JP4825569B2 - 測定座標設定システム及び測定座標設定方法 - Google Patents
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Description
B. ムーン、J. マクネメス、B. ホワイトフィールド、P. ルドルフ、J. ゾラ(B. Moon, J. McNames, B. Whitefield, P. Rudolph, J. Zola)著、「系統的なウェハ変形検出のための回帰によるウェハサンプリング(Wafer Sampling by Regression for Systematic Wafer Variation Detection)」、(米国)、プロシーディングス・オブ・エスピーアイイー(Proceedings of SPIE)5755、2005年、p. 212-221
第1の実施の形態に係る測定座標設定システムは、図1に示すように、平面上で第1の製造物の複数の部分の寸法を測定する測定装置332、及び中央演算処理装置(CPU)300を有する。CPU300は、複数の寸法の平面分布を、平面の座標の関数としてゼルニケ(Zernike)多項式等の抽出用直交多項式で近似する抽出用近似モジュール121、及び近似された平面分布を第1の製造物とは異なる第2の製造物が有するか否かを検査するために、第2の製造物の複数の部分の寸法を測定する選択座標を設定する選択座標設定モジュール124を有する。ここで第1及び第2の製造物の複数の部分の寸法とは、半導体基板等のウェハに設けられた複数のトレンチの深さ、ウェハ上のレジスト膜、絶縁膜、導電膜等の複数の部分の厚さ、及びウェハ上に設けられたレジストパターンの複数の部分の線幅等を指す。なお第1の実施の形態においては、第1及び第2の製造物の複数の部分の寸法としてウェハ上に設けられたレジストパターンの複数の部分の線幅をとりあげる。
Z2(r, φ) = r cosφ …(3)
Z3(r, φ) = r sinφ …(4)
Z4(r, φ) = 2r2 - 1 …(5)
Z5(r, φ) = r2cos2φ …(6)
Z6(r, φ) = r2sin2φ …(7)
Z7(r, φ) = (3r3 - 2r)cosφ …(8)
Z8(r, φ) = (3r3 - 2r)sinφ …(9)
Z9(r, φ) = 6r4 - 6r2 + 1 …(10)
(2)式で与えられるように、抽出用直交多項式の第1項は定数項である。(3)式で与えられる第2項は、平面分布に含まれる図6に示すx方向の分布成分を表す。(4)式で与えられる第3項は、平面分布に含まれる図7に示すy方向の分布成分を表す。(5)式で与えられる第4項は、平面分布に含まれる図8に示す同心円方向の2次の分布成分を表す。(6)式で与えられる第5項は、平面分布に含まれる図9に示す0度方向及び90度方向の分布成分を表す。(7)式で与えられる第6項は、平面分布に含まれる図10に示す±45度方向の分布成分を表す。(8)式で与えられる第7項は、平面分布に含まれる図11に示すx方向の高次の分布成分を表す。(9)式で与えられる第8項は、平面分布に含まれる図12に示すy方向の高次の分布成分を表す。(10)式で与えられる第9項は、平面分布に含まれる図13に示す同心円方向の4次の分布成分を表す。
+ 7.2×10-5×Z6(r, φ) - 3×10-7×Z7(r, φ) …(12)
上記(12)式で近似された平面分布を示す図14において、第1領域171a, 171b, 171c, 171dのそれぞれは、近似された第1のレジストパターンの線幅が62nm未満である領域を示す。第2領域172a, 172b, 172cのそれぞれは、近似された第1のレジストパターンの線幅が62nm以上63nm未満である領域を示す。第3領域173a, 173b, 173cのそれぞれは、近似された第1のレジストパターンの線幅が63nm以上64nm未満である領域を示す。第4領域174は、近似された第1のレジストパターンの線幅が64nm以上65nm未満である領域を示す。第5領域175は、近似された第1のレジストパターンの線幅が65nm以上66nm未満である領域を示す。第6領域176は、近似された第1のレジストパターンの線幅が66nm以上67nm未満である領域を示す。第7領域177は、近似された第1のレジストパターンの線幅が67nm以上から68nm未満である領域を示す。第8領域178は、近似された第1のレジストパターンの線幅が68nm以上である領域を示す。図5に示す実際の平面分布を、上記(12)式は充分に近似していることが図14より分かる。
第2の実施の形態に係る寸法分布検査システムのCPU300は、図18に示すように、比較用近似モジュール125、比較用誤差算出モジュール126、比較用判定モジュール127、及び評価モジュール128を有する。比較用近似モジュール125は、選択座標で測定された第2のレジストパターンの線幅の平面分布を、ゼルニケ多項式等の比較用直交多項式で近似する。ゼルニケ多項式を用いた場合、比較用直交多項式は抽出用直交多項式と同様、上記(1)式で与えられる。
(その他の実施の形態)
上記のように、本発明の実施の形態を記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。例えば図19のステップS205において、第2のレジストパターンが第1のレジストパターンと大きく異なる線幅の平面分布を有している場合は、比較用直交多項式の近似誤差eが大きくなる。この場合、選択座標のみでの線幅の測定では、第2のレジストパターンの線幅の平面分布を検査することは不可能であると判断し、新たに第2のレジストパターンの線幅を複数の測定位置で測定し直してもよい。またステップS207において、比較用直交多項式の有意項の展開係数が、抽出用直交多項式の有意項の展開係数と異なった場合にも、図18に示す評価モジュール128は選択座標のみでの線幅の測定では第2のレジストパターンの線幅の平面分布を検査することは不可能であると判断し、新たに第2のレジストパターンの線幅を複数の測定位置で測定し直してもよい。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明からは妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
121…抽出用近似モジュール
122…抽出用誤差算出モジュール
123…抽出用判定モジュール
124…選択座標設定モジュール
125…比較用近似モジュール
128…評価モジュール
300…CPU
321…抽出用近似モジュール
332…測定装置
Claims (5)
- 平面上で第1の製造物の複数の部分の寸法を測定する測定装置と、
前記複数の寸法の平面分布を、前記平面の座標の関数として抽出用直交多項式で近似する抽出用近似モジュールと、
前記近似された平面分布を第2の製造物で検査するために、前記第2の製造物の複数の部分の寸法を測定する選択座標を設定する選択座標設定モジュール
とを備えることを特徴とする測定座標設定システム。 - 前記抽出用直交多項式の各項の展開係数の有意性を判定する抽出用判定モジュールを更に備えることを特徴とする請求項1に記載の測定座標設定システム。
- 前記複数の寸法の選択座標は、前記有意性が有ると判定された前記展開係数を含む前記抽出用直交多項式の項が表す分布成分を検査可能な位置関係を有することを特徴とする請求項2に記載の測定座標設定システム。
- 前記抽出用直交多項式は、ゼルニケ多項式であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の測定座標設定システム。
- 平面上で第1の製造物の複数の部分の寸法を測定するステップと、
前記複数の寸法の平面分布を、前記平面の座標の関数として抽出用直交多項式で近似するステップと、
前記近似された平面分布を第2の製造物で検査するために、前記第2の製造物の複数の部分の寸法を測定する選択座標を設定するステップ
とを含むことを特徴とする測定座標設定方法。
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