JP2006295023A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 基板と、
   光学素子と、
   前記基板に対して前記光学素子を部分的に固定する固定手段と、
   前記基板と前記光学素子との間に配置され、前記光学素子の表面形状を変化させる力を前記光学素子に加える変形手段とを有し、
   前記変形手段は、前記光学素子の背面に接触する棒、および、前記基板に対して前記棒を駆動するアクチュエータを含み、
   前記固定手段は、前記光学素子の背面の中央部を固定することを特徴とする光学装置。
2. 基板と、
   光学素子と、
   前記基板に対して前記光学素子を部分的に固定する固定手段と、
   前記基板と前記光学素子との間に設けられ、前記光学素子の表面形状を変化させる力を前記光学素子に加える変形手段とを有し、
   前記変形手段は、前記光学素子の背面に接触する棒、および、前記基板に対して前記棒を駆動するアクチュエータを含み、
   前記固定手段は、前記光学素子の側面の少なくとも３箇所を固定することを特徴とする光学装置。
3. 前記光学素子の波面収差を測定する測定装置と、
   前記測定装置の測定結果に基づいて前記アクチュエータの駆動量を算出し、前記変形手段が加える力を制御するための制御部とを有することを特徴とする請求項１または２記載の光学装置。
4. 前記変形手段は、前記光学素子の表面形状を非対称に変形させることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の光学装置。
5. 前記変形手段を冷却する冷却手段を更に有することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項記載の光学装置。
6. 前記変形手段が前記光学素子に加える力によって、前記光学素子の少なくとも一部が変位しないように前記変形手段の前記力を決定して前記変形手段の変形動作を制御する制御部を有することを特徴とする請求項２記載の光学装置。
7. 前記光学素子の自重による変形を防止する自重補償手段を有することを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか一項記載の光学装置。
8. 前記自重補償手段は変形手段に沿って同極が対向するように配置された磁石を含むことを特徴とする請求項７記載の光学装置。
9. 請求項１乃至８のうちいずれか一項記載の光学装置を有することを特徴とする露光装置。
10. 請求項１乃至８のうちいずれか一項記載の光学装置の光学素子を含む被検光学系の波面収差を算出するステップと、
    前記算出ステップによって算出された前記被検光学系の前記波面収差に基づいて前記光学装置を利用して前記被検光学系を調節するステップと、
    前記調節ステップによって調節された前記被検光学系を使用して被露光体を露光するステップとを有することを特徴とする露光方法。
11. 請求項９に記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
    前記露光された前記被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。