JP2006524363A5 - - Google Patents

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Claims (8)

  1. 入力端および出力端を有するトンネル型積分器と、
    前記トンネル型積分器の前記出力端に配置され、負のパワーを有する積分器フィールドレンズと、
    前記積分器フィールドレンズからの光路上に配置されたリレーレンズ系と、を備える光学系。
  2. 前記積分器フィールドレンズからの光路上に配置された開口絞りをさらに備え、前記リレーレンズ系は少なくとも第1のレンズを備え、前記第1のレンズは前記積分器フィールドレンズと前記開口絞りの間の光路上に配置され、前記トンネル型積分器の前記入力端は前記開口絞りに結像される請求項1に記載の系。
  3. 前記積分器フィールドレンズからの光路上に、少なくとも1つのイメージ化装置をさらに備え、前記トンネル型積分器の前記出力端は、前記リレーレンズ系により、前記少なくとも1つのイメージ化装置に結像される請求項2に記載の系。
  4. 前記少なくとも1つのイメージ化装置からの画像光を投影するように配置された投影レンズユニットをさらに備える請求項3に記載の系。
  5. 前記開口絞りは、前記投影レンズユニットの絞りである請求項4に記載の系。
  6. 前記少なくとも1つのイメージ化装置は、少なくとも1つの透過型液晶イメージ化装置と、反射型液晶イメージ化装置と、ミラーのアレイと、を備える請求項3に記載の系。
  7. 前記少なくとも1つのイメージ化装置は、少なくとも2つのイメージ化装置を備え、前記少なくとも2つのイメージ化装置からの画像光は、単一の画像ビームを形成するように結合される請求項3に記載の系。
  8. 照明光を生成することが可能で、前記照明光を前記トンネル型積分器の前記入力端に向けるように配置された光源をさらに備える請求項1に記載の系。
JP2006509204A 2003-04-11 2004-03-05 トンネル型積分器およびフィールドレンズを備えた投影照射系 Withdrawn JP2006524363A (ja)

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