JP2008069890A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 除振対象物体と、
   基準物体と、
   前記基準物体をローレンツ力によって支持するローレンツ力アクチュエータと、
   前記ローレンツ力アクチュエータに一定の電流を供給して前記基準物体の位置によらずに一定のローレンツ力を発生させる電源装置と、
   前記基準物体に対する前記除振対象物体の位置を計測する第１計測器と、
   前記第１計測器による計測結果に基づいて、前記基準物体に対する前記除振対象物体の位置を一定にするように前記除振対象物体に駆動力を作用させる駆動機構と、
   を備えること特徴とする除振装置。
2. 前記電源装置は、前記ローレンツ力アクチュエータが前記基準物体に働く重力と釣り合う一定のローレンツ力を発生するように前記ローレンツ力アクチュエータに一定の電流を供給することを特徴とする請求項１に記載の除振装置。
3. 除振対象物体と、
   基準物体と、
   前記基準物体に対する前記除振対象物体の位置を計測する第１計測器と、
   前記第１計測器による計測結果に基づいて、前記基準物体に対する前記除振対象物体の位置を一定とするように前記除振対象物体に駆動力を作用させる駆動機構と、
   前記基準物体の速度を計測する第２計測器と、
   前記基準物体を支持し、前記第２計測器によって前記基準物体の速度の変化が検出されたならば前記基準物体に前記速度の変化を減少させる力を付与するローレンツ力アクチュエータと、
   を備えることを特徴とする除振装置。
4. 前記第２計測器は、床に対する前記基準物体の速度を計測することを特徴とする請求項３に記載の除振装置。
5. 除振対象物体と、
   基準物体と、
   前記基準物体の位置によらずに前記基準物体を一定圧力の気体で支持するアクチュエータと、
   前記基準物体に対する前記除振対象物体の位置を計測する第１計測器と、
   前記第１計測器による計測結果に基づいて、前記基準物体に対する前記除振対象物体の位置を一定とするように前記除振対象物体に駆動力を作用させる駆動機構と、
   を備えること特徴とする除振装置。
6. 前記基準物体の少なくとも１軸がエアガイド又は電磁ガイドにより拘束されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか1項に記載の除振装置。
7. 除振対象物体と、
   基準物体と、
   前記基準物体を支持するアクチュエータと、
   前記基準物体に対する前記除振対象物体の位置を計測する第１計測器と、
   前記第１計測器による計測結果に基づいて、前記基準物体に対する前記除振対象物体の位置を一定とするように前記除振対象物体に駆動力を作用させる駆動機構と、を備え、
   前記アクチュエータは、前記基準物体に発生した振動を減衰することを特徴とする除振装置。
8. 原版ステージ、投影光学系の鏡筒及び基板ステージを備える露光装置であって、
   請求項１乃至請求項７のいずれか1項に記載の除振装置を備え、
   前記除振装置は、前記原版ステージ、前記投影光学系の鏡筒及び前記基板ステージのいずれか一つを前記除振対象物体で支持するように構成されていることを特徴とする露光装置。
9. 請求項８に記載される露光装置を用いて基板を露光する工程と、
   前記基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。