JP2009170466A5 - - Google Patents
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Claims (10)
- 投影光学系の結像性能を評価する評価方法であって、前記投影光学系に入射する光の偏光状態と前記投影光学系から射出される光の偏光状態との関係を示す前記投影光学系の偏光状態変換特性を特定する特定ステップと、
前記特定ステップで特定された前記投影光学系の偏光状態変換特性に相関を有するパラメータの値を計算する第１計算ステップと、
前記パラメータの値を単位量だけ変化させたときの前記投影光学系の結像性能を示す指標値の変化量と、前記第１計算ステップで計算されたパラメータの値とに基づいて、前記特定ステップで特定された偏光状態変換特性を有する状態における前記投影光学系の結像性能を示す指標値を計算する第２計算ステップと、
を含むことを特徴とする評価方法。 - 前記パラメータの値が第１の値であるときにおける前記投影光学系の結像性能を示す第１の指標値と前記パラメータの値が前記第１の値に対して単位量だけ異なる第２の値であるときにおける前記投影光学系の結像性能を示す第２の指標値との差分を前記指標値の変化量として決定する決定ステップと、
前記決定ステップで決定された前記指標値の変化量をメモリに登録する登録ステップとを更に含み、
前記第２計算ステップにおいて、前記メモリに登録された前記指標値の変化量が参照される、
ことを特徴とする請求項１に記載の評価方法。 - 前記決定ステップでは、前記第１の値として、前記投影光学系が無収差である場合における前記パラメータの値を使用して前記第１の指標値を計算する、ことを特徴とする請求項２に記載の評価方法。
- 前記決定ステップでは、前記第１の値として、計測に基づいて得られた値を使用して前記第１の指標値を計算する、ことを特徴とする請求項２に記載の評価方法。
- 前記投影光学系の偏光状態変換特性は、ジョーンズ・マトリクスで表現され、前記パラメータの値は、前記ジョーンズ・マトリクスから得られる、ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の評価方法。
- 前記投影光学系の偏光状態変換特性は、ジョーンズ・マトリクスで表現され、前記パラメータの値は、前記ジョーンズ・マトリクスをパウリ展開して得られる固有値に基づいて得られる、ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の評価方法。
- 請求項１乃至６に記載の評価方法を用いて投影光学系の結像性能を示す指標値を計算する計算ステップと、
前記計算ステップで計算された指標値に基づいて前記投影光学系の結像性能を調整する調整ステップと、
を含むことを特徴とする調整方法。 - 原版を照明する照明光学系と、
前記照明光学系によって照明された前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系と、
前記投影光学系の結像性能を調整する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記投影光学系に入射する光の偏光状態と前記投影光学系から射出される光の偏光状態との関係を示す前記投影光学系の偏光状態変換特性を特定する特定ステップと、
前記特定ステップで特定された前記投影光学系の偏光状態変換特性に相関を有するパラメータの値を計算する第１計算ステップと、
前記パラメータの値を単位量だけ変化させたときの前記投影光学系の結像性能を示す指標値の変化量と、前記第１計算ステップで計算されたパラメータの値とに基づいて、前記特定ステップで特定された偏光状態変換特性を有する状態における前記投影光学系の結像性能を示す指標値を計算する第２計算ステップと、
前記第２計算ステップで計算された指標値に基づいて前記投影光学系の結像性能を調整する調整ステップと、
を含む処理を実行する、
ことを特徴とする露光装置。 - 投影光学系の結像性能を評価するための処理をコンピュータに実行させるプログラムであって、前記コンピュータに、
前記投影光学系に入射する光の偏光状態と前記投影光学系から射出される光の偏光状態との関係を示す前記投影光学系の偏光状態変換特性を特定する特定ステップと、
前記特定ステップで特定された前記投影光学系の偏光状態変換特性に相関を有するパラメータの値を計算する第１計算ステップと、
前記パラメータの値を単位量だけ変化させたときの前記投影光学系の結像性能を示す指標値の変化量と、前記第１計算ステップで計算されたパラメータの値とに基づいて、前記特定ステップで特定された偏光状態変換特性を有する状態における前記投影光学系の結像性能を示す指標値を計算する第２計算ステップと、
を実行させることを特徴とするプログラム。 - 前記第２計算ステップで計算された指標値に基づいて前記投影光学系の結像性能を調整する調整ステップを前記コンピュータに更に実行させることを特徴とする請求項９に記載のプログラム。
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