JP2007048881A - 真空用露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板の位置および高さの少なくともいずれかを計測するための光学系を備える真空用露光装置であって、密封されたカバーによって前記光学系の少なくとも一部が覆われる。
【選択図】 図2
Description
本発明が適用される露光装置について図1を参照しつつ説明する。露光装置100は発光部101と、照明光学系102と、レチクルステージ103と、投影光学系104と、ウエハステージ105と、これらを覆う真空チャンバー106等を備える。
図3を参照しつつ、上述の気密カバーをフォーカス光学系に適用した例を説明する。実施例1と同様の符号が付されているものについて説明を省略する箇所については実施例1と同様であるものとする。
次に、図4及び図5を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。図4はデバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
3 透明板
4 供給管
5 排出管
8 制御手段
13,24 CCDカメラ
14 レンズ対
15,21 光源
Claims (10)
- 基板の位置および高さの少なくともいずれかを計測するための光学系を備える真空用露光装置であって、
密封されたカバーによって前記光学系の少なくとも一部が覆われることを特徴とする露光装置。 - 前記カバーには、計測のための光を透過するための透明板が設けられることを特徴とする請求項1に記載の真空用露光装置。
- 前記光学系は、前記透明板の変形によって生じる収差の影響を低減するように構成されることを特徴とする請求項2に記載の真空用露光装置。
- 前記カバーに接続され、前記カバー内に気体を供給および回収するための配管を備えることを特徴とする請求項1〜3の少なくともいずれかに記載の真空用露光装置。
- 前記気体の温度を制御する温度制御手段を備えることを特徴とする請求項4に記載の真空用露光装置。
- 前記カバー内の圧力を制御する圧力制御手段を備えることを特徴とする請求項1〜5の少なくともいずれかに記載の真空用露光装置。
- 前記光学系の少なくとも一部が撮像素子であることを特徴とする請求項1〜6の少なくともいずれかに記載の真空用露光装置。
- 前記光学系の少なくとも一部が計測光を照射する光源であることを特徴とする請求項1〜7の少なくともいずれかに記載の真空用露光装置。
- 前記光学系の少なくとも一部が複数のレンズを接着したレンズ群であることを特徴とする請求項1〜8の少なくともいずれかに記載の真空用露光装置。
- 請求項1〜9の少なくともいずれかに記載の真空用露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光された基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
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