JP2010219080A5 - - Google Patents

Description

本発明の一側面としての光学系は、複数の光学素子から構成され、前記複数の光学素子を鏡筒に収納する光学系であって、前記複数の光学素子の少なくとも一つの光学素子は、当該光学素子を保持すると共に前記光学素子の形状を調整する光学装置を介して前記鏡筒に固定され、前記光学装置は、前記光学素子を保持する保持部と、前記鏡筒の一部に固定される固定部される固定部と、を有して前記光学素子を支持する支持部材と、前記鏡筒の一部には接続されずに、前記支持部材の表面又は内部に取り付けられて前記支持部材に内力を発生させることによって前記光学素子に変形力を加えるアクチュエータ素子と、を有することを特徴とする。

Claims (8)

1. 複数の光学素子から構成され、前記複数の光学素子を鏡筒に収納する光学系であって、
   前記複数の光学素子の少なくとも一つの光学素子は、当該光学素子を保持すると共に前記光学素子の形状を調整する光学装置を介して前記鏡筒に固定され、
   前記光学装置は、
   前記光学素子を保持する保持部と、前記鏡筒の一部に固定される固定部と、を有して前記光学素子を支持する支持部材と、
   前記鏡筒の一部には接続されずに、前記支持部材の表面又は内部に取り付けられて前記支持部材に内力を発生させることによって前記光学素子に変形力を加えるアクチュエータ素子と、
   を有することを特徴とする光学系。
2. 前記光学素子の形状を計測する計測器と、
   当該計測器による計測結果に基づいて前記光学素子の形状と設定された形状との差を計算する演算手段と、
   当該演算手段が計算した前記差が小さくなるように前記アクチュエータ素子に駆動指令を出す制御手段と、
   を更に有することを特徴とする請求項１に記載の光学系。
3. 請求項１又は２に記載の光学系を有する露光装置。
4. 被駆動体を支持すると共に前記被駆動体の形状を調整するステージ装置であって、
   前記被駆動体を吸着する吸着手段を備えたチャックと、
   前記チャックの表面又は内部に取り付けられて前記チャックに内力を発生させることによって前記被駆動体に変形力を加えるアクチュエータ素子と、
   を有することを特徴とするステージ装置。
5. 前記被駆動体の形状を計測する計測器と、
   当該計測器による計測結果に基づいて前記被駆動体の形状と設定された形状との差を計算する演算手段と、
   当該演算手段が計算した前記差が小さくなるように前記アクチュエータ素子に駆動指令を出す制御手段と、
   を更に有することを特徴とする請求項４に記載のステージ装置。
6. 請求項４又は５に記載のステージ装置を有することを特徴とする露光装置。
7. 光学系を構成する複数の光学素子の少なくとも一つの光学素子を保持すると共に前記光学素子の形状を調整する光学装置であって、
   前記光学素子を保持する保持部と、前記光学系の鏡筒の一部に固定される固定部と、を有して前記光学素子を支持する支持部材と、
   前記鏡筒の一部には接続されずに、前記支持部材の表面又は内部に取り付けられて前記支持部材に内力を発生させることによって前記光学素子に変形力を加えるアクチュエータ素子と、
   を有することを特徴とする光学装置。
8. 請求項３又は６に記載の露光装置を使用して基板を露光するステップと、
   露光された前記基板を現像するステップと、
   を有することを特徴とするデバイス製造方法。