JP2004266273A - 露光装置及び露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 EUV光を用いてレチクルに形成されたパターンを投影光学系を介して被処理体上に投影露光する露光装置であって、
前記露光装置は、前記EUV光とは異なる波長の第2の光でマークを照明し、該マークからの前記第2の光を前記投影光学系を介して受光することにより該マークの位置に関する情報を検出する検出手段を有することを特徴とする露光装置を提供する。
【選択図】 図1
Description
The Reticle)アライメント光学系1500の2種類を有する。なお、TTRアライメント光学系は、TTL(Through The Lens)アライメント光学系と呼ばれる場合もある。
前記露光装置は、前記EUV光とは異なる波長の第2の光でマークを照明し、該マークからの前記第2の光を前記投影光学系を介して受光することにより該マークの位置に関する情報を検出する検出手段を有することを特徴とする。
110 照明装置
114 照明光学系
120 レチクル
122 パターン面
124 アライメントマーク
124a マーク部
125 レチクルステージ
126 レチクル側基準板
129 ミラー
130 投影光学系
140 被処理体
145 ウェハステージ
146 ウェハ側基準板
147 アライメントマーク
147a クロム面
147b マーク部
150 オフアクシスアライメント光学系
160、160A、160B TTRアライメント光学系
161 紫外光源
162 光ファイバー
163 照明部
164 対物レンズ
165 リレーレンズ
166 撮像素子
167 光量センサー
168 高圧水銀ランプ
169 波長選択フィルタ
170 ガスボンベ
172 バルブ
180 ポンプ
182 排気口
Claims (15)
- EUV光を用いてレチクルに形成されたパターンを投影光学系を介して被処理体上に投影露光する露光装置であって、
前記露光装置は、前記EUV光とは異なる波長の第2の光でマークを照明し、該マークからの前記第2の光を前記投影光学系を介して受光することにより該マークの位置に関する情報を検出する検出手段を有することを特徴とする露光装置。 - 前記EUV光は、波長20nm以下の光であることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記第2の光は、150nm乃至370nmの波長であることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記マークは前記レチクル又は前記被処理体の少なくとも一方に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記レチクルを保持する第1のステージと前記被処理体を保持する第2のステージの少なくとも一方を有し、前記マークは前記第1と第2のステージの少なくとも一方に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記検出手段は、受光手段と、前記投影光学系からの前記第2の光を前記受光手段に導く屈折光学系とを有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記検出手段は、
前記第2の光を発する光源と、
前記投影光学系の任意の点の像高において、前記投影光学系内の光路が前記EUV光と同一となるように、前記光源からの前記第2の光を前記投影光学系に導光する光学系とを有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記第2の光は、前記投影光学系を介さずにマークを照明することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記投影光学系は、モリブデンとシリコンとを積層した多層膜ミラーを有することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記EUV光の光路中に所定のガスを供給するガスボンベを更に有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記検出手段は、
前記EUV光と異なる波長の光を発する光源と、
前記光源からの光の波長を選択する波長選択フィルタとを有することを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の露光装置。 - EUV光を用いてレチクルに形成されたパターンを投影光学系を介して被処理体に露光する露光方法であって、
EUV光とは異なる波長の第2の光を用いて前記投影光学系を介し、前記レチクルと前記被処理体との位置合わせを行うステップを有することを特徴とする露光方法。 - 前記第2の光を用いて前記EUV光の光路中に配置された光学部材を洗浄するステップを更に有することを特徴とする請求項12記載の露光方法。
- 前記位置合わせステップと前記洗浄ステップとは、同時に行われることを特徴とする請求項13記載の露光方法。
- 実施態様1乃至11のうちいずれか一項記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体に所定のプロセスを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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