JP2006222222A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 第一の物体のパターンを第二の物体に投影する投影光学系において、
   当該投影光学系の、前記第二の物体に最も近い光学素子に設けられ、前記投影時に前記パターンが投影される前記第二の物体の領域の外部に入射する光を遮蔽するための視野絞りを有することを特徴とする投影光学系。
2. 前記視野絞りは、遮光性の膜によって形成される遮蔽部を含むことを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
3. 前記光学素子の前記パターンを反映する光が通過する開口部の前記第二の物体側の面と前記視野絞りの前記遮蔽部の前記第二の物体側の面の段差は１００μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
4. 前記光学素子の前記開口部は前記開口部以外の部分よりも前記第二の物体側に突出していることを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
5. 前記視野絞りは前記光学素子の内部に配置されていることを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
6. 前記光学素子は、
   前記パターンを前記第二の物体に投影するための光学部と、
   前記光学部の前記第二の物体側の面に、前記視野絞りが露出しないように前記視野絞りに接して配置されている貼り合わせ板を含むことを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
7. 前記光学素子は、
   前記パターンを前記第二の物体に投影するための光学部と、
   前記光学部を被覆すると共に、前記視野絞りを被覆する反射防止膜を含むことを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
8. 前記光学素子の前記第二の物体側の面は曲面であって、前記光学素子の第二の物体側には遮光部材と透明な平行平板が同一の面をなすように配置されていることを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
9. 前記光学素子の前記第二の物体側の面と前記遮光部材、前記平行平板の間には液体が満たされていることを特徴とする請求項８記載の投影光学系。
10. 前記遮光部材に温調素子が設けられていることを特徴とする請求項９記載の投影光学系。
11. 前記遮光部材に液体注入口と排出口が設けられていることを特徴とする請求項１０記載の投影光学系。
12. 請求項１乃至１１のうちいずれか一項記載の投影光学系を有し、前記第一の物体としてのマスクのパターンの像を前記投影光学系を介して前記第二の物体としての被露光体に露光することを特徴とする露光装置。
13. 前記被露光体と前記投影光学系との間の液体及び前記投影光学系を介して、前記被露光体を露光することを特徴とする請求項１２記載の露光装置。
14. 請求項１２記載の露光装置を用いて前記被露光体を露光するステップと、
    該露光された前記被露光体を現像するステップとを有するデバイス製造方法。