JP4352458B2 - 投影光学系の調整方法、予測方法、評価方法、調整方法、露光方法及び露光装置、露光装置の製造方法、プログラム並びにデバイス製造方法 - Google Patents
投影光学系の調整方法、予測方法、評価方法、調整方法、露光方法及び露光装置、露光装置の製造方法、プログラム並びにデバイス製造方法 Download PDFInfo
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Description
上式(11)において、Pは、次式(12)で表されるm個、すなわち19個の要素から成る列マトリックス(すなわち縦ベクトル)である。
上式(13)において、OTは、行列Oの転置マトリックスであり、(OT・O)-1は、(OT・O)の逆マトリックスである。
上式(16)において、P’は、次式(17)で示される列マトリックスである。
次のステップ124では、主制御装置50が、上で算出したP’、すなわち調整量ADJ1〜ADJ15、ADJ19に従って、前述と同様にして可動レンズ131〜135などの調整各部を制御して投影光学系PL等を調整した後、一連の処理を終了する。なお、ウエハの位置及び姿勢に関する調整量ADJ16〜調整量18については、後述する走査露光時のウエハステージWSTの位置制御に用いるため、RAM又は記憶装置44に記憶しておく。これにより、投影光学系PLの視野内の33個の評価点における波面収差、具体的にはツェルニケ多項式の第9項の係数がrj分だけ変動するような投影光学系PLの調整が終了する。
以下、本発明の予測方法の一例に係るCD−フォーカス曲線の予測方法の実施形態について、その処理の流れを示すフローチャート(図16、図24)に沿って、かつ適宜他の図面を参照しつつ説明する。
この指示に応答して、シミュレーション用コンピュータ46は、上記ステップ202で設定された露光条件下で投影光学系PLを無収差と仮定した状態、すなわち(すなわち式(3)に示されるツェルニケ項成分Zi(i=1〜37、すなわちCn,i)をすべて0にした状態)での、デフォーカス量に対するラインパターンの線幅の変動、すなわちCD−フォーカス曲線を結像シミュレータによって作成する。
上述のようにして予測された計測点1〜計測点nのCD−フォーカス曲線を用いて、露光装置100におけるパターンの投影像(又は転写像)の特性を評価することが可能である。例えば、上述のように、投影光学系PLの物体面側で、計測点1〜nに対応する位置にそれぞれ孤立ラインパターンを配置した場合を想定し、計測点毎にCD−フォーカス曲線を予測すれば、評価点毎にCD−フォーカス曲線のずれに基づいて、露光領域IA内における孤立ラインパターンの像の特性、例えば面内均一性を評価することができるようになる。
次に、上述のCD−フォーカス曲線の予測方法、その予測方法によって予測されたCD−フォーカス曲線に基づく露光装置100におけるパターンの転写状態を評価する評価方法を実行後、その評価結果に基づいてパターンの転写状態を調整する調整方法について説明する。なお、ここでは、前述のステップ102において設定した孤立ラインパターンの像における面内均一性を高めることを目標として調整を行うものとする。
半導体デバイスの製造時における露光工程では、デバイス製造用のレチクルRがレチクルステージRST上に装填され、前述した動作により、ステップ・アンド・スキャン式の露光が行われる。なお、本実施形態の露光装置100では、上記のステップ・アンド・スキャン方式の露光に際し、前述の露光領域IA内におけるウエハWの位置及び姿勢を、算出された調整量ADJ16〜ADJ18に基づいて制御することは、前述した通りである。
次に上述した露光装置をリソグラフィ工程で使用したデバイスの製造方法の実施形態について説明する。
Claims (61)
- 第1面上のパターンの像を第2面上に投影する投影光学系の調整方法であって、
前記投影光学系の第1の光学特性を含む光学特性の情報を得る第1工程と;
前記第1面上に配置された所定方向に延びる第1のラインパターンとこれに直交する第2のラインパターンとの像を前記投影光学系を用いて前記第2面上に形成するとともに、前記第1のラインパターンの像の線幅である第1線幅と前記第2のラインパターンの像の線幅である第2線幅との差である線幅差を計測する第2工程と;
前記第1工程で得られた前記第1の光学特性の値と前記線幅差とに応じて、前記第1の光学特性との相互作用により前記線幅差に影響を与える第2の光学特性の大きさを制御するように前記投影光学系を調整する第3工程と;を含む投影光学系の調整方法。 - 請求項1に記載の投影光学系の調整方法において、
前記第1工程で得られる情報は、前記投影光学系の波面収差の情報であり、
前記第3工程では、前記第1工程で得た波面収差をツェルニケ多項式を用いて級数展開した複数のツェルニケ項のうち4次以上の任意の2回回転対称成分項の大きさが零でないとき、前記2回回転対称成分項の大きさと前記線幅差とに応じて、前記2回回転対称成分項と同一次数の回転対称成分項の大きさを制御するように前記投影光学系を調整することを特徴とする投影光学系の調整方法。 - 請求項2に記載の投影光学系の調整方法において、
前記2回回転対称成分項は、4次cos2θ成分項である第12項であり、前記回転対称成分項は4次0θ成分項である第9項であることを特徴とする投影光学系の調整方法。 - 請求項2に記載の投影光学系の調整方法において、
前記2回回転対称成分項は、4次sin2θ成分項である第13項であり、前記回転対称成分項は4次0θ成分である第9項であることを特徴とする投影光学系の調整方法。 - 請求項2〜4のいずれか一項に記載の投影光学系の調整方法において、
前記第1工程では、前記投影光学系の波面を直接計測することより前記波面収差の情報を得ることを特徴とする投影光学系の調整方法。 - 請求項2〜4のいずれか一項に記載の投影光学系の調整方法において、
前記第1工程では、前記第1面上に配置されたサイズが異なる複数組の前記第1のラインパターンと前記第2のラインパターンとの像形成時におけるベストフォーカス位置の差を各組毎に計測し、この計測結果に基づいて、前記波面収差の情報として前記2回回転対称成分項の情報を推定することを特徴とする投影光学系の調整方法。 - 請求項2〜6のいずれか一項に記載の投影光学系の調整方法において、
前記第3工程では、前記2回回転対称成分項の大きさが零でなく、かつ前記第2工程で計測された前記線幅差が零でないとき、前記2回回転対称成分項の大きさと前記線幅差とに基づいて、前記線幅差が設計値に近づくように、前記2回回転対称成分項と同一次数の回転対称成分項の大きさを最適化するように前記投影光学系を調整することを特徴とする投影光学系の調整方法。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の投影光学系の調整方法において、
前記第2工程は、前記第2面上に配置された物体上に前記第1、第2のラインパターンの像を形成する像形成工程と;
前記物体上に形成された前記第1のラインパターンの像の線幅である第1線幅と前記第2のラインパターンの像の線幅である第2線幅とを計測する線幅計測工程と;を含むことを特徴とする投影光学系の調整方法。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の投影光学系の調整方法において、
前記第3工程では、前記投影光学系を構成する少なくとも1つの光学素子の少なくとも1自由度方向の位置制御及び一部の光路中の気体の気圧の制御の少なくとも一方により、前記第2の光学特性の大きさを制御することを特徴とする投影光学系の調整方法。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載の投影光学系の調整方法において、
前記第1のラインパターンは縦線パターンであり、前記第2のラインパターンは横線パターンであり、
前記第1の光学特性と第2の光学特性とは、前記縦線パターンの像と前記横線パターンの像それぞれの線幅変化に対するツェルニケ項の組み合わせのクロスタームにおけるツェルニケ感度を求める工程と、そのクロスタームにおけるツェルニケ感度の符号が縦横線で異なるツェルニケ項同士の組み合わせを求める工程と、を経て決定されていることを特徴とする投影光学系の調整方法。 - 請求項1に記載の投影光学系の調整方法において、
前記第1工程で得られる情報は、前記投影光学系の波面収差の情報であり、
前記第1及び第2の光学特性は、前記第1工程で得た波面収差を、ツェルニケ多項式を用いて級数展開した複数のツェルニケ項のうち同一次数で、かつ種類が異なる成分の項であることを特徴とする投影光学系の調整方法。 - 第1面上の回路パターンを投影光学系を介して第2面上に配置された物体に転写する露光方法であって、
請求項1〜11のいずれか一項に記載の投影光学系の調整方法を用いて前記投影光学系を調整する工程と;
前記調整後の投影光学系を用いて前記回路パターンを前記物体上に転写する工程と;を含む露光方法。 - マスクに形成されたパターンを露光光学系を介して物体上に転写する露光装置であって、
請求項1〜11のいずれか一項に記載の投影光学系の調整方法を用いて調整された投影光学系を前記露光光学系として備えることを特徴とする露光装置。 - 第1面上のパターンの像を第2面上に投影する投影光学系の調整方法であって、
前記投影光学系の第1の光学特性を含む光学特性の情報を得る第1工程と;
前記第1工程で得られた前記第1の光学特性の値と、前記第1面上に配置された所定方向に延びる第1のラインパターンの線幅と前記第1のラインパターンに直交する第2のラインパターンの線幅との差とに応じて、前記第1の光学特性との相互作用によって前記投影光学系によって前記第2面上に形成される前記第1のラインパターンの像の線幅と前記第2のラインパターンの像の線幅との差である線幅差に影響を与える第2の光学特性の大きさを制御するように前記投影光学系を調整する第2工程と;を含む投影光学系の調整方法。 - 請求項14に記載の投影光学系の調整方法において、
前記第1のラインパターンは縦線パターンであり、前記第2のラインパターンは横線パターンであり、
前記第1の光学特性と第2の光学特性とは、前記縦線パターンの像と前記横線パターンの像それぞれの線幅変化に対するツェルニケ項の組み合わせのクロスタームにおけるツェルニケ感度を求める工程と、そのクロスタームにおけるツェルニケ感度の符号が縦横線で異なるツェルニケ項同士の組み合わせを求める工程と、を経て決定されていることを特徴とする投影光学系の調整方法。 - 第1面上の回路パターンを投影光学系を介して第2面上に配置された物体に転写する露光方法であって、
請求項14又は15に記載の投影光学系の調整方法を用いて前記投影光学系を調整する工程と;
前記調整後の投影光学系を用いて前記回路パターンを前記物体上に転写する工程と;を含む露光方法。 - マスクに形成されたパターンを露光光学系を介して物体上に転写する露光装置であって、
請求項14又は15に記載の投影光学系の調整方法を用いて調整された投影光学系を前記露光光学系として備えることを特徴とする露光装置。 - マスクに形成されたパターンを投影光学系を介して物体上に転写する露光装置を製造する露光装置の製造方法であって、
請求項1〜11、14、15のいずれか一項に記載の投影光学系の調整方法を用いて前記投影光学系を調整する工程を含む露光装置の製造方法。 - 第1面上に配置されたパターンをエネルギビームで照明し、前記パターンを投影光学系を介して第2面上に配置された物体上に転写する露光装置であって、
前記投影光学系の第1の光学特性を含む光学特性を計測する光学特性計測装置と;
前記投影光学系により前記第2面上に形成された前記第1面上で所定方向に延びる第1のラインパターンとこれに直交する第2のラインパターンとの像の線幅をそれぞれ計測する線幅計測装置と;
前記投影光学系によるパターン像の形成状態を調整する像形成状態調整装置と;
前記光学特性計測装置で計測された前記第1の光学特性の値と、前記線幅計測装置で計測された前記第1のラインパターンの像の線幅である第1線幅と前記第2のラインパターンの像の線幅である第2線幅との差である線幅差と、に応じて、前記第1の光学特性との相互作用により前記線幅差に影響を与える第2の光学特性の大きさを、前記像形成状態調整装置を用いて制御する制御装置と;を備える露光装置。 - 請求項19に記載の露光装置において、
前記光学特性計測装置は、前記投影光学系の波面収差を計測する波面収差計測装置であることを特徴とする露光装置。 - 請求項20に記載の露光装置において、
前記第1の光学特性は、前記波面収差計測装置で計測された波面収差をツェルニケ多項式を用いて級数展開した複数のツェルニケ項のうち4次以上の任意の2回回転対称成分項であり、前記第2の光学特性は、前記2回回転対称成分項と同一次数の回転対称成分項であることを特徴とする露光装置。 - 請求項21に記載の露光装置において、
前記2回回転対称成分項は、4次2θ成分項である第12項及び第13項のいずれかであり、前記回転対称成分項は4次0θ成分である第9項であることを特徴とする露光装置。 - 請求項19〜22のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記線幅計測装置は、前記第2面上に形成された前記各パターンの投影像を計測する空間像計測器を含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項19〜22のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記線幅計測装置は、前記第2面上に配置された物体上に形成された像を撮像する撮像装置を含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項19〜24のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記像形成状態調整装置は、前記投影光学系を構成する少なくとも1つの光学素子の少なくとも1自由度方向の位置の調整、一部の光路中の気体の気圧の調整、前記エネルギビームの波長シフト量の調整、及び前記パターンが形成されたパターン形成部材及び前記物体の少なくとも一方の前記投影光学系の光軸方向に関する位置の調整、の少なくとも1つを行うことを特徴とする露光装置。 - リソグラフィ工程を含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィ工程では、請求項13、17、19〜25のいずれか一項に記載の露光装置を用いて露光を行うことを特徴とするデバイス製造方法。 - 投影光学系を介したパターンの像の特性を予測する予測方法であって、
前記投影光学系の波面収差を所定の式を用いて級数展開して得られる各収差成分をそれぞれ含む複数の項の線形結合に基づいて、所定露光条件下で前記投影光学系を介して投影される所定パターンの像に関する、最良フォーカス位置からのデフォーカス量に対する前記像のサイズの変動を示す変動曲線の前記波面収差に起因する移動量を算出して、前記算出された移動量に基づいて前記変動曲線を予測する予測工程を含む予測方法。 - 請求項27に記載の予測方法において、
前記予測工程に先立って、
前記所定露光条件下で前記投影光学系に収差が無いと仮定した場合に求められる、前記デフォーカス量に対する前記像のサイズの変動を示す変動曲線を、シミュレーションによって求め、求めた変動曲線を高次関数に近似する工程をさらに含むことを特徴とする予測方法。 - 請求項28に記載の予測方法において、
前記予測工程では、
前記所定露光条件下での前記デフォーカス量に対する前記各収差成分の感度をそれぞれの係数とする前記各収差成分の線形結合に基づいて、前記変動曲線の前記デフォーカス量の方向に関する移動量を算出し、
前記所定露光条件下での前記像のサイズの変化に対する前記各収差成分の二乗の感度をそれぞれの係数とする前記各収差成分の二乗の線形結合に基づいて、前記変動曲線の前記像のサイズの変化の方向に関する移動量を算出することを特徴とする予測方法。 - 請求項29に記載の予測方法において、
前記予測工程では、
前記各収差成分の二乗の線形結合に加え、前記所定露光条件下での前記像のサイズの変化の方向に対する、互いに異なる収差成分同士のクロス項の感度をそれぞれの係数とする前記各クロス項の線形結合に基づいて、前記変動曲線の前記像のサイズの変化に関する移動量を算出することを特徴とする予測方法。 - 請求項28〜30のいずれか一項に記載の予測方法において、
前記高次関数は、偶数次の項のみから成る関数であることを特徴とする予測方法。 - 請求項27に記載の予測方法において、
前記予測工程では、
前記各収差成分をそれぞれ含む複数の項の線形結合に基づいて、前記変動曲線の前記波面収差に起因する変形具合を算出し、前記移動量及び前記変形具合に基づいて前記変動曲線を予測することを特徴とする予測方法。 - 請求項32に記載の予測方法において、
前記予測工程に先立って、
前記所定露光条件下で前記投影光学系に収差が無いと仮定した場合に求められる、前記デフォーカス量に対する前記像のサイズの変動を示す変動曲線をシミュレーションによって求め、求めた変動曲線を高次関数に近似する工程をさらに含むことを特徴とする予測方法。 - 請求項33に記載の予測方法において、
前記予測工程に先立って、
実際の収差状態における前記投影光学系を介して前記所定露光条件下で投影される前記パターンの像に関する、前記変動曲線を算出する算出工程をさらに含み、
前記予測工程では、前記移動量に基づいて移動した変動曲線を近似する高次関数と、前記算出工程で求められた変動曲線を表す関数との差分を示す差分関数を、前記波面収差に起因する前記変動曲線の変動具合として求めることを特徴とする予測方法。 - 請求項34に記載の予測方法において、
前記算出工程は、シミュレーションによって行われることを特徴とする予測方法。 - 請求項34に記載の予測方法において、
前記予測工程では、
前記所定露光条件下における前記差分関数の偶数次の項に対する前記各収差成分の二乗の感度をそれぞれの係数とする前記各収差成分の二乗の線形結合に基づいて、前記差分関数のその偶数次の項の係数を算出し、
前記所定露光条件下における前記差分関数の奇数次の項に対する前記各収差成分の感度をそれぞれの係数とする前記各収差成分の線形結合に基づいて、前記差分関数のその奇数次の項の係数を算出することを特徴とする予測方法。 - 請求項27〜36のいずれか一項に記載の予測方法において、
前記所定の式は、ツェルニケ多項式であり、
前記各収差成分は、各ツェルニケ項の係数であることを特徴とする予測方法。 - 投影光学系を介したパターンの像の特性を評価する評価方法であって、
前記投影光学系の有効視野内の少なくとも1つの計測点について、請求項27〜37のいずれか一項に記載の予測方法を用いて、所定露光条件下で前記投影光学系を介して前記少なくとも1つの計測点に投影される所定パターンの像に関する、最良フォーカス位置からのデフォーカス量に対する前記像のサイズの変動を示す変動曲線を予測する工程と;
前記予測結果に基づいて、前記所定パターンの像の特性を評価する工程と;を含む評価方法。 - 請求項38に記載の評価方法において、
前記所定パターンは、前記投影光学系の有効視野内の複数の計測点のそれぞれに対応して配置され、
前記特性は、前記投影光学系の有効視野内における前記像の均一性を含むことを特徴とする評価方法。 - 請求項38に記載の評価方法において、
前記所定パターンは、前記投影光学系の光軸方向に直交する平面上に設けられた互いに直交する2つのラインパターンを含み、
前記予測する工程では、前記ラインパターン毎に、前記変動曲線を予測することを特徴とする評価方法。 - 請求項40に記載の評価方法において、
前記評価する工程では、前記像の特性としてラインパターンの像同士の線幅差を評価することを特徴とする評価方法。 - 請求項38に記載の評価方法において、
前記所定パターンは、前記投影光学系の光軸方向に直交する平面上に設けられた互いに平行な2つのラインパターンを含み、
前記予測する工程では、前記ラインパターン毎に、前記変動曲線を予測することを特徴とする評価方法。 - 請求項42に記載の評価方法において、
前記評価する工程では、前記像の特性としてラインパターンの像同士の線幅差を評価することを特徴とする評価方法。 - 投影光学系を介したパターンの像の形成状態を調整する調整方法であって、
請求項38に記載の評価方法を用いて、前記投影光学系の有効視野内の少なくとも1つの計測点に対応して配置された所定パターンの像の特性を評価する評価工程と;
前記評価結果に基づいて、前記投影光学系を介した前記所定パターンの像の形成状態を調整する調整工程と;を含む調整方法。 - 請求項44に記載の調整方法において、
前記調整工程では、
前記計測点に関する、前記所定パターンの像の形成状態を調整する調整パラメータの単位調整量当たりの前記各収差成分の変化量と、前記所定露光条件下における前記所定パターンの像のサイズの変化に対する前記各収差成分の感度と、前記デフォーカス量に対する前記所定パターンの像のサイズの変動を示す変動曲線の各次の項の係数に関する目標値からのずれとを用いて前記調整パラメータの調整量を算出し、算出された調整量に基づいて、前記所定パターンの像の形成状態を調整することを特徴とする調整方法。 - 請求項45に記載の調整方法において、
前記評価工程では、前記投影光学系の有効視野内の複数の計測点にそれぞれ対応して配置された所定パターンの像の特性をそれぞれ評価し、
前記調整工程では、前記変動曲線の同一次の項の係数に関する目標値を、前記計測点間で同一とすることを特徴とする調整方法。 - 請求項45に記載の調整方法において、
所定パターンが複数のパターンを含む場合には、
前記変動曲線の同一次の項の係数に関する目標値を、前記パターン間で同一とすることを特徴とする調整方法。 - 請求項45〜47のいずれか一項に記載の調整方法において、
前記調整量を、最小二乗法を用いて求めることを特徴とする調整方法。 - 第1面上の回路パターンを投影光学系を介して第2面上に配置された物体に転写する露光方法であって、
請求項44〜48のいずれか一項に記載の調整方法を用いて、前記投影光学系を介した前記回路パターンの像の形成状態を調整する工程と;
前記調整された像の形成状態で、前記回路パターンを、前記投影光学系を介して前記物体に転写する工程と;を含む露光方法。 - リソグラフィ工程を含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィ工程では、請求項49に記載の露光方法を用いることを特徴とするデバイス製造方法。 - 投影光学系を介したパターンの像の特性の予測をコンピュータに実行させるプログラムであって、
前記投影光学系の波面収差を所定の式を用いて級数展開して得られる各収差成分をそれぞれ含む複数の項の線形結合に基づいて、所定露光条件下で前記投影光学系を介して投影される所定パターンの像に関する、前記最良フォーカス位置からのデフォーカス量に対する前記像のサイズの変動を示す変動曲線の前記波面収差に起因する移動量を算出して、前記算出された移動量に基づいて前記変動曲線を予測する予測手順を、前記コンピュータに実行させるプログラム。 - 請求項51に記載のプログラムにおいて、
前記予測手順に先立って、
前記所定露光条件下で前記投影光学系に収差が無いと仮定した場合に求められる、前記デフォーカス量に対する前記像のサイズの変動を示す変動曲線を高次関数に近似する手順を、前記コンピュータにさらに実行させることを特徴とするプログラム。 - 請求項52に記載のプログラムにおいて、
前記予測手順として、
前記所定露光条件下での前記デフォーカス量に対する前記各収差成分の感度をそれぞれの係数とする前記各収差成分の線形結合に基づいて、前記変動曲線の前記デフォーカス量の方向に関する移動量を予測する手順と、
前記所定露光条件下での前記像のサイズの変化に対する前記各収差成分の二乗の感度をそれぞれの係数とする前記各収差成分の二乗の線形結合に基づいて、前記変動曲線の前記像のサイズの変化の方向に関する移動量を予測する手順と、を前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。 - 請求項53に記載のプログラムにおいて、
前記予測手順として、
前記各収差成分の二乗の線形結合に加え、前記所定露光条件下での前記像のサイズの変化に対する、互いに異なる収差成分同士のクロス項の感度をそれぞれの係数とする前記各クロス項の線形結合に基づいて、前記変動曲線の前記像のサイズの変化の方向に関する移動量を予測する手順を、前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。 - 請求項52〜54のいずれか一項に記載のプログラムにおいて、
前記高次関数は、偶数次の項のみから成る関数であることを特徴とするプログラム。 - 請求項51に記載のプログラムにおいて、
前記予測手順として、
前記各収差成分をそれぞれ含む複数の項の線形結合に基づいて、前記変動曲線の前記波面収差に起因する変形具合を算出し、前記移動量及び前記変形具合に基づいて前記変動曲線を予測する手順を、前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。 - 請求項56に記載のプログラムにおいて、
前記予測手順に先立って、
前記所定露光条件下で前記投影光学系に収差が無いと仮定した場合に求められる、前記デフォーカス量に対する前記像のサイズの変動を示す変動曲線を高次関数に近似する手順を、前記コンピュータにさらに実行させることを特徴とするプログラム。 - 請求項57に記載のプログラムにおいて、
前記予測手順に先立って、
前記所定露光条件下における実際の収差状態での前記投影光学系を介して投影される所定パターンの像に関する、前記デフォーカス量に対する前記像のサイズの変動を算出する算出手順を、前記コンピュータにさらに実行させ、
前記予測手順として、前記移動量に基づいて移動した高次関数と、前記算出手順で求められた変動関数との差分を示す差分関数を、前記波面収差に起因する前記変動曲線の変動具合として求める手順を、前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。 - 請求項58に記載のプログラムにおいて、
前記予測手順として、
前記所定露光条件下における前記差分関数の偶数次の項に対する前記各収差成分の二乗の感度をそれぞれの係数とする前記各収差成分の二乗の線形結合に基づいて、前記差分関数のその偶数次の項の係数を予測する手順と、
前記所定露光条件下における前記差分関数の奇数次の項に対する前記各収差成分の感度をそれぞれの係数とする前記各収差成分の線形結合に基づいて、前記差分関数のその奇数次の項の係数を予測する手順と、を前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。 - 請求項51〜59のいずれか一項に記載のプログラムにおいて、
前記所定の式は、ツェルニケ多項式であり、
前記各収差成分は、各ツェルニケ項の係数であることを特徴とするプログラム。 - 請求項51〜59のいずれか一項に記載のプログラムが記録されたコンピュータによる読み取りが可能な情報記録媒体。
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