JP2012244015A - 露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】原版のパターンの像を投影光学系POによって基板W上に形成して該基板Wを露光する露光装置100は、前記投影光学系POの温度計測箇所の温度を計測する温度計測部TPと、前記温度計測部TPによって計測された温度の変化に基づいて前記投影光学系POの光学特性の変化を予測し、その予測に基づいて前記光学特性の変化による前記基板Wに形成される像の状態の変化を低減する処理を実行するコントローラCTと、を備え、前記コントローラCTは、前記温度計測箇所の温度の変化に対する2次遅れ応答関数に従って前記光学特性の変化を予測する。
【選択図】図1
Description
・時刻(t−Δt)(Δtは正値)における倍率誤差の計測値φ(t−Δt)、および、
・時刻tにおける温度の変化ΔT(t)の情報、
を与えれば、時刻tにおける倍率誤差の計測値φ(t)を式(4)、(5)、(6)で与えられる2次遅れ応答関数に基づいて求めることができる。ここで、式(5)、(6)は、漸化式の形式で与えられる。
αi:温度に対する倍率誤差の変化の飽和値の敏感度パラメータ
τi、1:第一の時定数パラメータ
τi、2:第二の時定数パラメータ
上記の予測パラメータは、露光装置100の投影光学系POや発熱源の内部構造、配置、温度制御機構等の設計条件に依存する。この実施形態では、以下で説明するように、投影光学系POの温度と倍率誤差との関係を実測により求めることによって予測パラメータが決定される。
α1=−62.8[ppm/℃]
α2= 54.9[ppm/℃]
τ1、1=6500[sec]
τ2、1=1[sec]
τ1、2=1[sec]
τ2、2=2200[sec]
・温度計測部TPを使って計測された温度変化ΔT(t)と、
・既知のパラメータαi、τi、1、τi、2と、時刻(t−Δt)における倍率誤差の予測値φ(t−Δt)と、
に基づいて、式(4)、(5)、(6)に従って時刻tにおける倍率誤差の予測値φ(t)を計算する。ここで、予測値φ(t−Δt)は、式(9)で与えられ、最初(n=1のとき)に実行されるステップS46で使用されるφ(t−Δt)は、ステップS43で設定されたφ(t)の値、即ち”0”である。また、n回目に実行されるステップS46で使用されるφ(t−Δt)は、(n−1)回目に実行されたステップS46で計算されたφ(t)である。
τi、1:第一の時定数パラメータ
τi、2:第二の時定数パラメータ
Claims (9)
- 原版のパターンの像を投影光学系によって基板上に形成して該基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系の温度計測箇所の温度を計測する温度計測部と、
前記温度計測部によって計測された温度の変化に基づいて前記投影光学系の光学特性の変化を予測し、その予測に基づいて前記光学特性の変化による前記基板に形成される像の状態の変化を低減する処理を実行するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記温度計測箇所の温度の変化に対する2次遅れ応答関数に従って前記光学特性の変化を予測する、
ことを特徴とする露光装置。 - 前記温度計測部によって温度を計測して前記光学特性の変化を予測する処理を実行する時間間隔の最小値をΔtmin、前記2次遅れ応答関数における時定数の最大値をτmaxとしたときに、Δtmin/τmax≦0.3が満たされる、
ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記温度計測部は、前記投影光学系の複数の温度計測箇所の温度を計測するように構成されている、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。 - 前記2次遅れ応答関数は、前記温度計測箇所における温度の変化と前記投影光学系の光学特性の変化との関係の実測に基づいて決定されている、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記投影光学系の光学素子を駆動する補正部を更に備え、
前記コントローラは、前記光学特性の変化による前記基板に形成される像の状態の変化が低減されるように前記補正部を制御する、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記光学特性は、前記投影光学系の投影倍率を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置。 - 原版のパターンの像を投影光学系によって基板上に形成して該基板を露光する露光装置であって、
前記原版を位置決めする原版位置決め機構および前記基板を位置決めする基板位置決め機構を有し、前記原版位置決め機構および前記基板位置決め機構の少なくとも一方から前記投影光学系に伝わる熱量の変化に基づいて前記投影光学系の光学特性の変化を予測し、その予測に基づいて前記光学特性の変化による前記基板に形成される像の状態の変化を低減する処理を実行するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記熱量の変化に対する2次遅れ応答関数に従って前記光学特性の変化を予測する、
ことを特徴とする露光装置。 - 前記2次遅れ応答関数は、前記熱量の変化と前記投影光学系の光学特性の変化との関係の実測に基づいて決定されている、
ことを特徴とする請求項7に記載の露光装置。 - デバイスを製造するデバイス製造方法であって、
請求項1乃至8のいずれか1項に記載の露光装置によって基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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