JP2007005772A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 少なくとも１つの光学面と第１の光軸とを有する光学部品、前記光学部品を装着するソケット、および、前記光学部品内の応力を変化させる第１の力を前記光学部品の前記第１の光軸とほぼ平行に付加する第１のマニピュレータを具え、前記第１の力は、応力複屈折を前記光学部品内に誘起するような強度を有してなる光学装置において、
   前記光学部品を第１の光学部品として、少なくとも１つの光学面と第２の光軸とを有する第２の光学部品を設けるとともに、前記第２の光学部品内の応力を変化させる第２の力を前記第２の光学部品の前記第２の光軸とほぼ平行に付加する第２のマニピュレータをさらに設け、前記第２の力は、結像特性に対するスカラ量的効果を少なくとも大部分において前記第２の光学部品内に誘起するような強度を有していることを特徴とする光学装置。
2. 前記第２の力は前記第１の力と異なることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
3. 前記第１の光学部品が、前記第２の光学部品よりも歪光学係数が低い材料で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
4. 前記第１の光学部品が、前記第２の光学部品の形状と異なる形状を有することを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
5. 前記第１の光学部品が第１のレンズであり、前記第２の光学部品が第２のレンズであり、前記第２のレンズが前記第１のレンズの厚さとは異なる厚さを有し、前記第１のレンズの屈折力は前記第２のレンズの屈折力と少なくともほぼ同等であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
6. 光軸を有する、マイクロリソグラフィ投影露光装置の少なくとも１つ光学部品の偏光状態に影響を及ぼすための方法であって、
   前記少なくとも１つ光学部品を第１の光学部品として、応力複屈折を前記第１の光学部品内に誘起するように前記第１の光学部品に力を付加するとともに、
   少なくとも第２の光学部品にも、前記第２の光学部品の結像特性に対するスカラ量的効果が前記第２の光学部品に生成されるように力を付加し、このスカラ量的効果は、前記第１の光学部品に付加された力によって誘起されたスカラ量的効果を少なくとも部分的に補償するものであることを特徴とする方法。
7. 前記第２の光学部品に付加された力は前記第１の光学部品に付加された力より低いか同じであることを特徴とする請求項６に記載の方法。
8. 前記第１の光学部品が、前記第２の光学部品よりも歪光学係数が低い材料で形成されていることを特徴とする請求項６に記載の方法。
9. 前記第１の光学部品が、前記第２の光学部品の形状と異なる形状を有することを特徴とする請求項６に記載の方法。
10. 前記第１の光学部品が第１のレンズであり、前記第２の光学部品が第２のレンズであり、前記第２のレンズが前記第１のレンズの厚さとは異なる厚さを有し、前記第１のレンズの屈折力は前記第２のレンズの屈折力と少なくともほぼ同等であることを特徴とする請求項６に記載の方法。