JP2007048881A5 - - Google Patents
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Claims (9)
- 基板の位置および高さの少なくともいずれかを計測するための光学系を備える真空用露光装置であって、
前記光学系の少なくとも一部を密封して覆うカバーと、
前記カバーに接続され、前記カバー内に気体を供給および排出するための配管とを備えることを特徴とする露光装置。 - 前記カバーには、計測のための光を透過するための透明板が設けられることを特徴とする請求項１に記載の真空用露光装置。
- 前記光学系は、前記透明板の変形によって生じる収差の影響を低減するように構成されることを特徴とする請求項２に記載の真空用露光装置。
- 前記気体の温度を制御する温度制御手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の真空用露光装置。
- 前記カバー内の圧力を制御する圧力制御手段を備えることを特徴とする請求項１〜４の少なくともいずれかに記載の真空用露光装置。
- 前記光学系の少なくとも一部が撮像素子であることを特徴とする請求項１〜５の少なくともいずれかに記載の真空用露光装置。
- 前記光学系の少なくとも一部が計測光を照射する光源であることを特徴とする請求項１〜６の少なくともいずれかに記載の真空用露光装置。
- 前記光学系の少なくとも一部が複数のレンズを接着したレンズ群であることを特徴とする請求項１〜７の少なくともいずれかに記載の真空用露光装置。
- 請求項１〜８の少なくともいずれかに記載の真空用露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光された基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
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