JP2013046048A - リソグラフィ装置、基板テーブル及びデバイス製造方法 - Google Patents
リソグラフィ装置、基板テーブル及びデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013046048A JP2013046048A JP2011270171A JP2011270171A JP2013046048A JP 2013046048 A JP2013046048 A JP 2013046048A JP 2011270171 A JP2011270171 A JP 2011270171A JP 2011270171 A JP2011270171 A JP 2011270171A JP 2013046048 A JP2013046048 A JP 2013046048A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- substrate table
- waveguide
- wavelength converting
- window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/7055—Exposure light control in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. pulse length control or light interruption
- G03F7/70575—Wavelength control, e.g. control of bandwidth, multiple wavelength, selection of wavelength or matching of optical components to wavelength
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/7085—Detection arrangement, e.g. detectors of apparatus alignment possibly mounted on wafers, exposure dose, photo-cleaning flux, stray light, thermal load
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
- G03F9/7007—Alignment other than original with workpiece
- G03F9/7015—Reference, i.e. alignment of original or workpiece with respect to a reference not on the original or workpiece
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7088—Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
Abstract
【解決手段】センサを有する基板テーブルであって、該センサは、放射に対して不透明な物質層が設けられた物質のブロックを含む。該物質層は、放射の透過を許可するよう構成された少なくとも一つのウィンドウを有する。センサは、ウィンドウに位置する波長変換物質と、波長変換物質から放出された放射を受けるよう位置付けられた導波路を含む。該導波路は、物質のブロック中に埋め込まれるとともに、波長変換物質から放出された放射を物質のブロック中を通って検出器に向けて導くよう構成される。
【選択図】図4
Description
センサ回折格子の空間像サンプリングスキームの解像度は回折格子(グレーチング)のサイズにより制限されるので、アライメントセンサプレートは、通常、移動する必要がある(回折格子のサイズは、フォトマスク上のスペースを最適に利用するために出来るだけ小さくする必要がある)。さらに、現在利用可能な光検出器はかなり大きく、互いに近接した複数の回折格子のために多数の検出器を使用することを妨げる。従って、光強度を正確に測定するために、センサ回折格子は空間中で移動されなければならず、高精度で制御されなければならない。センサの移動は、時間、複雑な制御システム、マシンリソース及び移動時間にわたる安定性を必要とする。
加えて、光検出器からの電気信号は、通常弱く、電磁ノイズを拾いやすい。それ故、フォトダイオードとプリアンプとの間の電気信号線はなるべく短くされ、従ってプリアンプは、通常光検出器の近くに配置される。プリアンプは熱を発生し、この熱はアライメントセンサ回折格子の変形の一因となり、最終的に位置合わせした位置の計算ミスを引き起こす可能性がある。さらに、光検出器および電子機器は大きな構造体を形成しており(これもまた多数の検出器の小型化および使用を阻害する)、センサ内部において特別な位置合わせを必要とする。
上述した不利点の一つまたは複数を解決するセンサを有する基板テーブルを備えたリソグラフィ装置を提供することが望ましい。
1.ステップモードでは、放射ビームに付与されたパターンの全体が1回の照射で一つの目標部分Cに投影される間、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは実質的に静止状態とされる(すなわち1回の静的な露光)。そして基板テーブルWTがX方向及び/またはY方向に移動されて、異なる目標部分Cが露光される。
2.スキャンモードでは、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影される間、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは同期して走査される(すなわち1回の動的な露光)。支持構造(例えばマスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影系PSの拡大(縮小)特性及び像反転特性により定められる。
3.別のモードでは、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影される間、支持構造(例えばマスクテーブル)MTはプログラム可能パターニングデバイスを保持して実質的に静止状態とされ、基板テーブルWTは移動または走査される。パルス放射源が用いられ、プログラム可能パターニングデバイスは走査中に基板テーブルWTが移動するたびに、または連続する放射パルスの間に必要に応じて更新される。この動作モードは、上記のプログラム可能ミラーアレイなどのプログラム可能パターニングデバイスを使用するマスクレスリソグラフィに直ちに適用することができる。
半導体物質2の上面が投影系の像焦点面内にある場合を例とすると、アライメントグレーチング線像240a、240bは、第1のアライメントグレーチングが投影系の像焦点面内またはその近傍にあるので、第1のアライメントグレーチング201aの近くにシャープなエッジを有する。第2のアライメントグレーチング201bは、投影系の像焦点面の真下にある。その結果、アライメントグレーチング像240a、240bは、広がったエッジを有し、第2のアライメントグレーチング201bのウィンドウに入射する放射の強度は減少する。同様に、第3のアライメントグレーチング201cは像焦点面の上方にあり、その結果アライメントグレーチング像240a、240bのエッジは広がり、第3のアライメントグレーチングのウィンドウに入射する放射の強度は減少する。
1.センサを有する基板テーブルであって、該センサは、
放射に対して不透明な物質層が設けられた物質のブロックであって、該不透明物質層が放射の透過を許可するよう構成された少なくとも一つのウィンドウを有する、物質のブロックと、
前記ウィンドウに位置する波長変換物質と、
前記波長変換物質から放出された放射を受けるよう位置付けられた導波路であって、前記物質のブロック中に埋め込まれるとともに、前記波長変換物質から放出された放射を前記物質のブロック中を通って検出器に向けて導くよう構成された導波路と、
を備えることを特徴とする基板テーブル。
2.前記物質のブロックは、半導体チップまたは誘電体ブロックである、第1項に記載の基板テーブル。
3.前記導波路は、複数の導波路の一つであり、該導波路の少なくともいくつかは、前記半導体チップ内部で異なる深さに延在している、第1項に記載の基板テーブル。
4.前記不透明物質層は、EUV放射に対して不透明である、および/または、500〜2000nmの波長範囲の放射に対して不透明である、第1項に記載の基板テーブル。
5.デバイス製造方法であって、
放射ビームを調整するよう構成された照明系と、前記放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付き放射ビームを形成可能であるパターニングデバイスを支持するよう構成された支持部と、センサを有する基板テーブルであって、該センサが、放射に対して不透明な物質層が設けられた物質のブロックであって、該不透明物質層が放射の透過を許可するよう構成された少なくとも一つのウィンドウを有する、物質のブロックと、前記ウィンドウに位置する波長変換物質と、前記波長変換物質から放出された放射を受けるよう位置付けられた導波路であって、前記物質のブロック中に埋め込まれるとともに、前記波長変換物質から放出された放射を前記物質のブロック中を通って検出器に向けて導くよう構成された導波路と、を備え、基板を保持するよう構成された基板テーブルと、前記パターン付き放射ビームを基板の目標部分に投影するよう構成された投影系と、を備えるリソグラフィ装置を用いるステップと、
前記センサを用いてEUV放射ビームの光学特性を測定するステップと、
前記センサを用いて前記基板テーブルと前記パターニングデバイスのアライメントを測定するステップと、
を備えるデバイス製造方法。
Claims (15)
- センサを有する基板テーブルであって、該センサは、
放射に対して不透明な物質層が設けられた物質のブロックであって、該不透明物質層が放射の透過を許可するよう構成された少なくとも一つのウィンドウを有する、物質のブロックと、
前記ウィンドウに位置する波長変換物質と、
前記波長変換物質から放出された放射を受けるよう位置付けられた導波路であって、前記物質のブロック中に埋め込まれるとともに、前記波長変換物質から放出された放射を前記物質のブロック中を通って検出器に向けて導くよう構成された導波路と、
を備えることを特徴とする基板テーブル。 - 前記不透明物質層およびウィンドウは回折格子の一部を形成することを特徴とする請求項1に記載の基板テーブル。
- 前記ウィンドウは、複数のウィンドウの一つであることを特徴とする請求項1または2に記載の基板テーブル。
- 一組のウィンドウは第1方向に延在しており、前記ウィンドウの少なくともいくつかは、前記第1方向を横断する第2方向において異なる位置を有することを特徴とする請求項3に記載の基板テーブル。
- 前記ウィンドウの少なくともいくつかは異なる高さに設けられていることを特徴とする請求項3または4に記載の基板テーブル。
- 各ウィンドウは、波長変換物質の別々の一部分が設けられていることを特徴とする請求項3から5のいずれかに記載の基板テーブル。
- 前記導波路は、複数の導波路の一つであることを特徴とする請求項3から6のいずれかに記載の基板テーブル。
- 各ウィンドウは、異なる導波路に結合されることを特徴とする請求項3から7のいずれかに記載の基板テーブル。
- a)複数のウィンドウのうち一つまたは複数に位置する波長変換物質、
および/または、
b)一つまたは複数の導波路に設けられたフィルタ
は、500〜2000nmの波長範囲から一つまたは複数の異なる放射波長を選択するよう構成されることを特徴とする請求項3から8のいずれかに記載の基板テーブル。 - 前記検出器は、複数の検出器の一つであることを特徴とする請求項3から9のいずれかに記載の基板テーブル。
- 複数の検出器からの出力信号は、プロセッサにより個別に処理されることを特徴とする請求項10に記載の基板テーブル。
- 前記波長変換物質から放出された放射を増幅するよう構成されたドーパントまたは非線形結晶物質が導波路に設けられ、放射を前記導波路中に直接ポンプするために光学ポンプが配置されており、ポンプ放射は、ドーパントを励起するようにまたは前記非線形結晶物質中の信号を増幅するように設定された波長を有する、ことを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の基板テーブル。
- 前記波長変換物質は、EUV放射が該波長変換物質に入射したときに、500〜2000nmの波長範囲の波長を有する放射を放出するよう構成されることを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の基板テーブル。
- 放射ビームを調整するよう構成された照明系と、
前記放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付き放射ビームを形成可能であるパターニングデバイスを支持するよう構成された支持部と、
センサを有する基板テーブルであって、該センサが、
放射に対して不透明な物質層が設けられた物質のブロックであって、該不透明物質層が放射の透過を許可するよう構成された少なくとも一つのウィンドウを有する、物質のブロックと、
前記ウィンドウに位置する波長変換物質と、
前記波長変換物質から放出された放射を受けるよう位置付けられた導波路であって、前記物質のブロック中に埋め込まれるとともに、前記波長変換物質から放出された放射を前記物質のブロック中を通って検出器に向けて導くよう構成された導波路と、
を備え、基板を保持するよう構成された基板テーブルと、
前記パターン付き放射ビームを基板の目標部分に投影するよう構成された投影系と、
を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。 - EUV放射ビームをパターニングデバイスでパターニングするステップと、
パターン付き放射ビームを投影系で基板テーブルにより支持された基板上に投影するステップと、
前記基板テーブルのセンサでEUV放射ビームの光学特性を測定するステップであって、該センサが、放射に対して不透明な物質層が設けられた物質のブロックであって、該不透明物質層が放射の透過を許可するよう構成された少なくとも一つのウィンドウを有する、物質のブロックと、前記ウィンドウに位置する波長変換物質と、前記波長変換物質から放出された放射を受けるよう位置付けられた導波路であって、前記物質のブロック中に埋め込まれるとともに、前記波長変換物質から放出された放射を前記物質のブロック中を通って検出器に向けて導くよう構成された導波路とを備える、ステップと、
前記センサで前記基板テーブルと前記パターニングデバイスのアライメントを測定するステップと、
を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161526943P | 2011-08-24 | 2011-08-24 | |
US61/526,943 | 2011-08-24 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013046048A true JP2013046048A (ja) | 2013-03-04 |
Family
ID=47743283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011270171A Pending JP2013046048A (ja) | 2011-08-24 | 2011-12-09 | リソグラフィ装置、基板テーブル及びデバイス製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130050674A1 (ja) |
JP (1) | JP2013046048A (ja) |
KR (1) | KR20130023016A (ja) |
CN (1) | CN102955369A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015084358A (ja) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 凸版印刷株式会社 | 反射型マスクブランク及びその製造方法並びに反射型マスク |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6118030B2 (ja) * | 2011-04-05 | 2017-04-19 | キヤノン株式会社 | 測定装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
WO2016015955A1 (en) * | 2014-07-30 | 2016-02-04 | Asml Netherlands B.V. | Alignment sensor and lithographic apparatus background |
DE102016205893A1 (de) * | 2016-04-08 | 2017-10-12 | Carl Zeiss Smt Gmbh | EUV-Kollektor zum Einsatz in einer EUV-Projektionsbelichtungsanlage |
WO2017186458A1 (en) * | 2016-04-26 | 2017-11-02 | Asml Netherlands B.V. | Measurement system, calibration method, lithographic apparatus and positioner |
JP6410997B2 (ja) * | 2016-07-11 | 2018-10-24 | 三菱電機株式会社 | 光回路、光走査器、光合分波器、波長モニタ、光合分波器モジュール、および波長モニタモジュール |
EP3499215B1 (en) * | 2017-12-15 | 2023-06-28 | ams AG | Particle density sensor using evanescent wave of waveguide |
DE102018202096A1 (de) * | 2018-02-12 | 2019-08-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Bildsensor für eine positionssensorvorrichtung, positionssensorvorrichtung mit einem bildsensor, lithographieanlage mit einer positionssensorvorrichtung und verfahren zum betreiben eines bildsensors |
NL2022732A (en) * | 2018-04-11 | 2019-10-16 | Asml Netherlands Bv | Level sensor and lithographic apparatus |
US20220187715A1 (en) | 2019-03-12 | 2022-06-16 | Asml Netherlands B.V. | A method and apparatus for predicting aberrations in a projection system |
US20200402871A1 (en) * | 2019-06-24 | 2020-12-24 | Magic Leap, Inc. | Polymer patterned disk stack manufacturing |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0645228A (ja) * | 1992-07-23 | 1994-02-18 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
JPH10284415A (ja) * | 1997-04-10 | 1998-10-23 | Nikon Corp | 結像位置検出装置及び半導体デバイスの製造方法 |
JPH11260709A (ja) * | 1998-03-10 | 1999-09-24 | Nikon Corp | 露光装置および該露光装置に用いられるマスク |
JP2001044098A (ja) * | 1999-07-26 | 2001-02-16 | Nikon Corp | 露光装置、その露光装置における位置検出方法 |
JP2004266273A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-24 | Canon Inc | 露光装置及び露光方法 |
JP2005197445A (ja) * | 2004-01-07 | 2005-07-21 | Nikon Corp | 検出装置、露光装置及び露光方法 |
WO2005124834A1 (ja) * | 2004-06-22 | 2005-12-29 | Nikon Corporation | ベストフォーカス検出方法及び露光方法、並びに露光装置 |
JP2008192987A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Nikon Corp | センサ、露光装置、デバイスの製造方法、及びセンサの製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR970072024A (ko) * | 1996-04-09 | 1997-11-07 | 오노 시게오 | 투영노광장치 |
US6522386B1 (en) * | 1997-07-24 | 2003-02-18 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having projection optical system with aberration correction element |
TW200518187A (en) * | 2003-09-29 | 2005-06-01 | Nikon Corp | Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
CN100490064C (zh) * | 2003-09-29 | 2009-05-20 | 株式会社尼康 | 曝光装置、曝光方法以及器件制造方法 |
-
2011
- 2011-12-09 KR KR1020110132058A patent/KR20130023016A/ko not_active Application Discontinuation
- 2011-12-09 US US13/315,912 patent/US20130050674A1/en not_active Abandoned
- 2011-12-09 JP JP2011270171A patent/JP2013046048A/ja active Pending
- 2011-12-14 CN CN2011104183811A patent/CN102955369A/zh active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0645228A (ja) * | 1992-07-23 | 1994-02-18 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
JPH10284415A (ja) * | 1997-04-10 | 1998-10-23 | Nikon Corp | 結像位置検出装置及び半導体デバイスの製造方法 |
JPH11260709A (ja) * | 1998-03-10 | 1999-09-24 | Nikon Corp | 露光装置および該露光装置に用いられるマスク |
JP2001044098A (ja) * | 1999-07-26 | 2001-02-16 | Nikon Corp | 露光装置、その露光装置における位置検出方法 |
JP2004266273A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-24 | Canon Inc | 露光装置及び露光方法 |
JP2005197445A (ja) * | 2004-01-07 | 2005-07-21 | Nikon Corp | 検出装置、露光装置及び露光方法 |
WO2005124834A1 (ja) * | 2004-06-22 | 2005-12-29 | Nikon Corporation | ベストフォーカス検出方法及び露光方法、並びに露光装置 |
JP2008192987A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Nikon Corp | センサ、露光装置、デバイスの製造方法、及びセンサの製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015084358A (ja) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 凸版印刷株式会社 | 反射型マスクブランク及びその製造方法並びに反射型マスク |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130050674A1 (en) | 2013-02-28 |
KR20130023016A (ko) | 2013-03-07 |
CN102955369A (zh) | 2013-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013046048A (ja) | リソグラフィ装置、基板テーブル及びデバイス製造方法 | |
JP5600145B2 (ja) | リソグラフィ装置のためのレベルセンサの構成及びデバイス製造方法 | |
KR100592570B1 (ko) | 리소그래피투영장치 | |
KR101269298B1 (ko) | 면 위치 검출 장치, 노광 장치 및 노광 방법 | |
JP4611886B2 (ja) | 複数の位置調整装置を備えるリソグラフィ装置及び位置調整測定方法 | |
CN110291464B (zh) | 用于预测测量方法的性能的方法和设备、测量方法和设备 | |
US20040227102A1 (en) | Method and device for measuring contamination of a surface of a component of a lithographic apparatus | |
US20200225592A1 (en) | Measurement device and measurement method, exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method | |
US20140063490A1 (en) | Wave front aberration metrology of optics of euv mask inspection system | |
JP2009252851A (ja) | 露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP2006339448A (ja) | 受光ユニットを有する露光装置 | |
TWI460559B (zh) | 用於微影裝置之位階感測器配置、微影裝置及器件製造方法 | |
JP2009147332A (ja) | リソグラフィ投影装置で使用する透過像検出デバイス及びこのようなリソグラフィ装置のパターニングデバイス及び/又は投影システムの3次歪みを割り出す方法 | |
TW202236026A (zh) | 基於高諧波產生之度量衡裝置及相關方法 | |
JP2023530864A (ja) | 自己参照集積アライメントセンサ | |
KR20090093898A (ko) | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 | |
WO2013168456A1 (ja) | 面位置計測装置、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
WO2013168457A1 (ja) | 面位置計測装置、面位置計測方法、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP2010056361A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JP2007005507A (ja) | 露光装置 | |
CN116670577A (zh) | 基于高次谐波产生的量测设备及相关方法 | |
NL2008318A (en) | Lithographic apparatus, substrate table and device manufacturing method. | |
KR20240007276A (ko) | 조명 소스 및 연관된 방법, 장치 | |
CN116819892A (zh) | 一种光学量测装置及方法 | |
JP2021531502A (ja) | フォトリソグラフィマスクの基板に導入される1つまたは複数のピクセルの効果を決定するための方法および装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151027 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160127 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160628 |