて設定された第1のモデルパラメータをαとした場合に、前記第1の動的モードについての測定信号rx1を、式(1)を用いて抽出し、
前記一対の位置量を、前記第1の位置量z1および前記第2の位置量z2とし、前記曲げモードである前記第2の動的モードについて設定された第2のモデルパラメータをβとした場合に、前記第2の動的モードについての測定信号rx2を、式(2)を用いて抽出するものであり、
前記第1のモデルパラメータαは、前記第2の動的モードによる影響を無くするように設定されるものであり、
前記第2のモデルパラメータβは、前記第1の動的モードによる影響を無くするように設定されるものである、
アクティブダンピングシステム。 - 前記制御システムが、制御された方向に導かれた制御信号を前記アクチュエータの駆動方向に導かれた駆動信号に変換する変換デバイスを備えた、請求項6に記載のダンピングシステム。
- 前記オブジェクトが2以上のアクティブマウントによってサポートされ、個々のマウントが、位置量を測定する位置量センサおよび前記オブジェクトに力を加えるアクチュエータを備える、請求項6に記載のダンピングシステム。
- 前記抽出デバイスが、前記オブジェクトの2つの異なる動的モードに対する測定信号を制御された自由度毎に前記測定された位置量から抽出する、請求項6に記載のダンピングシステム。
- 前記位置量が前記オブジェクトの速度である、請求項6に記載のダンピングシステム。
- パターン付き放射ビームを形成するために放射ビームの断面にパターンを付与することができるパターニングデバイスをサポートするサポートと、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投射する投影システムと、
請求項6乃至10のいずれか一項に記載のアクティブダンピングシステムと、を備えた、
リソグラフィ装置。 - 前記オブジェクトが、前記投影システムをサポートするメトロロジーフレームである、請求項11に記載のリソグラフィ装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14034208P | 2008-12-23 | 2008-12-23 | |
US61/140,342 | 2008-12-23 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010153854A JP2010153854A (ja) | 2010-07-08 |
JP5238678B2 true JP5238678B2 (ja) | 2013-07-17 |
Family
ID=42060522
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009279995A Active JP5238678B2 (ja) | 2008-12-23 | 2009-12-10 | オブジェクトを制動させるための方法、アクティブダンピングシステムおよびリソグラフィ装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8619232B2 (ja) |
EP (1) | EP2202426A3 (ja) |
JP (1) | JP5238678B2 (ja) |
KR (1) | KR20100074056A (ja) |
CN (1) | CN101763124B (ja) |
SG (1) | SG162700A1 (ja) |
TW (1) | TWI395889B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL2003993A (nl) * | 2009-01-22 | 2010-07-26 | Asml Netherlands Bv | Control system, lithographic apparatus and a method to control a position quantity of a control location of a movable object. |
CN102235458B (zh) * | 2010-05-07 | 2013-05-22 | 上海微电子装备有限公司 | 一种主动减震隔振装置 |
EP2447777B1 (en) * | 2010-10-27 | 2019-08-07 | ASML Netherlands BV | Lithographic apparatus for transferring pattern from patterning device onto substrate, and damping method |
EP2469340B1 (en) | 2010-12-21 | 2021-01-06 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
EP2669931B1 (en) * | 2011-01-28 | 2020-04-15 | The University of Tokyo | Driving system and driving method, light exposure device and light exposure method, and driving system designing method |
NL2008272A (en) | 2011-03-09 | 2012-09-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus. |
WO2013160016A1 (en) * | 2012-04-26 | 2013-10-31 | Asml Netherlands B.V. | Lithography apparatus and device manufacturing method |
WO2014010233A1 (ja) * | 2012-07-09 | 2014-01-16 | 株式会社ニコン | 駆動システム及び駆動方法、並びに露光装置及び露光方法 |
WO2015009619A1 (en) | 2013-07-15 | 2015-01-22 | Kla-Tencor Corporation | Producing resist layers using fine segmentation |
NL2013522A (en) * | 2013-10-30 | 2015-05-04 | Asml Netherlands Bv | Object positioning system, lithographic apparatus, object positioning method and device manufacturing method. |
US9977349B2 (en) | 2014-01-17 | 2018-05-22 | Asml Netherlands B.V. | Support device, lithographic apparatus and device manufacturing method |
NL2022090A (en) * | 2018-01-04 | 2019-07-10 | Asml Netherlands Bv | Lithographic Apparatus and Method |
CN110874021B (zh) * | 2018-08-31 | 2021-03-12 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 光刻设备、抗气流扰动的方法及装置 |
CN110647183B (zh) * | 2019-10-16 | 2021-10-01 | 广东工业大学 | 一种高精密定位平台的减振方法、装置及设备 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2575832B2 (ja) | 1988-08-05 | 1997-01-29 | 株式会社東芝 | 多変数制御装置 |
JP2954815B2 (ja) * | 1993-06-24 | 1999-09-27 | キヤノン株式会社 | 鉛直方向除振装置 |
JP3046696B2 (ja) | 1993-09-17 | 2000-05-29 | キヤノン株式会社 | 鉛直方向空気ばね式除振台の制御装置 |
JP3507234B2 (ja) | 1996-01-11 | 2004-03-15 | キヤノン株式会社 | 能動除振装置および能動除振方法 |
US6128552A (en) * | 1996-11-08 | 2000-10-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Anti-vibration apparatus and method |
JP4194160B2 (ja) * | 1998-02-19 | 2008-12-10 | キヤノン株式会社 | 投影露光装置 |
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JP3902942B2 (ja) | 2001-11-13 | 2007-04-11 | キヤノン株式会社 | 除振装置及びその制御方法、並びに該除振装置を有する露光装置 |
KR100522885B1 (ko) * | 2002-06-07 | 2005-10-20 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피장치 및 디바이스제조방법 |
JP4386293B2 (ja) | 2007-01-12 | 2009-12-16 | キヤノン株式会社 | 振動制御装置及び振動制御方法及び露光装置及びデバイスの製造方法 |
US7903866B2 (en) * | 2007-03-29 | 2011-03-08 | Asml Netherlands B.V. | Measurement system, lithographic apparatus and method for measuring a position dependent signal of a movable object |
-
2009
- 2009-11-20 EP EP09176591.7A patent/EP2202426A3/en not_active Withdrawn
- 2009-11-30 US US12/627,118 patent/US8619232B2/en active Active
- 2009-12-09 TW TW098142097A patent/TWI395889B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-12-10 JP JP2009279995A patent/JP5238678B2/ja active Active
- 2009-12-18 SG SG200908484-9A patent/SG162700A1/en unknown
- 2009-12-22 CN CN2009102622836A patent/CN101763124B/zh active Active
- 2009-12-22 KR KR1020090128925A patent/KR20100074056A/ko active Search and Examination
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100157264A1 (en) | 2010-06-24 |
TWI395889B (zh) | 2013-05-11 |
SG162700A1 (en) | 2010-07-29 |
JP2010153854A (ja) | 2010-07-08 |
EP2202426A3 (en) | 2017-05-03 |
TW201030254A (en) | 2010-08-16 |
CN101763124B (zh) | 2012-04-18 |
EP2202426A2 (en) | 2010-06-30 |
US8619232B2 (en) | 2013-12-31 |
KR20100074056A (ko) | 2010-07-01 |
CN101763124A (zh) | 2010-06-30 |
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